JPH0762247B2 - 真空蒸着における膜厚値の判定方法 - Google Patents
真空蒸着における膜厚値の判定方法Info
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- JPH0762247B2 JPH0762247B2 JP63318498A JP31849888A JPH0762247B2 JP H0762247 B2 JPH0762247 B2 JP H0762247B2 JP 63318498 A JP63318498 A JP 63318498A JP 31849888 A JP31849888 A JP 31849888A JP H0762247 B2 JPH0762247 B2 JP H0762247B2
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、真空蒸着制御装置における光電測光器の光度
測定値の処理方法に関するものである。
測定値の処理方法に関するものである。
（従来の技術） 従来、このような分野の技術としては、例えば以下に示
すようなものがあった。
すようなものがあった。
真空蒸着における蒸着膜の光電測光器による光度測定軌
跡は、第７図に示すようになる。
跡は、第７図に示すようになる。
従来の蒸着制御方法においては、第７図の極大点Ma1，M
a2……、極小点Mi1，Mi2……の測定方法として、光度値
をコンピュータを用い周期的に測定し、極大点、つま
り、光度測定値が前の値より小さくなった場合と、極小
点、つまり、光度測定値が前の値より大きくなった場合
を測定し、蒸着膜の形成状況を測定するようにしてい
た。ここでは、多層蒸着ZnS,MgF2膜で波長λ＝550nmで
ある。
a2……、極小点Mi1，Mi2……の測定方法として、光度値
をコンピュータを用い周期的に測定し、極大点、つま
り、光度測定値が前の値より小さくなった場合と、極小
点、つまり、光度測定値が前の値より大きくなった場合
を測定し、蒸着膜の形成状況を測定するようにしてい
た。ここでは、多層蒸着ZnS,MgF2膜で波長λ＝550nmで
ある。
（発明が解決しようとする課題） しかしながら、光電測光器の信号をA/Dコンバータを通
して、コンピュータで読み込む場合、信号値にノイズ成
分があると、前述の極大点、極小点の判定を誤ってしま
う。
して、コンピュータで読み込む場合、信号値にノイズ成
分があると、前述の極大点、極小点の判定を誤ってしま
う。
本発明は、以上述べたノイズによる極大点、極小点の誤
判定という問題点を除去し、光電測定器の読込値軌跡の
極大点、極小点を正確に判定することができる真空蒸着
における膜厚値の判定方法を提供することを目的とす
る。
判定という問題点を除去し、光電測定器の読込値軌跡の
極大点、極小点を正確に判定することができる真空蒸着
における膜厚値の判定方法を提供することを目的とす
る。
（課題を解決するための手段） 本発明は、上記問題点を解決するために、真空蒸着にお
ける膜厚値の判定方法において、光電測光器の光度測定
値による真空蒸着における膜厚値を周期的に測定する工
程と、該測定値がその前に測定した値より増減したか否
かを判別する工程と、該増減回数がカウンタにより計数
され、そのカウンタ値が負にならないようにすると共
に、そのカウンタの累積値が５程度の所定の数値に達し
た場合には極点と判定する工程とを施すようにしたもの
である。
ける膜厚値の判定方法において、光電測光器の光度測定
値による真空蒸着における膜厚値を周期的に測定する工
程と、該測定値がその前に測定した値より増減したか否
かを判別する工程と、該増減回数がカウンタにより計数
され、そのカウンタ値が負にならないようにすると共
に、そのカウンタの累積値が５程度の所定の数値に達し
た場合には極点と判定する工程とを施すようにしたもの
である。
ここで、前記測定値がその前に測定した値より減少する
傾向にある場合、極大点と判定し、前記測定値がその前
に測定した値より増加する傾向にある場合、極小点と判
定する。
傾向にある場合、極大点と判定し、前記測定値がその前
に測定した値より増加する傾向にある場合、極小点と判
定する。
（作用） 本発明によれば、上記したように、真空蒸着における膜
厚値の判定方法において、光電測光器の光度測定値によ
る真空蒸着における膜厚値を周期的に測定し、この測定
値がその前に測定した値より増減したか否かを判別する
工程と、増減回数がカウンタにより計数され、そのカウ
ンタ値が負にならないようにすると共にそのカウンタの
累積値が５程度の所定の数値に達した場合には極点と判
定する。
厚値の判定方法において、光電測光器の光度測定値によ
る真空蒸着における膜厚値を周期的に測定し、この測定
値がその前に測定した値より増減したか否かを判別する
工程と、増減回数がカウンタにより計数され、そのカウ
ンタ値が負にならないようにすると共にそのカウンタの
累積値が５程度の所定の数値に達した場合には極点と判
定する。
従って、簡単な判定方法により、真空蒸着の状態を正確
に監視することができる。
に監視することができる。
（実施例） 以下、本発明の実施例について図面を参照しながら詳細
に説明する。
に説明する。
第１図は本発明の実施例を示す蒸着膜の極点の判定を行
うためのシステム構成図、第２図は本発明の極大点の判
定フローチャート、第３図は本発明の極小点の判定フロ
ーチャート、第４乃至第６図は本発明の極小点の判定例
の説明図である。
うためのシステム構成図、第２図は本発明の極大点の判
定フローチャート、第３図は本発明の極小点の判定フロ
ーチャート、第４乃至第６図は本発明の極小点の判定例
の説明図である。
まず、第１図において、１はベルジャ、２は基板、３は
シャッタ、４は蒸発源、つまり各種の試料が回転体上に
配置された複数の蒸発源（例えばZnS,MgF2などの蒸着
源）、５はヒータ支持台、６は電離真空計、７は真空バ
ルブ、８は液体窒素トラップ、９はロータリポンプ、10
は２方向バルブ、11はあら引き用配管、12はピラニゲー
ジ、13はレーザビームの放射筒、14はそのレーザビーム
により蒸着膜を透過した光を受ける光電測光器、15はA/
D変換器、20はコンピュータ、21はCPU（中央処理装
置）、22は入力インタフェース、23はメモリ、24は比較
器、25はカウンタ、26は出力インタフェース、27は蒸発
源駆動装置である。
シャッタ、４は蒸発源、つまり各種の試料が回転体上に
配置された複数の蒸発源（例えばZnS,MgF2などの蒸着
源）、５はヒータ支持台、６は電離真空計、７は真空バ
ルブ、８は液体窒素トラップ、９はロータリポンプ、10
は２方向バルブ、11はあら引き用配管、12はピラニゲー
ジ、13はレーザビームの放射筒、14はそのレーザビーム
により蒸着膜を透過した光を受ける光電測光器、15はA/
D変換器、20はコンピュータ、21はCPU（中央処理装
置）、22は入力インタフェース、23はメモリ、24は比較
器、25はカウンタ、26は出力インタフェース、27は蒸発
源駆動装置である。
この図に示すように、真空蒸着装置は基本的には、排気
系と、蒸発源4,基板2,シャッタ３等の真空室から構成さ
れている。
系と、蒸発源4,基板2,シャッタ３等の真空室から構成さ
れている。
ここで、膜厚の測定は、光度測定データ値を光電測光器
14により、A/D変換器15を介して、コンピュータ20に周
期的に読み込んで行う。
14により、A/D変換器15を介して、コンピュータ20に周
期的に読み込んで行う。
そして、該測定値がその前に測定した値より増減したか
否かを判別し、該増減回数がある一定の値に達した場合
には極点と判定し、出力インタフェース26、蒸発源駆動
装置27を介して蒸発源４を回転駆動させて、今まで行っ
ていた試料を切換えて他の蒸発源の蒸着を行うなどの制
御を行う。
否かを判別し、該増減回数がある一定の値に達した場合
には極点と判定し、出力インタフェース26、蒸発源駆動
装置27を介して蒸発源４を回転駆動させて、今まで行っ
ていた試料を切換えて他の蒸発源の蒸着を行うなどの制
御を行う。
以下、第２図のフローチャートを参照しながら、真空蒸
着における膜厚値（光電測光器の光度測定値）の極大点
の判定について説明する。
着における膜厚値（光電測光器の光度測定値）の極大点
の判定について説明する。
まず、カウンタ25を０にセットする（ステップ）。
次に、光電測光器14からの光度測定データ値の読み込み
を行う。つまり、“新膜厚値”として周期的に膜厚値を
読み込み、その値A11を格納する（ステップ）。
を行う。つまり、“新膜厚値”として周期的に膜厚値を
読み込み、その値A11を格納する（ステップ）。
次に、その時の読込値A11をメモリ23へ記憶する（ステ
ップ）。
ップ）。
次いで、光電測光器14からの光度測定データ値A12の読
み込みを行う（ステップ）。
み込みを行う（ステップ）。
その時の測定データ値A12が“新膜厚値”となり、測定
データ値A11は“旧膜厚値”となる（ステップ）。
データ値A11は“旧膜厚値”となる（ステップ）。
次いで、その測定データ値A12と前回の測定データ値A11
とを比較器24により比較し（ステップ）、その測定デ
ータ値A12が前回の測定データ値A11以下である場合に
は、カウンタ25の値をプラス１にする（ステップ）。
とを比較器24により比較し（ステップ）、その測定デ
ータ値A12が前回の測定データ値A11以下である場合に
は、カウンタ25の値をプラス１にする（ステップ）。
次に、そのカウンタ25の値を判別して、その値が所定値
（ここでは５）になった場合には、極大点として判定す
る（ステップ）。
（ここでは５）になった場合には、極大点として判定す
る（ステップ）。
上記ステップにおいて、測定データ値A12が前回の測
定データ値A11より大きい場合には、カウンタ25の値を
マイナス１にし（ステップ）、そのカウンタ25の値を
判別して、その値が一定値（ここでは０）になる（ステ
ップ）まで、前記ステップに戻る。
定データ値A11より大きい場合には、カウンタ25の値を
マイナス１にし（ステップ）、そのカウンタ25の値を
判別して、その値が一定値（ここでは０）になる（ステ
ップ）まで、前記ステップに戻る。
また、上記ステップにおいて、カウンタ25の値が０未
満になる場合は、その値を０に保持し（ステップ）、
前記ステップに戻る。
満になる場合は、その値を０に保持し（ステップ）、
前記ステップに戻る。
次に、第３図のフローチャートを参照しながら、真空蒸
着における膜厚値（光電測光器の光度測定値）の極小点
の判定について説明する。
着における膜厚値（光電測光器の光度測定値）の極小点
の判定について説明する。
まず、カウンタ25を０にセットする（ステップ）。
次いで、光電測光器14からの光度測定データ値の読み込
みを行う（ステップ）。
みを行う（ステップ）。
次に、その時の読込値A21をメモリ23へ記憶する（ステ
ップ）。
ップ）。
次いで、光電測光器14からの光度測定データ値A22の読
み込みを行う（ステップ）。
み込みを行う（ステップ）。
その時の測定データ値A22が“新膜厚値”となり、測定
データ値A21は“旧膜厚値”となる（ステップ）。
データ値A21は“旧膜厚値”となる（ステップ）。
次いで、その測定データ値A22と前回の測定データ値A21
とを比較器24により比較し（ステップ）、その測定デ
ータ値A22が前回の測定データ値A21以上である場合に
は、カウンタ25の値をプラス１にする（ステップ）。
とを比較器24により比較し（ステップ）、その測定デ
ータ値A22が前回の測定データ値A21以上である場合に
は、カウンタ25の値をプラス１にする（ステップ）。
次に、そのカウンタ25の値を判別して、その値が所定値
（ここでは５）になった場合には、極小点として判定す
る（ステップ）。
（ここでは５）になった場合には、極小点として判定す
る（ステップ）。
上記ステップにおいて、測定データ値A22が前回の測
定データ値A21より小さい場合には、カウンタ25の値を
マイナス１にし（ステップ）、そのカウンタ25の値を
判別して、その値が所定値（ここでは０）になる（ステ
ップ）まで、前記ステップに戻る。
定データ値A21より小さい場合には、カウンタ25の値を
マイナス１にし（ステップ）、そのカウンタ25の値を
判別して、その値が所定値（ここでは０）になる（ステ
ップ）まで、前記ステップに戻る。
また、上記ステップにおいて、カウンタ25のあたいが
０未満になる場合には、その値を０に保持して（ステッ
プ）、前記ステップに戻る。
０未満になる場合には、その値を０に保持して（ステッ
プ）、前記ステップに戻る。
次に、この真空蒸着における膜厚値（光電測光器の光度
測定値）の極小点の判定例について、第４図乃至第６図
を用いて説明する。
測定値）の極小点の判定例について、第４図乃至第６図
を用いて説明する。
第４図に光度測定値の軌跡が示されており、その極小点
判定の詳細を示すa2部が拡大図として第５図に示されて
いる。そこで、第５図において、測定ポイント数を13と
すると、第６図に示すように、測定ポイント４までは測
定データ値が減少しているので、カウンタ値は０に保持
され、測定ポイント５において測定データ値は大きくな
り、カウンタ値は１となり、測定ポイント６では測定デ
ータ値が減少してカウンタ値は０となり、測定ポイント
７では測定データ値が大きくなりカウンタ値は１とな
り、測定ポイント８では測定データ値が減少してカウン
タ値は０となり、測定ポイント９まで測定データ値が大
きくなりカウンタ値は１となり、以降は測定データ値が
増え続け、測定ポイント13になるとカウンタ値は所定の
５となり、測定データ値の上昇傾向が確認され、極小点
として判定される。
判定の詳細を示すa2部が拡大図として第５図に示されて
いる。そこで、第５図において、測定ポイント数を13と
すると、第６図に示すように、測定ポイント４までは測
定データ値が減少しているので、カウンタ値は０に保持
され、測定ポイント５において測定データ値は大きくな
り、カウンタ値は１となり、測定ポイント６では測定デ
ータ値が減少してカウンタ値は０となり、測定ポイント
７では測定データ値が大きくなりカウンタ値は１とな
り、測定ポイント８では測定データ値が減少してカウン
タ値は０となり、測定ポイント９まで測定データ値が大
きくなりカウンタ値は１となり、以降は測定データ値が
増え続け、測定ポイント13になるとカウンタ値は所定の
５となり、測定データ値の上昇傾向が確認され、極小点
として判定される。
このように、真空蒸着における膜厚値の極大点或いは極
小点を正確に判定し、検出することができるので、正確
な真空蒸着の制御を行うことができる。
小点を正確に判定し、検出することができるので、正確
な真空蒸着の制御を行うことができる。
なお、このようにして、得られる真空蒸着膜は、ブラウ
ン管、プリズムなどの蒸着膜として用いられる。
ン管、プリズムなどの蒸着膜として用いられる。
また、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これ
らを本発明の範囲から排除するものではない。
本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これ
らを本発明の範囲から排除するものではない。
（発明の効果） 以上、詳細に説明したように、本発明によれば、蒸着膜
の光電測光器の測定値における極大点、極小点を誤判定
することなく、簡単な判定方法で正確に判定することが
できる。特に、ノイズ成分を含む信号値についても確実
に極点の判定を行うことができる。また、本発明によれ
ば、時間軸に対し、非線形に連続に変化するあらゆる信
号値軌跡の極点を判定することもできる。
の光電測光器の測定値における極大点、極小点を誤判定
することなく、簡単な判定方法で正確に判定することが
できる。特に、ノイズ成分を含む信号値についても確実
に極点の判定を行うことができる。また、本発明によれ
ば、時間軸に対し、非線形に連続に変化するあらゆる信
号値軌跡の極点を判定することもできる。
従って、真空蒸着における膜厚値の極大点或いは極小点
を容易に、しかも正確に判定し、検出することができる
ので、信頼性の高い真空蒸着の制御を行うことができ
る。
を容易に、しかも正確に判定し、検出することができる
ので、信頼性の高い真空蒸着の制御を行うことができ
る。
第１図は本発明の実施例を示す蒸着膜の極点の判定を行
うためのシステムの構成図、第２図は本発明の極大点の
判定フローチャート、第３図は本発明の極小点の判定フ
ローチャート、第４図は本発明の極小点の判定例におけ
る光度測定値の軌跡を示す図、第５図は第４図のａ部の
拡大図、第６図はその光度測定値の極小点判定の説明
図、第７図は従来の真空蒸着における蒸着膜の光電測光
器による光度測定軌跡を示す図である。 14……光電測光器、15……A/D変換器、20……コンピュ
ータ、21……CPU（中央処理装置）、22……入力インタ
フェース、23……メモリ、24……比較器、25……カウン
タ、26……出力インタフェース。
うためのシステムの構成図、第２図は本発明の極大点の
判定フローチャート、第３図は本発明の極小点の判定フ
ローチャート、第４図は本発明の極小点の判定例におけ
る光度測定値の軌跡を示す図、第５図は第４図のａ部の
拡大図、第６図はその光度測定値の極小点判定の説明
図、第７図は従来の真空蒸着における蒸着膜の光電測光
器による光度測定軌跡を示す図である。 14……光電測光器、15……A/D変換器、20……コンピュ
ータ、21……CPU（中央処理装置）、22……入力インタ
フェース、23……メモリ、24……比較器、25……カウン
タ、26……出力インタフェース。
Claims (3)
- 【請求項１】（ａ）光電測光器の光度測定値による真空
蒸着における膜厚値を周期的に測定する工程と、 （ｂ）該測定値がその前に測定した値より増減したか否
かを判別する工程と、 （ｃ）該増減回数がカウンタにより計数され、そのカウ
ンタ値が負にならないようにすると共にそのカウンタの
累積値が５程度の所定の数値に達した場合には極点と判
定する工程とを有する真空蒸着における膜厚値の判定方
法。 - 【請求項２】前記測定値がその前に測定した値より減少
する傾向にある場合、極大点と判定する請求項１記載の
真空蒸着における膜厚値の判定方法。 - 【請求項３】前記測定値がその前に測定した値より増加
する傾向にある場合、極小点と判定する請求項１記載の
真空蒸着における膜厚値の判定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63318498A JPH0762247B2 (ja) | 1988-12-19 | 1988-12-19 | 真空蒸着における膜厚値の判定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63318498A JPH0762247B2 (ja) | 1988-12-19 | 1988-12-19 | 真空蒸着における膜厚値の判定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02163374A JPH02163374A (ja) | 1990-06-22 |
| JPH0762247B2 true JPH0762247B2 (ja) | 1995-07-05 |
Family
ID=18099793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63318498A Expired - Lifetime JPH0762247B2 (ja) | 1988-12-19 | 1988-12-19 | 真空蒸着における膜厚値の判定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0762247B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100821810B1 (ko) * | 2002-11-08 | 2008-04-11 | 도꾸리쯔교세이호진 상교기쥬쯔 소고겡뀨죠 | 기판상의 막형성 방법 |
| JP4698166B2 (ja) * | 2004-06-03 | 2011-06-08 | 株式会社シンクロン | 薄膜形成方法，膜厚測定方法及び膜厚測定装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5146584A (ja) * | 1974-10-18 | 1976-04-21 | Pioneer Electronic Corp | Jochakusochi |
| JPS61246795A (ja) * | 1985-04-24 | 1986-11-04 | 富士通株式会社 | 極大点／極小点検出方式 |
| JPS62165103A (ja) * | 1986-01-17 | 1987-07-21 | Canon Inc | 膜厚測定方法 |
-
1988
- 1988-12-19 JP JP63318498A patent/JPH0762247B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02163374A (ja) | 1990-06-22 |
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