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JPH0725209B2 - Optical information recording member - Google Patents
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JPH0725209B2 - Optical information recording member - Google Patents

Optical information recording member

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Publication number
JPH0725209B2
JPH0725209B2 JP4336515A JP33651592A JPH0725209B2 JP H0725209 B2 JPH0725209 B2 JP H0725209B2 JP 4336515 A JP4336515 A JP 4336515A JP 33651592 A JP33651592 A JP 33651592A JP H0725209 B2 JPH0725209 B2 JP H0725209B2
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JP
Japan
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recording
light
thin film
information recording
optical
Prior art date
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JP4336515A
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昇 山田
健一 西内
睦生 竹永
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Panasonic Corp
Panasonic Holdings Corp
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Panasonic Corp
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
  • Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光等の高密度エ
ネルギービームの照射ににより高速かつ高密度に、光学
的な情報を記録かつ消去できる光学情報記録部材に関す
るものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical information recording member capable of recording and erasing optical information at high speed and high density by irradiating a high-density energy beam such as a laser beam.

【0002】[0002]

【従来の技術】これまでに光学的な情報記録再生方式と
しては、次のようなものが知られている。第1に、金属
薄膜を用いる方法である。これは細く絞ったレーザ光ス
ポットを前記薄膜に照射することによって、情報の書き
込みを行なう方法である。たとえば、インジウム金属I
n(融点Tm=156℃)あるいはビスマス金属Bi
(融点Tm=271℃)等を基板上に1000Å程度の
薄膜として形成したものが知られている。この部材に対
する記録機構は、レーザ等の光源を用いて、微少スポッ
ト〜10μmφをこの薄膜に照射せしめ、該金属膜の光
吸収、昇温の結果、該スポット部位の金属が融解、凝
縮、あるいは蒸発し、この部位に微少な穴が形成され、
画像信号を記録するものである。この方法は、比較的コ
ントラストの大きい記録がおこなえる利点を有してい
る。ただし、この光学濃度変化に、物質移動が伴うとい
う点が記録体の構成に制限を与える。さらに、感度が1
00〜10mW/μm2と低いことが問題である。
2. Description of the Related Art The following are known as optical information recording / reproducing systems. First is a method using a metal thin film. This is a method of writing information by irradiating the thin film with a laser beam spot that is narrowed down. For example, indium metal I
n (melting point Tm = 156 ° C.) or bismuth metal Bi
It is known that (melting point Tm = 271 ° C.) or the like is formed as a thin film of about 1000 Å on a substrate. The recording mechanism for this member uses a light source such as a laser to irradiate the thin film with a minute spot of 10 μmφ, and the metal at the spot portion is melted, condensed, or evaporated as a result of light absorption and temperature rise of the metal film. However, a small hole is formed in this part,
The image signal is recorded. This method has an advantage that recording with a relatively large contrast can be performed. However, the fact that this optical density change is accompanied by mass transfer limits the structure of the recording medium. Furthermore, sensitivity is 1
The problem is that it is as low as 00 to 10 mW / μm 2 .

【0003】第2の例は、第1の例で金属薄膜の代わり
にTe系物質を用いた情報記録再生方法である。これ
は、記録部材として、例えばTe−Se−(As),T
e−C,CS2−Te,等を使用するもので第1の例と
同様のメカニズムで記録を行なうことができる。この方
法は、第1の例に比べて感度が向上することが報告され
ているが、やはり物質の移動を伴うため記録体の構成に
制限が加わる。
The second example is an information recording / reproducing method using a Te-based material instead of the metal thin film in the first example. This is, for example, Te-Se- (As), T as a recording member.
e-C, CS 2 -Te, etc. can be recorded in the same mechanism as in the first example in those that use. Although this method is reported to have improved sensitivity as compared with the first example, the structure of the recording body is also limited due to the movement of substances.

【0004】第3の例は、半導体ガラス材料を用いた情
報記録再生方法である。これは記録部材として、カルコ
ゲン化物を使用するもので、例えば、Ge15Te81Sb
22,As23,As20Se60Ge20等の材料が代表的
である。これらの薄膜にレーザ等の光照射を施すと、光
吸収昇温により、原子の結合状態が変化し、光学濃度が
変り、情報記録がおこなえる。さらに、光照射法を制御
することにより、逆に記録状態を元に戻すことも可能
で、消去機能を有する利点がある。しかしながら、光学
情報記録に用いる場合、記録エネルギーが、20mW/
μm2以上必要であり、書き込みコントラスト比が不十
分である。又、湿気による劣化が大きいことが知られて
いる。
The third example is an information recording / reproducing method using a semiconductor glass material. This uses a chalcogenide as a recording member. For example, Ge 15 Te 81 Sb is used.
Materials such as 2 S 2 , As 2 S 3 and As 20 Se 60 Ge 20 are typical. When these thin films are irradiated with light such as a laser, the temperature of light absorption rises to change the bonding state of atoms, change the optical density, and record information. Further, by controlling the light irradiation method, it is possible to return the recorded state to the opposite, and there is an advantage of having an erasing function. However, when used for optical information recording, the recording energy is 20 mW /
The writing contrast ratio is inadequate because it requires at least μm 2 . It is also known that deterioration due to humidity is large.

【0005】これに対し、第4の例として、化学量論組
成の酸化物とこの酸化物を構成する金属または半金属粒
子の混合物よりなるもの、あるいは化学量論組成より酸
素の少ない酸化物よりなる低酸化物薄膜を用いた情報記
録方法の提案がある。これらは、レーザ光照射を施すこ
とにより、光吸収昇温の結果、光学濃度の低い状態か
ら、高い状態に変化し、情報記録,再生が行えるもので
ある。これら低酸化物薄膜は、光照射における光学濃度
変化が△T>30%、かつコントラスト比10:1以上
と大きい。また、記録エネルギーが、10mW/μm2
以下と感度が高い特徴を有しているが、第3の例に見ら
れるような消去性は不十分である。
On the other hand, as a fourth example, an oxide having a stoichiometric composition and a mixture of metal or metalloid particles constituting the oxide, or an oxide having less oxygen than the stoichiometric composition is used. There is a proposal of an information recording method using a low oxide thin film. These are capable of recording and reproducing information by changing the optical density from a low optical density state to a high optical density state as a result of light absorption temperature rise by irradiation with laser light. These low oxide thin films have large changes in optical density upon light irradiation, ΔT> 30%, and a contrast ratio of 10: 1 or more. Also, the recording energy is 10 mW / μm 2
Although it has a characteristic of high sensitivity as follows, the erasability as seen in the third example is insufficient.

【0006】この消去性を向上する方法として、低酸化
物にカルコゲン元素であるSまたはSeを含ませた薄膜
記録部材を用いる情報記録再生方法が提案されている。
この方法は、記録感度が高く、消去性を有するという特
徴があるが、繰り返し記録,消去を行なうと膜がダメー
ジを受けて破れてしまうという問題があり、実用に至っ
ていない。また、S,Seといった比較的蒸気圧の高い
物質を使用するため、製造する際の組成制御が困難であ
り、膜の再現性が乏しいという問題があった。
As a method for improving the erasability, an information recording / reproducing method using a thin film recording member in which a low oxide contains S or Se which is a chalcogen element has been proposed.
This method is characterized by high recording sensitivity and erasability, but it has not been put to practical use because it has a problem that the film is damaged and broken when repeated recording and erasing are performed. Further, since a substance having a relatively high vapor pressure such as S and Se is used, it is difficult to control the composition during production, and there is a problem that the reproducibility of the film is poor.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、低酸化物薄
膜の光学濃度変化が大きい、記録に要するエネルギーが
小さいといった特徴を保持しつつ、記録・消去が繰り返
し行なえる光学情報記録部材ならびに、その記録・消去
の方法を提供することを目的とする。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention provides an optical information recording member capable of repeating recording and erasing while maintaining the characteristics that a low oxide thin film has a large change in optical density and a small energy required for recording. The purpose is to provide a recording / erasing method.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明における光学
報記録部材は、光照射によってその光学的特性を可逆的
に変化する光吸収性の記録薄膜を基材上に形成して成
り、情報の記録・消去の繰返しが可能な光学情報記録部
材であって、前記記録薄膜がTeの低酸化物TeO
x(0<x<2)中に、Cu等のIb族、Zn等のIIb
族、Al,In等のIIIb族、Ge,Sn等のIVb族、
Sb,Bi等のVb族等のTeO x よりも熱伝導率が大
きく、光吸収率の高い金属,貴金属または半導体物質の
群から選ばれる少なくとも1種の物質を含んで形成した
ものである。
The optical information recording member according to the present invention has a light-absorbing recording thin film formed on a substrate, the recording thin film having an optical characteristic reversibly changed by light irradiation. An optical information recording member that is capable of repeatedly recording and erasing information, wherein the recording thin film is a low oxide TeO of Te.
In x (0 <x <2) , Ib group such as Cu, IIb such as Zn
Group, Group IIIb such as Al and In, Group IVb such as Ge and Sn,
Larger thermal conductivity than TeO x of Vb group such as Sb and Bi
Of high-absorption metal, noble metal or semiconductor material
It is formed by including at least one substance selected from the group .

【0009】[0009]

【作用】TeOx薄膜はアモルファス状態であるTeO2
のマトリクス中にTeの微結晶が分散した系であって、
これにレーザビームを照射するとその結晶粒径が大きく
なり、結果として反射率・透過率の変化として記録状態
が検出される。この粒径の大きなTe結晶は、この薄膜
を融点以上の高い温度に昇温したのち、急冷してやるこ
とで再び小さくすることができるが、TeOx(O<x
<2)の場合には、一つにはTeの結晶のまわりにTe
2という熱伝導率の小さいガラス性物質のマトリクス
が存在するため光吸収の結果として発生した熱エネルギ
ーが拡散しにくく急冷されにくいということ、もう一つ
はTeOxそのものの吸収係数が比較的小さいため、光
吸収効率が悪くて必要な温度(融点)まで昇温しにくい
という2つの理由で大きな結晶を再び小さな結晶にする
ことは容易ではない。本発明の場合には、TeOx薄膜
よりも熱伝導率が大きく、光吸収率の高い金属または半
金属物質を含ませることによって薄膜中のTe結晶の粒
径を大きくしたり小さくしたりすることが繰り返し、可
逆的に行なうことが可能となった。
Function: TeO x thin film is amorphous TeO 2
A system in which Te crystallites are dispersed in a matrix of
When this is irradiated with a laser beam, the crystal grain size increases, and as a result, the recording state is detected as a change in reflectance / transmittance. This Te crystal having a large grain size can be reduced again by raising the temperature of this thin film to a high temperature equal to or higher than the melting point and then rapidly cooling it, but TeO x (O <x
In the case of <2), one is Te around the Te crystal.
That thermal energy generated as a result of light absorption for O 2 matrix of small glass material thermal conductivity that is present is not easily quenched difficult to diffuse, and the other is relatively small absorption coefficient of TeO x itself Therefore, it is not easy to convert a large crystal into a small crystal again for two reasons that the light absorption efficiency is low and it is difficult to raise the temperature to a required temperature (melting point). In the case of the present invention, it is possible to increase or decrease the grain size of the Te crystal in the thin film by including a metal or metalloid substance having a higher thermal conductivity and a higher light absorption coefficient than the TeOx thin film. It became possible to perform reversibly repeatedly.

【0010】[0010]

【実施例】従来の低酸化物薄膜における黒化記録の原理
は次のように考えられる。例えばTeOx(O<x<
2)の場合には、アモルファス状態のTeO2のマトリ
クス中に、Teが非常に小さい(約20Å)結晶状態で
存在している。この膜にレーザビーム光を照射すると、
照射された部分の小さなTe結晶の粒径が増大し、屈折
率および消衰係数が変化し、その結果、反射率および透
過率の変化として記録状態が検出できる。しかし、この
粒径の大きなTe結晶を再び元の小さなTe結晶に戻す
ことは、むつかしかった。すなわち、一般に大きな結晶
を小さな結晶にするためには、その物質を、融点以上の
高い温度に昇温したのち、急冷してやることが必要であ
るが、TeOx(O<x<2)の場合には、一つにはT
eの結晶のまわりにTeO2という熱伝導率の小さいガ
ラス性物質のマトリクスが存在するため、光吸収によっ
て得た熱エネルギーが拡散しにくく急冷されにくいとい
うこと、もう一つはTeOxそのものの吸収係数が比較
的小さいため、光吸収効率が悪くて必要な温度(融点)
まで昇温しにくいという2点から大きな結晶を再び小さ
な結晶にすることができなかった。本発明の場合、Te
低酸化物薄膜に含ませた金属または半金属は、次のよう
な働きをするものと考えられる。
EXAMPLES The principle of blackening recording in a conventional low oxide thin film is considered as follows. For example, TeO x (O <x <
In the case of 2), Te is present in a very small (about 20Å) crystalline state in the TeO 2 matrix in the amorphous state. When this film is irradiated with laser beam light,
The grain size of the small Te crystal in the irradiated portion increases, the refractive index and extinction coefficient change, and as a result, the recording state can be detected as a change in reflectance and transmittance. However, it was difficult to return the Te crystals having a large grain size to the original Te crystals having a small grain size. That is, in general, in order to make a large crystal into a small crystal, it is necessary to raise the temperature of the substance to a high temperature equal to or higher than the melting point and then rapidly cool it. In the case of TeO x (O <x <2), Is T
Since there is a matrix of TeO 2 which is a glassy material with small thermal conductivity around the crystal of e, the thermal energy obtained by light absorption is difficult to diffuse and is not rapidly cooled. Another is absorption of TeO x itself. Since the coefficient is relatively small, the light absorption efficiency is poor and the required temperature (melting point)
From the two points that it was difficult to raise the temperature, it was not possible to make a large crystal again into a small crystal. In the case of the present invention, Te
The metal or semimetal contained in the low oxide thin film is considered to have the following functions.

【0011】1 膜の光吸収係数を高め、光照射部の到
達温度を高める。 2 Teの小さな結晶のまわりに存在し、吸収した熱の
拡散を助ける。
(1) The light absorption coefficient of the film is increased, and the ultimate temperature of the light irradiation portion is increased. It exists around the small crystals of 2 Te and helps diffuse the absorbed heat.

【0012】即ち、記録薄膜の母材であるTe酸化物
に、その薄膜よりも熱伝導率が大きく、光吸収率の高い
金属または半金属物質を含ませてみたところ薄膜中のT
e結晶の粒径を大きくしたり小さくしたりすることが繰
り返し、可逆的に行なえることがわかった。
That is, when Te oxide, which is the base material of the recording thin film, is made to contain a metal or semi-metal substance having a higher thermal conductivity and a higher light absorption coefficient than that of the thin film, the T oxide in the thin film is examined.
It was found that increasing and decreasing the grain size of the e crystal was repeated, and the reversible process could be performed.

【0013】次に図面を参照しながら実施例をもって、
本発明をさらに詳しく説明する。図1は、本発明による
光学情報記録部材の断面図である。1は基材で、金属,
例えばアルミニウム,銅等あるいはガラス、例えば、石
英,パイレックス,ソーダガラス等あるいは樹脂,AB
S樹脂,ポリスチレン,アクリル,塩化ビニール等、又
透明フィルムとしては、アセテート,テフロン,ポリエ
ステル等が使用できる。中でも、ポリエステルフィル
ム,アクリル板等を使用する場合、透明性がすぐれてお
り、形成せしめた信号像を光学的に再生する際に有効で
ある。
Next, referring to the drawings, with an embodiment,
The present invention will be described in more detail. FIG. 1 is a sectional view of an optical information recording member according to the present invention. 1 is a base material, metal,
For example, aluminum, copper, or glass, such as quartz, Pyrex, soda glass, or resin, AB
S resin, polystyrene, acrylic, vinyl chloride, etc., and as the transparent film, acetate, Teflon, polyester, etc. can be used. Above all, when a polyester film, an acrylic plate, or the like is used, the transparency is excellent and it is effective in optically reproducing the formed signal image.

【0014】薄膜感光層2は、基材上に真空蒸着して形
成される。薄膜感光層はTeOx(O<x<2)低酸化
物に少なくとも1種の金属または半金属物質を含ませた
構造をしている。含有させるべき物質としては、膜の光
吸収係数を高め、かつ、熱伝導率を高めて、高温状態か
ら急冷されやすくするという目的を実現するために、金
属あるいは半金属物質が有効であるが、蒸着しやすさ、
第1の金属または半金属をより小さな結晶にするためを
考慮して、Sn,In,Bi,Zn,Al,Cu,G
e,Sb等の金属または半金属が特に有効である。
The thin film photosensitive layer 2 is formed by vacuum vapor deposition on a base material. The thin film photosensitive layer has a structure in which at least one metal or metalloid substance is contained in a TeO x (O <x <2) low oxide. As a substance to be contained, a metal or a semi-metal substance is effective in order to increase the light absorption coefficient of the film, and to increase the thermal conductivity so as to facilitate the purpose of being rapidly cooled from a high temperature state. Ease of vapor deposition,
Considering to make the first metal or metalloid into a smaller crystal, Sn, In, Bi, Zn, Al, Cu, G
Metals or semimetals such as e and Sb are particularly effective.

【0015】3は保護層である。前述のように本発明の
光学情報記録膜は、膜の形状変化を伴なわず、従って使
用目的によっては密着したタイプの保護層を用いること
が可能となる。保護層には、基材1と同様のものを紫外
線硬化樹脂等を用いてはり合わせたり、蒸着したりし
て、つけることができる。
Reference numeral 3 is a protective layer. As described above, the optical information recording film of the present invention does not change the shape of the film, and therefore it is possible to use a protective layer of a close contact type depending on the purpose of use. The same material as the base material 1 can be attached to the protective layer by laminating or vapor-depositing it using an ultraviolet curable resin or the like.

【0016】次に、本発明における光学情報記録膜の形
成方法について述べる。酸化物MAx(MAは4価の金
属または半金属)の低酸化物薄膜MA2(O<x<
2)、またMB23(MBは3価の金属または半金属)の
低酸化物薄膜MBx(O<x<1.5)は、図2,3で
説明するような方法で形成することができる。
Next, the method for forming the optical information recording film in the present invention will be described. Oxide M A O x (M A is a tetravalent metal or metalloid) low oxide thin film M A O 2 (O <x <
2), and a low oxide thin film M B O x (O <x <1.5) of M B2 O 3 (M B is a trivalent metal or metalloid) is prepared by the method described in FIGS. Can be formed with.

【0017】まず一つのソースで形成する方法について
述べる。図2はこれに用いる生成系を示す。真空系4の
真空度は10-3Torr〜10-6Torrの間に選ぶ。
First, a method of forming with one source will be described. FIG. 2 shows a generation system used for this. The vacuum degree of the vacuum system 4 is selected in the range of 10 −3 Torr to 10 −6 Torr.

【0018】例えば蒸着用原材料10としてMA2を金
属ボート、例えばタングステンボート,チタンボート等
の加熱蒸着用容器9に入れ、真空系4の中で例えばタン
グステンボート9を電極6と結合し、電源8を用いて加
熱すると、容器9中の原材料は、タングステンボートと
反応して還元反応を受け、MA2+mW→MAx +m
WO3(O<x<2,m<2/3)のような形で、支指
台6上に設置された基材1上に蒸着され、低酸化物薄膜
Ax(O<x<2)を得ることができる。従って、あ
らかじめMA2原材料の中に膜中に含ませるべき前述の
第2の金属または半金属物質を混合しておき〔MA2
100-z1Cz1,MCは添加材料、ただし、z1はモル%で
O<z1<50〕の形にして蒸着を行なえば、母材以外
の第2の金属,半金属を含む低酸化物薄膜〔(MAx
100-z2Cz2,(O<x<2,O<z2<50),MC
添加材料,z2はモル%〕を得ることができる。
For example, M A O 2 as a raw material 10 for vapor deposition is placed in a vessel 9 for heating vapor deposition such as a metal boat, for example, a tungsten boat or a titanium boat, and the tungsten boat 9 is connected to an electrode 6 in a vacuum system 4, When heated using the power source 8, the raw material in the container 9 reacts with the tungsten boat to undergo a reduction reaction, and thus M A O 2 + mW → M A O x + m
A low oxide thin film M A O x (O <x is deposited in the form of WO 3 (O <x <2, m <2/3) on the base material 1 installed on the supporting base 6. <2) can be obtained. Therefore, in advance by mixing the second metal or semimetal material described above should be contained in the film in advance M A O 2 Ingredients [M A O 2
100-z1 M Cz1 and M C are additive materials, provided that when z1 is mol% and the vapor deposition is performed in the form of O <z1 <50], a low oxide containing a second metal or semimetal other than the base material. Thin film [(M A O x )
100-z2 M Cz2 , (O <x <2, O <z2 <50), M C is an additive material, and z2 is mol%].

【0019】加熱蒸着用容器9として、安定な石英ルツ
ボ,アルミナ磁器,白金等を用いる場合には、原材料の
中に、更に還元用の材料R(Fe,Cr,W,)等の粉
末を添加して使用し、容器9の加熱は、コイルヒーター
7を用いて行なう。加熱温度は600℃〜1000℃の
範囲で選ぶ。
When a stable quartz crucible, alumina porcelain, platinum or the like is used as the heating vapor deposition container 9, a reducing material R (Fe, Cr, W,) or other powder is added to the raw materials. The container 9 is heated by using the coil heater 7. The heating temperature is selected in the range of 600 ° C to 1000 ° C.

【0020】次に、幾つかのソースから同時に基材上に
蒸着を行ない低酸化物を形成する方法について述べる。
図3はこれに用いる生成系を示す。真空系4の真空度
は、10-3〜10-6Torrの間に選ぶ。蒸着用容器9
には、原材料10の1つとしてMA2,別の蒸着用容器
9には原材料10の1つとしてMA100-z1Cz1(O<z
1<50,MC;添加材料)を入れ、真空系4の中でそ
れぞれ電極8に結合されたコイルヒータ9を用い、電源
8によって加熱する。この時、2ソースの蒸着速度を適
当に制御することによって、支指台5上に設置された基
材1の蒸着面では、MA2+m(MA100-z1)MCz1
(MAx100-z2Cz2の形で、母材以外の第2の金
属,半金属を含む低酸化物薄膜を得ることができる。
Next, a method for forming a low oxide by simultaneously performing vapor deposition on a substrate from several sources will be described.
FIG. 3 shows a generation system used for this. The vacuum degree of the vacuum system 4 is selected in the range of 10 −3 to 10 −6 Torr. Deposition container 9
M A O 2 as one of the raw materials 10 and M 100-z1 M Cz1 (O <z as one of the raw materials 10 in another vapor deposition container 9).
1 <50, M C ; additive material), and heated by the power source 8 using the coil heaters 9 respectively coupled to the electrodes 8 in the vacuum system 4. At this time, by appropriately controlling the vapor deposition rates of the two sources, M A O 2 + m ( MA100 -z1 ) M Cz1
In (M A O x) of the 100-z2 M Cz2 shape, it is possible to obtain a second metal other than the base material, a low oxide thin film containing a metalloid.

【0021】更に多ソース化し、例えば、MA2
A,MCの3ソースから同時に蒸着形成する方法も可能
である。また、加熱方法としては、電子ビームを用いて
直接加熱する方法も可能である。蒸着膜厚は、原材料の
量,蒸着面とソースとの距離関係等で自由に変えること
ができる。
Further multi-source, for example, M A O 2 ,
It is also possible to use a method in which vapor deposition is performed simultaneously from three sources, M A and M C. Further, as a heating method, a method of directly heating with an electron beam is also possible. The vapor deposition film thickness can be freely changed depending on the amount of raw materials, the distance relationship between the vapor deposition surface and the source, and the like.

【0022】以上の方法で得た薄膜は、淡カッ色を呈し
ており、比較的弱いパワーで、比較的長いパルス幅でエ
ネルギーを与えると黒カッ色に光学濃度が変化(黒化す
るという)し、逆に比較的強いパワーで比較的短かいパ
ルス巾でエネルギーを与えると光学濃度が逆に下がる
(白化という)という可逆的な変化をおこさせることが
できる。
The thin film obtained by the above method has a pale brown color, and the optical density changes to black brown (which is called blackening) when energy is applied with a relatively weak power and a relatively long pulse width. On the other hand, if energy is applied with a relatively strong power and a relatively short pulse width, on the contrary, it is possible to cause a reversible change in which the optical density lowers (whitening).

【0023】なお、低酸化物薄膜中に含まれる第2の金
属,半金属の含有モル%(z2)が、50モル%を越え
ると白化に要するレーザパワーが大きくなるため、半導
体レーザー等の出力パワーの小さい光源を使用する場合
には好ましくないものである。
If the content mol% (z2) of the second metal or semimetal contained in the low oxide thin film exceeds 50 mol%, the laser power required for whitening becomes large, so that the output of a semiconductor laser or the like is increased. This is not preferable when using a light source with low power.

【0024】次に、図4〜8により、本発明の情報記録
部材に情報を記録,再生,消去する実施例を述べる。本
発明の情報記録部材には、キセノンフラッシュランプ,
He−Ne等のガスレーザ及び半導体レーザによる近赤
外光による書き込み等どれも可能である。
Next, an embodiment of recording, reproducing and erasing information on the information recording member of the present invention will be described with reference to FIGS. The information recording member of the present invention includes a xenon flash lamp,
Writing with near infrared light by a gas laser such as He-Ne or a semiconductor laser is possible.

【0025】まず初めにキセノンランプを用いる場合の
記録方法について、図4の実施例にもとづいて述べる。
低酸化物に母材とは異なる第2の金属および半金属の少
くとも1つを含ませてなる光吸収性の薄膜光学記録膜2
を基板1に形成した記録部材に、場所的に光透過率の異
るパターンを形成したマスク11を密着せしめる。この
上から、キセノンランプ12を発光,照射することによ
り露光された部分が黒化し、パターンに対応した濃淡像
が前記記録部材に形成する。この場合、キセノンランプ
の発光幅は約1msecと比較的長く、この系を用いて黒
化部を白化することは、むつかしい。ただし、この後述
べるように、この黒化部を他の手段で白化することは可
能である。
First, a recording method using a xenon lamp will be described based on the embodiment shown in FIG.
A light-absorbing thin film optical recording film 2 in which a low oxide contains at least one of a second metal and a semimetal different from the base material.
A mask 11 formed with a pattern having a different light transmittance locally is brought into close contact with the recording member formed on the substrate 1. By exposing and irradiating the xenon lamp 12 from above, the exposed portion is blackened, and a grayscale image corresponding to the pattern is formed on the recording member. In this case, the emission width of the xenon lamp is relatively long, about 1 msec, and it is difficult to whiten the blackened portion using this system. However, as will be described later, it is possible to whiten the blackened portion by other means.

【0026】次に、ガスレーザを用いた場合の記録方法
について図5とともに説明する。レーザ光源13は、H
e−Neレーザλ=6328Å,He−Cdレーザλ=
4416Å,Arレーザλ=5145Å等いずれでも使
用できる。 レーザ光源から出たレーザ光14は、光変
調器15例えば、LiNbO3電気光学変調器又は超音
波光変調器等により信号に応じた強度変調を受け、ミラ
ー16を介し、集束用レンズ(対物レンズ)17により
スポットを形成し、前述の基板1上に光吸収性の記録膜
2を設けて構成した光学記録部材を、信号に対応した光
強度で照射する。光ビームと光学記録部材の相対的な位
置移動に伴って逐次にビット信号が前記記録部材上に書
き込まれる。
Next, a recording method using a gas laser will be described with reference to FIG. The laser light source 13 is H
e-Ne laser λ = 6328Å, He-Cd laser λ =
Any of 4416Å, Ar laser λ = 5145Å, etc. can be used. The laser light 14 emitted from the laser light source is intensity-modulated according to a signal by an optical modulator 15, for example, a LiNbO 3 electro-optical modulator or an ultrasonic optical modulator, and passes through a mirror 16 to a focusing lens (objective lens). ) 17, a spot is formed, and the optical recording member configured by providing the light absorbing recording film 2 on the substrate 1 is irradiated with light intensity corresponding to a signal. Bit signals are sequentially written on the recording member as the light beam and the optical recording member move relative to each other.

【0027】レーザ光源として半導体レーザλ=820
0Åを使用する場合の実施例を図6に示す。半導体レー
ザは一般に射出するレーザ光のビームの拡がりが±20
度という角度で大きいためビーム成型のために第1,第
2のレンズを用いてスポットを成型せしめる。半導体レ
ーザ18から射出されたレーザビームは、第1のレンズ
19により疑似平行光20となり、第2のレンズ21に
よってスポット光22に整形され、前述の基材1上に光
吸収性薄膜記録膜2を設けた記録部材を、信号に対応し
た光強度で照射する。半導体レーザを使用する場合は、
ガスレーザとは異って内部変調が容易であり、光変調器
は不要である。光照射を受けた部位では黒化し、光学濃
度変化として記録できる。
A semiconductor laser λ = 820 as a laser light source.
FIG. 6 shows an embodiment in which 0Å is used. A semiconductor laser generally has a divergence of a beam of emitted laser light of ± 20.
Since the angle is large in degrees, the spot is formed using the first and second lenses for beam forming. The laser beam emitted from the semiconductor laser 18 becomes pseudo parallel light 20 by the first lens 19 and is shaped into spot light 22 by the second lens 21, and the light absorbing thin film recording film 2 on the base material 1 described above. The recording member provided with is irradiated with light intensity corresponding to the signal. When using a semiconductor laser,
Unlike a gas laser, internal modulation is easy and an optical modulator is unnecessary. It can be recorded as a change in optical density by blackening at the part irradiated with light.

【0028】レーザを使用する場合には、それを変調す
ることで強度,パルス幅を選ぶことができる。従って白
状態の該記録層に記録する場合には、比較的弱く、長い
パルスで黒化記録し、比較的強く、短いパルスで白化消
去を行なう、また、あらかじめ黒化した状態の該記録層
に記録する場合には、比較的強く短いパルスで白化記録
し、比較的弱く、長いパルスで黒化消去を行なう、とい
う2方式をどちらも採用することができる。この際、照
射光パワー密度PmW/μm2、および照射光パルス巾
Isecを適切に設定する必要がある。本発明のTe低酸
化物薄膜に金属又は半金属を含ませてなる光学情報記録
膜においては、黒化する場合には、黒化光照射パワーP
Bは、0.5mW/μm2<PB<2mW/μm2,光照射
パルス巾τBは30nsec<τB又、白化する場合には、
白化光照射パワー密度PWは、2mW/μm2≦PW;PW
≧PB,光照射パルス巾τWは、O<τW≦τBの範囲で選
ぶことが可能である。記録速度は、白化の方が黒化より
も速く選べるので、情報を記録する場合には、あらかじ
め黒化された記録部材に白化により記録し、消去を黒化
により行なう方が有利である。
When a laser is used, its intensity and pulse width can be selected by modulating it. Therefore, when recording on the recording layer in a white state, blackening recording is performed with a relatively weak and long pulse, and whitening and erasing is performed with a relatively strong and short pulse. When recording, either of two methods can be adopted: whitening recording is performed with relatively strong and short pulses, and blackening erasing is performed with relatively weak and long pulses. At this time, it is necessary to appropriately set the irradiation light power density PmW / μm 2 and the irradiation light pulse width Isec. In the optical information recording film in which the Te low oxide thin film of the present invention contains a metal or a semimetal, in the case of blackening, the blackening light irradiation power P
B is 0.5 mW / μm 2 <P B < 2 mW / μm 2 , light irradiation pulse width τ B is 30 nsec <τ B , and when whitening occurs,
Whitening light irradiation power density P W is 2 mW / μm 2 ≦ P W ; P W
≧ P B and the light irradiation pulse width τ W can be selected in the range of O <τ W ≦ τ B. Since the recording speed can be selected faster for whitening than for blackening, when recording information, it is advantageous to perform whitening on a previously blackened recording member and perform erasing by blackening.

【0029】つぎに、記録された信号の情報再生方法に
ついて述べる。該情報記録薄膜は、黒化記録の場合には
未書き込み状態において淡褐色であるが、書き込み状態
では灰褐色ないし黒色に変化して光学濃度が増大すると
ともに、反射率が変化する。信号読み出しに際しては、
図7および図8の実施例に示すように、透過式光信号再
生および反射式光信号再生が可能である。
Next, an information reproducing method of the recorded signal will be described. The information recording thin film is light brown in the unwritten state in the case of blackened recording, but changes to grayish brown or black in the written state to increase the optical density and the reflectance. When reading the signal,
As shown in the embodiments of FIGS. 7 and 8, transmissive optical signal reproduction and reflective optical signal reproduction are possible.

【0030】図7において透過式再生方法を説明する。
照射用光源23は、タングステンランプ,He−Neレ
ーザ,半導体レーザ,発光ダイオード,等が使用でき、
集光用レンズ24を用いて、スポット光25とし、上記
記録部である信号像26を裏面から照明する。該信号記
録膜からの透過光は、レンズ27を通して検出光28と
なり、光感応ダイオード29に入る。透過光28の強度
は、記録信号のない状態に比べて信号像を照明する場合
には、約1/2から1/10に減少し、これを検出して
信号再生をおこなうものである。
The transparent reproducing method will be described with reference to FIG.
The irradiation light source 23 can be a tungsten lamp, a He-Ne laser, a semiconductor laser, a light emitting diode, or the like,
The condensing lens 24 is used to form spot light 25, and the signal image 26, which is the recording portion, is illuminated from the back surface. The transmitted light from the signal recording film becomes detection light 28 through the lens 27 and enters the photosensitive diode 29. The intensity of the transmitted light 28 is reduced from about 1/2 to 1/10 in the case of illuminating the signal image as compared with the state in which there is no recording signal, and the signal is reproduced by detecting this.

【0031】次に、更に具体的な例をもって本発明を説
明する。 (実施例1)蒸着出発用原料としてTeO2と、Te85
Sn15を使用し、図3のような系を用いて薄膜を形成す
る。加熱蒸着用容器として石英ルツボを用い、コイルヒ
ーターで加熱してアクリル樹脂基材上に厚さ約1200
Åの低酸化物薄膜TeOx:Snを形成する。ヒーター
温度はTeO2ソースは800℃,Te85Sn15ソース
は750℃に設定した。上記の方法で得た薄膜は、淡カ
ッ色を呈している。この膜に、λ=8300Åの半導体
レーザーを用いて、照射時間200nsecのパルス光を
照射したところ0.6mW/μm2以上のパワー密度で
膜は黒カッ色に変化した。この黒化した場所に、照射パ
ワー密度5mW/μm2以上で、照射時間40nsecの短
パルス光を照射したところ、照射部は白化し、元の状態
へ戻った。この薄膜の分光透過率曲線は、図9の曲線a
1に示すように半導体レーザ波長0.8μ近傍では20
%以上の透過率を有する。この膜の黒化記録状態の分光
透過率曲線は、同曲線a2に示すように透過率が減少
し、半導体レーザ波長では20%以上の△Tを得ること
ができる。記録・消去は、この状態a1とa2の間で変化
がおこなわれる。
Next, the present invention will be described with reference to more specific examples. (Example 1) TeO 2 and Te 85 as starting materials for vapor deposition
A thin film is formed using Sn 15 and the system as shown in FIG. A quartz crucible is used as a container for heating vapor deposition, and it is heated by a coil heater to have a thickness of about 1200 on an acrylic resin base material.
A low oxide thin film TeO x : Sn of Å is formed. The heater temperature was set to 800 ° C. for the TeO 2 source and 750 ° C. for the Te 85 Sn 15 source. The thin film obtained by the above method has a light brown color. When this film was irradiated with pulsed light for 200 nsec of irradiation time using a semiconductor laser of λ = 8300Å, the film turned black-black with a power density of 0.6 mW / μm 2 or more. When this blackened area was irradiated with short pulsed light with an irradiation power density of 5 mW / μm 2 or more and an irradiation time of 40 nsec, the irradiated portion was whitened and returned to its original state. The spectral transmittance curve of this thin film is curve a in FIG.
As shown in 1, when the wavelength of the semiconductor laser is around 0.8μ,
It has a transmittance of at least%. The spectral transmittance curve of this film in the blackened recording state has a decreased transmittance as shown by the curve a 2, and a ΔT of 20% or more can be obtained at the semiconductor laser wavelength. Recording / erasing is changed between the states a 1 and a 2 .

【0032】添加物としてSnの代わりに、In,G
e,Zn,Tl,Bi,Pb,Al,Cu等を用いて同
様の効果を得ることができた。同様に、原材料酸化物と
して、GeO2,SnO2等を用い、GeO2とGe50
50,SnO2とSn50Te50のような組み合わせで例
えばGeOx:Te,SnOx:Teを得ることができ
る。これらはTeOx系記録薄膜に比べて、光学濃度変
化が大きく、それぞれの分光透過率曲線は白化状態でb
1,c1,黒化状態でb2,c2となり、それぞれb1
2,c1→c2およびその逆の変化を生ずる。
Instead of Sn as an additive, In, G
Similar effects could be obtained by using e, Zn, Tl, Bi, Pb, Al, Cu and the like. Similarly, GeO 2 , SnO 2 or the like is used as the raw material oxide, and GeO 2 and Ge 50 T are used.
For example, GeO x : Te, SnO x : Te can be obtained by a combination such as e 50 , SnO 2 and Sn 50 Te 50 . These have a large change in optical density as compared with the TeO x recording thin film, and their spectral transmittance curves are b
1 , c 1 , b 2 and c 2 in the blackened state, and b 1
b 2 , c 1 → c 2 and vice versa.

【0033】これらの記録膜は半導体レーザ波長0.8
μ近傍で大きい書き込み変化量△T>30%を得ること
が可能であるが、記録感度がやや低く、照射時間200
nsecのパルス光を照射したところ照射パワー密度1m
W/μm2以上のパワー密度で黒化した。また、この黒
化した場所に照射パワー密度7mW/μm2以上で照射
時間40nsecの短パルス光を照射したところ照射部は
白化し元の状態へ戻った。GeOx,SnOx(O<x<
2)の場合にも、添加物としてはTeの他に、第2の金
属および半金属としてZn,In,Tl,Bi,Pb,
Al,Cu,Sb,Ge,Sn等を検討し、どの添加物
の場合にも可逆的変化が確かめられたが、GeOxの場
合はTe,Sb,SnOxの場合には、Ge,Te,S
bを添加した場合において特に効果的であった。
These recording films have a semiconductor laser wavelength of 0.8.
It is possible to obtain a large write change amount ΔT> 30% in the vicinity of μ, but the recording sensitivity is slightly low and the irradiation time is 200%.
Irradiation power pulse density of 1m
Blackened at a power density of W / μm 2 or more. Further, when this blackened portion was irradiated with short pulsed light with an irradiation power density of 7 mW / μm 2 or more and an irradiation time of 40 nsec, the irradiated portion was whitened and returned to its original state. GeO x , SnO x (O <x <
Also in the case of 2), in addition to Te as the additive, Zn, In, Tl, Bi, Pb, as the second metal and metalloid,
Al, Cu, Sb, Ge, Sn, etc. were examined, and reversible changes were confirmed in any of the additives, but in the case of GeO x , Te, Sb, SnO x , Ge, Te, S
It was particularly effective when b was added.

【0034】次に三価の金属,半金属の低酸化物を用い
る場合の具体例を示す。 (実施例2)蒸着出発用原料として、Bi23と、Bi
50Te50を使用し、実施例1と同様に低酸化物薄膜Bi
x:Teを形成する。ヒータ温度は、Bi23ソース
850℃,Bi50Te50ソース700℃に設定し、厚さ
約1200Å、淡カッ色の薄膜を得た。BiOx:Te
薄膜は比較的低エネルギーで光学濃度変化を得ることが
できる。この薄膜にλ=8300Åの半導体レーザを用
いて照射時間200nsecのパルス光を照射したとこ
ろ、0.5mW/μm2以上のパワー密度で、膜は灰カ
ッ色に変化した。この黒化した場所に、照射時間40n
secのパルス光を照射したところ、照射パワー密度4m
W/μm2以上で、照射部は白化し、元の状態へ戻っ
た。この薄膜の分光透過率曲線は図10Aの曲線d1
示すように半導体レーザ波長08μ近傍では、近い透過
率を有するが、光学的な濃度変化は比較的小さく、黒化
記録状態の分光透過率曲線、図10Aの曲線d2に示す
ように透過率変化がやや小さくなり、△T=10%とな
る。添加物としてTeの代わりに、Ge,Sn,In,
Zn,Tl,Bi,Pb,Al,Cu等を用いて同様の
効果を得ることができたが、とりわけTeの効果が高か
った。
A specific example of using a low oxide of a trivalent metal or a semimetal will be described below. (Example 2) Bi 2 O 3 and Bi were used as starting materials for vapor deposition.
50 Te 50 is used, and the low oxide thin film Bi is used as in Example 1.
O x : Te is formed. The heater temperature was set to 850 ° C. for a Bi 2 O 3 source and 700 ° C. for a Bi 50 Te 50 source to obtain a light brown thin film having a thickness of about 1200Å. BiO x : Te
The thin film can obtain a change in optical density with relatively low energy. When this thin film was irradiated with pulsed light with an irradiation time of 200 nsec using a semiconductor laser of λ = 8300Å, the film turned grayish with a power density of 0.5 mW / μm 2 or more. Irradiation time 40n in this blackened area
When irradiated with pulsed light for sec, irradiation power density is 4 m
When W / μm 2 or more, the irradiated part was whitened and returned to the original state. The spectral transmittance curve of this thin film has a similar transmittance in the vicinity of the semiconductor laser wavelength of 08 μ as shown by the curve d 1 in FIG. 10A, but the optical density change is relatively small, and the spectral transmittance in the blackened recording state is relatively small. As shown by the curve, curve d 2 in FIG. 10A, the change in transmittance is slightly small, and ΔT = 10%. Instead of Te as an additive, Ge, Sn, In,
Similar effects could be obtained using Zn, Tl, Bi, Pb, Al, Cu, etc., but the effect of Te was particularly high.

【0035】同様に、原材料酸化物として、Sb23
Sb50Te50,Tl23とTl75Te25,In23とI
50Te50の組み合わせで低酸化物薄膜、BiOx:T
e,TlOx:Te,InOx:TeO<x<1.5を得
ることができる。
Similarly, as raw material oxides, Sb 2 O 3 and Sb 50 Te 50 , Tl 2 O 3 and Tl 75 Te 25 , In 2 O 3 and I are used.
Low oxide thin film, BiO x : T in combination with n 50 Te 50
It is possible to obtain e, TlO x : Te, InO x : TeO <x <1.5.

【0036】図10A,Bにそれぞれの黒化前後の分光
透過率曲線を示す。d1,e1,f1,g1はそれぞれ白化
状態を示す。黒化状態でd2,e2,f2,g2となり、そ
れぞれd1→d2,e1→e2,f1→f2,g1→g2およ
び、その逆の変化を生ずる。これらは、TeOx等に比
べると記録感度は、ほぼ同等であるが、光学的濃度変化
はやや小さく、半導体レーザ波長0.8μの近傍では書
き込み変化量△T=10〜15%程度であった。
FIGS. 10A and 10B show spectral transmittance curves before and after blackening. d 1 , e 1 , f 1 , and g 1 represent whitening states, respectively. In the blackened state, d 2 , e 2 , f 2 and g 2 are produced , and d 1 → d 2 , e 1 → e 2 , f 1 → f 2 , g 1 → g 2 and vice versa. The recording sensitivities of these are almost the same as those of TeO x and the like, but the optical density change is rather small, and the writing change ΔT is about 10 to 15% in the vicinity of the semiconductor laser wavelength of 0.8 μ. .

【0037】上記、BiOx,SbOx,TlOx,In
x(O<x<1.5)の場合にも添加物としてTeの
他にZn,In,Tl,Bi,Pb,Al,Cu,S
b,Ge,Sn等を検討し、どの添加物の場合にも可逆
的変化を確認できたが、BiOxの場合には、Te,S
b,Ge,SbOxの場合には、Te,Ge,TlOx
場合はTe,InOxの場合には、Te,Sb,Geを
添加した場合において特に効果的であった。
The above BiO x , SbO x , TlO x , In
In the case of O x (O <x <1.5), Zn, In, Tl, Bi, Pb, Al, Cu, S as well as Te as an additive
b, Ge, Sn, etc. were examined, and a reversible change could be confirmed in any additive, but in the case of BiO x , Te, S
In the case of b, Ge and SbO x , Te, Ge and TlO x were particularly effective, and in the case of TeO and InO x , Te, Sb and Ge were particularly effective.

【0038】実施例1,実施例2の複合組成、即ち低酸
化物および添加材料を幾つか組み合わせて、感度、書き
込み変化量等を変えることが可能である。
It is possible to change the sensitivity, the amount of change in writing, etc., by combining some of the composite compositions of Examples 1 and 2, that is, a low oxide and some additive materials.

【0039】次に、図11を参照しつつ、本発明におけ
る、情報記録部材に、スポットの長さが異なる2本の半
導体レーザーを使って記録・消去を行なう方法を述べ
る。
Next, with reference to FIG. 11, a method of recording / erasing on the information recording member in the present invention by using two semiconductor lasers having different spot lengths will be described.

【0040】(実施例3)本発明の光情報記録部材をφ
200のディスク形状にした36。左側の光学系は、白
化および再生用の光学系である。白化用レーザ37を出
た光は、第1のレンズ38で疑似平行光39となり、第
2のレンズ40で円く整形した後、第3のレンズ41で
再び平行光42にし、ハーフミラー43を介して、第4
のレンズ44で波長限界約0.8μまでしぼりこまれた
円スポット45に集光される。この円スポットによる照
射は、1800rpmで回転しているディスク媒体36
上では、パワー密度が比較的高く、かつ照射時間が比較
的短いパルス光が与えられたのと同じ効果を得る。従っ
て、記録膜があらかじめ黒化されている時には、レーザ
変調によって黒化トラック46上に白化信号47を記録
することができる。
(Embodiment 3) The optical information recording member of the present invention is φ
36 in the shape of 200 discs. The optical system on the left side is an optical system for whitening and reproduction. The light emitted from the whitening laser 37 becomes pseudo-parallel light 39 by the first lens 38, is circularly shaped by the second lens 40, and is converted into parallel light 42 again by the third lens 41, and the half mirror 43 is set. Through the 4th
The light is focused on a circular spot 45 narrowed down by the lens 44 to a wavelength limit of about 0.8 μ. Irradiation by this circular spot is performed by the disk medium 36 rotating at 1800 rpm.
In the above, the same effect as that given the pulsed light having a relatively high power density and a relatively short irradiation time is obtained. Therefore, when the recording film is previously blackened, the whitening signal 47 can be recorded on the blackening track 46 by laser modulation.

【0041】信号の検出は、ディスク媒体36のディス
ク面からの反射光48をハーフミラー49を介して受
け、レンズ50を通じて光感応ダイオード51でおこな
う。
The detection of the signal is carried out by the light sensitive diode 51 through the lens 50 and the reflected light 48 from the disk surface of the disk medium 36 received through the half mirror 49.

【0042】右側の光学系は、黒化用の光学系である。
黒化用レーザ51からの射出ビームは第1のレンズ52
で疑似平行光53となり、第2のレンズ54で一方向の
みがしぼり込まれ、第3のレンズ55で再び疑似平行光
となった後、ハーフミラー56を介して、第4のレンズ
57でディスク面上にやや細長いスポット光58となっ
て照射される。この細長いスポットの長手方向をディス
クの回転方向に合わせておけば、ディスク面上では、や
や照射パワー密度が低く、かつ、やや照射時間の長いパ
ルス光を照射したのと同じ効果を得る。従って、白化ス
ポットと同じ回転数で記録膜を黒化することができる。
本実施例の場合には、記録部材として、φ200、t
1.1のアクリル基材上に、TeOx:Sn薄膜を蒸着
したものを用いた。黒化用のレーザを半値巾にて約8μ
×0.8μに整形し、出力11mW,パワー密度約0.
8mW/μm2で用い、又白化用のレーザー出力8m
W、パワー密度約6mW/μm2で用いて、φ150の
位置にて白化記録,黒化消去を行ったところ、単一周波
数5MHzで、C/N比55dB以上を得、10万回記
録,消去を繰り返した後にもC/Nの劣化は、見られな
かった。
The optical system on the right side is a blackening optical system.
The beam emitted from the blackening laser 51 is the first lens 52.
The light becomes quasi-parallel light 53 at, and the second lens 54 squeezes in only one direction, and the third lens 55 makes it pseudo-parallel light again. The light is emitted as a slightly elongated spot light 58 on the surface. If the longitudinal direction of this elongated spot is aligned with the rotation direction of the disc, the same effect as that obtained by irradiating the disc surface with pulsed light having a slightly low irradiation power density and a relatively long irradiation time can be obtained. Therefore, the recording film can be blackened at the same number of rotations as the whitening spot.
In the case of this embodiment, as recording members, φ200, t
A vapor-deposited TeO x : Sn thin film was used on the 1.1 acrylic substrate. Laser for blackening is about 8μ at full width at half maximum
× 0.8μ, output 11 mW, power density about 0.
8mW / μm 2 and laser output for whitening 8m
When whitening recording and blackening erasing were performed at a position of φ150 using W and power density of about 6 mW / μm 2 , a C / N ratio of 55 dB or more was obtained at a single frequency of 5 MHz and 100,000 times recording and erasing were performed. No deterioration of C / N was observed even after repeating.

【0043】[0043]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、低酸化
物のみから成る情報記録薄膜あるいは、カルコゲン化物
材料薄膜を用いた記録部材に比べて、光学濃度変化を大
きくとれると同時に、消去機能を有し、低エネルギーで
記録・消去が可能な、光学情報記録部材を得ることがで
きる。
As described above, according to the present invention, the optical density change can be made large and the erasure can be performed at the same time as compared with the recording member using the information recording thin film made of only low oxide or the chalcogenide material thin film. An optical information recording member having a function and capable of recording / erasing with low energy can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の光学情報記録部材の1実施例を示す断
面図
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of an optical information recording member of the present invention.

【図2】本発明の光学情報記録部材を製造する装置の1
実施例を示す断面図
FIG. 2 is an apparatus 1 for manufacturing an optical information recording member of the present invention.
Sectional view showing an embodiment

【図3】本発明の光学情報記録部材を製造する装置の別
の実施例を示す断面図
FIG. 3 is a sectional view showing another embodiment of the apparatus for manufacturing the optical information recording member of the present invention.

【図4】本発明の情報記録部材にフラッシュ光で記録す
る方法の概略構成図
FIG. 4 is a schematic configuration diagram of a method of recording on an information recording member of the present invention with flash light.

【図5】本発明の情報記録部材にガスレーザ光を用いて
記録する方法の概略構成図
FIG. 5 is a schematic configuration diagram of a method of recording on an information recording member of the present invention using gas laser light.

【図6】本発明の情報記録部材に半導体レーザ光を用い
て記録する方法の概略構成図
FIG. 6 is a schematic configuration diagram of a method of recording on an information recording member of the present invention using a semiconductor laser beam.

【図7】本発明の情報記録部材の光信号再生方法(透過
タイプ)を示す概略構成図
FIG. 7 is a schematic configuration diagram showing an optical signal reproducing method (transmission type) of the information recording member of the present invention.

【図8】本発明の情報記録部材の光信号再生方法(反射
タイプ)を示す概略構成図
FIG. 8 is a schematic configuration diagram showing an optical signal reproducing method (reflection type) of the information recording member of the present invention.

【図9】本発明の光学情報記録部材の1実施例の分光透
過率曲線図
FIG. 9 is a spectral transmittance curve diagram of one example of the optical information recording member of the present invention.

【図10】本発明の光学情報記録部材の別の実施例の分
光透過率曲線図
FIG. 10 is a spectral transmittance curve diagram of another example of the optical information recording member of the present invention.

【図11】本発明の光学情報記録部材および光学情報記
録方法を用いて記録,再生・消去を行なう記録再生装置
の概略構成図
FIG. 11 is a schematic configuration diagram of a recording / reproducing apparatus for performing recording, reproduction / erasing using the optical information recording member and the optical information recording method of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基材 2 薄膜感光層 3 保護層 4 真空系 5 支持台 6 電極 7 コイルヒーター 8 電源 9 加熱蒸着容器 10 蒸着用原材料 11 マスク 12 キセノンランプ 13 レーザ光源 14 レーザ光 15 光変調器 16 ミラー 17 集束用レンズ 18 半導体レーザ 19 第1のレンズ 20 擬似平行光 21 第2のレンズ 22 スポット光 23 照明用光源 24 集光用レンズ 25 スポット光 26 信号像 27 レンズ 28 検出光 29 光感応ダイオード 30 レーザー光線 31 ハーフミラー 32 平行光 33 集束用レンズ 34 反射光 35 集束用レンズ 36 ディスク状記録媒体 37 白化用レーザー 38 第1のレンズ 39 疑似平行光 40 第2のレンズ 41 第3のレンズ 42 疑似平行光 43 ハーフミラー 44 第4のレンズ 45 円スポット光 46 黒化トラック 47 白化信号 48 反射光 49 ハーフミラー 50 レンズ 51 光感応ダイオード 52 黒化用レーザー 53 第1のレンズ 54 疑似平行光 55 第2のレンズ 56 第3のレンズ 57 平行光 58 ハーフミラー 59 第4のレンズ 60 細長いスポット 1 Base Material 2 Thin Film Photosensitive Layer 3 Protective Layer 4 Vacuum System 5 Support 6 Electrode 7 Coil Heater 8 Power Supply 9 Heating Vapor Deposition Container 10 Deposition Material 11 Mask 12 Xenon Lamp 13 Laser Light Source 14 Laser Light 15 Optical Modulator 16 Mirror 17 Focusing Lens 18 Semiconductor laser 19 First lens 20 Pseudo-parallel light 21 Second lens 22 Spot light 23 Illumination light source 24 Condensing lens 25 Spot light 26 Signal image 27 Lens 28 Detection light 29 Photosensitive diode 30 Laser beam 31 Half Mirror 32 Parallel light 33 Focusing lens 34 Reflected light 35 Focusing lens 36 Disk recording medium 37 Whitening laser 38 First lens 39 Pseudo parallel light 40 Second lens 41 Third lens 42 Pseudo parallel light 43 Half mirror 44 fourth lens 45 circle spot Light 46 Blackening track 47 Whitening signal 48 Reflected light 49 Half mirror 50 Lens 51 Photosensitive diode 52 Blackening laser 53 First lens 54 Pseudo parallel light 55 Second lens 56 Third lens 57 Parallel light 58 Half mirror 59 4th lens 60 Elongated spot

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光照射によってその光学的特性を可逆的
に変化する光吸収性の記録薄膜を基材上に形成して成
り、情報の記録・消去の繰返しが可能な光学情報記録部
材であって、前記記録薄膜がTeの低酸化物TeO
x(0<x<2)中にSn,In,Bi,Zn,Al,
Cu,Ge,Sbの群から選ばれる少なくとも1種の物
質を含んで成ることを特徴とする光学的情報記録部材。
1. An optical information recording member which is formed by forming a light absorbing recording thin film whose optical characteristics are reversibly changed by light irradiation on a base material and is capable of repeatedly recording and erasing information. And the recording thin film is Te low oxide TeO.
In x (0 <x <2), Sn, In, Bi, Zn, Al,
An optical information recording member comprising at least one material selected from the group consisting of Cu, Ge and Sb .
【請求項2】 TeO x 中の物質の含有量を最大50モ
ル%とした請求項1記載の光学情報記録部材。
Wherein TeO x in the optical information recording member according to claim 1, wherein the content was a maximum 50 mol% of the material.
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EP2296148A1 (en) 2003-07-25 2011-03-16 Panasonic Corporation Information recording medium and method for producing the same

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