JPH071206B2 - 高感度多波長分光装置 - Google Patents
高感度多波長分光装置Info
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- JPH071206B2 JPH071206B2 JP1208744A JP20874489A JPH071206B2 JP H071206 B2 JPH071206 B2 JP H071206B2 JP 1208744 A JP1208744 A JP 1208744A JP 20874489 A JP20874489 A JP 20874489A JP H071206 B2 JPH071206 B2 JP H071206B2
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- diffraction grating
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、生物発光、化学発光、励起光による極微弱蛍
光等の可視領域近から赤外に至る微弱光のスペクトル分
析をすることができる高感度多波長分光装置に関する。
光等の可視領域近から赤外に至る微弱光のスペクトル分
析をすることができる高感度多波長分光装置に関する。
近年、生物発光、化学発光、励起光による極微弱蛍光等
の極微弱発光が注目されている。このような極微弱光の
分光分析を行うためには、できるだけ光の損失を少なく
して測定することが望ましい。そのためには、光束利用
率（スループット）を大きくするために射出立体角を大
きくとれる光学系にして、一度に多数の波長を測定する
同時測光の優位性を有する検出系がよい。すなわち、コ
リメータ系、集光系とも明るい光学系を採用するととも
に、波長走査を行わないで同時に多波長のスペクトル分
析ができるポリクロメーターの設計思想をとり入れた高
感度多波長分光装置が必要である。しかしながら、従来
の分光装置にあってはこの要求を満足するものはなかっ
た。従来の回折格子を用いた分光器は、基本的にモノク
ロメーターであるため、入射スリットと出射スリットが
必須であり、そのため波長走査が必要となり、そのとき
出射スリット以外の光は捨ててしまっているため、同時
測光の優位性はない。また、出射面にスペクトル分布を
検出する１次元又は２次元光分布検出器を配する構成と
なっていないため、単に出射スリットをはずして検出器
をつけただけでは、焦点間の問題、収差の問題があり、
うまくいかない。そして、コリメーター系、集光系とも
に反射鏡を軸外しで用ていいるため、収差によるスペク
ル線像の曲がりが生じ、Ｆナンバーはあまり小さくでき
ず、分光器の明るさには限界があり、Ｆ＝３以下のもの
が実用化されていなかった。このような従来の分光器の
反射鏡として放物面鏡を用いて、Ｆ＝１の分光器が最近
開発された。しかしながら、集光鏡（放物面鏡）を軸外
しの状態で用いているため、スペクトル線像が曲がって
しまい、１次元又は２次元光分布検出器を配置して正確
なスペクトル分布を求めることは困難であるという大き
な問題の他、高感度で検出器を用いるため検出面を冷却
する必要が生じ、そのため検出面の結露を防ぐための手
段として、１次元又は２次元光分布検出器の光電面の前
面に比較的厚さのある断熱用の真空チャンバーを配置し
なければならないことから生じる、集光用の放物面鏡の
焦点距離を長くしなければならないという問題がある。
さらに、凹面回折格子を用い、検出器としてアレイ状の
検出器を用いたポリクロメーターが最近販売されたが、
凹面回折格子の直径、曲率半径に限界があるため、明る
さに限界があり不充分である。一方、極微弱発光の分光
分析のために、三画コモンパス干渉計、四角コモンパス
干渉計、複屈折偏光干渉計等を用いた静止型干渉分光法
を利用することが提案されているが、その後の検討の結
果、発光試料面の面積がとれるので、分光器より明るい
との指摘に疑問が出てきた。また、これらの干渉計にお
いては、従来の分光器より明るい光学系を採用している
が、これは鏡の代わりに、より明るいレンズを使用して
いることによるものであり、干渉計の特性ではない。そ
して、回折格子の横幅より検出器アレイの横幅が小さい
現状では、これらの幅の大きさがそれぞれの分光システ
ムの分解能を決定するものであるところから、静止型干
渉分光法の分解能は分光器より悪く、また、エネルギー
の点からは、分光器の場合、入射スリットの幅を広げる
と分解能は悪くなる代わりにエネルギーはかせげるが、
静止型干渉分光法ではこのようなことはできない。
の極微弱発光が注目されている。このような極微弱光の
分光分析を行うためには、できるだけ光の損失を少なく
して測定することが望ましい。そのためには、光束利用
率（スループット）を大きくするために射出立体角を大
きくとれる光学系にして、一度に多数の波長を測定する
同時測光の優位性を有する検出系がよい。すなわち、コ
リメータ系、集光系とも明るい光学系を採用するととも
に、波長走査を行わないで同時に多波長のスペクトル分
析ができるポリクロメーターの設計思想をとり入れた高
感度多波長分光装置が必要である。しかしながら、従来
の分光装置にあってはこの要求を満足するものはなかっ
た。従来の回折格子を用いた分光器は、基本的にモノク
ロメーターであるため、入射スリットと出射スリットが
必須であり、そのため波長走査が必要となり、そのとき
出射スリット以外の光は捨ててしまっているため、同時
測光の優位性はない。また、出射面にスペクトル分布を
検出する１次元又は２次元光分布検出器を配する構成と
なっていないため、単に出射スリットをはずして検出器
をつけただけでは、焦点間の問題、収差の問題があり、
うまくいかない。そして、コリメーター系、集光系とも
に反射鏡を軸外しで用ていいるため、収差によるスペク
ル線像の曲がりが生じ、Ｆナンバーはあまり小さくでき
ず、分光器の明るさには限界があり、Ｆ＝３以下のもの
が実用化されていなかった。このような従来の分光器の
反射鏡として放物面鏡を用いて、Ｆ＝１の分光器が最近
開発された。しかしながら、集光鏡（放物面鏡）を軸外
しの状態で用いているため、スペクトル線像が曲がって
しまい、１次元又は２次元光分布検出器を配置して正確
なスペクトル分布を求めることは困難であるという大き
な問題の他、高感度で検出器を用いるため検出面を冷却
する必要が生じ、そのため検出面の結露を防ぐための手
段として、１次元又は２次元光分布検出器の光電面の前
面に比較的厚さのある断熱用の真空チャンバーを配置し
なければならないことから生じる、集光用の放物面鏡の
焦点距離を長くしなければならないという問題がある。
さらに、凹面回折格子を用い、検出器としてアレイ状の
検出器を用いたポリクロメーターが最近販売されたが、
凹面回折格子の直径、曲率半径に限界があるため、明る
さに限界があり不充分である。一方、極微弱発光の分光
分析のために、三画コモンパス干渉計、四角コモンパス
干渉計、複屈折偏光干渉計等を用いた静止型干渉分光法
を利用することが提案されているが、その後の検討の結
果、発光試料面の面積がとれるので、分光器より明るい
との指摘に疑問が出てきた。また、これらの干渉計にお
いては、従来の分光器より明るい光学系を採用している
が、これは鏡の代わりに、より明るいレンズを使用して
いることによるものであり、干渉計の特性ではない。そ
して、回折格子の横幅より検出器アレイの横幅が小さい
現状では、これらの幅の大きさがそれぞれの分光システ
ムの分解能を決定するものであるところから、静止型干
渉分光法の分解能は分光器より悪く、また、エネルギー
の点からは、分光器の場合、入射スリットの幅を広げる
と分解能は悪くなる代わりにエネルギーはかせげるが、
静止型干渉分光法ではこのようなことはできない。
以上のように、従来の分光器ないし分光法によっては、
生物発光、化学発光、励起光による極微弱蛍光等の極微
弱光の分光分析、特に同時に多波長のスペクトル分布を
求めることは困難であった。
生物発光、化学発光、励起光による極微弱蛍光等の極微
弱光の分光分析、特に同時に多波長のスペクトル分布を
求めることは困難であった。
したがって、本発明の目的は、上記した従来の分光器な
いし分光法の欠点を克服し、極めて明るく、小型で、生
物発光、化学発光、励起光による極微弱蛍光等の極微弱
光のスペクトル分布を波長走査ないし同時に求めること
ができるポリクロメーターの設計思想による高感度多波
長分光装置を提供することである。
いし分光法の欠点を克服し、極めて明るく、小型で、生
物発光、化学発光、励起光による極微弱蛍光等の極微弱
光のスペクトル分布を波長走査ないし同時に求めること
ができるポリクロメーターの設計思想による高感度多波
長分光装置を提供することである。
本発明の１つの高感度多波長分光装置は、入射光を点状
ないし線状に限定して射出する光学系、この光学系の点
状ないし線状の射出端を焦点としそこから出る光をとり
入れて平行にする明るいコリメーターレンズ、コリメー
ターレンズによって平行にされた光であって法線に対し
て角度をなして入射された光を回折して分光する反射型
回折格子、及び、反射型回折格子によって分光された平
行光を像面上にスペクトル像として結像する結像レンズ
からなる分光器と、結像レンズの像面上に配置された高
感度１次元又は２次元光検出器とから構成され、生物発
光、化学発光等の極微弱な自然発光の分光検出のため
に、反射型回折格子としてブレード回折格子を用い、分
光器の各構成要素を−１次の回折光をスペクトル像とし
てとり出し可能に配置したことを特徴とするものであ
る。
ないし線状に限定して射出する光学系、この光学系の点
状ないし線状の射出端を焦点としそこから出る光をとり
入れて平行にする明るいコリメーターレンズ、コリメー
ターレンズによって平行にされた光であって法線に対し
て角度をなして入射された光を回折して分光する反射型
回折格子、及び、反射型回折格子によって分光された平
行光を像面上にスペクトル像として結像する結像レンズ
からなる分光器と、結像レンズの像面上に配置された高
感度１次元又は２次元光検出器とから構成され、生物発
光、化学発光等の極微弱な自然発光の分光検出のため
に、反射型回折格子としてブレード回折格子を用い、分
光器の各構成要素を−１次の回折光をスペクトル像とし
てとり出し可能に配置したことを特徴とするものであ
る。
また、もう１つの高感度多波長分光装置は、入射光を点
状ないし線状に限定して射出する光学系、この光学系の
点状ないし線状の射出端を焦点としそこから出る光をと
り入れて平行にする明るいコリメーターレンズ、コリメ
ーターレンズによって平行にされた光であって法線に対
して角度をなして入射された光を回折して分光する反射
型回折格子、及び、反射型回折格子によって分光された
平行光を像面上にスペクトル像として結像する結像レン
ズからなる分光器と、結像レンズの像面上に配置された
高感度１次元又は２次元光検出器とから構成され、ラマ
ン散乱、蛍光等の励起光による極微弱発光の分光検出の
ために、反射型回折格子としてブレーズド回折格子を用
い、分光器の各構成要素を＋１次の回折光をスペクトル
像としてとり出し可能に配置したことを特徴とするもの
である。
状ないし線状に限定して射出する光学系、この光学系の
点状ないし線状の射出端を焦点としそこから出る光をと
り入れて平行にする明るいコリメーターレンズ、コリメ
ーターレンズによって平行にされた光であって法線に対
して角度をなして入射された光を回折して分光する反射
型回折格子、及び、反射型回折格子によって分光された
平行光を像面上にスペクトル像として結像する結像レン
ズからなる分光器と、結像レンズの像面上に配置された
高感度１次元又は２次元光検出器とから構成され、ラマ
ン散乱、蛍光等の励起光による極微弱発光の分光検出の
ために、反射型回折格子としてブレーズド回折格子を用
い、分光器の各構成要素を＋１次の回折光をスペクトル
像としてとり出し可能に配置したことを特徴とするもの
である。
これらにおいて、入射光を点状ないし線状に限定して射
出する光学系として、スリットないしピンホールを用い
ることができる。
出する光学系として、スリットないしピンホールを用い
ることができる。
入射光を点状ないし線状に限定して射出する光学系が試
料ないしその像からの光を点状又は線状光源としてコリ
メータレンズに入射させ、コリメータレンズは試料ない
しその像からの光を漏れなく平行度の高い平行光線にし
て反射型回折格子に法線に対して角度をなして入射させ
る。したがって、反射型回折格子はその分解能を十分に
発揮するとともに極微弱光を分光するようになる。ま
た、コリメータレンズと結像レンズとは、反射型回折格
子を極近接して配置できるので、装置の小型化が実現で
きる。そして、コリメータレンズと結像レンズとして、
Ｆナンバーが可能な限り小さい明るいレンズを使用する
ことができるので、両レンズの合成系となる装置全体の
明るさを十分に大きくすることができ、高感度１次元又
は２次元光検出器と組み合わせることにより、生物発
光、化学発光、励起光による極微弱蛍光等の極微弱光の
同時多波長分析が可能になり、特に、生物発光、化学発
光、励起光による極微弱蛍光等を利用した生体、微量成
分の研究手段として有効なものとなる。
料ないしその像からの光を点状又は線状光源としてコリ
メータレンズに入射させ、コリメータレンズは試料ない
しその像からの光を漏れなく平行度の高い平行光線にし
て反射型回折格子に法線に対して角度をなして入射させ
る。したがって、反射型回折格子はその分解能を十分に
発揮するとともに極微弱光を分光するようになる。ま
た、コリメータレンズと結像レンズとは、反射型回折格
子を極近接して配置できるので、装置の小型化が実現で
きる。そして、コリメータレンズと結像レンズとして、
Ｆナンバーが可能な限り小さい明るいレンズを使用する
ことができるので、両レンズの合成系となる装置全体の
明るさを十分に大きくすることができ、高感度１次元又
は２次元光検出器と組み合わせることにより、生物発
光、化学発光、励起光による極微弱蛍光等の極微弱光の
同時多波長分析が可能になり、特に、生物発光、化学発
光、励起光による極微弱蛍光等を利用した生体、微量成
分の研究手段として有効なものとなる。
特に、分光器の各構成要素を−１次元の回折光をスペク
トル像としてとり出し可能に配置したものは、結像レン
ズが損失少なくより多くの回折光を結像させるので、生
物発光、化学発光等の極微弱な自然発光の分光検出に適
している。
トル像としてとり出し可能に配置したものは、結像レン
ズが損失少なくより多くの回折光を結像させるので、生
物発光、化学発光等の極微弱な自然発光の分光検出に適
している。
これに対して、分光器の各構成要素を＋１次の回折光を
スペクトル像としてとり出し可能に配置したものは、迷
光が信号光を隠さず分解能がより高くなるので、ラマン
散乱、蛍光等の励起光による極微弱発光の分光検出に適
している。
スペクトル像としてとり出し可能に配置したものは、迷
光が信号光を隠さず分解能がより高くなるので、ラマン
散乱、蛍光等の励起光による極微弱発光の分光検出に適
している。
生物発光、化学発光、励起光による極微弱蛍光等の極微
弱光を分光分析するためには、試料の発光点からの光を
可能な限り多く分光系に入射させるように光学系を選択
する必要がある。すなわち、光学系が極微弱発光発点を
見込む立体角を可能な限り大きくする必要がある。一
方、分光系によって分光されたスペクトル線像は可能な
限り直線状に結像されなければならない。このような要
求を満足する光学系としては、現在のところ光学ガラス
レンズの組み合わせからなるＦナンバーの小さい光学レ
ンズしかない。光学レンズにおいては、収差のないＦナ
ンバーが１以下のものも容易に入手できる。したがっ
て、本発明においては、このようなＦナンバーの小さい
光学レンズを用いる。そして、この光学レンズによって
平行にされた光束を分光する分光系として反射型の回折
格子を用い、さらに、回折された光を結像して、スペク
トル分布像を与えるためにも明るい光学レンズを用い、
その像面にスペクトル強度分布像を電気的に検出する高
感度１次元又は２次元光検出器を配置して、各波長の光
強度を同時に検出する。
弱光を分光分析するためには、試料の発光点からの光を
可能な限り多く分光系に入射させるように光学系を選択
する必要がある。すなわち、光学系が極微弱発光発点を
見込む立体角を可能な限り大きくする必要がある。一
方、分光系によって分光されたスペクトル線像は可能な
限り直線状に結像されなければならない。このような要
求を満足する光学系としては、現在のところ光学ガラス
レンズの組み合わせからなるＦナンバーの小さい光学レ
ンズしかない。光学レンズにおいては、収差のないＦナ
ンバーが１以下のものも容易に入手できる。したがっ
て、本発明においては、このようなＦナンバーの小さい
光学レンズを用いる。そして、この光学レンズによって
平行にされた光束を分光する分光系として反射型の回折
格子を用い、さらに、回折された光を結像して、スペク
トル分布像を与えるためにも明るい光学レンズを用い、
その像面にスペクトル強度分布像を電気的に検出する高
感度１次元又は２次元光検出器を配置して、各波長の光
強度を同時に検出する。
第１図に本発明の高感度多波長分光装置の基本形態を示
す。この装置は、試料Ｓ上の測定点を点状又は線状に限
定するための光学系としての入射スリット２、入射スリ
ット２位置を焦点とし、そこから出る光を可能な限り多
くとり入れて平行にするＦナンバーの小さいコリメータ
ーレンズ３、コリメーターレンズ３によって平行にされ
た光であって法線に対して角度をなして入射された光を
回折して分光する反射型回折格子４、及び、反射型回折
格子４によって分光された平行光を像面Ｐ上にスペクト
ル像として結像する結像レンス５からなる分光器１と、
スペクトル像面上に配置された高感度１次元又は２次元
光検出器６とから構成されている。反射型回折格子４
は、検出スペクトル範囲を調整するために、点Ｃを中心
として、図示した矢印のように回転調節可能に構成され
ている。
す。この装置は、試料Ｓ上の測定点を点状又は線状に限
定するための光学系としての入射スリット２、入射スリ
ット２位置を焦点とし、そこから出る光を可能な限り多
くとり入れて平行にするＦナンバーの小さいコリメータ
ーレンズ３、コリメーターレンズ３によって平行にされ
た光であって法線に対して角度をなして入射された光を
回折して分光する反射型回折格子４、及び、反射型回折
格子４によって分光された平行光を像面Ｐ上にスペクト
ル像として結像する結像レンス５からなる分光器１と、
スペクトル像面上に配置された高感度１次元又は２次元
光検出器６とから構成されている。反射型回折格子４
は、検出スペクトル範囲を調整するために、点Ｃを中心
として、図示した矢印のように回転調節可能に構成され
ている。
このような、分光装置にあっては、回折格子４の格子間
隔をｄ、回折格子４への入射角をｉ、回折格子４からの
回折角をβ、波長をλ、回折次数をｍとすると、 sin i＋sinβ＝ｍλ/d の関係を満足するように、試料Ｓからの極微弱な入射光
が回折され、高感度１次元又は２次元光検出器６上にス
ペクトル分光された像が結像されるので、高感度１次元
又は２次元光検出器６からの出力を分析し、その像の座
標とその点の像強度を求めることによって、生物発光、
化学発光、励起光による極微弱蛍光等を呈する物体から
の極微弱発光の分光特性を同時に測定することができ
る。ところで、上記式において、ｍ＝−１の関係を満足
させるように、結像レンズ５及び高感度１次元又は２次
元光検出器６を配置する基本タイプ（−１次斜入射分光
型）と、ｍ＝＋１の関係を満足させるように、結像レン
ズ５及び高感度１次元又は２次元光検出器６を配置する
基本タイプ（＋１次斜入射分光型）とがある。第２図
（ａ）に−１次斜入射分光型を、第２図（ｂ）に＋１斜
入射分光型を示す。これらの場合、反射型回折格子４と
してはブレーズド回折格子を用い、図示のように配置す
る。
隔をｄ、回折格子４への入射角をｉ、回折格子４からの
回折角をβ、波長をλ、回折次数をｍとすると、 sin i＋sinβ＝ｍλ/d の関係を満足するように、試料Ｓからの極微弱な入射光
が回折され、高感度１次元又は２次元光検出器６上にス
ペクトル分光された像が結像されるので、高感度１次元
又は２次元光検出器６からの出力を分析し、その像の座
標とその点の像強度を求めることによって、生物発光、
化学発光、励起光による極微弱蛍光等を呈する物体から
の極微弱発光の分光特性を同時に測定することができ
る。ところで、上記式において、ｍ＝−１の関係を満足
させるように、結像レンズ５及び高感度１次元又は２次
元光検出器６を配置する基本タイプ（−１次斜入射分光
型）と、ｍ＝＋１の関係を満足させるように、結像レン
ズ５及び高感度１次元又は２次元光検出器６を配置する
基本タイプ（＋１次斜入射分光型）とがある。第２図
（ａ）に−１次斜入射分光型を、第２図（ｂ）に＋１斜
入射分光型を示す。これらの場合、反射型回折格子４と
してはブレーズド回折格子を用い、図示のように配置す
る。
第２図（ａ）の−１次斜入射分光型及び第２図（ｂ）の
＋１次斜入射分光型分光器におけるコリメーターレンズ
３と結像レンズ５の口径の関係を考えてみる。第３図
（ａ）は−１次斜入射分光型について検討するための光
路図であるが、コリメーターレンズ３の直径Di、回折格
子の幅をｌ、中心波長の回折角をβce、結像レンズ５の
直径をDoとすると、 Di＝lcos i Do＝lsin（2/π−βce）＝lcos βce ところで、このタイプの場合、光検出器６に有効に光が
達するためには、ｉ＜βceであるから、 Di＞Do の条件を満足するように結像レンズ５の口径を選ぶこと
が必要である。同じようにして、第３図（ｂ）の＋１次
斜入射分光型について検討すると、 Di＝lcos i Do＝lcos βce このタイプの場合、光検出器６に有効に光が達するため
には、ｉ＜βceであるから、 Di＜Do の条件を満足するように結像レンズ５の口径を選ぶこと
が必要である。この検討に基づいて、分光すべき光の種
類に応じて何れのタイプを選択すべきかを検討する。−
１次斜入射分光型は、ブレーズド回折格子を第３図
（ａ）に示したように、短い回折面にも入射光が当たる
ように配置しなければならないため、この面から回折光
が生じて迷光となり、バックグラウンド光を増加させ
る。これに対して、＋１次斜入射分光型は、第３図
（ｂ）に示すように、ブレーズド回折格子の短い回折面
には光が当たらないように回折格子が配置されるため、
迷光は生じないが、上記したように結像レンズ５の口径
がコリメーターレンズ３のそれより大きい必要がある。
ところが、本発明の高感度多波長分光装置においては、
コリメーターレンズ３の口径は可能な限り大きなもので
あるので、それ以上の口径のレンズを結像レンズとして
用いることは困難である。したがって、＋１次斜入射分
光型のものは、結像レンズ５としてコリメーターレンズ
３の口径程度のものを用いる場合、損失の大きいものと
いうことができる。以上のとおりであるから、生物発
光、化学発光のような極微弱な自然発光の分光検出のた
めには、−１次斜入射分光型のものが適していると言え
る。これに対して、迷光の影響が重大なラマン散乱、蛍
光等の励起光による極微弱発光の分光においては、多少
のロスはあっても、迷光が信号光を隠さない＋１次斜入
射分光型のものがより適していると言える。なお、当然
ながら、レンズの設計において、自由にコリメーターレ
ンズ、結像レンズの口径、Ｆナンバーが実現できるな
ら、生物発光、化学発光のような極微弱な自然発光の分
光検出のためにも、＋１次斜入射分光型のものがより優
れていると言うことができる。また、分解能をよくする
必要があるときも＋１次斜入射分光型のものがよい。
＋１次斜入射分光型分光器におけるコリメーターレンズ
３と結像レンズ５の口径の関係を考えてみる。第３図
（ａ）は−１次斜入射分光型について検討するための光
路図であるが、コリメーターレンズ３の直径Di、回折格
子の幅をｌ、中心波長の回折角をβce、結像レンズ５の
直径をDoとすると、 Di＝lcos i Do＝lsin（2/π−βce）＝lcos βce ところで、このタイプの場合、光検出器６に有効に光が
達するためには、ｉ＜βceであるから、 Di＞Do の条件を満足するように結像レンズ５の口径を選ぶこと
が必要である。同じようにして、第３図（ｂ）の＋１次
斜入射分光型について検討すると、 Di＝lcos i Do＝lcos βce このタイプの場合、光検出器６に有効に光が達するため
には、ｉ＜βceであるから、 Di＜Do の条件を満足するように結像レンズ５の口径を選ぶこと
が必要である。この検討に基づいて、分光すべき光の種
類に応じて何れのタイプを選択すべきかを検討する。−
１次斜入射分光型は、ブレーズド回折格子を第３図
（ａ）に示したように、短い回折面にも入射光が当たる
ように配置しなければならないため、この面から回折光
が生じて迷光となり、バックグラウンド光を増加させ
る。これに対して、＋１次斜入射分光型は、第３図
（ｂ）に示すように、ブレーズド回折格子の短い回折面
には光が当たらないように回折格子が配置されるため、
迷光は生じないが、上記したように結像レンズ５の口径
がコリメーターレンズ３のそれより大きい必要がある。
ところが、本発明の高感度多波長分光装置においては、
コリメーターレンズ３の口径は可能な限り大きなもので
あるので、それ以上の口径のレンズを結像レンズとして
用いることは困難である。したがって、＋１次斜入射分
光型のものは、結像レンズ５としてコリメーターレンズ
３の口径程度のものを用いる場合、損失の大きいものと
いうことができる。以上のとおりであるから、生物発
光、化学発光のような極微弱な自然発光の分光検出のた
めには、−１次斜入射分光型のものが適していると言え
る。これに対して、迷光の影響が重大なラマン散乱、蛍
光等の励起光による極微弱発光の分光においては、多少
のロスはあっても、迷光が信号光を隠さない＋１次斜入
射分光型のものがより適していると言える。なお、当然
ながら、レンズの設計において、自由にコリメーターレ
ンズ、結像レンズの口径、Ｆナンバーが実現できるな
ら、生物発光、化学発光のような極微弱な自然発光の分
光検出のためにも、＋１次斜入射分光型のものがより優
れていると言うことができる。また、分解能をよくする
必要があるときも＋１次斜入射分光型のものがよい。
さて、このような高感度多波長分光装置によって試料Ｓ
からの光を分光分析するに際しては、上記第１図に示し
たように、結像レンズ５から射出する回折光が０次光以
外に−１次光、＋１次光等の光を含むので、さきに述べ
たように適当な次数の回折光の中心波長が高感度１次元
又は２次元光検出器６の中心にくるように結像レンズ５
を配置するとともに、回折格子４の角度を調節する。
からの光を分光分析するに際しては、上記第１図に示し
たように、結像レンズ５から射出する回折光が０次光以
外に−１次光、＋１次光等の光を含むので、さきに述べ
たように適当な次数の回折光の中心波長が高感度１次元
又は２次元光検出器６の中心にくるように結像レンズ５
を配置するとともに、回折格子４の角度を調節する。
この場合、試料Ｓ上の測定点を点状又は線状に限定する
ための光学系として、入射スリット２の代わりに、試料
Ｓの微小領域又はある程度の広がりのある領域からの光
を点状あるいは線状にしてとり出せるものを用いてもよ
い。例えば、第４図に示した高感度多波長分光装置のよ
うに、試料Ｓからの光を集光窓から集光し、点状又は線
状の射出端に射出する光コンセントレイター2bを用いて
もよい。また、ピンホールであってもよい。なお、コリ
メーターレンズ３、結像レンズ５としては、球面レンズ
からなるＦナンバーの小さいレンズだけではなく、非球
面レンズ、フレネルレンズを用いてもよい。
ための光学系として、入射スリット２の代わりに、試料
Ｓの微小領域又はある程度の広がりのある領域からの光
を点状あるいは線状にしてとり出せるものを用いてもよ
い。例えば、第４図に示した高感度多波長分光装置のよ
うに、試料Ｓからの光を集光窓から集光し、点状又は線
状の射出端に射出する光コンセントレイター2bを用いて
もよい。また、ピンホールであってもよい。なお、コリ
メーターレンズ３、結像レンズ５としては、球面レンズ
からなるＦナンバーの小さいレンズだけではなく、非球
面レンズ、フレネルレンズを用いてもよい。
ところで、第１図に示した基本タイプの変形として、コ
リメーターレンズと結像レンズとを１つのレンズによっ
て兼用させる分光装置が考えられる。第５図（ａ）に示
すように、反射型回折格子４の前面にＦナンバーの小さ
いコリメーター・結像兼用レンズ７を平行に配置し、こ
の兼用レンズ７の焦点に入射スリット２を位置させ、回
折格子４による回折光の兼用レンズ７による像位置に高
感度１次元又は２次元光検出器６を配置して、試料から
の光を垂直に入射させるものである（垂直入射分光
型）。入射スリット２と高感度１次元又は２次元光検出
器６との配置位置を交換して、第５図（ｂ）のように試
料からの光を斜め方向から入射させるように配置しても
よい（斜入射分光型）。図の（ｂ）の斜入射分光型のも
のが、図の（ａ）の垂直入射分光型のものより、回折光
の角度分解能に優れており、光束利用では、図の（ａ）
の垂直入射分光型のものが優れている。
リメーターレンズと結像レンズとを１つのレンズによっ
て兼用させる分光装置が考えられる。第５図（ａ）に示
すように、反射型回折格子４の前面にＦナンバーの小さ
いコリメーター・結像兼用レンズ７を平行に配置し、こ
の兼用レンズ７の焦点に入射スリット２を位置させ、回
折格子４による回折光の兼用レンズ７による像位置に高
感度１次元又は２次元光検出器６を配置して、試料から
の光を垂直に入射させるものである（垂直入射分光
型）。入射スリット２と高感度１次元又は２次元光検出
器６との配置位置を交換して、第５図（ｂ）のように試
料からの光を斜め方向から入射させるように配置しても
よい（斜入射分光型）。図の（ｂ）の斜入射分光型のも
のが、図の（ａ）の垂直入射分光型のものより、回折光
の角度分解能に優れており、光束利用では、図の（ａ）
の垂直入射分光型のものが優れている。
さて、高感度１次元又は２次元光検出器６としては、第
６図に示したように、２次元光子計数管と低残像ビジコ
ンを組み合わせたもの（VIMS）、第７図のような光子計
数型画像計測装置（PIAS）、さらには、ダイオード光検
出器をアレー状に並べたアレー光検出器、CCD等が含ま
れる。
６図に示したように、２次元光子計数管と低残像ビジコ
ンを組み合わせたもの（VIMS）、第７図のような光子計
数型画像計測装置（PIAS）、さらには、ダイオード光検
出器をアレー状に並べたアレー光検出器、CCD等が含ま
れる。
この中のVIMSとPIASについて、簡単に説明すると、第６
図において、２次元光子計数管21の光電面22に入射した
光子は光電子に変換され、この光電子はメッシュ23、電
子レンズ24を経て２段接続のマイクロチヤンネルプレー
ト（MCP）25に入射して増幅され、出射面の蛍光面26に
当って輝点を形成する。この輝点はレンズ27によって低
残像ビジコン28の光電面に結像し、ビジコン28の出力か
ら光子が対応する輝点の２次元の位置がパルス信号とし
求められるので、この輝点の分布を得ることによって極
微弱光スペクトル分布画像が求められる。
図において、２次元光子計数管21の光電面22に入射した
光子は光電子に変換され、この光電子はメッシュ23、電
子レンズ24を経て２段接続のマイクロチヤンネルプレー
ト（MCP）25に入射して増幅され、出射面の蛍光面26に
当って輝点を形成する。この輝点はレンズ27によって低
残像ビジコン28の光電面に結像し、ビジコン28の出力か
ら光子が対応する輝点の２次元の位置がパルス信号とし
求められるので、この輝点の分布を得ることによって極
微弱光スペクトル分布画像が求められる。
また、第７図のPIASにおいては、光電面22からMCP25に
至るまでの構成は第６図のものと同様であり（もっと
も、第７図のMCP25は３段接続である）、MCP25から出る
電子群がその後に配置されたシリコン半導体位置検出器
（PSD）29に入射し、電子衝撃効果によってさらに増幅
され、パルス信号としてPSD29から出力される。PSD29は
その周辺に４子の信号出力電極30を持つ電荷分配型の位
置検出器であり、PSD29内部で発生した電荷は、表面の
抵抗層を経てこれら４個の電極30にその発生位置に応じ
て分配される。この結果、PSD29に入射する電子群の重
心位置すなわち、輝点位置に対応する信号が４個の電極
30から得られる。PSD29から得られるパルス信号はアン
プ32で増幅された後、位置演算装置31に導かれる。ここ
で、これらパルス信号を積分回路33で積分して各電極30
からの電荷量を求める。次に、これらの信号を加減算回
路34に導き、ウィンドゲート35を介して除算器36に導い
て位置信号に変換し、AD変換器37でAD変換して出力す
る。この出力信号を処理して輝点の分布を求め、極微弱
光スペクトル分布画像を得ることができる。なお、第６
図、第７図において、符号Loは入射光子（矢印）を光電
面12上に結像させる対物レンズを示している。
至るまでの構成は第６図のものと同様であり（もっと
も、第７図のMCP25は３段接続である）、MCP25から出る
電子群がその後に配置されたシリコン半導体位置検出器
（PSD）29に入射し、電子衝撃効果によってさらに増幅
され、パルス信号としてPSD29から出力される。PSD29は
その周辺に４子の信号出力電極30を持つ電荷分配型の位
置検出器であり、PSD29内部で発生した電荷は、表面の
抵抗層を経てこれら４個の電極30にその発生位置に応じ
て分配される。この結果、PSD29に入射する電子群の重
心位置すなわち、輝点位置に対応する信号が４個の電極
30から得られる。PSD29から得られるパルス信号はアン
プ32で増幅された後、位置演算装置31に導かれる。ここ
で、これらパルス信号を積分回路33で積分して各電極30
からの電荷量を求める。次に、これらの信号を加減算回
路34に導き、ウィンドゲート35を介して除算器36に導い
て位置信号に変換し、AD変換器37でAD変換して出力す
る。この出力信号を処理して輝点の分布を求め、極微弱
光スペクトル分布画像を得ることができる。なお、第６
図、第７図において、符号Loは入射光子（矢印）を光電
面12上に結像させる対物レンズを示している。
さて、第１図の本発明の高感度多波長分光装置を組み込
んだ高感度多波長分光システムについて説明すると、第
８図（ａ）に示すように、第１図の分光器１をその入射
スリットが上側にくるように配置し、そのスリットの上
側に、温度制御装置付試料室10の中に配置した試料Ｓを
直接接触させて配置して、試料Ｓからの微弱光のスペク
トル分布像を高感度１次元又は２次元光検出器６にて検
出する。図中符号８はスペクトル像をその輝線方向に圧
縮して検出器６に入射させるシリンドリカルレンズを示
し、符号９は分光器１の回折格子の角度調節機構を示し
ている。次に、第８図（ｂ）に、分光器１に試料Ｓを直
接接触させるのではなく、集光レンズ11を介して配置す
る場合を示す。この場合、集光レンズ11としてフレネル
レンズを用いているが、通常の球面レンズ系を用いてよ
いことは自明である。なお、集光レンズ11としては、分
光器１のコリメーターレンズ３とＦナンバーが同じもの
か小さいものを用い、集光レンズ11から集光する光の集
光角がコリメーターレンズ３の受光角以上になるように
しなければならない。ところで、第８図（ａ）及び
（ｂ）の配置は、試料の下方へ出る光を分光する場合の
配置を示してあるが、試料の上方又は側方へ出る光を分
光する場合については、それらの方向に応じて分光器１
等を配置すればよいことは明らかである。
んだ高感度多波長分光システムについて説明すると、第
８図（ａ）に示すように、第１図の分光器１をその入射
スリットが上側にくるように配置し、そのスリットの上
側に、温度制御装置付試料室10の中に配置した試料Ｓを
直接接触させて配置して、試料Ｓからの微弱光のスペク
トル分布像を高感度１次元又は２次元光検出器６にて検
出する。図中符号８はスペクトル像をその輝線方向に圧
縮して検出器６に入射させるシリンドリカルレンズを示
し、符号９は分光器１の回折格子の角度調節機構を示し
ている。次に、第８図（ｂ）に、分光器１に試料Ｓを直
接接触させるのではなく、集光レンズ11を介して配置す
る場合を示す。この場合、集光レンズ11としてフレネル
レンズを用いているが、通常の球面レンズ系を用いてよ
いことは自明である。なお、集光レンズ11としては、分
光器１のコリメーターレンズ３とＦナンバーが同じもの
か小さいものを用い、集光レンズ11から集光する光の集
光角がコリメーターレンズ３の受光角以上になるように
しなければならない。ところで、第８図（ａ）及び
（ｂ）の配置は、試料の下方へ出る光を分光する場合の
配置を示してあるが、試料の上方又は側方へ出る光を分
光する場合については、それらの方向に応じて分光器１
等を配置すればよいことは明らかである。
以上において、分光器は１段のみで使用することを考え
ていたが、これに限られるものではなく、分光器を２以
上多段に配置して、角分散を数回回折光を利用して加分
散配列にすることにより、全体の分解能を向上させるこ
ともできる。もちろん、差分散の配列もできる。このよ
うな本発明の高感度多重多波長分光装置の構成例を第９
図に示す。図中（ａ）は、第２図（ａ）の−次斜入射分
光型分光器11〜14を４段直列に配列して、全体として方
形に構成したものであり、同じく（ｂ）のものは、第２
図（ｂ）の＋１次斜入射分光型分光器11〜14を４段直列
に配列して、全体として方形に構成したものであり、
（ｃ）のものは、＋１次斜入射分光型分光器11〜13を３
段階直列に配列して構成したものである。なお、段数は
上記に限られるものではない。また、−１次斜入射分光
型のものと＋１次斜入射分光型ものとを組み合わせて用
いてもよい。
ていたが、これに限られるものではなく、分光器を２以
上多段に配置して、角分散を数回回折光を利用して加分
散配列にすることにより、全体の分解能を向上させるこ
ともできる。もちろん、差分散の配列もできる。このよ
うな本発明の高感度多重多波長分光装置の構成例を第９
図に示す。図中（ａ）は、第２図（ａ）の−次斜入射分
光型分光器11〜14を４段直列に配列して、全体として方
形に構成したものであり、同じく（ｂ）のものは、第２
図（ｂ）の＋１次斜入射分光型分光器11〜14を４段直列
に配列して、全体として方形に構成したものであり、
（ｃ）のものは、＋１次斜入射分光型分光器11〜13を３
段階直列に配列して構成したものである。なお、段数は
上記に限られるものではない。また、−１次斜入射分光
型のものと＋１次斜入射分光型ものとを組み合わせて用
いてもよい。
以上のように、本発明の高感度多波長分光装置は、入射
光を点状ないし線状に限定して射出する光学系２、Ｆナ
ンバーの小さいコリメータレンズ３、反射型回折格子
４、結像レンズ５、高感度１次元又は２次元光検出器６
を有する多波長分光装置であり、生物発光、化学発光、
励起光による極微弱蛍光等を呈する試料Ｓからの極微弱
光の分光分析に際して、次のような優れた作用を実現す
る。すなわち、入射光を点状ないし線状に限定して射出
する光学系２が試料Ｓからの光を点状又は線状光源とし
てコリメータレンズ３に入射させるので、コリメーター
レンズ３は試料Ｓからの光を漏れなく平行度の高い平行
光線にして、法線に対して角度をなして反射型回折格子
４に入射させる。したがって、反射型回折格子４はその
分解能を十分に発揮するとともに極微弱光を分光するよ
うになる。また、コリメータレンズ３と結像レンズ５と
は、反射型回折格子４に極近接して配置できるので、装
置の小型化が実現できる。そして、最も重要な効果であ
るが、コリメータレンズ３と結像レンズ５として、Ｆナ
ンバーが可能な限り小さい明るいレンズを使用すること
ができるので、両レンズの合成系となる装置全体の明る
さを十分に大きくすることができ、高感度１次元又は２
次元光検出器６と組み合わせることにより、従来困難で
あった生物発光、化学発光、励起光による極微弱蛍光等
の極微弱光の同時多波長分析が可能になり、特に、生物
発光、化学発光、励起光による極微弱蛍光等を利用した
生体、微量成分の研究手段として有効なものである。
光を点状ないし線状に限定して射出する光学系２、Ｆナ
ンバーの小さいコリメータレンズ３、反射型回折格子
４、結像レンズ５、高感度１次元又は２次元光検出器６
を有する多波長分光装置であり、生物発光、化学発光、
励起光による極微弱蛍光等を呈する試料Ｓからの極微弱
光の分光分析に際して、次のような優れた作用を実現す
る。すなわち、入射光を点状ないし線状に限定して射出
する光学系２が試料Ｓからの光を点状又は線状光源とし
てコリメータレンズ３に入射させるので、コリメーター
レンズ３は試料Ｓからの光を漏れなく平行度の高い平行
光線にして、法線に対して角度をなして反射型回折格子
４に入射させる。したがって、反射型回折格子４はその
分解能を十分に発揮するとともに極微弱光を分光するよ
うになる。また、コリメータレンズ３と結像レンズ５と
は、反射型回折格子４に極近接して配置できるので、装
置の小型化が実現できる。そして、最も重要な効果であ
るが、コリメータレンズ３と結像レンズ５として、Ｆナ
ンバーが可能な限り小さい明るいレンズを使用すること
ができるので、両レンズの合成系となる装置全体の明る
さを十分に大きくすることができ、高感度１次元又は２
次元光検出器６と組み合わせることにより、従来困難で
あった生物発光、化学発光、励起光による極微弱蛍光等
の極微弱光の同時多波長分析が可能になり、特に、生物
発光、化学発光、励起光による極微弱蛍光等を利用した
生体、微量成分の研究手段として有効なものである。
特に、分光器の各構成要素を−１次の回折光をスペクト
ル像としてとり出し可能に配置したものは、結像レンズ
が損失少なくより多くの回折光を結像させるので、生物
発光、化学発光等の極微弱な自然発光の分光検出に適し
ている。
ル像としてとり出し可能に配置したものは、結像レンズ
が損失少なくより多くの回折光を結像させるので、生物
発光、化学発光等の極微弱な自然発光の分光検出に適し
ている。
これに対して、分光器の各構成要素を＋１次の回折光を
スペクトル像としてとり出し可能に配置したものは、迷
光が信号光を隠さず分解能がより高くなるので、ラマン
散乱、蛍光等の励起光による極微弱発光の分光検出に適
している。
スペクトル像としてとり出し可能に配置したものは、迷
光が信号光を隠さず分解能がより高くなるので、ラマン
散乱、蛍光等の励起光による極微弱発光の分光検出に適
している。
第１図は本発明の高感度多波長分光装置の１実施例の光
学配置図、第２図は第１図の高感度多波長分光装置の２
つの基本タイプの光学配置図、第３図は第２図の基本タ
イプを検討するための光路図、第４図は他の実施例の光
学配置図、第５図は第１図の変形例の光学配置図、第６
図は本発明の高感度多波長分光装置に用いる２次元光子
計数管と低残像ビジコンを組み合わせたものの断面図、
第７図は他の光子計数型画像計測装置の断面図、第８図
は第１図の本発明の高感度多波長分光装置を組み込んだ
高感度多波長分光システムの断面図、第９図は本発明の
高感度多波長分光装置の光学配置図である。 １、11〜14：分光器、2:入射スリット、2b:光コンセン
トレイター、3:コリメーターレンズ、4:反射型回折格
子、5:結像レンズ、6:高感度１次元又は２次元光検出
器、7:コリメーター・結像兼用レンズ、8:シリンドリカ
ルレンズ、9:角度調節機構、10:温度制御装置付試料
室、11:集光レンズ、21:2次元光子計数管、22:光電面、
23:メッシュ、24:電子レンズ、25:マイクロチヤンネル
プレート（MCP）、26:蛍光面、27:レンズ、28:低残像ビ
ジコン、29:シリコン半導体位置検出器（PSD）、30:信
号出力電極、31:位置演算装置、32:アンプ、33:積分回
路、34:加減算回路、35:ウィンドゲート、36:除算器、3
7:AD変換器、S:試料、Lo：対物レンズ
学配置図、第２図は第１図の高感度多波長分光装置の２
つの基本タイプの光学配置図、第３図は第２図の基本タ
イプを検討するための光路図、第４図は他の実施例の光
学配置図、第５図は第１図の変形例の光学配置図、第６
図は本発明の高感度多波長分光装置に用いる２次元光子
計数管と低残像ビジコンを組み合わせたものの断面図、
第７図は他の光子計数型画像計測装置の断面図、第８図
は第１図の本発明の高感度多波長分光装置を組み込んだ
高感度多波長分光システムの断面図、第９図は本発明の
高感度多波長分光装置の光学配置図である。 １、11〜14：分光器、2:入射スリット、2b:光コンセン
トレイター、3:コリメーターレンズ、4:反射型回折格
子、5:結像レンズ、6:高感度１次元又は２次元光検出
器、7:コリメーター・結像兼用レンズ、8:シリンドリカ
ルレンズ、9:角度調節機構、10:温度制御装置付試料
室、11:集光レンズ、21:2次元光子計数管、22:光電面、
23:メッシュ、24:電子レンズ、25:マイクロチヤンネル
プレート（MCP）、26:蛍光面、27:レンズ、28:低残像ビ
ジコン、29:シリコン半導体位置検出器（PSD）、30:信
号出力電極、31:位置演算装置、32:アンプ、33:積分回
路、34:加減算回路、35:ウィンドゲート、36:除算器、3
7:AD変換器、S:試料、Lo：対物レンズ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 名越 利之 宮城県仙台市太白区八木山香澄町23―21 (72)発明者 稲場 文男 宮城県仙台市太白区八木山南１―13―１
Claims (3)
- 【請求項１】入射光を点状ないし線状に限定して射出す
る光学系、この光学系の点状ないし線状の射出端を焦点
としそこから出る光をとり入れて平行にする明るいコリ
メーターレンズ、コリメーターレンズによって平行にさ
れた光であって法線に対して角度をなして入射された光
を回折して分光する反射型回折格子、及び、反射型回折
格子によって分光された平行光を像面上にスペクトル像
として結像する結像レンズからなる分光器と、結像レン
ズの像面上に配置された高感度１次元又は２次元光検出
器とから構成され、生物発光、化学発光等の極微弱な自
然発光の分光検出のために、反射型回折格子としてブレ
ーズド回折格子を用い、分光器の各構成要素を−１次の
回折光をスペクトル像としてとり出し可能に配置したこ
とを特徴とする高感度多波長分光装置。 - 【請求項２】入射光を点状ないし線状に限定して射出す
る光学系、この光学系の点状ないし線状の射出端を焦点
としそこから出る光をとり入れて平行にする明るいコリ
メーターレンズ、コリメーターレンズによって平行にさ
れた光であって法線に対して角度をなして入射された光
を回折して分光する反射型回折格子、及び、反射型回折
格子によって分光された平行光を像面上にスペクトル像
として結像する結像レンズからなる分光器と、結像レン
ズの像面上に配置された高感度１次元又は２次元光検出
器とから構成され、ラマン散乱、蛍光等の励起光による
極微弱発光の分光検出のために、反射型回折格子として
ブレーズド回折格子を用い、分光器の各構成要素を＋１
次の回折光をスペクトル像としてとり出し可能に配置し
たことを特徴とする高感度多波長分光装置。 - 【請求項３】入射光を点状ないし線状に限定して射出す
る光学系として、スリットないしピンホールを用いたこ
とを特徴とする請求項１又は２記載の高感度多波長分光
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1208744A JPH071206B2 (ja) | 1989-08-12 | 1989-08-12 | 高感度多波長分光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1208744A JPH071206B2 (ja) | 1989-08-12 | 1989-08-12 | 高感度多波長分光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0372226A JPH0372226A (ja) | 1991-03-27 |
| JPH071206B2 true JPH071206B2 (ja) | 1995-01-11 |
Family
ID=16561364
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1208744A Expired - Lifetime JPH071206B2 (ja) | 1989-08-12 | 1989-08-12 | 高感度多波長分光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH071206B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023248572A1 (ja) * | 2022-06-24 | 2023-12-28 | 英弘精機株式会社 | ライダー用受光装置、ライダー、及び気象観測ライダー |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10311294A1 (de) * | 2003-03-12 | 2004-09-23 | Völckers, Oliver | Stufenlos betätigbare Tasten einer Tastatur mit integriertem Signalerfassungselement und Verfahren zur Signalverarbeitung |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57108766A (en) * | 1980-12-26 | 1982-07-06 | Shimadzu Corp | Multi-wavelength spectroscope |
| JPS5854310A (ja) * | 1981-09-26 | 1983-03-31 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | リトロ−型分光器用光学系 |
| JPS58191936A (ja) * | 1982-04-30 | 1983-11-09 | ハママツ・システムズ | 単色画像装置 |
| US4554460A (en) * | 1982-07-02 | 1985-11-19 | Kollmorgen Technologies Corp. | Photodetector automatic adaptive sensitivity system |
| JPS60192229A (ja) * | 1984-03-14 | 1985-09-30 | Hitachi Ltd | 多波長同時測光光度計 |
-
1989
- 1989-08-12 JP JP1208744A patent/JPH071206B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023248572A1 (ja) * | 2022-06-24 | 2023-12-28 | 英弘精機株式会社 | ライダー用受光装置、ライダー、及び気象観測ライダー |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0372226A (ja) | 1991-03-27 |
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