JPH0691138B2 - 集積回路の検査装置用治具 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、高密度な集積回路のウェハーの中間検査を行
うべく、該ウェハーの導電パターンに、導電性のピンを
接触させ、このピンに接続されている検査機によって、
この集積回路のウェハーの検査を行う集積回路の検査装
置用治具に関する。

〔従来の技術〕

従来、集積回路のウェハーの中間検査に用いられる検査
装置においては、該ウェハーの導電パターンを検査機に
接続するために、ウェハーの導電パターンに接触するプ
ローブ針と称されるピンを設けたプローブカードと称さ
れる検査治具が用いられていた。

このプローブカードは、中心の窓孔に向かって放射上に
回路パターンがプリントされている基板の該中心の窓孔
にプローブ針の先端を突出させ、該プローブ針を中心か
ら放射上に配置して基端を基板の回路パターンに接続し
たものである。

このプローブカードのプローブ針をウェハーの上から押
しつけるようにして、プローブ針の先端をウェハーの回
路パターンに接触させて、ウェハーの導電パターンを検
査機に接続して、ウェハーの中間検査を行っていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、前記した検査においては集積回路は１枚のウ
ェハーに多数個が形成されているのに対し検査治具は単
体あるいは２個程度を使用して行っていた。すなわち、
プローブ針はプローブカードに対して放射方向に配置さ
れているため、小さなウェハーに対して複数個のプロー
ブカードを対向させることができず、精々２個を使用す
ることしかできなかった。

そして、多数個の集積回路が形成されたウェハーを検査
するためには、１つの集積回路の検査が終了した後に隣
接している次の集積回路のパターンにプローブカードを
移動し、また、検査が終了すると次の集積回路に移動す
るというように順次検査を進めて行くものである。従っ
て、１つの集積回路を検査するのに数秒間し掛からない
いのに対して、１つの集積回路の検査終了後、隣接する
集積回路にプローブカードを移動するのに多くの時間が
掛かってしまい、全体としての検査時間が長くなり作業
能率が悪いという問題があった。また、プローブカード
のプローブ針の先端は極めて鋭敏に作られ、かつ、互い
に接触しないように微細な間隔を保っていなければなら
ないが、このプローブ針の接触を防止するためには、プ
ローブ針の材質の吟味、その保守等の種々の問題が生じ
ると共に、このような精密なプローブ針は高価なものと
なり、全体的に高価となってしまうという問題点もあっ
た。

本発明は前記した問題点を解決せんとするもので、その
目的とするところは、治具自体を小型化したことによ
り、１つのウェハーに対して複数個を対応させて同時に
複数の集積回路の検査を行えるので、検査時間の短縮を
図ることができると共に治具の製造および保守が簡単で
安価に制作できる集積回路の検査装置用治具を提供せん
とするにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、前述の目的を達成するための集積回路の検査
装置用治具の手段に関し、集積回路の導電パターンに接
触する導電性のピンを、その先端を下面に突出させて無
数に立設されていて、ゴム等のような前記導電性のピン
の多少の上下に対応できる程度の柔軟性を有する絶縁性
の支持片と、前記導電性のピンの植立間隔よりも広い間
隔で電極が形成されているコネクター部と、前記導電性
のピンと電極とを接続する接続手段と、該接続手段を囲
繞して支持片とコネクター板との間に充満し、導電性の
ピンの上下による支持片の上下うねりに対応できる柔軟
性のグリッド変換材とを備えた集積回路の検査装置用治
具によって、その目的は達成される。

〔発明の実施例〕 次に、本発明の第１の実施例を、第１図について説明す
る。

１は導電性のピンで、ゴム等の支持片２に、その下部1a
を、その直径と略同一長さだけ突出させて、植立されて
いる。

この導電性のピン１は、ウェハーの回路と集積回路の端
子とを接続するボンディングワイヤが接続されるウェハ
ーＡの導電パターンA1と同一ピッチとするために、その
直径は50〜100ミクロン程度の細さで、ウェハーＡの導
電パターンA1のピッチに合わせて植立される。

そして、この導電性のピン１の下端がウェハーＡの導電
パターンA1に接触するものである。

前記、支持片２は導電性のピン１の下端を、ウェハーＡ
の導電パターンに接触させるべく、上から圧力を加えた
際に、ウェハーＡの導電パターンが多少上下に反ってい
ても、全部の導電性のピン１の下端がこれに接触できる
程度に屈曲できる柔軟性をもたされている。

３はコネクターピンで、検査機に接続するリード線６を
巻付ける等の接続手段をとることができる程度の間隔
で、コネクター板４に植立されている。

導電性のピン１の上部1bは、支持片２の上面から適宜の
長さが突出されていて、この上部1bを屈曲させて前記コ
ネクターピン３に接続している。

前記支持片２とコネクター板４との間隔は、1/2〜１イ
ンチ程度の間隔に保たれ、この間には導電性のピン１の
上部1bを囲繞してグリッド変換材５が充填されている。

このグリッド変換材５は、導電性のピン１の下端をウェ
ハーＡの導電パターンA1に接触させるべく、コネクター
板４に上から圧力を加えた際の圧力を、支持片２に伝え
ると共に、導電性のピン１の多少の上下によって生ずる
支持片２のうねりに対応してこれを吸収できる程度の柔
軟性をもっている。

従って、コネクターピン３に検査機からのリード線６を
接続しておき、コネクター板４の上から圧力を加えれ
ば、支持片１の柔軟性により、第２図の状態であった導
電性のピン１は、第３図のように支持片２が湾曲するこ
とにより、全部の導電性のピン１の下端を、ウェハーＡ
の導電パターンA1の総てに、接触させることができるも
のである。

次に、本発明の第２の実施例を、第４図について説明す
る。

この実施例は、前実施例に対してコネクター板４を設け
ることなく、グリッド材５の上面に、直接に平面電極７
を形成し、これに前実施例と同様に導電性のピン１の上
部1bを接続する。

そして、この平面電極７に検査機からのリード線の先端
のコネクターピン８をハンダ付けしたり、或いは平面電
極７に接続用のピンをハンダ付けして、これに検査機か
らのリード線を巻き付ける等の手段で、検査機と平面電
極７とを接続するものである。

本実施例のその他の部分は、前実施例と変わるものでは
ない。

更に、本発明の第３の実施例を、第５図について説明す
る。

この実施例においては、導電性のピン１は、支持片２の
上部には突出させず、支持片２の上面には導電性のピン
１に接続されていて、導電性のピン１よりは僅かに大き
い平面電極９が形成される。

そして、コネクターピン３とコネクター板４は第１の実
施例と同じに形成され、コネクターピン３と平面電極９
とは、ボンディングワイヤ10で接続される。

支持片２とコネクター板４との間には、第１の実施例と
同様に、ボンディングワイヤ10を囲繞してグリッド変換
材５が充填されるもので、このグリッド変換材５は、第
１の実施例と同様な働きをするものである。

その他、本発明においては、検査機と導電性のピン１と
を接続するコネクター部分は、前記実施例に示した手段
以外にも、種々の方法が利用できるものである。

〔発明の効果〕

本発明は叙上のように、導電性のピンは支持片で絶縁さ
れて支持され、その直径程度にしか支持片の下面に突出
しておらず、且つ検査機に接続する電極部分と導電性の
ピンとを接続する部分も、グリッド変換材で絶縁されて
いるので、導電性のピン同士が短絡するおそれがなく、
しかも、小型化が可能なので、１つのウェハーに対して
複数個を対応させて同時に複数の集積回路の検査を行
え、従って、検査時間の短縮を図ることができると共に
導電性のピンの材質や、その短絡の監視や保守の困難さ
がなくなり、しかも支持片への植立も容易であるため、
廉価に提供できる。

又、導電性のピンのピッチが狂うことがなく、且つ導電
性のピンはウェハーの導電パターンに多少の上下の反り
があっても、支持片の柔軟性によって、導電性のピンの
先端を上下し、総ての導電性のピンの先端をウェハーの
導電パターンに接触させることができるので、セット時
間を短縮することが可能となり、検査効率の向上が図れ
る等の効果を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例の斜面図、 第２図は導電性のピンとウェハーとが離れている場合の
側面図、 第３図は同上の接触状態の側面図、 第４図は第２の実施例の要部の斜面図、 第５図は第３の実施例の要部の斜面図である。 １……導電性のピン、２……支持片、３……コネクター
ピン、４……コネクター板、５……グリッド材、7,9…
…平面電極、10……ボンディングワイヤ、Ａ……ウェハ
ー、A1……導電パターン。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】集積回路の導電パターンに接触する導電性
   のピンの先端が、下面に突出するように無数に立設され
   ていて、ゴム等のような前記導電性のピンの多少の上下
   に対応できる程度の柔軟性を有する絶縁性の支持片と、
   前記導電性のピンの植立間隔よりも広い間隔で電極が形
   成されているコネクター部と、前記導電性のピンと電極
   とを接続する接続手段と、該接続手段を囲繞して支持片
   とコネクター部との間に充満し、導電性のピンの上下に
   よる支持片の上下のうねりに対応できる柔軟性のグリッ
   ド変換材とを備えたことを特徴とする集積回路の検査装
   置用治具。