JPH0696222B2 - ワイヤソ−用ワイヤ - Google Patents
ワイヤソ−用ワイヤInfo
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- JPH0696222B2 JPH0696222B2 JP15547886A JP15547886A JPH0696222B2 JP H0696222 B2 JPH0696222 B2 JP H0696222B2 JP 15547886 A JP15547886 A JP 15547886A JP 15547886 A JP15547886 A JP 15547886A JP H0696222 B2 JPH0696222 B2 JP H0696222B2
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- wire
- coating
- diamond
- saw
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- Expired - Lifetime
Links
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D61/00—Tools for sawing machines or sawing devices; Clamping devices for these tools
- B23D61/18—Sawing tools of special type, e.g. wire saw strands, saw blades or saw wire equipped with diamonds or other abrasive particles in selected individual positions
- B23D61/185—Saw wires; Saw cables; Twisted saw strips
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、半導体単結晶の塊からウエハ状に切出すた
め使用されるワイヤソーに用いられるワイヤに関するも
のである。
め使用されるワイヤソーに用いられるワイヤに関するも
のである。
［従来の技術および発明が解決しようとする問題点］ 従来、ワイヤソー用ワイヤとしては、高い引張強さと靭
性を有する鋼線などが用いられており、たとえばピアノ
線等が用いられている。
性を有する鋼線などが用いられており、たとえばピアノ
線等が用いられている。
しかしながら、これらの鋼線では、硬度は未だ不十分で
あり、切断速度などの切断特性の改善されたワイヤー用
ワイヤが従来より望まれていた。切断速度を速め、切断
の際生じる摩擦熱を除去するため、アルミナ懸濁液をか
けながらピアノ線等を被加工物に擦りつけて切断するな
どの方法が、従来より試みられているが、このような方
法によっても十分に満足できる切断特性は得られていな
い。
あり、切断速度などの切断特性の改善されたワイヤー用
ワイヤが従来より望まれていた。切断速度を速め、切断
の際生じる摩擦熱を除去するため、アルミナ懸濁液をか
けながらピアノ線等を被加工物に擦りつけて切断するな
どの方法が、従来より試みられているが、このような方
法によっても十分に満足できる切断特性は得られていな
い。
それゆえに、この発明の目的は、切断速度が速く、また
より硬い材質に対しても切断を容易にするワイヤソー用
ワイヤを提供することにある。
より硬い材質に対しても切断を容易にするワイヤソー用
ワイヤを提供することにある。
［問題点を解決するための手段］ この発明のワイヤソー用ワイヤは、第１図に示すよう
に、高抗張力を有する金属線の周囲に、ダイヤモンド被
膜またはＣを主成分としダイヤモンドに近似した硬度を
有する炭素質被膜を設けている。第１図において、１は
金属線、２はダイヤモンド被膜または炭素質被膜を示し
ている。炭素質被膜は、Ｃは主成分としダイヤモンドに
近似した硬度を有するもので、たとえばｉ−カーボンと
称されるアモルファス構造の炭素質の被膜が挙げられ
る。
に、高抗張力を有する金属線の周囲に、ダイヤモンド被
膜またはＣを主成分としダイヤモンドに近似した硬度を
有する炭素質被膜を設けている。第１図において、１は
金属線、２はダイヤモンド被膜または炭素質被膜を示し
ている。炭素質被膜は、Ｃは主成分としダイヤモンドに
近似した硬度を有するもので、たとえばｉ−カーボンと
称されるアモルファス構造の炭素質の被膜が挙げられ
る。
この発明における高抗張力を有する金属線としては、た
とえばピアノ線、硬鋼線等のFe系や、いわゆるインコネ
ル（Ni−Cr−Fe合金）などのNi系のものが挙げられる。
とえばピアノ線、硬鋼線等のFe系や、いわゆるインコネ
ル（Ni−Cr−Fe合金）などのNi系のものが挙げられる。
金属線とダイヤモンド被膜または炭素質被膜との密着性
が良くない場合には、Ti、Cr、Zr、HfおよびTaからなる
群より選ばれた１種もしくは２種以上の金属を主成分と
する中間層をその間に設けて、第２図に示すような断面
構造のものにすることができる。第２図において、３は
中間層を示している。
が良くない場合には、Ti、Cr、Zr、HfおよびTaからなる
群より選ばれた１種もしくは２種以上の金属を主成分と
する中間層をその間に設けて、第２図に示すような断面
構造のものにすることができる。第２図において、３は
中間層を示している。
［作用］ この発明のワイヤソー用ワイヤは、ダイヤモンド被膜ま
たは炭素質被膜が周囲に設けられているため、その表面
の硬度が高められ、切断特性が著しく改善される。ま
た、これらの被膜は熱伝導性が良好で、連続した被膜で
あるため、切断の際生じる摩擦熱は、これらの被膜によ
って効果的に伝達され除去される。このことから、ワイ
ヤソー用ワイヤの長寿命化を図ることができる。
たは炭素質被膜が周囲に設けられているため、その表面
の硬度が高められ、切断特性が著しく改善される。ま
た、これらの被膜は熱伝導性が良好で、連続した被膜で
あるため、切断の際生じる摩擦熱は、これらの被膜によ
って効果的に伝達され除去される。このことから、ワイ
ヤソー用ワイヤの長寿命化を図ることができる。
また、金属線表面と被膜との間に、中間層を設けた場合
には、金属線と被膜との密着性が向上し、被膜の強度が
さらに高められる。
には、金属線と被膜との密着性が向上し、被膜の強度が
さらに高められる。
［実施例］ 実施例１ ピアノ線にスパッタリング法でTiを0.2μｍの厚みでコ
ーティングして中間層を形成し、その後、エキシマレー
ザ光CVD法により、CH4を原料ガスとしてダイヤモッド被
膜を約１μｍの厚みでコーデイングし、第２図に示すよ
うな構造のワイヤを製造した。
ーティングして中間層を形成し、その後、エキシマレー
ザ光CVD法により、CH4を原料ガスとしてダイヤモッド被
膜を約１μｍの厚みでコーデイングし、第２図に示すよ
うな構造のワイヤを製造した。
実施例２ ピアノ線にスパッタリング法でZrとHfの混合体を0.3μ
ｍの厚みでコーティングして中間層を形成し、次にこの
中間層の表面をダイヤモンド微粉末を使用して研磨した
後、エキシマレーザ光CVD法により、CH4を原料ガスとし
てダイヤモンド被膜を約1.2μｍの厚みでコーティング
して、第２図に示すように構造のワイヤを製造した。
ｍの厚みでコーティングして中間層を形成し、次にこの
中間層の表面をダイヤモンド微粉末を使用して研磨した
後、エキシマレーザ光CVD法により、CH4を原料ガスとし
てダイヤモンド被膜を約1.2μｍの厚みでコーティング
して、第２図に示すように構造のワイヤを製造した。
実施例３ インコネル線にスパッタリング法でTaを0.1μｍの厚み
でコーティングして中間層を形成し、マイクロ波（2450
MHz）プラズマCVD法により、CH4、H2を原料ガスとし
て、ダイヤモンド被膜を約0.8μｍの厚みでコーティン
グし、第２図に示すような構造のワイヤを製造した。
でコーティングして中間層を形成し、マイクロ波（2450
MHz）プラズマCVD法により、CH4、H2を原料ガスとし
て、ダイヤモンド被膜を約0.8μｍの厚みでコーティン
グし、第２図に示すような構造のワイヤを製造した。
実施例４ ピアノ線にイオンプレーティング法でCrを0.1μｍの厚
みでコーティングして中間層を形成し、次に高周波（1
3.56MHz）イオンプレーティング法によりC2H4を原料に
して、一般にｉ−カーボンと称される炭素質被膜を１μ
ｍの厚みでコーティングし、第２図に示すような構造の
ワイヤを製造した。
みでコーティングして中間層を形成し、次に高周波（1
3.56MHz）イオンプレーティング法によりC2H4を原料に
して、一般にｉ−カーボンと称される炭素質被膜を１μ
ｍの厚みでコーティングし、第２図に示すような構造の
ワイヤを製造した。
実施例５ ピアノ線に、直接エキシマレーザ光CVD法により、CH4を
原料ガスとして、ダイヤモンド被膜を約１μｍの厚みで
コーティングし、第１図に示すような構造のワイヤを製
造した。
原料ガスとして、ダイヤモンド被膜を約１μｍの厚みで
コーティングし、第１図に示すような構造のワイヤを製
造した。
以上の実施例１〜５で得られたワイヤを、ワイヤソーと
して、GaAs単結晶を切断し、使用テストを行なった。な
お、比較としてピアノ線のままのものをワイヤーとして
用い、使用テストを行なった（比較例）。使用テストの
結果を第１表に示す。
して、GaAs単結晶を切断し、使用テストを行なった。な
お、比較としてピアノ線のままのものをワイヤーとして
用い、使用テストを行なった（比較例）。使用テストの
結果を第１表に示す。
第１表の結果から明らかなように、この発明の実施例１
〜５をワイヤソーとして用いると、比較例に比べて、切
断速度が速く、また使用の寿命が長くなることが確認さ
れた。
〜５をワイヤソーとして用いると、比較例に比べて、切
断速度が速く、また使用の寿命が長くなることが確認さ
れた。
［発明の効果］ 以上説明したように、この発明のワイヤソー用ワイヤに
は、高い硬度を有するダイヤモンド被膜または炭素質被
膜が設けられているため、従来のワイヤソー用ワイヤに
比べ、耐摩耗性に優れている。したがって、切断速度を
著しく速くすることができ、また被加工物への機械的な
歪の導入を抑制することができる。さらに、この発明に
おいて金属線の表面に設けられるダイヤモンド被膜およ
び炭素質被膜は、熱伝導性が優れているため、切断の際
生じる摩擦熱が該被膜によって速やかに除去される。こ
れにより、ワイヤ自身の長寿命化を図ることができ、さ
らに被加工物への熱的な影響を抑制することができる。
は、高い硬度を有するダイヤモンド被膜または炭素質被
膜が設けられているため、従来のワイヤソー用ワイヤに
比べ、耐摩耗性に優れている。したがって、切断速度を
著しく速くすることができ、また被加工物への機械的な
歪の導入を抑制することができる。さらに、この発明に
おいて金属線の表面に設けられるダイヤモンド被膜およ
び炭素質被膜は、熱伝導性が優れているため、切断の際
生じる摩擦熱が該被膜によって速やかに除去される。こ
れにより、ワイヤ自身の長寿命化を図ることができ、さ
らに被加工物への熱的な影響を抑制することができる。
実施例のようにエキシマレーザ光CVD法を用いてダイヤ
モンド被膜または炭素質被膜を形成すると、被膜の生成
温度を低くすることができるため、基材となる高抗張力
金属線の強度を下げることなく被膜を形成させることが
できる。さらに、このようにして製造されたワイヤは切
断の際高い張力で使用することができるため、切断加工
の精度を一段と高めることができる。
モンド被膜または炭素質被膜を形成すると、被膜の生成
温度を低くすることができるため、基材となる高抗張力
金属線の強度を下げることなく被膜を形成させることが
できる。さらに、このようにして製造されたワイヤは切
断の際高い張力で使用することができるため、切断加工
の精度を一段と高めることができる。
第１図は、この発明の一実施例を示す断面図である。第
２図は、この発明の他の実施例を示す断面図である。 図において、１は金属線、２はダイヤモンド被膜または
炭素質被膜、３は中間層を示す。
２図は、この発明の他の実施例を示す断面図である。 図において、１は金属線、２はダイヤモンド被膜または
炭素質被膜、３は中間層を示す。
Claims (4)
- 【請求項１】高抗張力を有する金属線の周囲に、ダイヤ
モンド被膜またはＣを主成分としダイヤモンドに近似し
た硬度を有する炭素質被膜が設けられていることを特徴
とする、ワイヤソー用ワイヤ。 - 【請求項２】前記金属線がFeまたはNiを主成分とし、該
金属線の表面と前記ダイヤモンド被膜または炭素質被膜
との間に、Ti、Cr、Zr、HfおよびTaからなる群より選ば
れた１種もしくは２種以上の金属を主成分とする中間層
が設けられていることを特徴とする、特許請求の範囲第
１項記載のワイヤソー用ワイヤ。 - 【請求項３】前記中間層の厚みが0.05〜１μｍであるこ
とを特徴とする、特許請求の範囲第２項記載のワイヤソ
ー用ワイヤ。 - 【請求項４】前記ダイヤモンド被膜または炭素質被膜
が、エキシマレーザによる光CVD法により形成されたも
のであることを特徴とする、特許請求の範囲第1,2また
は３項のいずれかに記載のワイヤソー用ワイヤ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15547886A JPH0696222B2 (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | ワイヤソ−用ワイヤ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15547886A JPH0696222B2 (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | ワイヤソ−用ワイヤ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6311274A JPS6311274A (ja) | 1988-01-18 |
| JPH0696222B2 true JPH0696222B2 (ja) | 1994-11-30 |
Family
ID=15606927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15547886A Expired - Lifetime JPH0696222B2 (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | ワイヤソ−用ワイヤ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0696222B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IT1391254B1 (it) * | 2008-10-16 | 2011-12-01 | Noor S R L | Filo diamantato perfezionato |
| EP2586557A1 (en) * | 2011-10-26 | 2013-05-01 | Applied Materials Switzerland Sàrl | Saw and sawing element with diamond coating and method for producing the same |
| JP2022189632A (ja) * | 2021-06-11 | 2022-12-22 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | ソーワイヤ用電着線及び金属線、並びに、ソーワイヤ用電着線の製造方法 |
-
1986
- 1986-07-01 JP JP15547886A patent/JPH0696222B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6311274A (ja) | 1988-01-18 |
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