JPH07110456B2 - ウエ−ハの接着方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ワックスによってウェーハをキャリアプレー
トに接着するウェーハの接着方法に関する。

〔従来の技術〕

一般、ウェーハの表面を鏡面仕上げする場合には、ウェ
ーハをキャリアプレートの端面にワックスによって貼着
して行なうようにしている。例えば、ウェーハの表面に
溶融したワックスを塗布した後、該ウェーハをキャリア
プレート上に押圧して接着して、全面均一な接着面を得
るようにしている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、このようにして、ウェーハをキャリアプ
レートに接着した状態のままで放置しておくと、ウェー
ハとキャリアプレートとの間に介在するワックスが固化
収縮するが、この収縮の割合がウェーハの各部において
異なるために、ウェーハに歪が生じるという問題があ
る。また、キャリアプレートとウェーハとをワックスで
接着する際に、キャリアプレートとウェーハとの間に気
泡が介在し易く、この気泡のために全面均一な接着面を
得るのが難しいという問題がある。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目的
とするところは、キャリアプレートに接着されたウェー
ハに生じる歪を除くことができると共に、キャリアプレ
ートとウェーハとの間に気泡が生じることがなく、かつ
全面均一な接着面を得ることができ、従って、後工程で
あるウェーハの研摩を円滑に行なうことができるウェー
ハの接着方法を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本発明は、ウェーハをキャ
リアプレートに押圧接触させた後、該ウェーハを所定角
度回動させるものである。

〔作用〕

本発明のウェーハの接着方法にあっては、ウェーハをキ
ャリアプレートに押圧接触した場合、ウェーハとキャリ
アプレートとの間に介在したワックスが冷却し、粘度が
高くなった時点で、ウェーハを回動させて該ウェーハの
歪を除去し、かつ気泡を外部に追い出す。

〔実施例〕

以下、第１図ないし第６図に基づいて本発明の一実施例
を説明する。

第５図と第６図はウェーハの捻り装置の一例を示すもの
で、第５図は正面図、第６図は平面図である。このウェ
ーハの捻り装置は、基台１上に、第５図において、左か
ら右へ下るように傾斜して設置された傾斜テーブル２
と、この傾斜テーブル２の右端側に設置されたキャリア
プレート昇降機構３と、上記傾斜テーブル２上に立設さ
れた捻り機回転機構４と、この捻り機回転機構４に支持
された捻り機５とを主体として構成されている。

上記傾斜テーブル２には、その長手方向（傾斜方向）に
沿って一対の平行な搬送ローラ列20が設けられると共
に、該両搬送ローラ列20の側方の適宜位置には、案内ロ
ーラ21が設置されている。そして、これらの搬送ローラ
列20及び案内ローラ21により、ウェーハＷを接着したキ
ャリアプレートCPが移送されるようになっている。ま
た、上記傾斜テーブル２の右端部の、上記キャリアプレ
ート昇降機構３の近傍には、衝撃吸収機構22及び一対の
ストッパ23が設置されている。

上記キャリアプレート昇降機構３は、基台１に固定され
たシリンダ30と、このシリンダ30及びガイド機構（図示
せず）により上下方向に移動自在に支持された上下テー
ブル31と、この上下テーブル31上に適宜配置され、かつ
上記傾斜テーブル２から出没してキャリアプレートCPを
持上げる７個のクッション材32とから構成されている。

上記捻り機回転機構４は、上記傾斜ケーブル２上に立設
した支柱40の上端に、取付板41が回転自在に、かつ所定
角度毎に（第６図において120°度毎に）位置決め停止
するように取付けられている。そして、上記取付板41
は、円板を等間隔に３箇所切欠いて形成されたもので、
これらの切欠部には、上記捻り機５がそれぞれ取付けら
れている。

上記各捻り機５は、それぞれ、４インチ、５インチ、６
インチ径のウェーハＷを捻るためのもので、４インチ径
のウェーハＷは、キャリアプレートCP上に８枚ないし７
枚接着され、同様に、５インチ、６インチ径のウェーハ
Ｗは、それぞれ、キャリアプレートCP上に６枚ないし５
枚、４枚ないし３枚接着されている。そして、各捻り機
５は、それぞれ同様の構成を有するものであり、代表と
して５インチ径のウェーハＷのものについて第１図ない
し第４図を参照して説明する。

上記５インチ径ウェーハＷ用の捻り機５は、上記取付板
41上にブラケット50を介して取付けられたシリンダ51
と、このシリンダ51のピストンロッド51aに連結され、
かつ取付板41及びガイド軸受52を貫通して、該ガイド軸
受52によって上下に摺動自在に支持された中心軸53と、
この中心軸53の先端に取付けられ、かつ上記取付板41に
対向して接近、離反し得るように配置された台板54と、
上記取付板41に上端を固定し、かつ下端を、上記台板54
上のガイド軸受55に摺動自在に嵌合したスライド軸56
と、上記中心軸53の中間部に軸受57を介して回転自在に
装着された駆動歯車58と、この駆動歯車58の下面に取付
けられた捻りアーム59と、この捻りアーム59に穿設され
た複数の孔59aのうちの一つ及び上記台板54の上面に固
定されたシリンダ受具60の間に回動自在に連結されたシ
リンダ61と、上記駆動歯車58から台板54を貫通して下方
に至る位置まで配設された３種類の押圧回動機構62,63,
64とを主体として構成されている。そして、上記押圧回
動機構62は、上記駆動歯車58に噛合された従動歯車65
と、この従動歯車65をスプリングピン66を介して装着し
た支持軸67と、この支持軸67を軸線回りに回動自在にか
つ上下に摺動自在に支持すると共に、台板54に穿設した
円弧状の２種の長孔54a,54bに嵌め込まれたガイド軸受6
8と、上記台板54にピン69を介して回動自在に連結さ
れ、かつ上記ガイド軸受68を各長孔54a,54bに沿って該
ピン69を中心にして回動させる回動アーム70,71と、該
各回動アーム70,71の中間部に回動自在に取付けたピン7
2及び、上記台板54の上面に取付けたブラケット73の間
に回動自在に連結され、かつ上記各回動アーム70,71を
駆動するシリンダ74,75と、上記支持軸67の下端に取付
けられたシリコンゴム製で孔76a付の吸着パッド（押圧
部）76と、この吸着パッド76の上部に装着されたウェイ
ト77とから構成されている。上記スプリングピン66は、
従動歯車65と支持軸67との間に過大なトルクが生じた場
合に、両者の係合関係を解除するものである。また、上
記各長孔54a,54bに嵌合されたガイド軸受68が、該各長
孔54a,54bの両端に位置する場合において、ガイド軸受6
8に嵌め込まれた支持軸67の上端の従動歯車65が駆動歯
車58に確実に噛合するようになっている。

さらに、上記押圧回動機構63は、上記支持軸67の上端に
エンドプレート78が連結され、かつこのエンドプレート
78に、上下に所定長さ遊動を許容する形態で、断面略逆
Ｕ字状の係止金具79が係合されると共に、この係止金具
79が、上記台板54上にブラケット80を介して設置したシ
リンダ81のピストンロッド81aの下端に連結される一
方、支持軸67を支持するガイド軸受68が台板54に固定さ
れたものであり、その他の構成は上記押圧回動機構62と
同様なので同符号を付して説明を省略する。また、上記
押圧回動機構64も、支持軸67を支持するガイド軸受68が
台板54に固定されたものであり、その他の構成は上記押
圧回動機構62と同様なので同符号を付けて説明を省略す
る。

上記のように構成された捻り装置を用いて、本発明の方
法を実施する場合、すなわち、キャリアプレートCP上に
ワックスにより接着されたウェーハＷを捻る場合には、
まず、ウェーハＷの径（4,5,6インチ）に応じて、キャ
リアプレート昇降機構３の上方に、捻り機回転機構４に
よって所定の捻り機５を位置させる。ここで、捻るウェ
ーハＷの径を５インチすると、上述したように５インチ
用の捻り機５が上記キャリアプレート昇降機構３の上方
に対向配置される。それと共に、キャリアプレートCP上
のウェーハＷの枚数（６枚、５枚）に応じて各シリンダ
74,75を作動させ、各回動アーム70,71を介して、４個の
ガイド軸受68を各長孔54a,54bの両端部のうち一方の端
部に位置させる。すなわち、ウェーハＷの枚数が６枚の
場合には、第２図において、６個の従動歯車65が駆動歯
車58の回りに等間隔に位置するように配設される。ま
た、ウェーハＷの枚数が５枚の場合には、第２図におい
て、最下部の従動歯車65を除く５枚の従動歯車65が、駆
動歯車58の周りに等間隔に位置するように配設される。
この場合、上記最下部の従動歯車65を有する押圧回動機
構63は、第４図において、シリンダ81のピストンロッド
81aの先端の係止金具79を引き上げることにより、エン
ドプレート78とともに支持軸67を持ち上げて、支持軸67
の下端の吸着パッド76を、他の押圧回動機構62,62,62,6
2,64の各吸着パッド76より高く位置させる。さらに、シ
リンダ61のピストンロッドの先端を、駆動歯車58に取付
けた捻りアーム59の複数の孔59aのうちの一つに連結す
ることにより、各吸着パッド76の捻り角度（例えば、30
°〜16°）を調整する。

この状態において、第６図の左方から、所定数のェーハ
Ｗを所定位置にワックスによって接着載置したキャリア
プレートCPを、一対の搬送ローラ列20上に載せ、かつ両
側部の案内ローラ21に案内させて、傾斜テーブル２の右
端まで移送してくる。そして、衝撃吸収機構22と一対の
ストッパ23とによって、キャリアプレート昇降機構３の
上方の傾斜テーブル２上に上記キャリアプレートCPが停
止すると、キャリアプレート昇降機構３のシリンダ30に
よって、上下テーブル31を上昇させ、上下テーブル31上
のクッション材32を介してキャリアプレートCPを持ち上
げる一方、捻り機５のシリンダ51により、中心軸53とと
もに台板54を下降させて、押圧回動機構62,63,64の各吸
着パッド76をキャリアプレートCP上の各ウェーハＷに接
触させる。この場合、上記各吸着パッド76は、その上部
に取付けたウェイト77により、ウェーハＷの上面に押し
付けられる。

次いで、上記シリンダ61を作動させることにり、駆動歯
車58を所定角度回動させる。この結果、該駆動歯車58に
噛合されている各従動歯車65が所要の捻り角度回動する
ことによって、各従動歯車65を装着している支持軸67
が、その下端の吸着パッド76とともに、上記捻り角度だ
け回動する。従って、該各吸着パッド76によって、各ウ
ェーハＷが所要の角度だけ捻られる。これにより、キャ
リアプレートCPとウェーハＷとの間のワックスの収縮に
よるウェーハＷの歪が除去されると共に、キャリアプレ
ートCPとウェーハＷとの間に介在している気泡が外部に
追い出される。この場合、ウェーハＷは、シリンダ61の
ピストンロッドを往復移動させることにより、１回ない
し複数回捻ると共に、捻る時期は、ウェーハＷとキャリ
アプレートCPとの間に介在したワックスが冷却され、粘
度が増した時点からワックスが固化する直前までが望ま
しい。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、ウェーハをキャ
リアプレートに押圧接触した後に、該ウェーハを所定角
度回動させるものであるから、ウェーハに生じるワック
スによる歪を除去することができると共に、キャリアプ
レートとウェーハとの間に気泡が生じることなく、全面
均一な接着面を得ることができ、従って、ウェーハの研
摩を円滑に行なうことができるという優れた効果を有す
る。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第６図は本発明の一実施例を示すもので、
第１図は捻り機の正面図、第２図は同平面図、第３図は
第２図のIII-III線矢視図、第４図は第２図のIV-IV線矢
視図、第５図は全体構成を示す正面図、第６図は同平面
図である。 Ｗ……ウェーハ、CP……キャリアプレート。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ワックスによってウェーハをキャリアプレ
   ートに接着するウェーハの接着方法において、ウェーハ
   をキャリアプレートに押圧接触させた後、該ウェーハを
   所定角度回動させることを特徴とするウェーハの接着方
   法。