JPH0736378B2 - 高粘度レジストポンプ - Google Patents
高粘度レジストポンプInfo
- Publication number
- JPH0736378B2 JPH0736378B2 JP61245554A JP24555486A JPH0736378B2 JP H0736378 B2 JPH0736378 B2 JP H0736378B2 JP 61245554 A JP61245554 A JP 61245554A JP 24555486 A JP24555486 A JP 24555486A JP H0736378 B2 JPH0736378 B2 JP H0736378B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bellows
- resist
- pressure
- resist pump
- pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Coating Apparatus (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の分野］ 本発明は半導体ウエハ露光工程等において、ウエハ上に
レジストを塗布するためのレジスト用ポンプに関し、特
に高粘度レジストを使用する高粘度レジストポンプに関
する。
レジストを塗布するためのレジスト用ポンプに関し、特
に高粘度レジストを使用する高粘度レジストポンプに関
する。
［発明の背景］ 被塗布材上にレジストを供給するためにレジストポンプ
が用いられる。このレジストポンプは伸縮可能なペロー
ズを覆うジャケットに吸入口及び吐出口を設け、ベロー
ズ内部のエアーシリンダによりベローズを伸縮させてベ
ローズ周囲とジャケット内側間の空間にレジストを吸引
しかつこれを吐出するものである。このようなレジスト
ポンプのベローズはテフロン（商品名：アメリカE.I.du
Pont de Nemous ＆ Co.Inc.）等のポリフッ化エチレン
系繊維により構成されている。
が用いられる。このレジストポンプは伸縮可能なペロー
ズを覆うジャケットに吸入口及び吐出口を設け、ベロー
ズ内部のエアーシリンダによりベローズを伸縮させてベ
ローズ周囲とジャケット内側間の空間にレジストを吸引
しかつこれを吐出するものである。このようなレジスト
ポンプのベローズはテフロン（商品名：アメリカE.I.du
Pont de Nemous ＆ Co.Inc.）等のポリフッ化エチレン
系繊維により構成されている。
［従来の技術］ 従来のレジストポンプにおいて、特に高粘度のレジスト
を使用すると、ジャケット内の抵抗が増大しレジスト吐
出圧が非常に大きくなり、ベローズ表面に大きな圧力が
加わって、ベローズが塑性変形を起したりまたは破壊等
を生じ、吸入、吐出不良を起す場合があった。
を使用すると、ジャケット内の抵抗が増大しレジスト吐
出圧が非常に大きくなり、ベローズ表面に大きな圧力が
加わって、ベローズが塑性変形を起したりまたは破壊等
を生じ、吸入、吐出不良を起す場合があった。
［発明の目的］ 本発明は前記従来技術の欠点に鑑みてなされたものであ
って、高粘度レジスト使用時のベローズに対する圧力に
よるベローズの損傷、劣化を軽減し、信頼性の高いレジ
スト吸入、吐出動作を達成する高粘度レジストポンプの
提供を目的とする。
って、高粘度レジスト使用時のベローズに対する圧力に
よるベローズの損傷、劣化を軽減し、信頼性の高いレジ
スト吸入、吐出動作を達成する高粘度レジストポンプの
提供を目的とする。
［実施例］ 本発明に係る高粘土レジストポンプの一実施例の構成を
第１図に示す。ジャケット３の吸入口８および吐出口９
に各々逆止弁1a,1bを介して吸入管10及び吐出管11が接
続されている。ジャケット３内にはテフロン（商品名：
アメリカE.I.du Pont de Nemous ＆ Co.Inc.）等のポリ
フッ化エチレン系繊維からなるベローズ２が配設されて
いる。ベローズ２の内部にはエアーシリンダ４が設けら
れ、エアーシリンダへのエア給圧上下でロッド4aを上下
しベローズ２を伸縮動作させる。ジャケット３にはさら
に圧力制御装置５を介してエアー管12が接続される。圧
力制御装置５は可変絞り弁６および逆止弁７により構成
されている。このエアー管12はエアーシリンダ４と同じ
エアポンプ20に接続してある。エアポンプはエアー管12
とエアーシリンダ４とで別々に設けてもよい。
第１図に示す。ジャケット３の吸入口８および吐出口９
に各々逆止弁1a,1bを介して吸入管10及び吐出管11が接
続されている。ジャケット３内にはテフロン（商品名：
アメリカE.I.du Pont de Nemous ＆ Co.Inc.）等のポリ
フッ化エチレン系繊維からなるベローズ２が配設されて
いる。ベローズ２の内部にはエアーシリンダ４が設けら
れ、エアーシリンダへのエア給圧上下でロッド4aを上下
しベローズ２を伸縮動作させる。ジャケット３にはさら
に圧力制御装置５を介してエアー管12が接続される。圧
力制御装置５は可変絞り弁６および逆止弁７により構成
されている。このエアー管12はエアーシリンダ４と同じ
エアポンプ20に接続してある。エアポンプはエアー管12
とエアーシリンダ４とで別々に設けてもよい。
次に上記構成のレジストポンプの作動について説明す
る。エアポンプ20からのエア供給圧を下げてエアーシリ
ンダ４を下方に駆動するとこれに応じてローズ２が縮ん
で下方に移動し吸入口８を通してレジストがベローズ２
の外側とジャケット３の内側との間の空間に吸入され充
填される。次にエア供給圧を上げてエアーシリンダ４を
上方に駆動するとこれに応じてベローズ２が伸びて上方
に移動し吐出口９を通じてジャケット３内のレジストを
吐出する。このときエアー管12を通して圧力制御装置５
を介してジャケット３に圧縮空気を供給する。この圧縮
空気がベローズ２の内部に導入されベローズ２の外周囲
のレジスト圧力とのバランスを保つように圧力制御装置
５で圧力制御する。このようにレジスト吐出時の吐出圧
に対抗する圧力をベローズ２の内部に導入することによ
り、ベローズ内外の圧力のバランスが保たれベローズ外
側表面に加わる吐出圧に基くベローズの塑性変形、損傷
等は防止される。
る。エアポンプ20からのエア供給圧を下げてエアーシリ
ンダ４を下方に駆動するとこれに応じてローズ２が縮ん
で下方に移動し吸入口８を通してレジストがベローズ２
の外側とジャケット３の内側との間の空間に吸入され充
填される。次にエア供給圧を上げてエアーシリンダ４を
上方に駆動するとこれに応じてベローズ２が伸びて上方
に移動し吐出口９を通じてジャケット３内のレジストを
吐出する。このときエアー管12を通して圧力制御装置５
を介してジャケット３に圧縮空気を供給する。この圧縮
空気がベローズ２の内部に導入されベローズ２の外周囲
のレジスト圧力とのバランスを保つように圧力制御装置
５で圧力制御する。このようにレジスト吐出時の吐出圧
に対抗する圧力をベローズ２の内部に導入することによ
り、ベローズ内外の圧力のバランスが保たれベローズ外
側表面に加わる吐出圧に基くベローズの塑性変形、損傷
等は防止される。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明に係るレジストポンプにお
いては、ベローズ周囲のレジスト圧力に対応してベロー
ズ内部を加圧するための加圧手段を具備しているため、
高粘度レジスト使用時においてもレジスト吐出圧による
ベローズの塑性変形、破壊、劣化等が防止されベローズ
の耐久性が向上して信頼性の高いレジストの吸入、吐出
動作が達成される。
いては、ベローズ周囲のレジスト圧力に対応してベロー
ズ内部を加圧するための加圧手段を具備しているため、
高粘度レジスト使用時においてもレジスト吐出圧による
ベローズの塑性変形、破壊、劣化等が防止されベローズ
の耐久性が向上して信頼性の高いレジストの吸入、吐出
動作が達成される。
第１図は本発明に係る高粘度レジストポンプの縦断面図
である。 1a,1b,7:逆止弁、2:ベローズ、3:ジャケット、4:エアー
シリンダ。5:圧力制御装置。
である。 1a,1b,7:逆止弁、2:ベローズ、3:ジャケット、4:エアー
シリンダ。5:圧力制御装置。
Claims (4)
- 【請求項１】レジストの吸入口および吐出口を有する容
器と、該容器内に設けたベローズと、該ベローズを伸縮
動作させるためのベローズ内部に設けた駆動手段と、ベ
ローズ周囲のレジスト圧力に対応してベローズ内部を加
圧するための加圧手段とを具備したことを特徴とする高
粘度レジストポンプ。 - 【請求項２】前記加圧手段は可変絞り弁付逆止弁からな
る圧力制御装置を介して導入する圧縮空気であることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の高粘度レジスト
ポンプ。 - 【請求項３】前記駆動手段は空気圧作動のエアーシリン
ダであることを特徴とする特許請求の範囲第１項または
第２項記載の高粘度レジストポンプ。 - 【請求項４】前記ベローズはポリフッ化エチレン系繊維
からなることを特徴とする特許請求の範囲第１項から第
３項までのいずれかの項に記載した高粘度レジストポン
プ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61245554A JPH0736378B2 (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | 高粘度レジストポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61245554A JPH0736378B2 (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | 高粘度レジストポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63100731A JPS63100731A (ja) | 1988-05-02 |
| JPH0736378B2 true JPH0736378B2 (ja) | 1995-04-19 |
Family
ID=17135426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61245554A Expired - Lifetime JPH0736378B2 (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | 高粘度レジストポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0736378B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015115486A (ja) * | 2013-12-12 | 2015-06-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 液供給装置 |
| JP6174776B1 (ja) * | 2016-12-12 | 2017-08-02 | 中外炉工業株式会社 | 塗布液供給装置 |
-
1986
- 1986-10-17 JP JP61245554A patent/JPH0736378B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63100731A (ja) | 1988-05-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |