JPH0758538B2 - 磁気記録体及びその製造方法 - Google Patents
磁気記録体及びその製造方法Info
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- JPH0758538B2 JPH0758538B2 JP61105930A JP10593086A JPH0758538B2 JP H0758538 B2 JPH0758538 B2 JP H0758538B2 JP 61105930 A JP61105930 A JP 61105930A JP 10593086 A JP10593086 A JP 10593086A JP H0758538 B2 JPH0758538 B2 JP H0758538B2
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- magnetic recording
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、磁気記録媒体のうちとくに垂直磁気記録媒体
に関する。
に関する。
（従来の技術） 磁気記録装置の記録密度の向上は、斯界の変わらぬ趨勢
である。ここに用いられる磁気記録媒体は、従来酸化鉄
微粒子を樹脂に分散させ塗布したいわゆるコーティング
媒体が用いられてきた。近年メッキ法やスパッタ法によ
り作製したCo合金の長手記録（磁化が面内方向）薄膜媒
体では、表面にスジ上の凹凸を形成しスジ方向に異方性
を発生させ磁気特性を改善させて記録密度特性を向上さ
せている。一方、同じくスパッタ法や蒸着法により作製
したCoCr媒体に代表される垂直磁気記録媒体が提案さ
れ、前述の長手記録を越える記録密度が達成されてい
る。
である。ここに用いられる磁気記録媒体は、従来酸化鉄
微粒子を樹脂に分散させ塗布したいわゆるコーティング
媒体が用いられてきた。近年メッキ法やスパッタ法によ
り作製したCo合金の長手記録（磁化が面内方向）薄膜媒
体では、表面にスジ上の凹凸を形成しスジ方向に異方性
を発生させ磁気特性を改善させて記録密度特性を向上さ
せている。一方、同じくスパッタ法や蒸着法により作製
したCoCr媒体に代表される垂直磁気記録媒体が提案さ
れ、前述の長手記録を越える記録密度が達成されてい
る。
この垂直磁気媒体において、本発明者らは第45回応用物
理学会学術講演会（予稿集P372）にて基板上に表面粗さ
Rmaxがおよそ1000Å以上のスジ状凹凸を形成しスジ方向
に面内の容易軸が発生することを報告した。
理学会学術講演会（予稿集P372）にて基板上に表面粗さ
Rmaxがおよそ1000Å以上のスジ状凹凸を形成しスジ方向
に面内の容易軸が発生することを報告した。
（発明が解決しようとする問題点） 長手記録媒体においては、磁気ヘッドで記録した際に発
生する反磁界によって磁化が乱されることなく急峻な磁
化遷移を達成するには、長手方向に異方性を付与させた
り保磁力を大きくしている。一方、垂直記録媒体におい
ては、良好な垂直異方性を付与して長手方向には反磁界
を発生させないようにし高密度記録を達成している。し
かしながら垂直異方性が比較的小さい場合には、長手成
分の面内磁化が発生し記録密度を劣化させる。したがっ
て長手方向に付き合せの磁化を発生させないためには長
手方向と直角に面内異方性を付与すればよく、前述の文
献のような表面形状を形成すれば面内異方性を付与でき
る。しかしながら、記録体の平滑性の観点から基板上に
1000Å以上の表面粗さがある場合、媒体−ヘッド間のス
ペーシングの増大による記録密度特性の劣化及びヘッド
との摺動により摩擦、摩耗が増大し信頼性を保証するこ
とが難しく、さらに表面粗さが大きくなりすぎると垂直
磁気異方性を劣化させた。また、基板加工の観点から本
目的を達成させるためには、基板上に円周方向と直角に
凹凸を形成しなければならなく加工上難かしい面があっ
た。
生する反磁界によって磁化が乱されることなく急峻な磁
化遷移を達成するには、長手方向に異方性を付与させた
り保磁力を大きくしている。一方、垂直記録媒体におい
ては、良好な垂直異方性を付与して長手方向には反磁界
を発生させないようにし高密度記録を達成している。し
かしながら垂直異方性が比較的小さい場合には、長手成
分の面内磁化が発生し記録密度を劣化させる。したがっ
て長手方向に付き合せの磁化を発生させないためには長
手方向と直角に面内異方性を付与すればよく、前述の文
献のような表面形状を形成すれば面内異方性を付与でき
る。しかしながら、記録体の平滑性の観点から基板上に
1000Å以上の表面粗さがある場合、媒体−ヘッド間のス
ペーシングの増大による記録密度特性の劣化及びヘッド
との摺動により摩擦、摩耗が増大し信頼性を保証するこ
とが難しく、さらに表面粗さが大きくなりすぎると垂直
磁気異方性を劣化させた。また、基板加工の観点から本
目的を達成させるためには、基板上に円周方向と直角に
凹凸を形成しなければならなく加工上難かしい面があっ
た。
本発明の目的は、この問題点を解決した磁気記録媒体と
その製造方法を提供することにある。
その製造方法を提供することにある。
（問題点を解決するための手段） この発明の要旨とするところは、基板上に垂直磁気異方
性を有する磁性膜を形成した磁気記録体において磁性膜
の膜面内の記録トラックと直角方向に異方性を有する磁
気記録体と、基板上に表面粗さが10Åから800Åの範囲
のミゾもしくはスジ状の凹凸を記録トラック方向に形成
した後、垂直磁気異方性を有する磁性膜を基板上に形成
する磁気記録体の製造方法である。
性を有する磁性膜を形成した磁気記録体において磁性膜
の膜面内の記録トラックと直角方向に異方性を有する磁
気記録体と、基板上に表面粗さが10Åから800Åの範囲
のミゾもしくはスジ状の凹凸を記録トラック方向に形成
した後、垂直磁気異方性を有する磁性膜を基板上に形成
する磁気記録体の製造方法である。
（作用） 本発明は所定の表面粗さのミゾもしくはスジ状の凹凸を
形成することにより従来方法と異なりミゾもしくはスジ
状の方向と直角方向に磁気異方性を発生できることを初
めて見出しことによりなされたものである。
形成することにより従来方法と異なりミゾもしくはスジ
状の方向と直角方向に磁気異方性を発生できることを初
めて見出しことによりなされたものである。
（実施例） 第１図及び第２図にそれぞれ本発明に用いたミゾ及びス
ジ状の凹凸を形成した基板１上に垂直磁気異方性を有し
た磁性膜２を形成した本実施例の構成を示す。
ジ状の凹凸を形成した基板１上に垂直磁気異方性を有し
た磁性膜２を形成した本実施例の構成を示す。
ここで示した基板は、レジストによりパターンを形成し
イオンエッチング法により凹凸を形成したものまたはプ
ラスチック材料を凹凸を形成した金型を用いてインジェ
クションして成形したものが用いられる。
イオンエッチング法により凹凸を形成したものまたはプ
ラスチック材料を凹凸を形成した金型を用いてインジェ
クションして成形したものが用いられる。
第３図は、SiO2基板上にレジストによりパターンを形成
した反応イオンエッチング法により第１図の如く凹凸を
種々の表面粗さｔで形成した基板１上に同一スパッタリ
ングにおいてCoCr垂直磁気異方性薄膜（0.3μｍ厚）を
形成した記録媒体の面内の異方性磁界定数Kuと凹凸の高
さｔとの関係を示す。第１図で示す凹凸のピッチA,Bは
それぞれ1.0μm,1.0μｍであった。
した反応イオンエッチング法により第１図の如く凹凸を
種々の表面粗さｔで形成した基板１上に同一スパッタリ
ングにおいてCoCr垂直磁気異方性薄膜（0.3μｍ厚）を
形成した記録媒体の面内の異方性磁界定数Kuと凹凸の高
さｔとの関係を示す。第１図で示す凹凸のピッチA,Bは
それぞれ1.0μm,1.0μｍであった。
表面粗さｔがおよそ1000Å以上では、ミゾ方向と磁界方
向が平行のときθ＝０゜とすると第４図に示すトルク曲
線に見られるミゾ方向を容易軸とする面内異方性が生じ
る。表面粗さｔが10Åから800Åでは第５図に示すトル
ク曲線に見られるミゾ方向と直角に容易軸とする面内異
方性が生じる。
向が平行のときθ＝０゜とすると第４図に示すトルク曲
線に見られるミゾ方向を容易軸とする面内異方性が生じ
る。表面粗さｔが10Åから800Åでは第５図に示すトル
ク曲線に見られるミゾ方向と直角に容易軸とする面内異
方性が生じる。
（発明の効果） このように、磁気記録媒体として実用に供する表面粗さ
においてミゾもしくはスジ状の凹凸を形成することによ
りミゾ方向に直角に磁気異方性を有する磁気記録が提供
される。これによりミゾ方向と平行に記録トラックを設
定することにより、磁気ヘッドで記録されたビットの磁
化の面内成分は、ビット境界において互いに突き合うこ
となく急峻な磁化遷移が達成され記録密度特性が向上す
る。また基板加工もディスク円板上に同心円状に加工出
来るため加工の観点からも好ましい。
においてミゾもしくはスジ状の凹凸を形成することによ
りミゾ方向に直角に磁気異方性を有する磁気記録が提供
される。これによりミゾ方向と平行に記録トラックを設
定することにより、磁気ヘッドで記録されたビットの磁
化の面内成分は、ビット境界において互いに突き合うこ
となく急峻な磁化遷移が達成され記録密度特性が向上す
る。また基板加工もディスク円板上に同心円状に加工出
来るため加工の観点からも好ましい。
第１図及び第２図は、本発明の磁気記録体の構成図、図
中の１は基板、２は垂直磁気異方性媒体、第３図は、ミ
ゾの表面粗さと磁気異方性定数の関係を示す図、第4,5
図はトルク曲線を示す図。
中の１は基板、２は垂直磁気異方性媒体、第３図は、ミ
ゾの表面粗さと磁気異方性定数の関係を示す図、第4,5
図はトルク曲線を示す図。
Claims (2)
- 【請求項１】基板上に垂直磁気異方性を有する磁性膜を
形成した磁気記録体において、前記基板上に表面粗さが
10Åから800Åの範囲の溝もしくはすじ状の凹凸を磁性
膜の膜面内の記録トラックと同方向に設けたことを特徴
とする磁気記録体。 - 【請求項２】基板上に表面粗さが10Åから800Åの範囲
の溝もしくはすじ状の凹凸を記録トラック方向に形成し
た後、垂直磁気異方性を有する磁性膜を基板上に形成す
ることを特徴とする磁気記録体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61105930A JPH0758538B2 (ja) | 1986-05-08 | 1986-05-08 | 磁気記録体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61105930A JPH0758538B2 (ja) | 1986-05-08 | 1986-05-08 | 磁気記録体及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62262217A JPS62262217A (ja) | 1987-11-14 |
| JPH0758538B2 true JPH0758538B2 (ja) | 1995-06-21 |
Family
ID=14420572
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61105930A Expired - Lifetime JPH0758538B2 (ja) | 1986-05-08 | 1986-05-08 | 磁気記録体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0758538B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003338019A (ja) | 2002-05-22 | 2003-11-28 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体、及びその製造方法 |
| JP2004086968A (ja) * | 2002-08-26 | 2004-03-18 | Sharp Corp | 磁気記録媒体 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5924432A (ja) * | 1982-07-29 | 1984-02-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS61182624A (ja) * | 1985-02-07 | 1986-08-15 | Ulvac Corp | 垂直磁気記録体 |
-
1986
- 1986-05-08 JP JP61105930A patent/JPH0758538B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62262217A (ja) | 1987-11-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
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| R350 | Written notification of registration of transfer |
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