JPH0749039B2 - 超音波変換素子の製造方法 - Google Patents
超音波変換素子の製造方法Info
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- JPH0749039B2 JPH0749039B2 JP1108679A JP10867989A JPH0749039B2 JP H0749039 B2 JPH0749039 B2 JP H0749039B2 JP 1108679 A JP1108679 A JP 1108679A JP 10867989 A JP10867989 A JP 10867989A JP H0749039 B2 JPH0749039 B2 JP H0749039B2
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- thin plate
- ultrasonic transducer
- jig
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、超音波変換素子の製造方法に関するものであ
る。
る。
従来の技術 従来の超音波変換素子の製造方法について図面を参照し
ながら説明する。
ながら説明する。
第４図（ａ）、（ｂ）はおよび第５図（ａ）、（ｂ）は
それぞれ従来の超音波変換素子の製造方法を示す正面図
および側面図である。第４図（ａ）および第５図（ａ）
に示すように受け治具41の平面状の受け面41a上に、超
音波変換素子形成用の圧電セラミックスからなる複数枚
の薄板材44を各面間に接着剤を設けて積層し、最上位の
薄板材43上に弾性体43を載せる。そして、加圧治具42を
受け治具41に対し下降させ、平面状の加圧面42aによ
り、第４図（ｂ）および第５図（ｂ）に示すように弾性
体43上より薄板材44を加圧し、各薄板材44を接着剤硬化
させ、超音波変換素子を製造することができる。
それぞれ従来の超音波変換素子の製造方法を示す正面図
および側面図である。第４図（ａ）および第５図（ａ）
に示すように受け治具41の平面状の受け面41a上に、超
音波変換素子形成用の圧電セラミックスからなる複数枚
の薄板材44を各面間に接着剤を設けて積層し、最上位の
薄板材43上に弾性体43を載せる。そして、加圧治具42を
受け治具41に対し下降させ、平面状の加圧面42aによ
り、第４図（ｂ）および第５図（ｂ）に示すように弾性
体43上より薄板材44を加圧し、各薄板材44を接着剤硬化
させ、超音波変換素子を製造することができる。
発明が解決しようとする課題 しかし、上記のような従来技術では、接着剤層に生じる
圧力分布は第６図（ａ）、（ｂ）に示す等圧線図、圧力
勾配図から明らかなように接着面中央部の圧力勾配が緩
いため、接着面中央に接着剤や気泡が残りやすい。ま
た、薄板材44は板厚にムラが生じないように成形加工す
るのは困難であるが、このように板厚にムラがあると、
加圧治具42の加圧面42aの形状が平面であるため、偏荷
重が生じ、均一な接着層が得られないなどの課題があっ
た。
圧力分布は第６図（ａ）、（ｂ）に示す等圧線図、圧力
勾配図から明らかなように接着面中央部の圧力勾配が緩
いため、接着面中央に接着剤や気泡が残りやすい。ま
た、薄板材44は板厚にムラが生じないように成形加工す
るのは困難であるが、このように板厚にムラがあると、
加圧治具42の加圧面42aの形状が平面であるため、偏荷
重が生じ、均一な接着層が得られないなどの課題があっ
た。
本発明は、以上のような従来技術の課題を解決するもの
であり、接着面の各層内の接着剤や気泡を良好に排出す
ることができ、また、薄板材の板厚ムラによる偏荷重を
防止して均一な接着層を得ることができ、安定した素子
特性を得ることができるようにした超音波変換素子の製
造方法を提供することを目的とするものである。
であり、接着面の各層内の接着剤や気泡を良好に排出す
ることができ、また、薄板材の板厚ムラによる偏荷重を
防止して均一な接着層を得ることができ、安定した素子
特性を得ることができるようにした超音波変換素子の製
造方法を提供することを目的とするものである。
課題を解決するための手段 上記目的を達成するための本発明の技術的解決手段は、
受け治具における平面状の受け面上に、各面間に接着剤
を設けた超音波変換素子形成用の複数枚の薄板材を積層
し、加圧治具を上記受け治具側に前進させ、周辺より中
央部に至るに従い次第に前方へ突出する曲面状の加圧面
により上記薄板材を加圧して接着するようにしたもので
ある。
受け治具における平面状の受け面上に、各面間に接着剤
を設けた超音波変換素子形成用の複数枚の薄板材を積層
し、加圧治具を上記受け治具側に前進させ、周辺より中
央部に至るに従い次第に前方へ突出する曲面状の加圧面
により上記薄板材を加圧して接着するようにしたもので
ある。
そして、加圧治具は少なくとも加圧面部が弾性体により
形成するのが好ましい。
形成するのが好ましい。
また、上記薄板材を弾性体を介して上記加圧治具の加圧
面により加圧するようにしたものである。
面により加圧するようにしたものである。
作用 上記技術的手段による作用は次のようになる。
加圧治具における周辺より中央部に至るに従い次第に前
方へ突出する曲面状の加圧面により直接、若しくは弾性
体を介して薄板材を加圧することにより、接着面の圧力
分布を中央から周辺に向かって低くなるようにすること
ができ、また、薄板材の板厚ムラによる偏荷重を少なく
することができる。
方へ突出する曲面状の加圧面により直接、若しくは弾性
体を介して薄板材を加圧することにより、接着面の圧力
分布を中央から周辺に向かって低くなるようにすること
ができ、また、薄板材の板厚ムラによる偏荷重を少なく
することができる。
実施例 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。
る。
第１図（ａ）、（ｂ）および第２図（ａ）、（ｂ）はそ
れぞれ本発明の一実施例における超音波変換素子の製造
方法を示す正面図および側面図である。
れぞれ本発明の一実施例における超音波変換素子の製造
方法を示す正面図および側面図である。
第１図（ａ）、（ｂ）および第２図（ａ）、（ｂ）にお
いて、１は受け治具１でありり、定位置に設けられ、受
け面1aが平面状に形成されている。２は加圧治具であ
り、加圧面2aが周辺より中央部に至るに従い次第に前方
へ突出する曲面形状を有し、支持手段（図示省略）によ
り、加圧面2aが受け治具１の受け面1aに対向して垂直方
向に摺動し得るように支持されている。３は緩衝用の弾
性体であり、シリコンゴム等により形成されている。４
は超音波変換素子形成用の圧電セラミックスからなる複
数枚の薄板材であり、受け治具１の受け面1a上に積層さ
れた状態で、拘束手段（図示省略）によって水平方向の
動きが拘束される。
いて、１は受け治具１でありり、定位置に設けられ、受
け面1aが平面状に形成されている。２は加圧治具であ
り、加圧面2aが周辺より中央部に至るに従い次第に前方
へ突出する曲面形状を有し、支持手段（図示省略）によ
り、加圧面2aが受け治具１の受け面1aに対向して垂直方
向に摺動し得るように支持されている。３は緩衝用の弾
性体であり、シリコンゴム等により形成されている。４
は超音波変換素子形成用の圧電セラミックスからなる複
数枚の薄板材であり、受け治具１の受け面1a上に積層さ
れた状態で、拘束手段（図示省略）によって水平方向の
動きが拘束される。
上記のような製造装置により超音波変換素子を製造する
には、まず、第１図（ａ）および第２図（ａ）に示すよ
うに受け治具１の平面状の受け面1a上に複数枚の薄板材
４を各面に接着剤を塗布して積層し、各薄板材４を拘束
して位置ずれを防止する。次に、積層した薄板材４の上
に弾性体３を載せる。その後、第１図（ｂ）および第２
図（ｂ）に示すように加圧治具２を前進させ、その曲面
状の加圧面2aにより積層した薄板材４を弾性体３の上か
ら加圧し、この状態を保って接着材を固化させ、超音波
変換素子を製造することができる。
には、まず、第１図（ａ）および第２図（ａ）に示すよ
うに受け治具１の平面状の受け面1a上に複数枚の薄板材
４を各面に接着剤を塗布して積層し、各薄板材４を拘束
して位置ずれを防止する。次に、積層した薄板材４の上
に弾性体３を載せる。その後、第１図（ｂ）および第２
図（ｂ）に示すように加圧治具２を前進させ、その曲面
状の加圧面2aにより積層した薄板材４を弾性体３の上か
ら加圧し、この状態を保って接着材を固化させ、超音波
変換素子を製造することができる。
このとき、接着面の圧力分布は第３図（ａ）、（ｂ）に
示す等圧線図、圧力勾配図から明らかなように中央から
周辺に向かって低くなるので、各層内の接着剤および気
泡を良好に排出することができ、また、薄板材４の板厚
ムラによる偏荷重を少なくし、均一な接着層を得ること
ができる。したがって、安定した素子特性を実現するこ
とができる。
示す等圧線図、圧力勾配図から明らかなように中央から
周辺に向かって低くなるので、各層内の接着剤および気
泡を良好に排出することができ、また、薄板材４の板厚
ムラによる偏荷重を少なくし、均一な接着層を得ること
ができる。したがって、安定した素子特性を実現するこ
とができる。
なお、積層した薄板材４を加圧治具２の加圧面2aにより
直接加圧するようにしてもよい。このとき、加圧治具２
は少なくとも加圧面2a部を弾性体により形成すればよ
い。
直接加圧するようにしてもよい。このとき、加圧治具２
は少なくとも加圧面2a部を弾性体により形成すればよ
い。
発明の効果 以上述べたように本発明によれば、受け治具における平
面状の受け面上に、各面間に接着剤を設けた超音波変換
素子形成用の薄板材を積層し、加圧治具を上記受け治具
側に前進させ、周辺より中央部に至るに従い次第に前方
へ突出する曲面状の加圧面により上記薄板材を直接、若
しくは弾性体を介して加圧して接着するようにしている
ので、積層した薄板材の各層に生じる圧力分布を接着面
の中央から周辺に向かって低くすることができ、層内の
接着剤および気泡を層外へ排出することができ、また、
薄板材の板厚ムラによる偏荷重を少なくして均一な接着
層を得ることができる。したがって、安定した素子特性
を実現することができる。
面状の受け面上に、各面間に接着剤を設けた超音波変換
素子形成用の薄板材を積層し、加圧治具を上記受け治具
側に前進させ、周辺より中央部に至るに従い次第に前方
へ突出する曲面状の加圧面により上記薄板材を直接、若
しくは弾性体を介して加圧して接着するようにしている
ので、積層した薄板材の各層に生じる圧力分布を接着面
の中央から周辺に向かって低くすることができ、層内の
接着剤および気泡を層外へ排出することができ、また、
薄板材の板厚ムラによる偏荷重を少なくして均一な接着
層を得ることができる。したがって、安定した素子特性
を実現することができる。
第１図（ａ）、（ｂ）および第２図（ａ）、（ｂ）は本
発明の一実施例における超音波変換素子の製造方法を示
す正面図および側面図、第３図（ａ）、（ｂ）は、上記
実施例により製造する際の接着層内に発生する圧力分布
を示し、第３図（ａ）は等圧線図、第３図（ｂ）は圧力
勾配図、第４図（ａ）、（ｂ）および第５図（ａ）、
（ｂ）は従来の一実施例における超音波変換素子の製造
方法を示す正面図および側面図、第６図（ａ）、（ｂ）
は、上記実施例により製造する際の接着層内に発生する
圧力分布を示し、第６図（ａ）は等圧線図、第６図
（ｂ）は圧力勾配図である。 １……受け治具、1a……受け面、２……加圧治具、2a…
…加圧面、３……弾性体、４……薄板材。
発明の一実施例における超音波変換素子の製造方法を示
す正面図および側面図、第３図（ａ）、（ｂ）は、上記
実施例により製造する際の接着層内に発生する圧力分布
を示し、第３図（ａ）は等圧線図、第３図（ｂ）は圧力
勾配図、第４図（ａ）、（ｂ）および第５図（ａ）、
（ｂ）は従来の一実施例における超音波変換素子の製造
方法を示す正面図および側面図、第６図（ａ）、（ｂ）
は、上記実施例により製造する際の接着層内に発生する
圧力分布を示し、第６図（ａ）は等圧線図、第６図
（ｂ）は圧力勾配図である。 １……受け治具、1a……受け面、２……加圧治具、2a…
…加圧面、３……弾性体、４……薄板材。
Claims (3)
- 【請求項１】受け治具における平面状の受け面上に、各
面間に接着剤を設けた超音波変換素子形成用の複数枚の
薄板材を積層し、加圧治具を上記受け治具側に前進さ
せ、周辺より中央部に至るに従い次第に前方へ突出する
曲面状の加圧面により上記薄板材を加圧して接着するこ
とを特徴とする超音波変換素子の製造方法。 - 【請求項２】加圧治具は少なくとも加圧面部が弾性体に
より形成されている請求項１記載の超音波変換素子の製
造方法。 - 【請求項３】薄板材を弾性体を介して加圧治具の加圧面
により加圧することを特徴とする請求項１記載の超音波
変換素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1108679A JPH0749039B2 (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | 超音波変換素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1108679A JPH0749039B2 (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | 超音波変換素子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02286138A JPH02286138A (ja) | 1990-11-26 |
| JPH0749039B2 true JPH0749039B2 (ja) | 1995-05-31 |
Family
ID=14490925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1108679A Expired - Lifetime JPH0749039B2 (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | 超音波変換素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0749039B2 (ja) |
-
1989
- 1989-04-26 JP JP1108679A patent/JPH0749039B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02286138A (ja) | 1990-11-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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