JPH0754864B2 - レ−ザ発振装置 - Google Patents
レ−ザ発振装置Info
- Publication number
- JPH0754864B2 JPH0754864B2 JP21563987A JP21563987A JPH0754864B2 JP H0754864 B2 JPH0754864 B2 JP H0754864B2 JP 21563987 A JP21563987 A JP 21563987A JP 21563987 A JP21563987 A JP 21563987A JP H0754864 B2 JPH0754864 B2 JP H0754864B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- power supply
- discharge
- voltage
- external electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は加工用，医療用に用いられるCO2レーザ発振装
置に関する。
置に関する。
従来の技術 従来の軸流タイプCO2レーザ発振器を第３図に示す、レ
ーザ媒質３を電離し、レーザ管４内を放電させる電極１
はレーザ管４内部に存在し、両電極１間に電源２で直流
高電圧を印加していた。
ーザ媒質３を電離し、レーザ管４内を放電させる電極１
はレーザ管４内部に存在し、両電極１間に電源２で直流
高電圧を印加していた。
発明が解決しようとする問題点 従来の軸流タイプCO2レーザ発振器の場合、電源電圧の
変動，レーザ媒質である混合ガスの混合比率の変化、長
期使用による電極の経時変化等により、両電極間に直流
電圧を印加しても、内部レーザ媒質が電離されず、放電
ミスを発生させる時があった。この為レーザパワーを取
りださせなかったり、放電管が複数の場合は全数未点燈
のため、パワーの低下を発生させたりする問題点を有し
ていた。
変動，レーザ媒質である混合ガスの混合比率の変化、長
期使用による電極の経時変化等により、両電極間に直流
電圧を印加しても、内部レーザ媒質が電離されず、放電
ミスを発生させる時があった。この為レーザパワーを取
りださせなかったり、放電管が複数の場合は全数未点燈
のため、パワーの低下を発生させたりする問題点を有し
ていた。
そこで本発明は放電ミスや出力パワーの低下を防止する
ことを目的とする。
ことを目的とする。
問題点を解決するための手段 上記目的を達成するために本発明は、内部電極の放電に
よりレーザ媒質を励起するレーザ管の外周に外部電極を
配設し、前記内部電極の電位を検出する電位検出部の出
力信号により作動するレーザ起動用高周波電源を具備
し、前記レーザ起動用高周波電源の高電圧端を前記外部
電極に接続したものである。
よりレーザ媒質を励起するレーザ管の外周に外部電極を
配設し、前記内部電極の電位を検出する電位検出部の出
力信号により作動するレーザ起動用高周波電源を具備
し、前記レーザ起動用高周波電源の高電圧端を前記外部
電極に接続したものである。
作用 上記構成により放電ミスを発生した際レーザ放電管内部
の全電離を起こすための補助となる一部電離により瞬時
に放電ミスを防止でき、レーザパワーの低下もしくは未
発生を防止することができる。
の全電離を起こすための補助となる一部電離により瞬時
に放電ミスを防止でき、レーザパワーの低下もしくは未
発生を防止することができる。
実施例 本発明の一実施例を第１図に示す、CO2レーザ管４内に
レーザ媒質３が存在し、内部電極１に高電圧２を印加し
た際、何らかの外的条件にて発生するミス放電を防止す
るためにレーザ管４であるガラス管の外側に高周波起動
用電源の電極である外部電極３をガラス管にそわせて配
設し、高周波起動用電源７を設ける。この高周波起動用
電源７はトランス８にて昇圧されたトランス二次側の高
電圧開路内に抵抗9,コンデンサ10,コイル11とギャップ1
2を設けτ構成されている。この高周波起動電源７はコ
ンデンサ10とギャップ12の回路内位置を交換したり、抵
抗を取りはずしたりした時も起動電源としては有効であ
り、これらの定数はレーザ媒質３のインピーダンスによ
って最適値が選出することができる。一般にレーザ放電
は２の高電圧にて行なわれた際、放電が発生すると内部
媒質は放電維持電圧に保たれる為、陰極側電位が上昇す
る。これが何らかの外的条件変化により放電ミスを起こ
した場合、この陰極電位は変わらない。この電位の無変
化を電位検出回路５にて検出し、この信号を起動電源動
作回路６に送り、起動電源を作動させることができる。
放電ミスが発生すると、この信号が即座に起動電源に送
られ、起動電源より発生した、高周波高圧がレーザ管４
の外側よりレーザ管内部のレーザ媒質と印加され、この
電極近傍を中心として内部レーザ媒質を部分的電離させ
ることができる。この部分的電離と誘発されて、レーザ
管内の全電離を可能とすることができ、レーザ発振のミ
ス発振を防止することができる。
レーザ媒質３が存在し、内部電極１に高電圧２を印加し
た際、何らかの外的条件にて発生するミス放電を防止す
るためにレーザ管４であるガラス管の外側に高周波起動
用電源の電極である外部電極３をガラス管にそわせて配
設し、高周波起動用電源７を設ける。この高周波起動用
電源７はトランス８にて昇圧されたトランス二次側の高
電圧開路内に抵抗9,コンデンサ10,コイル11とギャップ1
2を設けτ構成されている。この高周波起動電源７はコ
ンデンサ10とギャップ12の回路内位置を交換したり、抵
抗を取りはずしたりした時も起動電源としては有効であ
り、これらの定数はレーザ媒質３のインピーダンスによ
って最適値が選出することができる。一般にレーザ放電
は２の高電圧にて行なわれた際、放電が発生すると内部
媒質は放電維持電圧に保たれる為、陰極側電位が上昇す
る。これが何らかの外的条件変化により放電ミスを起こ
した場合、この陰極電位は変わらない。この電位の無変
化を電位検出回路５にて検出し、この信号を起動電源動
作回路６に送り、起動電源を作動させることができる。
放電ミスが発生すると、この信号が即座に起動電源に送
られ、起動電源より発生した、高周波高圧がレーザ管４
の外側よりレーザ管内部のレーザ媒質と印加され、この
電極近傍を中心として内部レーザ媒質を部分的電離させ
ることができる。この部分的電離と誘発されて、レーザ
管内の全電離を可能とすることができ、レーザ発振のミ
ス発振を防止することができる。
発明の効果 以上説明から明らかなように本発明は、レーザパワーの
低下もしくはレーザ発振ミスを防止し、信頼性の高いレ
ーザ装置を提供することができる。
低下もしくはレーザ発振ミスを防止し、信頼性の高いレ
ーザ装置を提供することができる。
第１図は本発明による一実施例を示す構成図、第２図は
本発明による起動電源の他の実施例を示す回路図、第３
図は従来例を示す構成図である。 １……電極、２……高電圧、３……レーザ媒質、４……
レーザ管、５……電位検出部、６……起動電源動作回
路、７……高周波電源、13……外部電極。
本発明による起動電源の他の実施例を示す回路図、第３
図は従来例を示す構成図である。 １……電極、２……高電圧、３……レーザ媒質、４……
レーザ管、５……電位検出部、６……起動電源動作回
路、７……高周波電源、13……外部電極。
Claims (3)
- 【請求項１】内部電極の放電によりレーザ媒質を励起す
るレーザ管の外周に、外部電極を配設し、前記内部電極
の電位を検出する電位検出部の出力信号により作動する
レーザ起動用高周波電源を具備し、前記レーザ起動用高
周波電源の高電圧端を前記外部電極に接続したレーザ発
振装置。 - 【請求項２】レーザ起動用高周波電源は、トランスによ
り昇圧された二次側の高電圧回路に放電ギャップを並列
接続し、前記放電ギャップの放電による共振発生電圧を
出力電圧とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ発振
装置。 - 【請求項３】高電圧回路は、LC直列共振回路を具備した
特許請求の範囲第２項記載のレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21563987A JPH0754864B2 (ja) | 1987-08-28 | 1987-08-28 | レ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21563987A JPH0754864B2 (ja) | 1987-08-28 | 1987-08-28 | レ−ザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6457772A JPS6457772A (en) | 1989-03-06 |
| JPH0754864B2 true JPH0754864B2 (ja) | 1995-06-07 |
Family
ID=16675736
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21563987A Expired - Lifetime JPH0754864B2 (ja) | 1987-08-28 | 1987-08-28 | レ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0754864B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0788201A1 (en) | 1996-02-02 | 1997-08-06 | Shibuya Kogyo Co., Ltd | Laser oscillator |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3552973B2 (ja) | 1999-05-31 | 2004-08-11 | シャープ株式会社 | 感光体ユニット及び画像形成装置 |
-
1987
- 1987-08-28 JP JP21563987A patent/JPH0754864B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0788201A1 (en) | 1996-02-02 | 1997-08-06 | Shibuya Kogyo Co., Ltd | Laser oscillator |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6457772A (en) | 1989-03-06 |
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