Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JPH076539B2 - 直線ころがり案内装置 - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JPH076539B2 - 直線ころがり案内装置 - Google Patents

直線ころがり案内装置

Info

Publication number
JPH076539B2
JPH076539B2 JP62311978A JP31197887A JPH076539B2 JP H076539 B2 JPH076539 B2 JP H076539B2 JP 62311978 A JP62311978 A JP 62311978A JP 31197887 A JP31197887 A JP 31197887A JP H076539 B2 JPH076539 B2 JP H076539B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bearing
rolling guide
guide device
force
vibration
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP62311978A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH01153812A (ja
Inventor
和 渡部
慎治 田中
Original Assignee
日立精工株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日立精工株式会社 filed Critical 日立精工株式会社
Priority to JP62311978A priority Critical patent/JPH076539B2/ja
Publication of JPH01153812A publication Critical patent/JPH01153812A/ja
Publication of JPH076539B2 publication Critical patent/JPH076539B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/002Elastic or yielding linear bearings or bearing supports
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00Bearings for parts moving only linearly
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/02Parts of sliding-contact bearings
    • F16C33/04Brasses; Bushes; Linings
    • F16C33/06Sliding surface mainly made of metal
    • F16C33/10Construction relative to lubrication
    • F16C33/1025Construction relative to lubrication with liquid, e.g. oil, as lubricant
    • F16C33/103Construction relative to lubrication with liquid, e.g. oil, as lubricant retained in or near the bearing
    • F16C33/1035Construction relative to lubrication with liquid, e.g. oil, as lubricant retained in or near the bearing by a magnetic field acting on a magnetic liquid

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)
  • Vibration Prevention Devices (AREA)
  • Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、軌道とベアリングとからなる直線ころがり案
内装置に関する。
〔従来技術〕
たとえば工作機械において、直線方向の案内をする装置
としてすべり案内の代りに軌道とベアリングとからなる
ころがり案内を用いると次のような利点がある。すなわ
ち、摩擦が小さいため駆動モータの容量を小さくするこ
とができ、また、ステイツクスリツプ現象が発生しない
ため、精度の良い位置決めを容易に行なうことができ、
さらに剛性も大きい。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、たとえば工作機械の1つである研削盤に
ころがり案内装置を採用すると次のような問題がある。
以下、図面により説明する。
第5図は研削盤の側面図を示すもので、1は砥石。2は
砥石1は回転自在に支持する主軸で、コラム3に対しY
方向に摺動自在である。4aはころがり案内装置4を構成
するベアリングで、コラム3の下部に固定されている。
4bはころがり案内装置4を構成する軌道で、ベツド5に
固定されている。すなわち、コラム3はベツド5に対し
Z方向に摺動自在である。6はワーク7を載置するテー
ブルで、X方向に摺動自在である。
上記ころがり案内装置4を採用した研削盤の主軸2とテ
ーブル6との間に加振器を設置して加振力を加えると、
研削盤の各部は第5図において2点鎖線で示すように変
位する。すなわち、主軸2とコラム3(以下、まとめて
支持部8と呼ぶ)およびベツド5は十分な剛性を持ち、
変位はころがり案内装置4に起因するものであることが
わかる。さらに、前記加振器の加振周波数を変化させる
とき、横軸に加振周波数、縦軸にコンブライアンス(た
だし、縦軸は対数表示である。)をとると、支持部8の
応答曲線は第4図に2点鎖線で示す曲線(a)になる。
すなわち、一様な曲線ではなく、傾斜の急な山と谷を持
ち、しかも山と谷の差が大きく、支持部8は加振力によ
り大きく変位することがわかる。
加工時、砥石1とワーク7との間には研削抵抗により、
主としてY方向の力が変わる。一般に、砥石1およびワ
ーク7は完全に均一なものはではないから、前記した力
の大きいは一様ではなく、大きさが変動し、加振力とな
る。そこで、上記曲線(a)で示す特性を持つ研削盤で
ワーク7を加工すると、研削抵抗の変動により、ワーク
7の表面9には曲線(a)に対応した凹凸が発生する。
上記した凹凸の差をなくし、表面9の平面度を向上させ
るために仕上加工をしても、表面9にできた凹凸により
砥石1に加わる研削抵抗が変動し、砥石1には加振力が
加わることになる。このため、仕上加工をくり返して
も、表面9には数μmの凹凸が残り、平面度を向上させ
ることができないという問題点があつた。
本発明の目的は、上記した問題点を解決し、ころがり案
内装置4の長所を損わず、しかも加振力による変位が少
ない直線ころがり案内装置を提供するにある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明者は、上記した加振力による支持部8の変位の原
因が、ベアリング4a内のボールと軌道4bとの間にできる
油膜の厚さがないか、あつても僅かであることによるも
のであることをつきとめた。そこで、上記の目的を達成
するため、本発明の一実施例図である第1図に示すよう
に、ベアリング10aに永久磁石11を載置すると共に、軌
道10bに流体槽12を設け、ベアリング10aの表面13と流体
槽12の内面14との間に5μm〜1mm程度の隙間15を持た
せて対向させ、磁性流体16を隙間15に充填した。なお、
永久磁石11はそれぞれのN極とS極を交互に所定の間隔
を持たせて倍地配置され、同図に点線で示す磁気回路を
形成する。
〔作用〕
第1図において、ベアリング10aに矢印で示す下向きの
力を加えるものとする。隙間15に何もなければ、ベアリ
ング10a内部のボールが弾性変形し、ベアリング10aは下
方に移動する。しかしながら、隙間15には磁性流体16が
入つているから、ベアリング10aは磁性流体16を排除し
ながら沈むことになる。磁性流体16には粘性があるか
ら、磁性流体16はすぐには移動せず、ベアリング10aに
は粘性抵抗が上向きに働く。すなわち、上記したベアリ
ング10a、流体槽12、および磁性流体16からなる振動減
衰装置17は、いわゆるダツシユポツトを構成する。ベツ
ド5の変形は少なく、剛体とみなせるから、第2図の等
価振動系をモデル化すると第3図に示すものとなる。同
図において、MsはY方向の振動モードに関する支持部8
の等価質量。同様に、Ksは支持部8をばねとみなしたと
きの等価剛性。Kbはころがり軸受4のばね定数。Cdは振
動減衰装置13の粘性抵抗である。
加工時、砥石1に加わるY方向の加振力は支持部8に伝
わる。しかしながら、前記加振力に対し、ばねKbに作用
する復元力は振動の変位置に応ずるものであり、粘性抵
抗Cdは振動の変位の速度に応ずるものであつて、力の位
相が90度ずれるため、振動の減衰効果が得られることに
なる。ここで、流体が磁性流体16であるから、永久磁石
11による磁場の大きさを変えることにより、粘性抵抗Cd
を磁場のない時に示す固有の粘性抵抗と、それよりも大
きい磁場のある時の見掛けの粘性抵抗との間で任意に調
整することができる。そこで、前記した第4図の曲線
(a)を求めたときと同一の加振力を主軸2に加え、第
2図における砥石1の振動がもつとも小さくなる粘性抵
抗Cdを選定すると、支持部8の応答曲線は同図(b)で
示す曲線となる。すなわち、曲線(b)は曲線(a)に
くらべて凹凸の少ない曲線となり、加工後の表面9は平
面度のすぐれたものとなる。
〔実 施 例〕
第1図は本発明の一実施例図、第2図は本発明の直線こ
ろがり案内装置を適用した研削盤の側面図である。な
お、第5図と同じもので同一の符号を付してある。
10aはベアリング。10bは軌道。11はベアリング10aに載
置された永久磁石で、点線で示す磁気回路を構成するよ
うに、それぞれのN極とS極を交互に所定の間隔を持た
せて配置する。12は軌道10bに設けられた流体槽。16は
磁性流体で、ベアリング10aの表面13と、流体槽12の内
面14との隙間15に充填されている。また、18はベアリン
グ10aに設けられた複数の細径の穴で、表面13と外気側
の側面19とを連通させている。さらに、永久磁石11が作
る磁界は、磁性流体16の見掛けの粘性抵抗Cdが砥石1の
振動をもつとも小さくする値にしていある。
以下、動作について説明する。
加工時、砥石1には大きさの変動する力、すなわち加振
力が主としてY方向に加わる。前記加振力は支持部8に
伝わるが、振動減衰装置17により支持部8の変位は小さ
くなる。
また、本実施例においては穴18により支持部8のZ方向
の移動に円滑にすることができる。すなわち、隙間15が
狭く、表面13が内面14に対して傾いている状態で支持部
8をZ方向に移動させると、いわゆる流体のくさび作用
によつて支持部8に対し上向きの力が発生し、移動が円
滑に行なれない。しかしながら、本実施例においては、
穴18により磁性流体16に発生する圧力を逃がすことがで
きるから、流体のくさび作用はほとんど発生せず、支持
部8をZ方向に円滑に移動させることができる。
さらに、永久磁石11はベアリング10aの側面19にも配置
されているから、Y方向だけでなく、X方向の加振力に
対しても減衰効果がある。
なお、本実施例においては、永久磁石11を磁性流体16に
対して垂直方向に配置したが、平行に配置してもよいこ
とは言うまでもない。また、ベアリング10aおよび軌道1
0bは強磁性体に限らず、非磁性体で構成してもよい。
〔発明の効果〕
以上詳述したように、本発明の直線ころがり案内装置は
付加される加振力を減衰させることができるから、加振
力に対して変位の小さい装置とすることができ、加工精
度を向上させることができる。さらに、表面13と内面14
とは接触していないから、摩擦抵抗はほとんどなく、こ
ろがり案内の長所を損うことがないという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図ないし第2図は本発明の一実施例図。第3図ない
し第4図は本発明の説明図。第5図は従来技術の説明図
である。 4……ころがり案内装置、4a,10a……ベアリング、4b,1
0b……軌道、11……永久磁石、12……流体槽、13……表
面、14……内面、15……隙間、16……磁性流体、17……
振動減衰装置。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】軌道とベアリングとからなる直線ころがり
    案内装置において、ベアリングの表面に磁石を載置する
    とともにベアリングの表面を大気に接続する穴を設け、
    軌道に磁性流体を容れるための流体槽を設け、ベアリン
    グの表面と対向する流体槽の内面とが5μm〜1mmの隙
    間を持つように構成したことを特徴とする直線ころがり
    案内装置。
JP62311978A 1987-12-11 1987-12-11 直線ころがり案内装置 Expired - Lifetime JPH076539B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62311978A JPH076539B2 (ja) 1987-12-11 1987-12-11 直線ころがり案内装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62311978A JPH076539B2 (ja) 1987-12-11 1987-12-11 直線ころがり案内装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01153812A JPH01153812A (ja) 1989-06-16
JPH076539B2 true JPH076539B2 (ja) 1995-01-30

Family

ID=18023727

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62311978A Expired - Lifetime JPH076539B2 (ja) 1987-12-11 1987-12-11 直線ころがり案内装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH076539B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0710095Y2 (ja) * 1990-06-29 1995-03-08 日本トムソン株式会社 防振性を有する直動転がり案内ユニット
GB0505798D0 (en) * 2005-03-22 2005-04-27 Wardle Frank P Squeeze film damper for aerostatic slides and rotary tables

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62114840A (ja) * 1985-11-08 1987-05-26 Nec Corp 移動ステ−ジ
JPS62110643A (ja) * 1985-11-08 1987-05-21 Seiko Epson Corp 光磁気信号検出方法
JPH0433481Y2 (ja) * 1985-12-28 1992-08-11

Also Published As

Publication number Publication date
JPH01153812A (ja) 1989-06-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7104342B2 (en) Active rotational balancing system for orbital sanders
JPH076539B2 (ja) 直線ころがり案内装置
JP2633610B2 (ja) 直線ころがり案内装置
JPH0643849B2 (ja) 工作機械
JPH1026203A (ja) 摩擦駆動機構
JP3532133B2 (ja) ワークテーブル装置
JPH0618007B2 (ja) 非接触駆動形平面移動台
JP2018164953A (ja) 工作機械
JPH01153813A (ja) 直線案内装置
JP2816724B2 (ja) 工作機械
JP2003266293A (ja) 板状部材研磨方法及びその装置
JP2672564B2 (ja) 直線ころがり案内装置における振動減衰装置
JP2665740B2 (ja) 流体軸受装置
JPH01146659A (ja) 研削装置
JPH11262832A (ja) 工作機械の移動体駆動装置
JPH0724658Y2 (ja) 微動機構
JP3247997B2 (ja) 超音波加工用定圧試料台
JPH0567377B2 (ja)
JP2000084846A (ja) ウェーハ面取り装置
JP2001113442A (ja) 工作機械におけるスライドカバー装置
JPH0623663A (ja) 超平滑化非接触研磨方法および装置
JPH0710550U (ja) 減衰能を付加したころがり案内ローラ列
JPH06241230A (ja) 静圧軸受装置およびこれを用いた位置決めステージ
JPH0697496B2 (ja) 磁気ヘッドの流入斜面の加工装置
JPH10277769A (ja) レーザ加工機の駆動方法およびその装置

Legal Events

Date Code Title Description
S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R360 Written notification for declining of transfer of rights

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360

R371 Transfer withdrawn

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R360 Written notification for declining of transfer of rights

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360

R371 Transfer withdrawn

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371

R360 Written notification for declining of transfer of rights

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

EXPY Cancellation because of completion of term