JPH07100533B2 - マガジン装填パ−ツの分離供給装置 - Google Patents
マガジン装填パ−ツの分離供給装置Info
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- JPH07100533B2 JPH07100533B2 JP61224654A JP22465486A JPH07100533B2 JP H07100533 B2 JPH07100533 B2 JP H07100533B2 JP 61224654 A JP61224654 A JP 61224654A JP 22465486 A JP22465486 A JP 22465486A JP H07100533 B2 JPH07100533 B2 JP H07100533B2
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- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
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Description
【発明の詳細な説明】 Ｉ）…産業上の利用分野 本発明は、現在各種電子部品のパッケージ用として広く
用いられているステックタイプの管状のマガジン（主と
してプラスチック成形製の管材、パイプ材、チュウブ
材、若しくは、チャンネル材など）に、１列に整列装填
された各種電子部品その他のパーツ（物品）を、該マガ
ジンから、目的使用のために、１個宛分離供給する、マ
ガジン装填パーツの分離供給装置に係るものである。
用いられているステックタイプの管状のマガジン（主と
してプラスチック成形製の管材、パイプ材、チュウブ
材、若しくは、チャンネル材など）に、１列に整列装填
された各種電子部品その他のパーツ（物品）を、該マガ
ジンから、目的使用のために、１個宛分離供給する、マ
ガジン装填パーツの分離供給装置に係るものである。
II）…従来の技術とその課題 （１）…従来、上記ステックタイプのマガジンは、主と
して、各種電子部品を整列装填して、保管、運搬し、そ
して、例えば、プリント基板等に該部品を実装するため
に、自動マウント装置に付設した分離供給装置にセット
されて、該マガジンから部品を１個宛分離供給し、それ
を適宜基板上に実装（マウント）することに用いられて
いる。
して、各種電子部品を整列装填して、保管、運搬し、そ
して、例えば、プリント基板等に該部品を実装するため
に、自動マウント装置に付設した分離供給装置にセット
されて、該マガジンから部品を１個宛分離供給し、それ
を適宜基板上に実装（マウント）することに用いられて
いる。
而して、マガジン１に装填される電子部品Ｐは、テーピ
ングに不向きな立体的、変形的なもの等、多種多様であ
って、例えば下記（２）に記載のようなものが挙げられ
るが、また、該部品の多様性、従って形状及び大きさの
多様性に対応して、マガジンの形状（主に、横断面形
状）及び太さ等も、部品に合わせて種々のものが用いら
れている。（第２図の（イ）、（ロ）、（ハ）参照） （２）…マガジン装填される電子部品の例 IC、LSI、コイル、スイッチ、フィルター、角形チップ
部品、ダイオード、トランジスタ、抵抗、トランス、メ
ルフ部品、ボリューム、ハイブリットIC等。
ングに不向きな立体的、変形的なもの等、多種多様であ
って、例えば下記（２）に記載のようなものが挙げられ
るが、また、該部品の多様性、従って形状及び大きさの
多様性に対応して、マガジンの形状（主に、横断面形
状）及び太さ等も、部品に合わせて種々のものが用いら
れている。（第２図の（イ）、（ロ）、（ハ）参照） （２）…マガジン装填される電子部品の例 IC、LSI、コイル、スイッチ、フィルター、角形チップ
部品、ダイオード、トランジスタ、抵抗、トランス、メ
ルフ部品、ボリューム、ハイブリットIC等。
（３）…上記マガジンに装填された電子部品を、上記例
その他の目的のために使用せんとする場合には、当然、
マガジン内から電子部品を分離供給する必要があるが、
従来は主として、 （ａ）第３図の如く、マガジン１を振動（バイブレータ
ー）式パーツフィーダー２上にセットし、振動によって
電子部品Ｐをマガジンの一方端部に向ってゾロゾロと整
列前進送給し、ストッパー６に衝突停止した最前位の部
品Ｐから順に１個宛、吸着ヘッド３に吸着支持して、目
的位置へ分離供給する。
その他の目的のために使用せんとする場合には、当然、
マガジン内から電子部品を分離供給する必要があるが、
従来は主として、 （ａ）第３図の如く、マガジン１を振動（バイブレータ
ー）式パーツフィーダー２上にセットし、振動によって
電子部品Ｐをマガジンの一方端部に向ってゾロゾロと整
列前進送給し、ストッパー６に衝突停止した最前位の部
品Ｐから順に１個宛、吸着ヘッド３に吸着支持して、目
的位置へ分離供給する。
この方式は、長いマガジンの全体につき均等に振動を伝
達することが困難であるため、電子部品Ｐの送給に不斉
を生じ、ために送給される速度が変化したり、整列部品
Ｐ間に空きが生じたり、マガジン１の後方部の部品Ｐが
とり残されたりする欠点があった。
達することが困難であるため、電子部品Ｐの送給に不斉
を生じ、ために送給される速度が変化したり、整列部品
Ｐ間に空きが生じたり、マガジン１の後方部の部品Ｐが
とり残されたりする欠点があった。
（ｂ）上記欠点をなくすために、第４図示の如く、マガ
ジン１の後方部を曲げ起して、それによる電子部品Ｐの
自動落下と振動が共働するようにしたものもあるが、マ
ガジン１を曲成することにより部品Ｐの形状によっては
送給に支障をきたすものもあり、また、マガジンの設置
がスペース的な制約をうける等の難点があった。
ジン１の後方部を曲げ起して、それによる電子部品Ｐの
自動落下と振動が共働するようにしたものもあるが、マ
ガジン１を曲成することにより部品Ｐの形状によっては
送給に支障をきたすものもあり、また、マガジンの設置
がスペース的な制約をうける等の難点があった。
（ｃ）そして、何れにしても、バイブレーター方式のも
のは、マガジン１内の電子部品Ｐが振動によって相互に
こすれ合って傷が付き、また静電気が発生する等の欠点
があった。
のは、マガジン１内の電子部品Ｐが振動によって相互に
こすれ合って傷が付き、また静電気が発生する等の欠点
があった。
（ｄ）また、第５図示の如く、マガジン１の後端部から
ロッド４等を挿入して電子部品Ｐを順に押し出す方式の
ものもあるが、これは、電子部品が相互に押圧接される
ので、接触摩擦が大きく、吸着ヘッド３で取り出しにく
いとか、ロッド等を操作するための装置と、特にそのス
ペースが必要となる等の課題があった。
ロッド４等を挿入して電子部品Ｐを順に押し出す方式の
ものもあるが、これは、電子部品が相互に押圧接される
ので、接触摩擦が大きく、吸着ヘッド３で取り出しにく
いとか、ロッド等を操作するための装置と、特にそのス
ペースが必要となる等の課題があった。
III）…課題を解決する手段 本発明は上記従来の課題を全て解消した、全く革新的な
マガジン装填パーツの分離供給装置を開発したものであ
る。
マガジン装填パーツの分離供給装置を開発したものであ
る。
即ち、本発明は、 内部に電子部品その他の各種パーツを１列に整列装填し
た管状のマガジンと、任意の移動手段にて移動自在なバ
ッキューム式の吸引吸着ヘッドを備え、 両端を開口した状態で設置したマガジンの一方端開口部
に、吸引吸着ヘッドを当接乃至一部挿入して気密状態に
設置してなり、 上記のように設置した吸引吸着ヘッドの吸引吸気力によ
り、該吸引吸着ヘッドにマガジンの他方端方向からパー
ツを１個宛吸引吸着支持し、該吸引吸着ヘッドを移動手
段で目的位置に移動して、マガジン内のパーツを１個宛
分離供給するように設けたことを特徴とする、マガジン
装填パーツの分離供給装置によって課題を解決したもの
である。
た管状のマガジンと、任意の移動手段にて移動自在なバ
ッキューム式の吸引吸着ヘッドを備え、 両端を開口した状態で設置したマガジンの一方端開口部
に、吸引吸着ヘッドを当接乃至一部挿入して気密状態に
設置してなり、 上記のように設置した吸引吸着ヘッドの吸引吸気力によ
り、該吸引吸着ヘッドにマガジンの他方端方向からパー
ツを１個宛吸引吸着支持し、該吸引吸着ヘッドを移動手
段で目的位置に移動して、マガジン内のパーツを１個宛
分離供給するように設けたことを特徴とする、マガジン
装填パーツの分離供給装置によって課題を解決したもの
である。
IV）…実施例 次に本発明の実施例を図面（第１図）につき説明する
と、 内部に電子部品その他の各種パーツＰを１列に整列装填
した管状のマガジン１と、任意の移動手段にて移動自在
なバッキューム式の吸引吸着ヘッド５を備え、 両端を開口した状態で設置したマガジン１の一方端開口
部に、吸引吸着ヘッド５を当接乃至一部挿入して気密状
態に設置してなり、 上記のように設置した吸引吸着ヘッド５の吸引吸気力に
より、該吸引吸着ヘッド５にマガジン１の他方端方向か
らパーツＰを１個宛吸引吸着支持し、該吸引吸着ヘッド
５を移動手段で目的位置に移動して、マガジン１内のパ
ーツＰを１個宛分離供給するようにして、本発明のマガ
ジン装填パーツの分離供給装置を設けたものである。
と、 内部に電子部品その他の各種パーツＰを１列に整列装填
した管状のマガジン１と、任意の移動手段にて移動自在
なバッキューム式の吸引吸着ヘッド５を備え、 両端を開口した状態で設置したマガジン１の一方端開口
部に、吸引吸着ヘッド５を当接乃至一部挿入して気密状
態に設置してなり、 上記のように設置した吸引吸着ヘッド５の吸引吸気力に
より、該吸引吸着ヘッド５にマガジン１の他方端方向か
らパーツＰを１個宛吸引吸着支持し、該吸引吸着ヘッド
５を移動手段で目的位置に移動して、マガジン１内のパ
ーツＰを１個宛分離供給するようにして、本発明のマガ
ジン装填パーツの分離供給装置を設けたものである。
（１）、本発明装置は上記のように吸引吸着ヘッド５の
バッキューム吸引力を利用するものであるから、当然、
マガジンは管状（管、パイプ、チュウブ等）のものでな
ければならない。
バッキューム吸引力を利用するものであるから、当然、
マガジンは管状（管、パイプ、チュウブ等）のものでな
ければならない。
従って、チャンネル状など周面の一部が長手方向スリッ
トその他で明いているものの場合は、そこをテープ等で
塞いで管状に形成する。
トその他で明いているものの場合は、そこをテープ等で
塞いで管状に形成する。
（２）、マガジン内のパーツＰを、一方開口部に気密に
設置した吸引吸着ヘッド５の吸引吸気力により吸引吸着
する場合、マガジンの他方端の方も開口していないと吸
気できないので、そこに蓋等がしてあるときは取り外す
などして、その全部若しくは一部を開口して、吸気可能
に備える。
設置した吸引吸着ヘッド５の吸引吸気力により吸引吸着
する場合、マガジンの他方端の方も開口していないと吸
気できないので、そこに蓋等がしてあるときは取り外す
などして、その全部若しくは一部を開口して、吸気可能
に備える。
（３）、マガジンに装填するパーツＰとして各種電子部
品を挙げたが、パーツ（物品）Ｐは各種電子部品に限定
されるものではなく、ステックタイプの管状のマガジン
１に整列装填可能であって、該マガジンから目的使用の
ために分離供給することに効用を認められるものであれ
ば、どのような物品でも対象となる。
品を挙げたが、パーツ（物品）Ｐは各種電子部品に限定
されるものではなく、ステックタイプの管状のマガジン
１に整列装填可能であって、該マガジンから目的使用の
ために分離供給することに効用を認められるものであれ
ば、どのような物品でも対象となる。
例えば、各種電子部品の他、各種のプレス成形小型パー
ツ、各種のプラスチック製小形パーツ等が挙げられる。
ツ、各種のプラスチック製小形パーツ等が挙げられる。
（４）、本発明における吸引吸着ヘッド５は、上記従来
例が、単に、振動式パーツフィーダーで振動送給されて
ストッパー６位置にある電子部品Ｐを、吸着ヘッド３で
吸い付け支持して、目的位置へ移動するものであるのと
は全く相違したものである。
例が、単に、振動式パーツフィーダーで振動送給されて
ストッパー６位置にある電子部品Ｐを、吸着ヘッド３で
吸い付け支持して、目的位置へ移動するものであるのと
は全く相違したものである。
即ち、本発明吸引吸着ヘッド５は、マガジン１の一方端
部に備えて、具体的には、マガジン１の一方端開口部に
当接乃至一部挿入して気密状態に設置し、その位置で強
力に吸気して、マガジン１内においてパーツＰの位置が
該ヘッド５に近接しているときはもとより、遠隔してい
るときでも、強力な吸引力で強引に吸いよせて吸着し、
支持するように設けたものである。
部に備えて、具体的には、マガジン１の一方端開口部に
当接乃至一部挿入して気密状態に設置し、その位置で強
力に吸気して、マガジン１内においてパーツＰの位置が
該ヘッド５に近接しているときはもとより、遠隔してい
るときでも、強力な吸引力で強引に吸いよせて吸着し、
支持するように設けたものである。
（５）、吸引吸着ヘッド５は、上記のようにマガジン内
のパーツＰに対し、強力な吸引力を作用するものである
から、例えば、その前部をマガジンの一方端開口部（の
横断面形状）に見合って形成し、該前部をマガジンの一
方端開口部に当接乃至一部挿入して気密状態に設置する
ように設ける。
のパーツＰに対し、強力な吸引力を作用するものである
から、例えば、その前部をマガジンの一方端開口部（の
横断面形状）に見合って形成し、該前部をマガジンの一
方端開口部に当接乃至一部挿入して気密状態に設置する
ように設ける。
（６）、また、マガジン１内のパーツＰは、吸引吸着ヘ
ッド５で吸引されると、相当なスピードで吸い寄せられ
て吸引吸着ヘッド５の前部に衝突することとなるので、
例えば、吸引吸着ヘッド５の前部にゴム等の衝突緩衝性
素材を用いて、パーツに損傷を与えないようにする。
ッド５で吸引されると、相当なスピードで吸い寄せられ
て吸引吸着ヘッド５の前部に衝突することとなるので、
例えば、吸引吸着ヘッド５の前部にゴム等の衝突緩衝性
素材を用いて、パーツに損傷を与えないようにする。
（７）、吸引吸着ヘッド５の目的位置への移動その他の
移動手段は、従来の吸着ヘッドの移動手段と略同様のも
ので足りる。
移動手段は、従来の吸着ヘッドの移動手段と略同様のも
ので足りる。
IV）…作用 パーツＰを装填したマガジン１を、その両端を開口した
状態で設定位置にセットし、吸引吸着ヘッド５をその一
方端開口部に当接乃至一部挿入して気密状態に設置して
バッキューム吸引すると、マガジン１内の最前位のパー
ツＰだけが吸引されてマガジン１内を走行し、吸引吸着
ヘッド５に吸着支持される。
状態で設定位置にセットし、吸引吸着ヘッド５をその一
方端開口部に当接乃至一部挿入して気密状態に設置して
バッキューム吸引すると、マガジン１内の最前位のパー
ツＰだけが吸引されてマガジン１内を走行し、吸引吸着
ヘッド５に吸着支持される。
よって、該吸引吸着ヘッド５を適宜の移動手段で目的位
置へ移動して、所期のパーツ１個宛分離供給を行うもの
である。
置へ移動して、所期のパーツ１個宛分離供給を行うもの
である。
而して、マガジン１内のパーツＰは、手前側（吸引吸着
ヘッド５に最も近いもの）から１個宛順に吸引され吸着
支持され、そして、遠隔した位置のパーツも確実に吸引
吸着支持されて、分離供給されることとなる。
ヘッド５に最も近いもの）から１個宛順に吸引され吸着
支持され、そして、遠隔した位置のパーツも確実に吸引
吸着支持されて、分離供給されることとなる。
Ｖ）…効果 （１）…以上のように、本発明装置によれば、従来の如
く振動式パーツフィーダー等を用いず、また、ロッド押
し出し方式等も用いないので、それらを用いることによ
る前記従来の課題を全て解消し得る。
く振動式パーツフィーダー等を用いず、また、ロッド押
し出し方式等も用いないので、それらを用いることによ
る前記従来の課題を全て解消し得る。
（２）…吸引吸着ヘッドによって、最前位のパーツから
順番に１番宛吸引吸着支持して分離供給することを極め
て正確に行い得る特長があり、特に、吸引、吸着支持方
式であるので、必ず１個宛（２個同時に吸引、吸着する
ことが不可能であるため。）に分離供給し得る利点があ
り、この点、従来の如くパーツ相互が列をなし接触し合
いつつ送給されてくる状態において１個宛分離するのと
異なり、分離作用時にトラブルを生じることがない。
順番に１番宛吸引吸着支持して分離供給することを極め
て正確に行い得る特長があり、特に、吸引、吸着支持方
式であるので、必ず１個宛（２個同時に吸引、吸着する
ことが不可能であるため。）に分離供給し得る利点があ
り、この点、従来の如くパーツ相互が列をなし接触し合
いつつ送給されてくる状態において１個宛分離するのと
異なり、分離作用時にトラブルを生じることがない。
（３）…上記の如く、各種電子部品に限らず、種々のパ
ーツ（物品）につき、有効に適用可能な利点がある。
ーツ（物品）につき、有効に適用可能な利点がある。
第１図は本発明装置の構成略図、 第２図の（イ）、（ロ）、（ハ）は管状のマガジンの一
例の斜視図、及び、それに装填される電子部品の斜視
図、 第３図、 第４図、及び、 第５図は、従来装置の構成略図である。 符号 Ｐ……パーツ（例、各種電子部品） １……マガジン ５……吸引吸着ヘッド ２……従来装置の振動式パーツフィーダー ３……従来装置の吸着ヘッド ４……従来装置のロッド ６……従来装置のストッパー
例の斜視図、及び、それに装填される電子部品の斜視
図、 第３図、 第４図、及び、 第５図は、従来装置の構成略図である。 符号 Ｐ……パーツ（例、各種電子部品） １……マガジン ５……吸引吸着ヘッド ２……従来装置の振動式パーツフィーダー ３……従来装置の吸着ヘッド ４……従来装置のロッド ６……従来装置のストッパー
Claims (5)
- 【請求項１】内部に電子部品その他の各種パーツを１列
に整列装填した管状のマガジンと、任意の移動手段にて
移動自在なバッキューム式の吸引吸着ヘッドを備え、 両端を開口した状態で設置したマガジンの一方端開口部
に、吸引吸着ヘッドを当接乃至一部挿入して気密状態に
設置してなり、 上記のように設置した吸引吸着ヘッドの吸引吸気力によ
り、該吸引吸着ヘッドにマガジンの他方端方向からパー
ツを１個宛吸引吸着支持し、該吸引吸着ヘッドを移動手
段で目的位置に移動して、マガジン内のパーツを１個宛
分離供給するように設けたことを特徴とする、 マガジン装填パーツの分離供給装置。 - 【請求項２】マガジンは管状のもの、若しくは、チャン
ネル状など周面の一部が長手方向スリットその他で明い
ているものの場合は、そこをテープ等で塞いで管状に形
成したものである、 特許請求の範囲第１項記載のマガジン装填パーツの分離
供給装置。 - 【請求項３】内部に電子部品その他の各種パーツを１列
に整列装填した管状のマガジンの、吸引吸着ヘッドを設
置する一方端部と反対側の他方端部の、全部若しくは一
部を開口して設置したものである、 特許請求の範囲第１項記載のマガジン装填パーツの分離
供給装置。 - 【請求項４】吸引吸着ヘッドの前部を管状のマガジンの
一方端開口部の形状に見合って形成し、該前部をマガジ
ン開口端に密に当接し若しくは一部嵌合して気密状態に
設置するように設けた、 特許請求の範囲第１項記載のマガジン装填パーツの分離
供給装置。 - 【請求項５】吸引吸着ヘッドの前部に衝突緩衝性素材を
用いて、パーツに損傷を与えないように設けた、 特許請求の範囲第１項記載のマガジン装填パーツの分離
供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61224654A JPH07100533B2 (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 | マガジン装填パ−ツの分離供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61224654A JPH07100533B2 (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 | マガジン装填パ−ツの分離供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6382218A JPS6382218A (ja) | 1988-04-13 |
| JPH07100533B2 true JPH07100533B2 (ja) | 1995-11-01 |
Family
ID=16817110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61224654A Expired - Fee Related JPH07100533B2 (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 | マガジン装填パ−ツの分離供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07100533B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS589664B2 (ja) * | 1974-08-01 | 1983-02-22 | イズミ マサヒコ | フカツセイキタイシヨウニヨル シヨウユジヨウゾウホウホウ |
| JPS57131626A (en) * | 1981-02-02 | 1982-08-14 | Hitachi Ltd | Apparatus for feeding work |
-
1986
- 1986-09-22 JP JP61224654A patent/JPH07100533B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6382218A (ja) | 1988-04-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |