JPH0779124B2 - ウエハ−キヤリヤ− - Google Patents
ウエハ−キヤリヤ−Info
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- JPH0779124B2 JPH0779124B2 JP3382186A JP3382186A JPH0779124B2 JP H0779124 B2 JPH0779124 B2 JP H0779124B2 JP 3382186 A JP3382186 A JP 3382186A JP 3382186 A JP3382186 A JP 3382186A JP H0779124 B2 JPH0779124 B2 JP H0779124B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体工業で取扱うシリコン等からなるウェハ
ーの加工、貯蔵、運搬の際に使用するウェハーキャリャ
ーに関する。
ーの加工、貯蔵、運搬の際に使用するウェハーキャリャ
ーに関する。
半導体工業で取扱うシリコン等からなるウェハーは高価
であり、しかももろく、また直径10cm以上、厚み0.2mm
以下のものが普通であるため、ウェハーの加工、貯蔵、
運搬に使用されるキャリャーにはウェハーの保持、ウェ
ハー相互の隔離、加熱、および薬液による洗浄後の形状
保持等の特性を必要とする。
であり、しかももろく、また直径10cm以上、厚み0.2mm
以下のものが普通であるため、ウェハーの加工、貯蔵、
運搬に使用されるキャリャーにはウェハーの保持、ウェ
ハー相互の隔離、加熱、および薬液による洗浄後の形状
保持等の特性を必要とする。
然るに従来、加熱または薬液による洗浄後、キャリャー
の形状、特にウェハー相互を隔離する部分が微妙に変化
する為、ウェハーの取出し、挿入に支障をきたし、ウェ
ハーの破損、製品の分どまり低下などの問題があった。
の形状、特にウェハー相互を隔離する部分が微妙に変化
する為、ウェハーの取出し、挿入に支障をきたし、ウェ
ハーの破損、製品の分どまり低下などの問題があった。
本発明はウェハーの加工、貯蔵、運搬の際に使用するウ
ェハーキャリャーにおいて、加熱または薬液に浸たされ
ても形状に変化がなく、ウェハーを容易に取出し、挿入
しうる新しいウェハーキャリャーに関する。
ェハーキャリャーにおいて、加熱または薬液に浸たされ
ても形状に変化がなく、ウェハーを容易に取出し、挿入
しうる新しいウェハーキャリャーに関する。
本発明者らは前記の問題点を解決するため各種検討した
結果、キャリャーの形状として、各ウエハーの主面が垂
直面となり、かつ、平行となるようにウエハーを装着
し、該ウエハーを両側方より支持するための向きあった
側壁（および）と、ウエハーを挿入および取出すた
めの開放頂部面（Ａ）、並びに両側壁（および）の
各前端間及び同後端間を連結する結合部（、および
）よりなるウエハーキヤリヤーであって、該側壁（
および）は、 （１）．各ウエハーを相互に隔離するリブ（）、 （２）．各リブ（）を相互に固定するフランジ（お
よび）、 （３）．ウエハーがキヤリヤー外に突出する事を防ぐ保
持部（および）及び （４）．開放頂部の面（Ａ）を上方に向けた際にウエハ
ーを下方から支持するための取はずし可能な支持部
（）よりなり、 当該ウエハーキヤリヤーの側壁（および）を構成す
るリブ（）は、 （５）．開放頂部の面（Ａ）に平行な断面（第４図）に
おいて、該リブの中央部に最大径の部分（−３）を有
し、 （６）．最大径部よりキヤリヤーの外側のリブ面とウエ
ハーの主面とが特定の角度（θ2）をなし、かつ、最大
径部よりキャリヤーの内側のリブ面とウエハーの主面と
が特定の角度（θ1）をなすようにリブ面がキャリヤー
の内側及び外側に向かってテーパーを有し、 （７）．最大径部よりキヤリヤーの内側のリブ面とウエ
ハーの主面とがなす角度（θ1）が１ないし20°であ
り、且つ （８）．上記の当該リブの断面巾の最大径部（−３）
からのキヤリヤーの内側へのリブ長さ（l1）と外側への
リブ長さ（l2）の比（l1/l2）が６以下であることを特
徴とするウエハーキヤリヤーにより本発明を完成するに
至った。
結果、キャリャーの形状として、各ウエハーの主面が垂
直面となり、かつ、平行となるようにウエハーを装着
し、該ウエハーを両側方より支持するための向きあった
側壁（および）と、ウエハーを挿入および取出すた
めの開放頂部面（Ａ）、並びに両側壁（および）の
各前端間及び同後端間を連結する結合部（、および
）よりなるウエハーキヤリヤーであって、該側壁（
および）は、 （１）．各ウエハーを相互に隔離するリブ（）、 （２）．各リブ（）を相互に固定するフランジ（お
よび）、 （３）．ウエハーがキヤリヤー外に突出する事を防ぐ保
持部（および）及び （４）．開放頂部の面（Ａ）を上方に向けた際にウエハ
ーを下方から支持するための取はずし可能な支持部
（）よりなり、 当該ウエハーキヤリヤーの側壁（および）を構成す
るリブ（）は、 （５）．開放頂部の面（Ａ）に平行な断面（第４図）に
おいて、該リブの中央部に最大径の部分（−３）を有
し、 （６）．最大径部よりキヤリヤーの外側のリブ面とウエ
ハーの主面とが特定の角度（θ2）をなし、かつ、最大
径部よりキャリヤーの内側のリブ面とウエハーの主面と
が特定の角度（θ1）をなすようにリブ面がキャリヤー
の内側及び外側に向かってテーパーを有し、 （７）．最大径部よりキヤリヤーの内側のリブ面とウエ
ハーの主面とがなす角度（θ1）が１ないし20°であ
り、且つ （８）．上記の当該リブの断面巾の最大径部（−３）
からのキヤリヤーの内側へのリブ長さ（l1）と外側への
リブ長さ（l2）の比（l1/l2）が６以下であることを特
徴とするウエハーキヤリヤーにより本発明を完成するに
至った。
本発明によるキャリャーは軸線方向に整合したウェハー
をその間に支持するための向きあった側壁と、ウェハー
を挿入、および取出すための開放頂部および側壁間を連
結する結合部よりなり、第１図は本発明のウェハーキャ
リャーの開放頂部からの上面図、第２図は結合部側から
の正面図、第３図は側壁側からの側面図で、一部側壁の
内側を示したものであり、対抗する平行な側壁、、
側壁を結ぎ合わせる結合部、、からなり、側壁は
ウェハーを相互に隔離するリブ、リブを相互に固定す
るフランジ、、ウェハーがキャリャーの外部に突出
することを防ぐ保持部、、ウェハーを支持するため
の支持部、および端部よりなり、さらに該支持部は
ビス等により固定されており、使用条件によっては取り
はずし可能である。
をその間に支持するための向きあった側壁と、ウェハー
を挿入、および取出すための開放頂部および側壁間を連
結する結合部よりなり、第１図は本発明のウェハーキャ
リャーの開放頂部からの上面図、第２図は結合部側から
の正面図、第３図は側壁側からの側面図で、一部側壁の
内側を示したものであり、対抗する平行な側壁、、
側壁を結ぎ合わせる結合部、、からなり、側壁は
ウェハーを相互に隔離するリブ、リブを相互に固定す
るフランジ、、ウェハーがキャリャーの外部に突出
することを防ぐ保持部、、ウェハーを支持するため
の支持部、および端部よりなり、さらに該支持部は
ビス等により固定されており、使用条件によっては取り
はずし可能である。
次いで第４図は第３図の線Ａ−Ａにおける断面図であ
り、当該ウエハーキヤリヤーの側壁（および）を構
成するリブ（）は、 （１）．開放頂部の面（Ａ）に平行な断面（第４図）に
おいて、該リブの中央部に最大径の部分（−３）を有
し、 （２）．最大径部よりキヤリヤーの外側のリブ面とウエ
ハーの主面とが特定の角度（θ2）をなし、かつ、最大
径部よりキャリヤーの内側のリブ面とウエハーの主面と
が特定の角度（θ1）をなすようにリブ面がキャリヤー
の内側及び外側に向かってテーパーを有し、 （３）．最大径部よりキヤリヤーの内側のリブ面とウエ
ハーの主面とがなす角度（θ1）が１ないし20°であ
り、且つ （４）．上記の当該リブの断面巾の最大径部（−３）
からのキヤリヤーの内側へのリブ長さ（l1）と外側への
リブ長さ（l2）の比（l1/l2）が６以下である。
り、当該ウエハーキヤリヤーの側壁（および）を構
成するリブ（）は、 （１）．開放頂部の面（Ａ）に平行な断面（第４図）に
おいて、該リブの中央部に最大径の部分（−３）を有
し、 （２）．最大径部よりキヤリヤーの外側のリブ面とウエ
ハーの主面とが特定の角度（θ2）をなし、かつ、最大
径部よりキャリヤーの内側のリブ面とウエハーの主面と
が特定の角度（θ1）をなすようにリブ面がキャリヤー
の内側及び外側に向かってテーパーを有し、 （３）．最大径部よりキヤリヤーの内側のリブ面とウエ
ハーの主面とがなす角度（θ1）が１ないし20°であ
り、且つ （４）．上記の当該リブの断面巾の最大径部（−３）
からのキヤリヤーの内側へのリブ長さ（l1）と外側への
リブ長さ（l2）の比（l1/l2）が６以下である。
即ち内面に向ってテーパーが１°以内である場合には内
蔵されるウェハーのスムースな移動に効果がなく、逆に
テーパーを20°以上にした場合、ウェハーのスムースな
移動には効果的であるが、逆にウェハーの保持が不安定
になり好ましくない。またl1/l2が６以上であると側壁
自身の寸法保持がわるくなり、ウェハーのスムースな移
動を困難にする為、好ましくない。以上のようにキャリ
ャーの内向き部−１が内面に向って１ないし20°のテ
ーパーを有し、リブの断面巾の最大部位−３からキ
ャリャーの内側の長さl1と外側の長さl2の比l1/l2が６
以下にすることにより、内蔵されるウェハーのスムース
な移動、キャリャーの成形のし易すさ、およびキャリャ
ーが外力、高温等にさらされた場合の変化防止の役割を
している。
蔵されるウェハーのスムースな移動に効果がなく、逆に
テーパーを20°以上にした場合、ウェハーのスムースな
移動には効果的であるが、逆にウェハーの保持が不安定
になり好ましくない。またl1/l2が６以上であると側壁
自身の寸法保持がわるくなり、ウェハーのスムースな移
動を困難にする為、好ましくない。以上のようにキャリ
ャーの内向き部−１が内面に向って１ないし20°のテ
ーパーを有し、リブの断面巾の最大部位−３からキ
ャリャーの内側の長さl1と外側の長さl2の比l1/l2が６
以下にすることにより、内蔵されるウェハーのスムース
な移動、キャリャーの成形のし易すさ、およびキャリャ
ーが外力、高温等にさらされた場合の変化防止の役割を
している。
第５図は同じく第３図の線Ｂ−Ｂの断面図である。図５
はフランジ、保持部、および支持部を示した
ものである。保持部、の位置および数はキャリャー
に収納するウェハーの径、厚み、種類により適宜定めら
れるが、保持部の数は少くとも１本以上必要であるが、
ガスまたは液のキャリャー側壁をとおしての流通の自由
度を高めるため等により必要最少限にする事が好まし
い。支持部の位置、形状、もキャリャーの使用条件、
収納するウェハーの形状、重量等により定められるが、
収納するウェハーの安定な保持等の面より、支持部の位
置は側壁の開放頂部より3/4前後の位置が好ましい。
はフランジ、保持部、および支持部を示した
ものである。保持部、の位置および数はキャリャー
に収納するウェハーの径、厚み、種類により適宜定めら
れるが、保持部の数は少くとも１本以上必要であるが、
ガスまたは液のキャリャー側壁をとおしての流通の自由
度を高めるため等により必要最少限にする事が好まし
い。支持部の位置、形状、もキャリャーの使用条件、
収納するウェハーの形状、重量等により定められるが、
収納するウェハーの安定な保持等の面より、支持部の位
置は側壁の開放頂部より3/4前後の位置が好ましい。
さらに、本発明で云うウェハーキャリャーは、それ自体
の運搬、移送等の目的で、結合部、、を有する面
等に、ハンドル、把手などをとりつける事も可能であ
る。
の運搬、移送等の目的で、結合部、、を有する面
等に、ハンドル、把手などをとりつける事も可能であ
る。
本発明によるウェハーキャリャーには従来公知の材料、
例えばポリプロピレン等の汎用樹脂、又はテトラフルオ
ロエチレン等のフッ素樹脂、アルミニウムにフッ素樹脂
を被覆した材料、さらにはガラス転移温度140℃以上の
樹脂、例えばポリエーテルエーテルケトン、液晶性芳香
族ポリエステルも好適である。
例えばポリプロピレン等の汎用樹脂、又はテトラフルオ
ロエチレン等のフッ素樹脂、アルミニウムにフッ素樹脂
を被覆した材料、さらにはガラス転移温度140℃以上の
樹脂、例えばポリエーテルエーテルケトン、液晶性芳香
族ポリエステルも好適である。
第１図は本発明のウェハーキャリャーの開放頂部からの
上面図、第２図は結合部側からの正面図、第３図は側壁
側からの側面図で、一部側壁の内側を示したものであ
る。第４図は軸線方向（ａ−ａ′方向）における第３図
の線Ａ−Ａにおける断面図で、第５図は同じく第３図の
線Ｂ−Ｂの断面図である。 尚、図中の番号はそれぞれ次の部位を示す。 、……側壁 、、……結合部 ……リブ −１……リブの最大径部からキヤリヤーの内側に向か
うリブ壁の断面 −２……リブの最大径部からキヤリヤーの外側に向か
うリブ壁の断面 −３……リブの最大径の部分の断面 、……フランジ 、……保持部 ……支持部、……端部 ……ウエハー装着のためのスリット部 Ａ面……ウエハーキヤリヤーの開放頂部の面 ａ−・−ａ′……軸線方向
上面図、第２図は結合部側からの正面図、第３図は側壁
側からの側面図で、一部側壁の内側を示したものであ
る。第４図は軸線方向（ａ−ａ′方向）における第３図
の線Ａ−Ａにおける断面図で、第５図は同じく第３図の
線Ｂ−Ｂの断面図である。 尚、図中の番号はそれぞれ次の部位を示す。 、……側壁 、、……結合部 ……リブ −１……リブの最大径部からキヤリヤーの内側に向か
うリブ壁の断面 −２……リブの最大径部からキヤリヤーの外側に向か
うリブ壁の断面 −３……リブの最大径の部分の断面 、……フランジ 、……保持部 ……支持部、……端部 ……ウエハー装着のためのスリット部 Ａ面……ウエハーキヤリヤーの開放頂部の面 ａ−・−ａ′……軸線方向
Claims (1)
- 【請求項１】各ウエハーの主面が垂直面となり、かつ、
平行となるようにウエハーを装着し、該ウエハーを両側
方より支持するための向きあった側壁（および）
と、ウエハーを挿入および取出すための開放頂部面
（Ａ）、並びに両側壁（および）の各前端間及び同
後端間を連結する結合部（、および）よりなるウ
エハーキヤリヤーであって、該側壁（および）は、 （１）．各ウエハーを相互に隔離するリブ（）、 （２）．各リブ（）を相互に固定するフランジ（お
よび）、 （３）．ウエハーがキヤリヤー外に突出する事を防ぐ保
持部（および）及び （４）．開放頂部の面（Ａ）を上方に向けた際にウエハ
ーを下方から支持するための取はずし可能な支持部
（）よりなり、 当該ウエハーキヤリヤーの側壁（および）を構成す
るリブ（）は、 （５）．開放頂部の面（Ａ）に平行な断面（第４図）に
おいて、該リブの中央部に最大径の部分（−３）を有
し、 （６）．最大径部よりキヤリヤーの外側のリブ面とウエ
ハーの主面とが特定の角度（θ2）をなし、かつ、最大
径部よりキャリヤーの内側のリブ面とウエハーの主面と
が特定の角度（θ1）をなすようにリブ面がキャリヤー
の内側及び外側に向かってテーパーを有し、 （７）．最大径部よりキヤリヤーの内側のリブ面とウエ
ハーの主面とがなす角度（θ1）が１ないし20°であ
り、且つ （８）．上記の当該リブの断面巾の最大径部（−３）
からのキヤリヤーの内側へのリブ長さ（l1）と外側への
リブ長さ（l2）の比（l1/l2）が６以下である ことを特徴とするウエハーキヤリヤー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3382186A JPH0779124B2 (ja) | 1986-02-20 | 1986-02-20 | ウエハ−キヤリヤ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3382186A JPH0779124B2 (ja) | 1986-02-20 | 1986-02-20 | ウエハ−キヤリヤ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62193258A JPS62193258A (ja) | 1987-08-25 |
| JPH0779124B2 true JPH0779124B2 (ja) | 1995-08-23 |
Family
ID=12397147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3382186A Expired - Fee Related JPH0779124B2 (ja) | 1986-02-20 | 1986-02-20 | ウエハ−キヤリヤ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0779124B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0422929U (ja) * | 1990-06-14 | 1992-02-25 |
-
1986
- 1986-02-20 JP JP3382186A patent/JPH0779124B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62193258A (ja) | 1987-08-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |