JPH0718409B2 - Cryopump - Google Patents
CryopumpInfo
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- JPH0718409B2 JPH0718409B2 JP60285462A JP28546285A JPH0718409B2 JP H0718409 B2 JPH0718409 B2 JP H0718409B2 JP 60285462 A JP60285462 A JP 60285462A JP 28546285 A JP28546285 A JP 28546285A JP H0718409 B2 JPH0718409 B2 JP H0718409B2
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- heat load
- load flange
- stage heat
- intermediate portion
- stage
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Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、２段冷凍機を駆動して２段熱負荷フランジお
よび２段熱負荷フランジを夫々冷却して効率良好に排気
するクライオポンプに関するものである。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a cryopump that drives a two-stage refrigerator to cool a two-stage heat load flange and a two-stage heat load flange, respectively, and exhaust efficiently. It is a thing.
従来、第２図に示すように、２段冷凍機を用いて発生さ
せた２種の異なる温度からなる第１段熱負荷フランジ４
および第２段熱負荷フランジ１を用いて排気するよう構
成したクライオポンプがある。このクライオポンプは、
第１段熱負荷フランジ４に積み重ねる態様で熱絶縁性の
中間部分３を介してより低温の第２段熱負荷フランジ１
を配置してある。この配置により、熱絶縁性の中間部分
３の温度は、第１段熱負荷フランジ４の温度（例えば20
゜K以上）から第２段熱負荷フランジ１の温度（例えば2
0゜K以下）まで連続的に分布する。気体が引口５から例
えば矢印の方向に飛び込み、輻射シールド８で反射を繰
り返して中間部分３に附着すると、この中間部分３に附
着した気体の飽和蒸気圧が第２段熱負荷フランジ１およ
びこれに接続された部分に附着した気体の飽和蒸気圧よ
りも高く、この気体が逆方向に引口５に戻り易いため、
引口５での圧力を高くする。このため、中間部分３に附
着した気体が全て離脱するまでは、第２段熱負荷フラン
ジ１の示す温度における気体の飽和蒸気圧、即ち所定の
到達圧力まで排気し得ないという問題点があった。Conventionally, as shown in FIG. 2, a first-stage heat load flange 4 composed of two different temperatures generated by using a two-stage refrigerator.
Also, there is a cryopump configured to exhaust using the second stage heat load flange 1. This cryopump
A lower temperature second stage heat load flange 1 through a heat insulating intermediate portion 3 in a manner of being stacked on the first stage heat load flange 4.
Has been placed. With this arrangement, the temperature of the heat insulating intermediate portion 3 is equal to that of the first stage heat load flange 4 (for example, 20
Temperature above the 2nd stage heat load flange 1 (eg 2
It is distributed continuously up to 0 ° K). When the gas jumps from the inlet 5 in the direction of the arrow, for example, is repeatedly reflected by the radiation shield 8 and adheres to the intermediate portion 3, the saturated vapor pressure of the gas adhered to the intermediate portion 3 causes the second stage heat load flange 1 and this. Is higher than the saturated vapor pressure of the gas attached to the part connected to the
Increase the pressure at the outlet 5. Therefore, there is a problem that the saturated vapor pressure of the gas at the temperature indicated by the second stage heat load flange 1, that is, the gas cannot be exhausted to a predetermined ultimate pressure until all the gas attached to the intermediate portion 3 is released. .
本発明は、前記問題点を解決するために、第１段熱負荷
フランジ４と第２段熱負荷フランジ１との間に設けた熱
絶縁性の中間部分３を、より低温の第２段熱負荷フラン
ジ１に接続したシールド板２を用いて接触することなく
覆う構成を採用することにより、この中間部分３に気体
が入射して附着することを防止し、所定の到達圧力まで
短時間に排気し得るようにしている。In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a heat insulating intermediate portion 3 provided between the first stage heat load flange 4 and the second stage heat load flange 1 with a second stage heat treatment at a lower temperature. By adopting a configuration in which the shield plate 2 connected to the load flange 1 is used to cover without contact, gas is prevented from entering and adhering to the intermediate portion 3 and exhausted to a predetermined ultimate pressure in a short time. I am trying to get it done.
第１図に示す本発明の１実施例構成の側面断面図を用い
て問題点を解決するための手段を説明する。Means for solving the problem will be described with reference to the side sectional view of the structure of the first embodiment of the present invention shown in FIG.
第１図において、第２段熱負荷フランジ１は、２段冷凍
機によって最も低い温度（例えば20゜K以下）が生成さ
れるものである。In FIG. 1, the second stage heat load flange 1 is one in which the lowest temperature (for example, 20 ° K or less) is generated by the two stage refrigerator.
シールド板２は、第２段熱負荷フランジ１に接続され、
中間部分３に接触することなく周囲を覆うものである。The shield plate 2 is connected to the second stage heat load flange 1,
It covers the periphery without contacting the intermediate portion 3.
中間部分３は、熱絶縁性のものであって、第１段熱負荷
フランジ４上に積み上げる態様で第２段熱負荷フランジ
１を保持するものである。The intermediate portion 3 is a heat insulating material, and holds the second stage heat load flange 1 in a manner of being stacked on the first stage heat load flange 4.
第２段熱負荷フランジ１は、２段冷凍機によって冷却さ
れる中間の温度（例えば20゜K以上）を生成するもので
ある。The second stage heat load flange 1 produces an intermediate temperature (for example, 20 ° K or higher) cooled by the second stage refrigerator.
チャコールパネル６およびコンデンセーションパネル７
は、引口５から飛び込んできた気体を効率良好にトラッ
プするためのものである。Charcoal panel 6 and Condensation panel 7
Is for efficiently trapping the gas that has flown in through the port 5.
輻射シールド８は、第１段熱負荷フランジ４に接続され
たものであって、第２段熱負荷フランジ１およびこれに
接続したシールド板２などに対する外部からの熱輻射を
遮断するものである。The radiation shield 8 is connected to the first-stage heat load flange 4, and blocks heat radiation from the outside to the second-stage heat load flange 1 and the shield plate 2 connected to the second-stage heat load flange 1.
第１図を用いて説明した構成を採用し、中間部分３の周
囲を、第２段熱負荷フランジ１に接続したシールド板２
を用いて覆っているため、引口５から矢印のように輻射
シールド８に反射を繰り返して中間部分３に向って飛び
込んだ気体は、シールド板２に附着する。このため、シ
ールド板２と第１段熱負荷フランジ４との間の狭い隙間
を通り抜けて中間部分３に附着する気体は、極めて少な
くなる。また、この狭い隙間を通り抜けて中間部分３に
附着して凝縮した気体は、たとえ離脱しても、大部分は
20゜K以下に冷えたシールド板２の内側に凝縮してしま
い、せまい隙間を通り抜けて更に引口５まで戻る気体は
なくなる。The shield plate 2 that employs the configuration described with reference to FIG. 1 and connects the periphery of the intermediate portion 3 to the second-stage heat load flange 1
Since it is covered with the gas, the gas repeatedly reflected from the opening 5 to the radiation shield 8 as shown by the arrow and jumped toward the intermediate portion 3 adheres to the shield plate 2. Therefore, the amount of gas passing through the narrow gap between the shield plate 2 and the first-stage heat load flange 4 and adhering to the intermediate portion 3 is extremely small. Also, most of the gas that has passed through this narrow gap and attached to the intermediate portion 3 and condensed is
There is no gas that condenses inside the shield plate 2 that has cooled to 20 ° K or less, passes through the small gap, and returns to the port 5.
以上説明したように、中間部分３をシールド板２を用い
て覆うことにより、中間部分３に気体が凝縮することが
なく、第２段熱負荷フランジ１の温度によって決定され
る到達圧力に排気するまでの時間を短くすることができ
る。As described above, by covering the intermediate portion 3 with the shield plate 2, the gas is not condensed in the intermediate portion 3 and is exhausted to the ultimate pressure determined by the temperature of the second stage heat load flange 1. You can shorten the time until.
第１図は本発明の１実施例構成の側面断面図を示す。図
中、１は第２段熱負荷フランジ、２はシールド板、３は
中間部分、４は第１段熱負荷フランジ、５は引口、６は
チャコールパネル、７はコンデンセーションパネル、８
は輻射シールドを表す。FIG. 1 shows a side sectional view of the construction of one embodiment of the present invention. In the figure, 1 is a second-stage heat load flange, 2 is a shield plate, 3 is an intermediate portion, 4 is a first-stage heat load flange, 5 is an opening, 6 is a charcoal panel, 7 is a condensation panel, 8
Represents a radiation shield.
第１図に示す本発明に係わるクライオポンプは、第１段
熱負荷フランジ４および第２段熱負荷フランジ１を夫々
冷却する２段冷凍機によって駆動されている。第１段熱
負荷フランジ４には、図示のように輻射シールド８が接
続されている。この輻射シールド８は、より低温の第２
段熱負荷フランジ１およびこれに接続されたものの周囲
を覆い、外部からの熱輻射を遮断している。The cryopump according to the present invention shown in FIG. 1 is driven by a two-stage refrigerator that cools the first-stage heat load flange 4 and the second-stage heat load flange 1, respectively. A radiation shield 8 is connected to the first-stage heat load flange 4 as illustrated. This radiation shield 8 has a lower temperature than the second
The step heat load flange 1 and the one connected to the step heat load flange 1 are covered to block heat radiation from the outside.
第２段熱負荷フランジ１は、第１段熱負荷フランジ４上
に積み重ねる態様で熱絶縁性の中間部分３を介して配置
されており、ポンプ作用を発揮するチャコールパネル６
とコンデンセーションパネル７、および中間部分３を覆
うシールド板２が設けられている。この中間部分３の温
度は、第１段熱負荷フランジ４の温度（例えば20゜K以
上）から第２段熱負荷フランジ１の温度（例えば20゜K
以下）まで連続的に分布している。The second-stage heat load flange 1 is disposed on the first-stage heat load flange 4 via a heat-insulating intermediate portion 3 and is stacked on the first-stage heat load flange 4, and a charcoal panel 6 that exerts a pumping action.
A shield plate 2 that covers the condensation panel 7 and the intermediate portion 3 is provided. The temperature of the intermediate portion 3 ranges from the temperature of the first stage heat load flange 4 (for example, 20 ° K or higher) to the temperature of the second stage heat load flange 1 (for example, 20 ° K).
(Below) are continuously distributed.
以上の構成を採用したクライオポンプを用いる系を排気
中に、第１図図中矢印を用いて示す方向に気体が引口５
から飛び込んできた場合、輻射シールド８に反射を繰り
返して中間部分３に向かった気体はシールド板２上に凝
縮される。万一、気体がシールド板２と第１段熱負荷フ
ランジ４との狭い間から中間部分３に飛び込んで当該中
間部分３に凝縮しても、この中間部分３から離脱した気
体は、近接した設けたシールド板２の内側に凝縮し、外
部に飛び出すものは殆どない。このため、中間部分３に
向かって飛び込んだ気体が引口５に向かって戻る確率は
殆どなくなり、第２段熱負荷フランジ１の温度によって
決定される到達圧力に達するまでの時間が短くなる。During exhaust of the system using the cryopump having the above configuration, gas is drawn in the direction indicated by the arrow in FIG.
In the case of jumping in from, the gas that has repeatedly reflected on the radiation shield 8 and headed for the intermediate portion 3 is condensed on the shield plate 2. Even if the gas jumps into the intermediate portion 3 from a narrow space between the shield plate 2 and the first stage heat load flange 4 and condenses in the intermediate portion 3, the gas released from the intermediate portion 3 is provided close to the intermediate portion 3. Also, there is almost nothing that condenses inside the shield plate 2 and jumps out. Therefore, there is almost no probability that the gas that has flown toward the intermediate portion 3 will return toward the port 5, and the time required to reach the ultimate pressure determined by the temperature of the second stage heat load flange 1 becomes short.
以上説明したように、本発明によれば、第１段熱負荷フ
ランジ４と第２段熱負荷フランジ１との間に設けた熱絶
縁性の中間部分３を、より低温の第２段熱負荷フランジ
１に接続したシールド板２を用いて覆う構成を採用して
いるため、この中間部分３に気体が入射して附着するこ
とがなく、第２段熱負荷フランジ１の冷却温度によって
決定される所定の到達圧力まで短時間に排気することが
可能となる。As described above, according to the present invention, the heat-insulating intermediate portion 3 provided between the first-stage heat load flange 4 and the second-stage heat load flange 1 is connected to the second-stage heat load at a lower temperature. Since the shield plate 2 connected to the flange 1 is used for covering, the gas does not enter the intermediate portion 3 and is not attached to the intermediate portion 3 and is determined by the cooling temperature of the second stage heat load flange 1. It is possible to exhaust to a predetermined ultimate pressure in a short time.
第１図は本発明の１実施例構成の側面断面図、第２図は
従来のクライオポンプの側面断面図を示す。 図中、１は第２段熱負荷フランジ、２はシールド板、３
は中間部分、４は第１段熱負荷フランジ、５は引口、６
はチャコールパネル、７はコンデンセーションパネル、
８は輻射シールドを表す。FIG. 1 is a side sectional view of a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side sectional view of a conventional cryopump. In the figure, 1 is a second stage heat load flange, 2 is a shield plate, 3
Is an intermediate portion, 4 is a first-stage heat load flange, 5 is an opening, 6
Is a charcoal panel, 7 is a condensation panel,
Reference numeral 8 represents a radiation shield.
Claims (1)
たクライオポンプにおいて、 ２段冷凍機の温度を40゜Kないし100゜Kに保持した第１
段熱負荷フランジと２段熱負荷フランジとの間に設けた
熱絶縁性の中間部分と、 この中間部分に接触することなく可及的に近接して覆
い、かつこの覆いを第２段熱負荷フランジに接続して約
20゜K以下の温度に保持したシールド板と、 このシールド板を含み２段熱負荷フランジに接続した部
分を覆う態様で設け、かつ覆いを第１段熱負荷フランジ
に接続した輻射シールドとを備え、 ２段冷凍機を駆動して第１段熱負荷フランジおよび２段
熱負荷フランジを夫々冷却して排気するよう構成したこ
とを特徴とするクライオポンプ1. A cryopump configured to exhaust using a two-stage refrigerator, wherein the temperature of the two-stage refrigerator is maintained at 40 ° K to 100 ° K.
The heat insulating intermediate portion provided between the step heat load flange and the two step heat load flange is covered as close as possible without touching the intermediate portion, and the cover is covered by the second step heat load. About to connect to the flange
A shield plate kept at a temperature of 20 ° K or less; and a radiation shield provided so as to cover the portion including the shield plate and connected to the two-stage heat load flange, and the cover connected to the first-stage heat load flange A cryopump characterized by being configured to drive a two-stage refrigerator to cool the first-stage heat load flange and the second-stage heat load flange, respectively, and exhaust them.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60285462A JPH0718409B2 (en) | 1985-12-20 | 1985-12-20 | Cryopump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60285462A JPH0718409B2 (en) | 1985-12-20 | 1985-12-20 | Cryopump |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62147056A JPS62147056A (en) | 1987-07-01 |
| JPH0718409B2 true JPH0718409B2 (en) | 1995-03-06 |
Family
ID=17691825
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60285462A Expired - Lifetime JPH0718409B2 (en) | 1985-12-20 | 1985-12-20 | Cryopump |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0718409B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011153629A (en) * | 2011-05-17 | 2011-08-11 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | Cryopump |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS606086A (en) * | 1983-06-23 | 1985-01-12 | Arubatsuku Kuraio Kk | Cryopump device |
-
1985
- 1985-12-20 JP JP60285462A patent/JPH0718409B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62147056A (en) | 1987-07-01 |
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Legal Events
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