JPH0750640B2 - 偏光発生装置 - Google Patents
偏光発生装置Info
- Publication number
- JPH0750640B2 JPH0750640B2 JP25733789A JP25733789A JPH0750640B2 JP H0750640 B2 JPH0750640 B2 JP H0750640B2 JP 25733789 A JP25733789 A JP 25733789A JP 25733789 A JP25733789 A JP 25733789A JP H0750640 B2 JPH0750640 B2 JP H0750640B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vertical
- elevating
- column
- sliding surface
- bracket
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 利用産業分野 この発明は、高輝度光源用ウイグラーまたはアンジュレ
ーターと呼ばれる偏光発生装置の改良に係り、磁石列を
支持する昇降ブラケットを、位相調整機構を有するカッ
プリングで１本となした相互に逆ねじが螺刻された１対
のスクリューシャフトに螺合させて、相対向させた一対
の磁石列のギャップを極めて高精度かつ高平行度で調整
位置決めできる偏光発生装置に関する。
ーターと呼ばれる偏光発生装置の改良に係り、磁石列を
支持する昇降ブラケットを、位相調整機構を有するカッ
プリングで１本となした相互に逆ねじが螺刻された１対
のスクリューシャフトに螺合させて、相対向させた一対
の磁石列のギャップを極めて高精度かつ高平行度で調整
位置決めできる偏光発生装置に関する。
背景技術 光速に近い電子ビームが磁場中を通過すると電磁波、す
なわちシンクロトロン放射光を発生するが、異磁極磁石
を交互に配置して磁界方向が交互に変化する磁界中にこ
の電子ビームを通過させると、相互に干渉し合いより輝
度の高い光が得られる。（参考文献、特開昭61−19100
号公報） かかる干渉性放射光発生装置は挿入型光源と呼ばれ、例
えば、電子蓄積リングに用いられ、偏光特性の違いか
ら、磁場の周波数（Ｎ）の2N倍の光が得られるタイプが
ウイグラー、これより磁場が弱く電子軌道の振幅が極め
て小さいがN2の強度の光が得られるタイプがアンジュレ
ーターと呼ばれている。
なわちシンクロトロン放射光を発生するが、異磁極磁石
を交互に配置して磁界方向が交互に変化する磁界中にこ
の電子ビームを通過させると、相互に干渉し合いより輝
度の高い光が得られる。（参考文献、特開昭61−19100
号公報） かかる干渉性放射光発生装置は挿入型光源と呼ばれ、例
えば、電子蓄積リングに用いられ、偏光特性の違いか
ら、磁場の周波数（Ｎ）の2N倍の光が得られるタイプが
ウイグラー、これより磁場が弱く電子軌道の振幅が極め
て小さいがN2の強度の光が得られるタイプがアンジュレ
ーターと呼ばれている。
偏光発生装置の構成は、所要寸法の多数個の磁石ブロッ
クを水平方向に所要パターンで配列した一対の磁石列
を、垂直支柱に種々の機械的支持機構を用いて相対向さ
せ、この磁石列間を所要のギャップ寸法に調整位置決め
可能にしてある。
クを水平方向に所要パターンで配列した一対の磁石列
を、垂直支柱に種々の機械的支持機構を用いて相対向さ
せ、この磁石列間を所要のギャップ寸法に調整位置決め
可能にしてある。
従来技術の問題点 前記の一対あるいは複数対の磁石列を昇降可能に水平支
持する機械的支持機構は、磁石列を装着した支持ビーム
を直動型軸受を介在させて垂直支柱に当接させるか、所
要形状の垂直支柱を内挿した構成、あるいはボールスク
リューを用いた構成であった。
持する機械的支持機構は、磁石列を装着した支持ビーム
を直動型軸受を介在させて垂直支柱に当接させるか、所
要形状の垂直支柱を内挿した構成、あるいはボールスク
リューを用いた構成であった。
従来、いずれの型式の直動型軸受、ボールスクリューで
あっても、軸受の精度あるいはボールの精度から昇降位
置決め精度を10μｍ以下にすることができず、また、平
行度も50μm/m以下とすることが困難であった。
あっても、軸受の精度あるいはボールの精度から昇降位
置決め精度を10μｍ以下にすることができず、また、平
行度も50μm/m以下とすることが困難であった。
また、ギャップ量を変更する手段として１本のねじ軸に
右ねじ部と、左ねじ部を設け、これを装置の大きさによ
って１本以上使用して担持する構造となし、ねじ軸を正
転または逆転方向に同調回転させることによってギャッ
プ量の変更を行なう構成が考えられるが、 複数のねじ軸を１台のアクチュエーターで同調させ
る作業は経験の豊富な技能者の手によっても極めて困
難、 各々のねじ軸に設けられた右ねじ部、左ねじ部のナ
ット部の位相を正確に合わす作業が煩雑かつ困難、 ねじの剛性、すなわち、ギャップ量の変化に伴う磁
石吸引力の変動および装置の自重による単位荷重当りの
ねじ軸の伸びや、ねじ軸回転（駆動）トルクの作用に伴
うねじ軸のねじれ角が精度に与える影響等を問題とする
高い精度を要するため、ねじ軸の直径を要求精度に見合
った寸法に大きくするなど、ねじ軸の細長化が大きくな
りμｍ単位の変位を取り扱う上で機構上精度確保に限界
があった。
右ねじ部と、左ねじ部を設け、これを装置の大きさによ
って１本以上使用して担持する構造となし、ねじ軸を正
転または逆転方向に同調回転させることによってギャッ
プ量の変更を行なう構成が考えられるが、 複数のねじ軸を１台のアクチュエーターで同調させ
る作業は経験の豊富な技能者の手によっても極めて困
難、 各々のねじ軸に設けられた右ねじ部、左ねじ部のナ
ット部の位相を正確に合わす作業が煩雑かつ困難、 ねじの剛性、すなわち、ギャップ量の変化に伴う磁
石吸引力の変動および装置の自重による単位荷重当りの
ねじ軸の伸びや、ねじ軸回転（駆動）トルクの作用に伴
うねじ軸のねじれ角が精度に与える影響等を問題とする
高い精度を要するため、ねじ軸の直径を要求精度に見合
った寸法に大きくするなど、ねじ軸の細長化が大きくな
りμｍ単位の変位を取り扱う上で機構上精度確保に限界
があった。
この発明は、かかる現状に鑑み、偏光発生装置の相対向
する一対の磁石列間のギャップを、容易に10μｍ以下の
精度でかつ50μm/m以下の平行度で昇降位置決めできる
構成からなる偏光発生装置の提供を目的としている。
する一対の磁石列間のギャップを、容易に10μｍ以下の
精度でかつ50μm/m以下の平行度で昇降位置決めできる
構成からなる偏光発生装置の提供を目的としている。
発明の概要 この発明は、 複数の磁石を所要パターンで水平配列して磁石列を形成
するための少なくとも一対のビームを、昇降ブラケット
に固着させて、立設された１本以上の支柱に昇降可能に
支持し、上下の水平ビームの磁石列が相対向しかつ近接
離反可能となした偏光発生装置において、 相互に逆ねじが螺刻された１対のスクリューシャフトを
位相調整機構を有するカップリングで１本となし、各ス
クリューシャフトがねじ螺刻面の始端及び終端側に設け
た軸受で軸支され、上下の各ねじ螺刻面にそれぞれ昇降
ブラケットを螺合させた構成にて、上下の水平ビームを
相対向かつ近接離反可能となしたことを特徴とする偏光
発生装置である。
するための少なくとも一対のビームを、昇降ブラケット
に固着させて、立設された１本以上の支柱に昇降可能に
支持し、上下の水平ビームの磁石列が相対向しかつ近接
離反可能となした偏光発生装置において、 相互に逆ねじが螺刻された１対のスクリューシャフトを
位相調整機構を有するカップリングで１本となし、各ス
クリューシャフトがねじ螺刻面の始端及び終端側に設け
た軸受で軸支され、上下の各ねじ螺刻面にそれぞれ昇降
ブラケットを螺合させた構成にて、上下の水平ビームを
相対向かつ近接離反可能となしたことを特徴とする偏光
発生装置である。
さらに、この発明は、前記構成において、 昇降ブラケットの垂直摺動面部が各支柱に設けた少なく
とも２面の垂直摺動面に相対して支柱を把持し、昇降ブ
ラケットの前記垂直摺動面部を所要のテーパー面とな
し、低摩擦係数で耐摩耗性にすぐれた摺動平面を有しか
つ前記テーパー面と逆テーパー面を有するテーパー状の
スライダー部材を、摺動平面を支柱の垂直摺動面に当接
させて、支柱垂直面と昇降ブラケットの当該所定面との
間に嵌入させて隙間をなくした昇降支持機構を有するこ
とを特徴とする偏光発生装置である。
とも２面の垂直摺動面に相対して支柱を把持し、昇降ブ
ラケットの前記垂直摺動面部を所要のテーパー面とな
し、低摩擦係数で耐摩耗性にすぐれた摺動平面を有しか
つ前記テーパー面と逆テーパー面を有するテーパー状の
スライダー部材を、摺動平面を支柱の垂直摺動面に当接
させて、支柱垂直面と昇降ブラケットの当該所定面との
間に嵌入させて隙間をなくした昇降支持機構を有するこ
とを特徴とする偏光発生装置である。
発明の構成と効果 この発明は、偏光発生装置において、 昇降機構は、左ねじ送り機構を有するねじ軸と右ねじ送
り機構を有するねじ軸とを同一垂直軸上に配置し、各ね
じ軸は荷重を受けて移動可能に構成されためねじの移動
範囲の外側に極力隣接した位置、すなわち、ねじ螺刻面
の始端及び終端側に設けた２組の軸受でもって回転可能
に且つスラスト荷重を受けるように支持して軸受間距離
を一定に保つことができる構造とし、少なくとも軸受と
軸受との間に規制されたねじ軸長はめねじに荷重の変動
があっても一定となるように軸受で支持し、かつ左ねじ
送り機構を有するねじ軸と右ねじ送り機構を有するねじ
軸との連結機構として、回転力（トルク）伝達機構と連
結されたねじ軸相互間の回転角度を微小（100:1程度）
に変更できる位相調整機構を有するカップリングを設け
たことを特徴とする。
り機構を有するねじ軸とを同一垂直軸上に配置し、各ね
じ軸は荷重を受けて移動可能に構成されためねじの移動
範囲の外側に極力隣接した位置、すなわち、ねじ螺刻面
の始端及び終端側に設けた２組の軸受でもって回転可能
に且つスラスト荷重を受けるように支持して軸受間距離
を一定に保つことができる構造とし、少なくとも軸受と
軸受との間に規制されたねじ軸長はめねじに荷重の変動
があっても一定となるように軸受で支持し、かつ左ねじ
送り機構を有するねじ軸と右ねじ送り機構を有するねじ
軸との連結機構として、回転力（トルク）伝達機構と連
結されたねじ軸相互間の回転角度を微小（100:1程度）
に変更できる位相調整機構を有するカップリングを設け
たことを特徴とする。
この発明において、位相調整機構を有するカップリング
には、具体的には、歯車の弾性変形を利用した高減速機
構をもつ位相調整装置などが利用できる。
には、具体的には、歯車の弾性変形を利用した高減速機
構をもつ位相調整装置などが利用できる。
また、この発明において上下の水平ビームの昇降支持機
構は、公知のいずれの機構をも利用できるが、所要のビ
ームに固着した磁石列が高精度で摺動昇降できるよう
に、例えば、 上下一対のＩビームからなる水平ビームを、昇降ブラケ
ットに固着させて、立設された１本以上の支柱をガイド
となし、該ビームを水平支持する昇降ブラケットが、前
記支柱の２以上の垂直面に当接して当該支柱を抱き込む
如く、昇降ブラケットの形状を構成し、 さらに、支柱と昇降ブラケット間の間隙をなくすよう
に、低摩擦係数で耐摩耗性にすぐれた摺動平面を有する
テーパー状のスライダー部材を、摺動平面を支柱の垂直
面に当接させて、 例えば実施例の如く、ホルダー部材等にて、スライダー
部材のテーパー面と逆テーパー面となした昇降ブラケッ
トの所定面と支柱垂直面との間に嵌入させた構成が好ま
しい。
構は、公知のいずれの機構をも利用できるが、所要のビ
ームに固着した磁石列が高精度で摺動昇降できるよう
に、例えば、 上下一対のＩビームからなる水平ビームを、昇降ブラケ
ットに固着させて、立設された１本以上の支柱をガイド
となし、該ビームを水平支持する昇降ブラケットが、前
記支柱の２以上の垂直面に当接して当該支柱を抱き込む
如く、昇降ブラケットの形状を構成し、 さらに、支柱と昇降ブラケット間の間隙をなくすよう
に、低摩擦係数で耐摩耗性にすぐれた摺動平面を有する
テーパー状のスライダー部材を、摺動平面を支柱の垂直
面に当接させて、 例えば実施例の如く、ホルダー部材等にて、スライダー
部材のテーパー面と逆テーパー面となした昇降ブラケッ
トの所定面と支柱垂直面との間に嵌入させた構成が好ま
しい。
またスライダー部材は、低摩擦係数で耐摩耗性にすぐれ
た摺動平面を有しかつ前記テーパー面と逆テーパー面を
有するテーパー状であればよく、実施例の如く、所要の
部材に低摩擦係数で耐摩耗性にすぐれたライニングを施
すほか、低摩擦係数材料を用いることができる。
た摺動平面を有しかつ前記テーパー面と逆テーパー面を
有するテーパー状であればよく、実施例の如く、所要の
部材に低摩擦係数で耐摩耗性にすぐれたライニングを施
すほか、低摩擦係数材料を用いることができる。
かかる昇降支持機構により、垂直な支柱に隙間なく水平
にビームが配置されることから、支柱の垂直面の平坦度
精度が永久磁石列を固着するＩビームの平行度精度とな
る利点がある。
にビームが配置されることから、支柱の垂直面の平坦度
精度が永久磁石列を固着するＩビームの平行度精度とな
る利点がある。
さらに、前述の１対のスクリューシャフトとこれに螺合
する部材を利用する昇降機構により、例えば、20μm/m
以下の高平行度を維持しながら１μｍの精度で昇降位置
決めが極めて容易にできる。
する部材を利用する昇降機構により、例えば、20μm/m
以下の高平行度を維持しながら１μｍの精度で昇降位置
決めが極めて容易にできる。
発明の図面に基づく開示 第１図はこの発明による偏光発生装置の正面説明図であ
る。第２図は同装置の側面説明図である。第３図は第２
図III−III線矢視図である。第４図はこの発明による偏
光発生装置における支柱と昇降ブラケット間に介したス
ライダーの説明図である。
る。第２図は同装置の側面説明図である。第３図は第２
図III−III線矢視図である。第４図はこの発明による偏
光発生装置における支柱と昇降ブラケット間に介したス
ライダーの説明図である。
第５図はこの発明による他の偏光発生装置の側面説明図
である。
である。
構成 偏光発生装置のフレームは、床（１）上にボルトとナッ
ト部材とからなる平行度調整機（２）を介して水平配置
されるコモンベース（３）上に４本の角柱状の支柱
（４）を立設し、その上端に梁部材（５）を設けた箱型
フレームからなる。
ト部材とからなる平行度調整機（２）を介して水平配置
されるコモンベース（３）上に４本の角柱状の支柱
（４）を立設し、その上端に梁部材（５）を設けた箱型
フレームからなる。
該箱型フレームの短辺側となる近接する２本の支柱
（４）（４）間に、昇降ブラケット（10）が昇降自在に
配設され、第１図に示す如く、前記フレームに左右一対
かつ上下に２組配置される昇降ブラケット（10）（10）
間に、Ｉビーム（20）（20）が水平に載置または載架さ
れる。
（４）（４）間に、昇降ブラケット（10）が昇降自在に
配設され、第１図に示す如く、前記フレームに左右一対
かつ上下に２組配置される昇降ブラケット（10）（10）
間に、Ｉビーム（20）（20）が水平に載置または載架さ
れる。
さらに、このＩビーム（20）（20）には、所要パターン
で磁極が配列するよう多数の永久磁石を配列した磁石列
（21）が固着され、フレーム中央で磁石列（21）（21）
が対向する構成である。
で磁極が配列するよう多数の永久磁石を配列した磁石列
（21）が固着され、フレーム中央で磁石列（21）（21）
が対向する構成である。
詳述すれば、昇降ブラケット（10）は、第２図、第３図
に示す如く、水平方向に略Ｔ字型となり、前記の近接す
る２本の支柱（４）（４）間に嵌入する如く、配置され
て各支柱（４）の垂直２面に対向する。
に示す如く、水平方向に略Ｔ字型となり、前記の近接す
る２本の支柱（４）（４）間に嵌入する如く、配置され
て各支柱（４）の垂直２面に対向する。
昇降ブラケット（10）と支柱（４）との間には、後述す
るスライダー（12）とそのホルダー（11）とが介在し
て、隙間なく当接しており、前記ホルダー（11）は第３
図に示す如く、ここでは支柱（４）の４面を把持する如
く配置される。
るスライダー（12）とそのホルダー（11）とが介在し
て、隙間なく当接しており、前記ホルダー（11）は第３
図に示す如く、ここでは支柱（４）の４面を把持する如
く配置される。
板状のスライダー（12）は、一方の平坦面に低摩擦係数
の樹脂層（13）を被着してあり、他方面は例えば1/100
傾斜の所要テーパー面を形成してあり、ホルダー（11）
は前記とは逆のテーパー面を有しており、支柱（４）垂
直面と昇降ブラケット（10）との間に隙間をなく嵌入さ
せてある。
の樹脂層（13）を被着してあり、他方面は例えば1/100
傾斜の所要テーパー面を形成してあり、ホルダー（11）
は前記とは逆のテーパー面を有しており、支柱（４）垂
直面と昇降ブラケット（10）との間に隙間をなく嵌入さ
せてある。
従って、昇降ブラケット（10）は前記樹脂層（13）を有
するスライダー（12）を介して隙間なく支柱（４）に摺
動自在に当接している。
するスライダー（12）を介して隙間なく支柱（４）に摺
動自在に当接している。
また、各支柱（４）の外側にはカップリング（30）で１
本となし相互に逆ねじが螺刻されたスクリューシャフト
（7a）（7b）が軸受(6a1)(6a2)(6b2)(6b2)で軸支してあ
り、各昇降ブラケット（10）はナット部材（14a）（14
b）で該シャフト（7a）（7b）と挿通螺合させて上下方
向に移動できる構成からなる。
本となし相互に逆ねじが螺刻されたスクリューシャフト
（7a）（7b）が軸受(6a1)(6a2)(6b2)(6b2)で軸支してあ
り、各昇降ブラケット（10）はナット部材（14a）（14
b）で該シャフト（7a）（7b）と挿通螺合させて上下方
向に移動できる構成からなる。
詳述すると、右ねじ部を有するスクリューシャフト（7
a）と左ねじ部を有するスクリューシャフト（7b）は、
それぞれ梁部材（５）と支柱（４）に設けられた軸受(6
a1)(6a2)、支柱（４）とコモンベース（３）に設けられ
た軸受(6b1)(6b2)でスラスト荷重を受けるよう軸支さ
れ、位相調整機構を有するカップリング（30）で、上部
スクリューシャフト（7a）から下部スクリューシャフト
（7b）へトルク伝達可能に接続されている。
a）と左ねじ部を有するスクリューシャフト（7b）は、
それぞれ梁部材（５）と支柱（４）に設けられた軸受(6
a1)(6a2)、支柱（４）とコモンベース（３）に設けられ
た軸受(6b1)(6b2)でスラスト荷重を受けるよう軸支さ
れ、位相調整機構を有するカップリング（30）で、上部
スクリューシャフト（7a）から下部スクリューシャフト
（7b）へトルク伝達可能に接続されている。
梁部材（５）に載置したステップモータ（９）の駆動力
がギヤ分配され、同様に載置されるギアボックス（８）
を介して前記各スクリューシャフト（7a）（7b）対を所
要方向に回転させることができ、各昇降ブラケット（1
0）はナット部材（14a）（14b）を介して自在に昇降
し、Ｉビーム（20）に支持された磁石列（21）同志が当
接離反し、磁石列（21）（21）間に所要のギャップを設
定することができる。
がギヤ分配され、同様に載置されるギアボックス（８）
を介して前記各スクリューシャフト（7a）（7b）対を所
要方向に回転させることができ、各昇降ブラケット（1
0）はナット部材（14a）（14b）を介して自在に昇降
し、Ｉビーム（20）に支持された磁石列（21）同志が当
接離反し、磁石列（21）（21）間に所要のギャップを設
定することができる。
作用効果 １台のステップモータ（９）で上下合計８本のスクリュ
ーシャフト（7a）（7b）を同調して回転させることがで
きると伴に、上部スクリューシャフト（7a）と下部スク
リューシャフト（7b）と回転角度、すなわち、各々のス
クリューシュフトの回転の位相を微小に変更可能なた
め、磁石列（21）（21）間のギャップ精度（真直度、平
行度、ねじれ、平面度等）調整が容易になる。
ーシャフト（7a）（7b）を同調して回転させることがで
きると伴に、上部スクリューシャフト（7a）と下部スク
リューシャフト（7b）と回転角度、すなわち、各々のス
クリューシュフトの回転の位相を微小に変更可能なた
め、磁石列（21）（21）間のギャップ精度（真直度、平
行度、ねじれ、平面度等）調整が容易になる。
支柱（４）と昇降ブラケット（10）間の間隙をなくすよ
うに、低摩擦係数で耐摩耗にすぐれた樹脂層（13）の摺
動平面を有するテーパー状のスライダー（12）を、摺動
平面を支柱の垂直面に当接させて、支柱垂直面とスライ
ダー（12）のテーパー面と逆テーパー面となした昇降ブ
ラケット（10）のホルダー（11）の所定面との間に嵌入
させたことにより、垂直な支柱（４）に隙間なく水平に
Ｉビーム（20）が配置されることになり、支柱（４）の
垂直面の平坦度精度が磁石列（21）を固着するＩビーム
（20）の平行度精度となり、高精度で昇降位置決めが可
能になる。
うに、低摩擦係数で耐摩耗にすぐれた樹脂層（13）の摺
動平面を有するテーパー状のスライダー（12）を、摺動
平面を支柱の垂直面に当接させて、支柱垂直面とスライ
ダー（12）のテーパー面と逆テーパー面となした昇降ブ
ラケット（10）のホルダー（11）の所定面との間に嵌入
させたことにより、垂直な支柱（４）に隙間なく水平に
Ｉビーム（20）が配置されることになり、支柱（４）の
垂直面の平坦度精度が磁石列（21）を固着するＩビーム
（20）の平行度精度となり、高精度で昇降位置決めが可
能になる。
この発明による偏光発生装置は、軸受間距離を一定に保
つことができる構造としたことにより、磁石の吸引力お
よび磁石取付ビーム、クロスビーム等、装置構成部品の
重量による荷重に対してねじ軸の変位（伸縮）を従来の
構造のものに較べて大幅に少なくすることができ、磁石
列（21）（21）間に所要のギャップの精度を従来の装置
に比べ大幅に向上させることができ、高精度を実現する
ための組立調整も容易となり、従来の構造では困難とさ
れていた精度修正も容易に行なうことができる。
つことができる構造としたことにより、磁石の吸引力お
よび磁石取付ビーム、クロスビーム等、装置構成部品の
重量による荷重に対してねじ軸の変位（伸縮）を従来の
構造のものに較べて大幅に少なくすることができ、磁石
列（21）（21）間に所要のギャップの精度を従来の装置
に比べ大幅に向上させることができ、高精度を実現する
ための組立調整も容易となり、従来の構造では困難とさ
れていた精度修正も容易に行なうことができる。
第１図〜第４図に示す偏光発生装置は４本の角柱状の支
柱（４）を立設し、１台のステップモータ（９）で上下
４対のスクリューシャフト（7a）（7b）を同調回転させ
る構成を示したが、第５図に示す如く、コモンベース
（３）上に例えば１本の断面略Ｔ字型の支柱を立設し、
該支柱の突出部を把持する如く昇降ブラケット（15）を
オーバーハングさせて昇降自在に配設し、上下に１組配
置される昇降ブラケット（15）（15）のそれぞれにＩビ
ーム（20）（20）が水平に載置または載架して、図示は
省略するが、各昇降ブラケット（15）（15）と支柱との
間隙に前述したホルダーとスライダーを設けて同様の昇
降支持機構となし、位相調整機構を有するカップリング
で１本となしたスクリューシャフトで回転させる構成と
することにより、第１図の構成と同様に20μm/m以下の
高平行度を維持しながら１μｍの精度で昇降位置決めが
可能になる。
柱（４）を立設し、１台のステップモータ（９）で上下
４対のスクリューシャフト（7a）（7b）を同調回転させ
る構成を示したが、第５図に示す如く、コモンベース
（３）上に例えば１本の断面略Ｔ字型の支柱を立設し、
該支柱の突出部を把持する如く昇降ブラケット（15）を
オーバーハングさせて昇降自在に配設し、上下に１組配
置される昇降ブラケット（15）（15）のそれぞれにＩビ
ーム（20）（20）が水平に載置または載架して、図示は
省略するが、各昇降ブラケット（15）（15）と支柱との
間隙に前述したホルダーとスライダーを設けて同様の昇
降支持機構となし、位相調整機構を有するカップリング
で１本となしたスクリューシャフトで回転させる構成と
することにより、第１図の構成と同様に20μm/m以下の
高平行度を維持しながら１μｍの精度で昇降位置決めが
可能になる。
第１図はこの発明による偏光発生装置の正面説明図であ
る。第２図は同装置の側面説明図である。第３図は第２
図III−III線矢視図である。第４図はこの発明による偏
光発生装置における支柱と昇降ブラケット間に介したス
ライダーの説明図である。 第５図はこの発明による他の偏光発生装置の側面説明図
である。 １…床、２…平行度調整機、３…コモンベース、４…支
柱、５…梁部材、6a1，6a2，6b1，6b2…軸受、7a,7b…
スクリューシャフト、８…ギアボックス、９…ステップ
モータ、10,15…昇降ブラケット、11…ホルダー、12…
スライダー、13…樹脂層、14a,14b…ナット部材、20…
Ｉビーム、21…磁石列、30…カップリング。
る。第２図は同装置の側面説明図である。第３図は第２
図III−III線矢視図である。第４図はこの発明による偏
光発生装置における支柱と昇降ブラケット間に介したス
ライダーの説明図である。 第５図はこの発明による他の偏光発生装置の側面説明図
である。 １…床、２…平行度調整機、３…コモンベース、４…支
柱、５…梁部材、6a1，6a2，6b1，6b2…軸受、7a,7b…
スクリューシャフト、８…ギアボックス、９…ステップ
モータ、10,15…昇降ブラケット、11…ホルダー、12…
スライダー、13…樹脂層、14a,14b…ナット部材、20…
Ｉビーム、21…磁石列、30…カップリング。
フロントページの続き (72)発明者 村上 豊 岡山県倉敷市玉島乙島8231番地 株式会社 住重テック内 (56)参考文献 ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ ｏｎ Ｎｕｃｌｅａｒ Ｓｃｉｅｎｃｅ, ＮＳ−32〔５〕（1985）Ｐ．3412−3414
Claims (2)
- 【請求項１】複数の磁石を所要パターンで水平配列して
磁石列を形成するための少なくとも一対のビームを、立
設された１本以上の支柱に昇降ブラケットで昇降可能に
支持し、上下の水平ビームの磁石列が相対向しかつ近接
離反可能となした偏光発生装置において、 相互に逆ねじが螺刻された１対のスクリューシャフトを
位相調整機構を有するカップリングで１本となし、各ス
クリューシャフトがねじ螺刻面の始端及び終端側に設け
た軸受で軸支され、上下の各ねじ螺刻面にそれぞれ昇降
ブラケットを螺合させた構成にて、上下の水平ビームを
相対向かつ近接離反可能となした昇降機構を特徴とする
偏光発生装置。 - 【請求項２】昇降ブラケットの垂直摺動面部が各支柱に
設けた少なくとも２面の垂直摺動面に相対して支柱を把
持し、昇降ブラケットの前記垂直摺動面部を所要のテー
パー面となし、低摩擦係数で耐摩耗性にすぐれた摺動平
面を有しかつ前記テーパー面と逆テーパー面を有するテ
ーパー状のスライダー部材を、摺動平面を支柱の垂直摺
動面に当接させて、支柱垂直面と昇降ブラケットの当該
所定面との間に嵌入させて隙間をなくした昇降支持機構
を特徴とする請求項１記載の偏光発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25733789A JPH0750640B2 (ja) | 1989-10-02 | 1989-10-02 | 偏光発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25733789A JPH0750640B2 (ja) | 1989-10-02 | 1989-10-02 | 偏光発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03119700A JPH03119700A (ja) | 1991-05-22 |
| JPH0750640B2 true JPH0750640B2 (ja) | 1995-05-31 |
Family
ID=17304964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25733789A Expired - Lifetime JPH0750640B2 (ja) | 1989-10-02 | 1989-10-02 | 偏光発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0750640B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4726886B2 (ja) * | 2007-11-30 | 2011-07-20 | 独立行政法人理化学研究所 | 挿入光源用架台、挿入光源、磁場測定方法 |
| JP5251145B2 (ja) * | 2008-01-29 | 2013-07-31 | 独立行政法人理化学研究所 | 位置出し機構 |
| JP6551670B2 (ja) * | 2015-07-31 | 2019-07-31 | 日立金属株式会社 | 挿入光源 |
-
1989
- 1989-10-02 JP JP25733789A patent/JPH0750640B2/ja not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| ＩＥＥＥＴｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓｏｎＮｕｃｌｅａｒＳｃｉｅｎｃｅ，ＮＳ−３２〔５〕（１９８５）Ｐ．３４１２−３４１４ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03119700A (ja) | 1991-05-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE3751515T2 (de) | Positioniervorrichtung. | |
| US6327929B1 (en) | Two dimensional drive system | |
| JP3291310B2 (ja) | 支持装置 | |
| TWI591449B (zh) | An Adjustable Maglev Buoyancy Gravity Compensator | |
| JPH07119814B2 (ja) | 微小運動用調節装置 | |
| JP3459315B2 (ja) | ボールねじを具備した駆動装置及び該駆動装置を含むｘｙ駆動装置 | |
| US4774442A (en) | Linear motor-driven X-Y table | |
| JP2526816B2 (ja) | 可動体送り装置 | |
| CN105929516B (zh) | 一种宏微结合驱动的阵列式光栅拼接调整装置 | |
| CN107976763B (zh) | 一种五维光栅调整架 | |
| GB1354130A (en) | Apparatus for supporting and accurately positioning an object | |
| JP2781178B2 (ja) | 駆動機構及びマニピュレータ | |
| JPH0750640B2 (ja) | 偏光発生装置 | |
| JP2006519402A (ja) | 運転シミュレータ用の直線移動装置 | |
| CN105973187A (zh) | 卫星高精度测量运动装置 | |
| CN118392641A (zh) | 一种房屋混凝土构件检测用硬度测量装置及其测量方法 | |
| CN213276072U (zh) | 一种光学调整镜片架 | |
| CN117680943A (zh) | 一种基于轴型微凸轮的平面微振动装置 | |
| JPH0770360B2 (ja) | 偏光発生装置 | |
| Shu et al. | Design of a precision flexural linear stage system with sub-nanometer resolution and 12-mm travel range | |
| JPH09152557A (ja) | 移動される装置部品を移動させる駆動装置 | |
| CN207611184U (zh) | 一种五维光栅调整架 | |
| CN115839966A (zh) | 一种谱仪机械支撑平台 | |
| CN120558765B (zh) | 一种轮轨滚动接触疲劳试验机 | |
| JPS63300837A (ja) | 位置決めテ−ブル |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080531 Year of fee payment: 13 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080531 Year of fee payment: 13 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090531 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100531 Year of fee payment: 15 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 15 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100531 |