JPH0773029B2 - 螢光表示管用部品の製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はスペーサーフレーム部とメッシュ部が一体化し
た螢光表示管用部品の製造方法に関する。

〔従来の技術〕

一般に螢光表示管は第12図に示すようにフロントガラス
（Ａ），フィラメント（Ｂ），メサ膜（Ｃ），フレーム
（Ｅ），メジャーリード（Ｄ），メッシュ部（コントロ
ールグリッド）（Ｆ），ベースガラス（Ｌ）上に形成さ
れた螢光体電極（アノード電極）（Ｋ），及びパッド
（アノード電極取り出し部）（Ｉ），パッドと螢光体電
極間を結ぶアノード導通パターン（Ｊ），パッドに結合
されるアノードタッチリード（Ｇ），及びアノードタッ
チリードにつながるメジャーリード（Ｈ）よりなる。組
立てにあたっては先ず第14図示のようなスペーサーフレ
ーム部品に高温にて加熱処理を施こし、表面にガラス封
止用フリットガラスとの濡れ性が良い酸化被膜を生成
し、アノードタッチリード（Ｇ）及びフィラメントアン
カーサポート（Ｐ）を所定の形状に曲げ加工し、次いで
第15図に示すメッシュ部品をそのフレーム（Ｅ）′とス
ペーサーフレーム部品のフレーム（Ｅ）とを整合させて
スペーサーフレーム部品と重ね合せ、メッシュ部品側よ
り多数の点溶接を行い、且つ両部品よりサイドレール
（Ｎ）を除去してスペーサーフレーム部とメッシュ部の
一体物を形成する。

そして第13図示の如くフロントガラス（Ａ）と螢光体電
極（Ｋ），アノード導通パターン（Ｊ）及びパッド
（Ｉ）を設けたベースガラス（Ｌ）を対向させ、フリッ
トガラスをバインダーとして用いて両者間にフィラメン
ト（Ｂ），メサ膜（Ｃ），前記スペーサーフレーム部と
メッシュ部の一体物，パッドに接続されたアノードタッ
チリード（Ｇ），及びメジャーリード（Ｈ）を封止し、
且つフロントガラス（Ａ）とベースガラス（Ｌ）間の周
囲をフリットガラスにより封じ、メジャーリード
（Ｄ），（Ｈ）の一部及びスルーホールリード（Ｍ）を
表示管外部に取り出し、グリッドドライバ，デコーダー
ドライバ等に接続し自動車の各種メーター類,V,T,R各種
表示部コンピューター端末器等のディスプレーデバイス
として使用される。尚、第14図において０はフィラメン
トアンカーを示す。

しかしながら、スペーサー部にメッシュ部を点溶接する
工程において点溶接速度が遅く、メッシュ部の破損，変
形がおこり、歩留りが悪いという問題点があるのでスペ
ーサー部の厚さを有する金属板の一方の面に形成しよう
とするメッシュ部の形状と同様の形状のレジストパター
ンと、形成しようとするスペーサー部の形状と同様の形
状のレジストパターンを形成し、他の一方の面に形成し
ようとするスペーサー部の形状と同様の形状のレジスト
パターンを形成し、該レジストパターンを形成した金属
板を両面からエッチングし、メッシュ部とスペーサー部
を形成すると共にメッシュ部の厚さをスペーサー部の厚
さより小とし、ついでレジストパターンを除去するメッ
シュ部とスペーサー部とを有する製品の製造方法を発明
した（特公昭60−26830号公報）。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら上記のようにエッチングによりスペーサー
フレーム部とメッシュ部の一体物を形成することにより
上記のような製造工程上の問題点は解消されたが、メッ
シュ部を形成すると共にハーフエッチングしてメッシュ
部の厚さをスペーサー部の厚さより小とする方法による
ため、メッシュ穴部のコーナー部の腐蝕の入りが悪く、
六角形状の開口部を形成しようとしても丸穴に近い開口
部が形成されてしまい、透過率の高いメッシュ部は得ら
れないという問題があった。

そこで本発明が解決しようとする問題点は透過率が高
く、輝度の高い螢光表示管の表示部を形成し得るメッシ
ュ部とスペーサーフレーム部が一体化した螢光表示管部
品を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明者は上記の問題点を解決すべく研究の結果、金属
板の片面にフレーム，及びメジャーリードとなる金属板
領域を被覆する第１のスペーサーフレーム部形成用レジ
ストパターンとメッシュ状につながる複数の線部よりな
り、線部の交わる部分寄りの線部領域は線部中央部領域
よりも狭幅の外形を有するメッシュ部形成用レジストパ
ターンとからなる第１のレジストパターンを設け、且つ
金属板の他面にフレーム，及びメジャーリードとなる金
属板領域を被覆する第２のスペーサーフレーム部形成用
レジストパターンよりなる第２のレジストパターンを設
け、金属板の両面よりエッチングを行い、フレーム及び
メジャーリードの部分を形成すると同時にメッシュ領域
に相当する金属板領域の第２のレジストパターン側はハ
ーフエッチングされたフレームの厚さよりも薄いフレー
ムと一体なメッシュ部を形成する方法によれば線部の交
わる部分寄りの線部領域の線幅が線部中央部領域よりも
狭いか同程度であり、メッシュ穴部がコーナー部のＲが
小さい形状に広く開口していて透過率が高い、螢光表示
管用部品を得ることができることを見いだし、かかる知
見にもとづいて本発明を完成したものである。

即ち、本発明は「フレームの内側にフレームと一体にメ
ッシュが形成されており、該メッシュはフレームの厚さ
よりも薄く、且つ線幅50μ以下の線部により微細に形成
されたものであり、前記フレームの外周縁にはフレーム
と一体に複数のメジャーリードが突設されている螢光表
示管用部品の製造方法において、金属板の片面にフレー
ム，及びメジャーリードとなる金属板領域を被覆する第
１のスペーサーフレーム部形成用レジストパターンとメ
ッシュ状につながる複数の線部よりなり、線部の交わる
部分寄りの線部領域は線部中央部領域よりも狭幅の外形
を有するメッシュ部形成用レジストパターンとからなる
第１のレジストパターンを設け、且つ金属板の第２の面
にフレーム，及びメジャーリードとなる金属板領域を被
覆する第２のスペーサーフレーム部形成用レジストパタ
ーンよりなる第２のレジストパターンを設け、金属板の
両面よりエッチングを行い、フレーム及びメジャーリー
ドの部分を形成すると同時にメッシュ領域に相当する金
属板領域の第２のレジストパターン側はハーフエッチン
グされたフレームの厚さよりも薄いフレームと一体なメ
ッシュを形成することを特徴とする螢光表示管用部品の
製造方法。』を要旨とするものである。

以下、本発明の製造方法につき、図面を参照しながら詳
細に説明する。

先ず第１図示のような金属板（１）の片面に第２図示の
如くフレーム，メジャーリード，アノードタッチリー
ド，フィラメントアンカーサポート，フィラメントアン
カーなどのスペーサーフレーム部を構成する部分、及び
スルーホールリードとなる金属板領域を被覆する第１の
スペーサーフレーム部形成用レジストパターン（６）と
メッシュ状につながる線部よりなり、線部の交わる部分
寄りの線部領域は線部中央部領域よりも狭幅の外形を有
するメッシュ部形成用レジストパターン（７）とからな
るレジストパターン（２）を設け、且つ金属板（１）の
他面にフレーム，メジャーリード，アノードタッチリー
ド，フィラメントアンカーサポート，フィラメントアン
カーなどのスペーサーフレーム部を構成する部分，及び
スルーホールリードとなる金属板領域を被覆する第２の
スペーサーフレーム部形成用レジストパターン（６）′
よりなる第２のレジストパターン（３）を設ける。

次いで両面からエッチングすることにより第３図示のよ
うにスペーサーフレーム部（11）を形成すると同時にメ
ッシュ部領域に相当する金属板領域の第２のレジストパ
ターン側はハーフエッチングされた、スペーサーフレー
ム部（11）と一体化したメッシュ部（10）を形成するこ
とができる。

第４図はエッチング後、レジストパターンを剥離除去し
た状態を示す。

而して本発明の製造方法において、金属板としては例え
ば鉄，鋼，合金鋼，銅，銅合金，アルミニウム，アルミ
ニウム合金，亜鉛，亜鉛合金，ニッケル，ニッケル合金
などを適用し得る。さらに金属板としてKVO（Fe−Ni−C
o合金）、42合金（42％Ni−Fe合金）、426合金（42％Ni
−６％Cr Fe合金）、NS−１（Fe50％、Ni50％合金）、S
US（ステンレス鋼）、SK（工具鋼）、KK（工具鋼）、タ
フピッチ鋼、脱酸鋼、リン青鋼、黄銅、ベリリウム鋼、
洋白などの板を使用できる。

次にレジストの形成に使用し得る感光液は市販の任意の
もの、例えば岡本化学工業株式会社製のTESH.DOOL（ポ
リビニルアルコール・重クロム酸アンモニウム系）、TE
SH.Glue（グルー・重クロム酸アンモニウム系）、TESH.
Glue U−100（グルー・重クロム酸アンモニウム系）.AZ
O.TESH（ポリビニルアルコール・ジアゾ化合物系）；富
士薬品工業株式会社のFuji−LON−D No.0.3,5（ポリビ
ニルアルコール・重クロム酸アンモニウム系）・フジレ
ジストNo.7.9,14,18（ポリビニルアルコール・重クロム
酸アンモニウム系）、フジレジストNo.15,16,17,19,20
（カゼイン・重クロム酸アンモニウム系）・ホトノール
（カゼイン・重クロム酸アンモニウム系）およびフジス
クリーンコート（ポリビニルアルコール・重クロム酸ア
ンモニウム系）：四輪産業株式会社製のイノエナール
（ポリビニルアルコール・クロム酸アンモニウム系）、
イノエナロン（ポリビニルアルコール・クロム酸アンモ
ニウム系）、JIカンコール（カゼイン・重クロム酸アン
モニウム系）、イノエコールドエナメル（カゼイン・重
クロム酸アンモニウム系）およびホーゾン（ポリビニル
アルコール・ジアゾ化合物系）；イノーストマン・コダ
ック社製のKPR（コダック・フォト・レジスト）、KPR−
２（コダック．フォト．レジスト．タイプ−２）、KPR
−３（コダック．フォト．レジスト．タイプ−３）、KP
L（コダック．フォト．センシティブ．ラッカー）、KOR
（コダック．オルソレジスト）、KMER（コダック．メタ
ルエッチ．レジスト）およびKTFR（コダック．シンフィ
ルム．レジスト）：富士薬品工業株式会社製のFSR（フ
ジスーパーレジスト）、FRS（フジスーパーレジスト
）、FCR（フジケミカルレジスト）、FPER（フジホト
エッシレジスト）、FNPR（フジニューホトレジスト）、
FMRN（フジマイクロレジストネガ）、FRR（フジラビッ
トレジスト）およびFPPR（フジポジティブホトレジス
ト）；東京応化工業株式会社製のオーカレジスト（硬質
ゴム系）、フォトゾール（ジアゾ化合物系）、TPR（ポ
リ珪皮酸ビニル）、EPPR（硬質ゴム系）、OPR（硬質ゴ
ム系）、OPSR（硬質ゴム系）およびＧ−90（カゼイン・
重クロム酸アンモニウム系）などである。

これらの公知の感光液を使用し、パターンを介して露
光、現像、水洗、乾燥を行ってレジストを形成する手段
は通常の公知の手段によって行うことができる。

本発明において使用するエッチング液は従来知られる使
用する金属板の金属に対する公知のエッチング液を使用
し得るのであるが、例えば鉄に対しては塩化第二鉄液、
濃硝酸＋水、塩酸＋硝酸を、鋼に対しては塩化第二鉄
液、濃硝酸＋水、塩酸＋硫酸を、合金鋼に対して塩化第
二鉄液、濃硝酸＋水、塩酸＋硫酸を、鋼に対しては塩化
第二鉄液、過硫酸アンモニウム＋塩化第二水銀を、鋼合
金に対しては塩化第二鉄液、過硫酸アンモニウム＋塩化
第二水銀を、アルミニウムに対しては水酸化ナトリウム
液、塩酸＋水、塩化第二鉄液を、アルミニウム合金に対
しては水酸化ナトリウム液、塩酸＋水、塩化第二鉄液
を、亜鉛に対しては硝酸を、亜鉛合金に対しては硝酸
を、ニッケルに対しては塩化第二鉄液、塩酸＋硝酸を、
ニッケル合金に対しては塩化第二鉄液、塩酸＋硝酸を使
用することができる。

本発明においてフォトレジストの除去は重クロム酸系レ
ジストについては40重量％カセーソーダ液を50℃に加湿
したものに浸漬することによって行い、溶剤型フォトレ
ジストについては専用剥離液又は市販有機溶剤（トリク
レン．キシレン，ベンゼン等）によって行うことができ
る。

次に線部の交わる部分寄りの線部領域が線部中央部領域
よりも狭幅の外形を有するメッシュ部形成用レジストパ
ターンは第５図示のようなコーナー部（12）がえぐられ
た原版（13）を用いて、レジスト製版することにより形
成することができる。第５図示のような原版（13）を用
い、レジスト製版し、エッチングすることにより第６図
示のような、コーナー部のＲが小さい形状にエッチング
されたエッチング製品を得ることができる。

また第７図、あるいは第８図示のような方形、或いは三
角形状にコーナー部がえぐられた原版（13a）（13b）を
用いることもできる。

第９図は本発明の製造方法により作製した螢光表示管用
部品のエッチング製品を示す。

図において21はフレーム,22はメジャーリード,23はスル
ーホールリード,24はメッシュ,25はアノードタッチリー
ド,26はフィラメントアンカーサポート,27はフィラメン
トアンカー,28はサイドレールを示す。

〔作用〕

メッシュ部形成用レジストパターンの形状が線部の交わ
る部分寄りの線領域が線部中央領域よりも狭幅になって
いるので、メッシュ穴部のコーナー部のＲが小さい形状
に広く開口した透過率が非常に高いメッシュ穴部を形成
することができる。

〔実施例〕

鉄52％，ニッケル42％，クロム６％からなる合金の寸法
500m/m×500m/m,厚さ0.15m/mの金属板を40重量％のカセ
イソーダ液を50℃に加熱したものに５分間浸漬して表面
の汚れ油脂類を溶解除去し乾燥した。

ついで25℃の常温で東京応化工業株式会社製のＧ−90
（カゼイン−重クロム酸アンモニウム系）感光液中に上
記の処理をした金属板を５〜10秒浸漬し、むらのないよ
うに静かに引き上げて感光液を金属板の全面に均一に感
光液を厚６μ前後であるように塗布した。このように感
光液を塗布した金属板を約５分間常温で放置し、ついで
80℃のオーブン内へ入れ20分間乾燥を行い感光膜を形成
した。金属板をオーブンから取り出し、空気中に５分間
放置冷却し、−感光膜面にフレーム，メジャーリード，
アノードタッチリード，フィラメントアンカーサポー
ト，フィラメントアンカーなどのスペーサーフレーム部
を構成する部分，及びスルーホールリードに対応する第
１のスペーサーフレーム部パターンとメッシュ状につな
がる複数の線部よりなり、且つ第５図示のようなコーナ
ー部がえぐれて線部の交わる部分寄りの線部領域が線部
中央部領域よりも狭幅になっている外形の第１のメッシ
ュ部パターンとからなる第１の原版を密着させ、もう一
つの感光膜面にフレーム，メジャーリード，アノードタ
ッチリード，フィラメントアンカーサポート，フィラメ
ントアンカーなどのスペーサーフレーム部を構成する部
分，及びスルーホールリードに対応する第２のスペーサ
ーフレーム部パターンよりなる第２の原版を密着し、表
裏からキセノンランプを使用して120〜180秒露光焼付
し、次いで現像を行った。露光部分は硬化し、水又は温
水に不溶性となり、未露光部分は水（または40℃の温
水）により20〜30秒浸漬することにより溶解除去した。

さらに乾燥し、200〜300℃にて４分間加熱処理して露光
部分を完全に硬化させた。

以上のようにしてレジストパターンを形成した金属板を
50°^Be′の塩化第二鉄液中で50℃で10分間浸漬し、両面
より同時にエッチングを行なった。このとき、スペーサ
ーフレーム部，及びスルーホールリードが形成されると
共に、メッシュ部形成用レジストパターンが設けられて
いない側の方がエッチングがはやく進行してハーフエッ
チングされ、スペーサーフレーム部よりも薄く、且つメ
ッシュ孔部が広く開口したメッシュ部が形成された。次
いで上記で得られた中間製品を40重量％のカセイソーダ
溶液に50℃で10分間浸漬してフォトレジストを溶解除去
し、乾燥を行いメッシュ部とスペーサーフレーム部を同
一材質にて形成したメッシュ部透過率が80％の螢光表示
管用部品を得た。

比較例 実施例１と同様にして、但し、第１原版及び第２原版の
代りにスペーサーフレーム部パターンを有すると共に第
10図示のような六角網目状につながる複数の線部よりな
り、且つ線部の太さは一様なメッシュ部パターンを有す
る第３の原版とスペーサーフレーム部パターンのみを有
し、メッシュ部領域はブランクになっている第４の原版
を用い、レジスト製版後、両面よりエッチングを行な
い、メッシュ穴部が第11図示のような螢光表示管用部品
を得た。

得られた製品につき透過率を測定したところ72％であっ
た。

〔発明の効果〕

以上、詳記した通り、本発明の製造方法によればフォト
エッチング法のみによりスペーサーフレーム部の厚さを
有する金属板からメッシュ部とスペーサーフレーム部と
が同質の材料で一体に形成されておりかつメッシュ部の
厚さがスペーサーフレーム部の厚さよりも小さくされ、
メッシュ穴部は広く開口し、透過率が高く、輝度の高い
螢光表示管の表示部を形成し得る螢光表示管用部品を歩
留よよく且つ精度よく製造することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第４図は本発明の製造方法による製造工程
を示す断面図，第５図は本発明の実施例に用いたメッシ
ュ部パターンの平面図，第６図は前記メッシュ部パター
ンを用いてレジスト製版後エッチングしてなるメッシュ
部の断面図，第７図及び第８図はその他のメッシュ部パ
ターンの例を示す平面図，第９図は本発明の製造方法に
より作製した螢光表示管用部品を含むエッチング製品の
平面図，第10図は比較例に用いたメッシュ部形成用パタ
ーンの平面図，第11図は比較例のメッシュ部の背面図、
第12図は螢光表示管の分解斜視図、第13図は螢光表示管
の断面図、第14図はスペーサーフレーム部のエッチング
製品の平面図，第15図はメッシュ部のエッチング製品の
平面図である。 １……金属板 ６……第１のスペーサーフレーム部形成用レジストパタ
ーン ６′……第２のスペーサーフレーム部形成用レジストパ
ターン ７……メッシュ部形成用レジストパターン ９……メッシュ孔部 10……メッシュ部 11……スペーサーフレーム部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】フレームの内側にフレームと一体にメッシ
   ュが形成されており、該メッシュはフレームの厚さより
   も薄く、且つ線幅50μ以下の線部により微細に形成され
   たものであり、前記フレームの外周縁にはフレームと一
   体に複数のメジャーリードが突設されている螢光表示管
   用部品の製造方法において、金属板の片面にフレーム、
   及びメジャーリードとなる金属板領域を被覆する第１の
   スペーサーフレーム部形成用レジストパターンとメッシ
   ュ状につながる複数の線部よりなり、線部の交わる部分
   寄りの線部領域は線部中央部領域よりも狭幅の外形を有
   するメッシュ部形成用レジストパターンとからなる第１
   のレジストパターンを設け、且つ金属板の他面にフレー
   ム、及びメジャーリードとなる金属板領域を被覆する第
   ２のスペーサーフレーム部形成用レジストパターン部の
   みよりなる第２のレジストパターンを設け、金属板の両
   面よりエッチングを行い、フレーム及びメジャーリード
   の部分を形成すると同時にメッシュ部領域に相当する金
   属板領域の第２のレジストパターン側はハーフエッチン
   グされたフレームの厚さよりも薄い、フレームと一体な
   メッシュを形成することを特徴とする螢光表示管用部品
   の製造方法。