JPH0797619B2 - Deburring-free lead frame and resin molding method for the lead frame - Google Patents
Deburring-free lead frame and resin molding method for the lead frameInfo
- Publication number
- JPH0797619B2 JPH0797619B2 JP3202609A JP20260991A JPH0797619B2 JP H0797619 B2 JPH0797619 B2 JP H0797619B2 JP 3202609 A JP3202609 A JP 3202609A JP 20260991 A JP20260991 A JP 20260991A JP H0797619 B2 JPH0797619 B2 JP H0797619B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- lead
- lead frame
- dam
- mold
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ICパッケージその他
の半導体パッケージの製造工程中の樹脂モールド時に、
リードピンのアウターリード部にバリ(flash)が
発生せず、バリ取りを不要とするリードフレーム、およ
びそのリードフレームの製造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to resin molding during the manufacturing process of IC packages and other semiconductor packages.
The present invention relates to a lead frame in which burrs do not occur in an outer lead portion of a lead pin and deburring is unnecessary, and a method for manufacturing the lead frame.
【0002】[0002]
【従来の技術】半導体チップへの樹脂モールドは、半導
体素子に傷が付いたりゴミが付着するのを防止し、また
電気的・化学的・金属的その他の外的影響から守り、安
定した性能を半永久的に維持するために行われている。
その樹脂モールドには、一般にエポキシ系の熱硬化性樹
脂を用いるものが多く、リードフレームへ半導体チップ
をボンディング後に、それをモールド金型内に入れて液
状のモールド樹脂を注入し、硬化させている。2. Description of the Related Art A resin mold for a semiconductor chip prevents scratches and dust from adhering to a semiconductor element and protects it from electrical, chemical, metallic, and other external influences to ensure stable performance. It is done to maintain semi-permanently.
Most of the resin molds use epoxy thermosetting resin, and after bonding the semiconductor chip to the lead frame, put it in the mold and inject the liquid mold resin to cure it. .
【0003】この樹脂モールド時に、モールド樹脂がア
ウターリード部へ漏れ出すと、それがバリとなって強固
に付着する。このアウターリード部のバリは、次の半田
(または錫)外装処理を不完全なものにするため、通電
性を損い半導体としての機能を失わせる結果となる。During molding of this resin, if the molding resin leaks to the outer lead portion, it becomes a burr and adheres firmly. The burr on the outer lead portion makes the subsequent solder (or tin) exterior treatment incomplete, resulting in a loss of electrical conductivity and a loss of the semiconductor function.
【0004】そこで、樹脂モールド時にアウターリード
部への樹脂の漏れ出しを防止するため、従来は次の手段
がとられている。その1は、リードフレームのフラット
タイプ(クワッドタイプともいう)、DIPタイプ共に
広く行われているもので、各リードピンのアウターリー
ド部寄りに、リードピン間を繋ぐ形状のダムバー(タイ
バーともいう)を一体形成したものである。このダムバ
ーにより、モールド金型外に漏れ出た樹脂を、アウター
リード部手前で堰き止めるものである。Therefore, in order to prevent the resin from leaking to the outer lead portion during resin molding, the following measures have been conventionally taken. The first is widely used for both flat type (also called quad type) and DIP type of lead frames. A dam bar (also called tie bar) that connects lead pins is integrated near the outer lead part of each lead pin. It was formed. With this dam bar, the resin leaking out of the molding die is dammed in front of the outer lead portion.
【0005】その2は、リードフレームからダムバーを
無くし、代わりにその部分の表・裏面に、例えばポリイ
ミド系樹脂製のテープ(例「カプトン」(商品名))を
貼付するものである。このテープも、上記ダムバーと同
様にモールド金型外に漏れ出た樹脂を、アウターリード
部手前で堰き止めようとするものである。In the second method, the dam bar is removed from the lead frame, and instead a tape made of, for example, a polyimide resin (eg "Kapton" (trade name)) is attached to the front and back surfaces of that portion. This tape also intends to block the resin leaking out of the molding die just before the outer lead portion, like the dam bar.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のダム
バー付きのリードフレームは、ダムバーを後にプレス金
型で打ち抜き除去する必要があるが、細密化・多ピン
(ピン数が100本以上のものをいう)化したリードフ
レームに対応してプレス金型も細密化・高精度化してい
るので、ダムバーの打ち抜きでプレス金型の磨耗・変形
が早く、コスト高になっている。しかもこのプレス金型
は、リードフレームの品種毎に対応した形状が必要であ
り、生産性の面でも問題点がある。However, in the above-mentioned lead frame with a dam bar, it is necessary to punch and remove the dam bar later with a press die. Since the press die is made finer and more accurate to correspond to the lead frame which has been changed, the wear and deformation of the press die due to the punching of the dam bar is fast and the cost is high. Moreover, this press die needs to have a shape corresponding to each type of lead frame, which is problematic in terms of productivity.
【0007】次に、上記のテープを貼付するものは、後
でダムバーをカットする必要がないので、細密化・多ピ
ン化したリードフレームに適用し易い面はある。しかし
テープは、リードピンの表・裏に貼着されるだけである
ため、リードピン間の間隙はテープで埋まっておらず、
樹脂モールド時にモールド樹脂が間隙を経てアウターリ
ード部へ漏れ出てしまい、バリが付着し易い。 Next, the tape to which the above-mentioned tape is attached does not need to have the dam bar cut later, and therefore, it is easy to apply it to a lead frame having a fine and multi-pin structure. However, since the tape is only attached to the front and back of the lead pin, the gap between the lead pins is not filled with tape,
When the resin is molded, the molding resin goes through a gap and
It easily leaks to the cord part, and burr tends to adhere.
【0008】従来のバリ発生防止手段はいずれも不十分
なため、アウターリード部に付着したバリの除去工程が
必要となり、例えば強酸中につける化学的方法や、苛生
ソーダ液中で電解処理する電気化学的方法、あるいはジ
ェット水流や高圧で粉体を吹き付ける機械的方法等のバ
リ除去手段を経る必要があった。Since any of the conventional burr generation preventing means is insufficient, a step of removing the burr adhering to the outer lead portion is required. For example, a chemical method of dipping in a strong acid or electrolytic treatment in a caustic soda solution is required. It was necessary to go through a deburring means such as an electrochemical method or a mechanical method of spraying the powder with a jet water stream or high pressure.
【0009】なお上記のテープに代えて、クリーム状ま
たはペースト状の樹脂材料を、XYテーブルとディスペ
ンサーを用いて細紐状に塗付する手段も考えられる(例
えばリードピンの保持・固定用の技術として、本願と同
一出願人の発明に係る特開昭63−283054号公報
参照)。しかしこの細紐状の樹脂材料の塗付は、リード
ピン間での充填状態やピン表・裏面の状態等が、リード
ピンを保持・固定するのに必要充分なものとしてあるだ
けである。また樹脂材料を塗付する位置も、リードピン
の先端寄りに近い位置であり、後の樹脂モールド時にモ
ールドされてしまうる範囲内である。これらは、上記技
術が樹脂モールド時にピン間やモールド金型とピンの表
・裏面の隙間から、モールド樹脂が漏れるという点を全
く考慮していないからである。 Instead of the above tape, cream
Or paste resin material onto the XY table and display
It is also conceivable to apply a thin string using a sensor (example
For example, as a technique for holding and fixing lead pins,
JP-A-63-283054 related to the invention of the applicant
reference). However, the application of this thin string-shaped resin material
The filling status between the pins and the status of the front and back surfaces of the pins are read.
It is necessary and sufficient to hold and fix the pin.
It is injured. Also, the position where the resin material is applied should be the same as the lead pin.
The position is close to the tip of the
It is within the range of being shielded. These are the above techniques
When the resin is molded, the table between the pins and the mold and pin
・ All points that mold resin leaks from the gap on the back side
Because it is not taken into consideration.
【0010】本発明は、従来の半導体パッケージ製造工
程における問題点を解決しようとするものである。即ち
本発明の目的は、従来のリードフレームと異なり、樹脂
モールド時の樹脂漏れを確実に防止して、アウターリー
ド部でのバリ発生を防止し、バリ取りを不要にできるリ
ードフレーム、およびそのリードフレームへの樹脂モー
ルド方法を提供することにある。The present invention is intended to solve the problems in the conventional semiconductor package manufacturing process . The purpose of the immediate Chi present invention, unlike the conventional lead frame, the resin
Reliably prevent resin leakage during molding,
This prevents burrs from being generated at the edge and eliminates the need for deburring.
Resin frame and its lead frame.
It is to provide the rud method .
【0011】[0011]
【課題を解決するための手段】第1に、本発明に係るバ
リ取り不要のリードフレームは、リードピン間3にダム
バーを設けないリードフレーム1において、後に樹脂モ
ールドされる部分4に近接した外側箇所に、各リードピ
ン2と直交する細紐状で各リードピン間3を埋めるとと
もに、各リードピン2の表・裏面にも薄い樹脂膜19が
形成されるように、紫外線硬化型樹脂製の樹脂製ダム部
5を形成したものである。First, a lead frame according to the present invention that does not require deburring has an outer portion near a portion 4 to be resin-molded later in the lead frame 1 having no dam bar between the lead pins 3. to, Rutoto fill 3 between the lead pins in thin cord-like perpendicular to the lead pins 2
Also, a thin resin film 19 is formed on the front and back surfaces of each lead pin 2.
So formed, it is to be calculated and form a resin dam portion 5 made ultraviolet curable resin.
【0012】第2に、本発明に係るバリ取り不要のリー
ドフレームへの樹脂モールド方法は、リードピン間3に
ダムバー無しのリードフレーム1で、樹脂モールドされ
る部分4に近接した外側箇所に、各リードピン2と直交
する細紐状で、各リードピン間3を埋めるとともに、各
リードピン2の表・裏面にも薄い樹脂膜19が形成され
た紫外線硬化型樹脂製の樹脂製ダム部5を形成し、 その
後に該樹脂製ダム部5付きのリードフレーム1を、樹脂
モールド部18に対応する凹部以外に上記樹脂膜19の
位置・形状・厚みに対応する浅い凹条部20をもつモー
ルド金型16間内へ装入し、 この状態で金型16内にモ
ールド樹脂材料を充填し硬化させることにより、 アウタ
ーリード部14への樹脂漏れ無しの樹脂モールドを可能
としたものである。 Second, the lee according to the present invention that does not require deburring.
Resin molding method of the lead frame is a rie de frame 1 without a dam bar to the lead pins between 3 and outer portions adjacent to the portion 4 which is a resin model Rudo, in thin cord-like perpendicular to the lead pins 2, between the lead pins 3 And fill each
A thin resin film 19 is formed on the front and back surfaces of the lead pin 2.
The resin dam portion 5 made ultraviolet curable resin was formed, the
After that, the lead frame 1 with the resin dam portion 5 is
In addition to the concave portion corresponding to the mold portion 18, the resin film 19
A model with a shallow groove 20 that corresponds to the position, shape, and thickness.
It is charged into the space between the molds 16 and the mold 16 is
The outer resin can be
Allows resin molding without resin leakage to the lead section 14
It is what
【0013】上記構成において、リードフレーム1への
樹脂材料7の塗布は、クリーム状またペースト状の樹脂
材料7を、ディスペンサー8とXYテーブル9で行う手
段が 望ましく、図示は省略するがマスクを用いて印刷し
てもよい。図において、10はアイランド部、12はイ
ンナーリード部、13はインナーリード固定部、17は
モールド樹脂を示す。In the above structure, the resin material 7 is applied to the lead frame 1 in a cream or paste resin.
It is desirable to use the dispenser 8 and the XY table 9 for the material 7, and a mask may be used for printing , although not shown. In the figure, 10 is the island portion, 12 inner lead portion, 13 inner lead fixing unit, 1 7 shows a mold resin.
【0014】[0014]
【作用】上記本発明に係るバリ取り不要のリードフレー
ム、およびそのリードフレームへの樹脂モールド方法の
実施状態は次のようになる。まず、フラットタイプでダ
ムバー無しのリードフレーム1では、樹脂モールドされ
る部分4の近接した外周箇所に、各リードピン2と直交
した細紐状で各リードピン間3を埋める如く、紫外線硬
化型の樹脂材料7を塗布し、それを硬化させて樹脂製ダ
ム部5を形成してある(図1参照)。この場合の樹脂製
ダム部5は、後に樹脂モールドされる部分4の近接した
外周部を囲繞する如く形成されるとともに、塗付された
樹脂材料7が流れ、各リードピン2の表・裏面にも薄い
樹脂膜19が形成されたリードフレーム1になっている
(図3参照)。 The operation state of the lead frame which does not require deburring according to the present invention and the resin molding method for the lead frame is as follows. First, in the flat type lead frame 1 without a dam bar, an ultraviolet curable resin material is used so that the lead pin 2 is filled with a narrow cord that is orthogonal to the lead pins 2 in the vicinity of the outer peripheral portion of the resin molded portion 4. 7 is applied and cured to form a resin dam portion 5 (see FIG. 1). The resin dam portion 5 in this case is formed so as to surround the adjacent outer peripheral portion of the portion 4 to be resin-molded later, and is coated.
Resin material 7 flows and is thin on the front and back of each lead pin 2.
It is the lead frame 1 on which the resin film 19 is formed.
(See Figure 3).
【0015】また、DIPタイプでダムバー無しのリー
ドフレーム1では、樹脂モールドされる部分4の近接し
た両外側箇所に、各リードピン2と直交した細紐状で各
リードピン間3を埋める如く、紫外線硬化型の樹脂材料
7を塗布し、それを硬化させて樹脂製ダム部5を形成し
てある(図2参照)。この場合の樹脂製ダム部5は、樹
脂モールドされる部分4の近接した両外側箇所に形成さ
れているとともに、上記と同様に塗付された樹脂材料7
が流れ、各リードピン2の表・裏面にも薄い樹脂膜19
が形成されたリードフレーム1になっている(図3参
照)。 Further, in the DIP type lead frame 1 without a dam bar, ultraviolet curing is performed so as to fill the space between the lead pins 3 in a strip shape orthogonal to the lead pins 2 at both outer positions close to the resin-molded portion 4. A mold resin material 7 is applied and cured to form a resin dam portion 5 (see FIG. 2). This resin dam portion 5 when both the are formed on both outer portion in proximity of the portion 4 which is a resin molded, the resin material was similarly coated labeled with the 7
Flow through the thin resin film 19 on the front and back surfaces of each lead pin 2.
Is formed on the lead frame 1 (see FIG. 3).
See).
【0016】次に、該樹脂製ダム部5付のリードフレー
ム1をモールド金型16間内へ装入して樹脂モールドす
るが、この際、樹脂モールド部に対応する凹部へ注入・
充填されたモールド樹脂17の一部が、リードピン間3
を経てアウターリード部14側へ漏れ出ようとする。し
かし、このリードフレーム1では、樹脂モールドされる
部分4に近接した外側箇所で、各リードピン間3を埋め
る如く形成した樹脂製ダム部5が、その漏れ出ようとす
るモールド樹脂17を、そこで堰き止めて漏れ 出るのを
防止している(図3参照)。 Next, the lead frame with the resin dam 5 is attached.
Insert the mold 1 into the space between the molding dies 16 and mold it with resin.
However, at this time, injection into the recess corresponding to the resin mold part
A part of the filled mold resin 17 causes a gap between the lead pins 3
And tries to leak to the outer lead portion 14 side. Shi
However, the lead frame 1 is resin-molded.
Fill the space between each lead pin 3 at the outer part close to the part 4.
The resin dam 5 formed as described above tries to leak out.
That the mold resin 17, where dam to stop by leaking
It is prevented (see Fig. 3).
【0017】さらに、樹脂モールド部に対応する凹部へ
注入・充填されたモールド樹脂17の一部は、リードピ
ン2の表・裏面と金型16間の僅かな隙間を経て漏れ出
ようとする。しかし上記の如く、該リードフレーム1に
は、各リードピン2の表・裏面にも薄い樹脂膜19が形
成されており、かつモールド金型16には、該樹脂膜1
9の位置・形状・厚みに対応する浅い凹条部20を形成
してある。そのため、該凹条部20に係合した樹脂膜1
9がシール材の役割をなすことになり(図5参照)、そ
の間隙から漏れ出ようとするモールド樹脂の漏れをも防
止している。 Further, to the concave portion corresponding to the resin mold portion.
A part of the injected and filled mold resin 17 is a lead pin.
Leaks through a slight gap between the front and back surfaces of the mold 2 and the mold 16.
Try to. However, as described above, the lead frame 1
Is a thin resin film 19 formed on the front and back surfaces of each lead pin 2.
The resin film 1 is formed on the molding die 16.
Forming a shallow groove 20 corresponding to the position, shape and thickness of 9
I am doing it. Therefore, the resin film 1 engaged with the recess 20
9 acts as a sealing material (see FIG. 5).
It also prevents the mold resin from leaking from the gap between
It has stopped.
【0018】したがって、本発明に係るリードフレーム
1、およびそれへの樹脂モールド方法によれば、樹脂モ
ールド時にモールド樹脂17がアウターリード部14へ
漏れ出ることが確実に防止され、後にそれがバリとして
付着するようなことが無くなる(図6・図7・図8参
照)。 Therefore, the lead frame according to the present invention
1 and the resin molding method therefor, the resin mold is
Mold resin 17 moves to outer lead portion 14 when rolled
It surely prevents it from leaking out, which later becomes burr
There is no sticking (see Fig. 6, Fig. 7 and Fig. 8).
See).
【0019】なお、その後の上記樹脂製ダム部5は、薬
液例えばアルカリ系溶液による電解処理を行えば簡単に
除去されるので、ダムバーのプレス打ち抜きの如きリー
ドフレームの品種毎に対応したプレス金型を揃える必要
がない。また該樹脂製ダム部5の薬液による除去は、従
来行っていた化学的バリ取り工程の代わりとして、また
は次の半田外装処理の前処理工程として行えばよいの
で、特別な装置を増設する必要もない。Since the resin dam portion 5 thereafter can be easily removed by performing an electrolytic treatment with a chemical solution such as an alkaline solution, a press die corresponding to each type of lead frame such as press punching of a dam bar. There is no need to arrange . Further, since the removal of the resin dam portion 5 with a chemical solution may be performed instead of the conventional chemical deburring step or as a pretreatment step for the next solder exterior treatment, it is also necessary to add a special device. Absent.
【0020】[0020]
【実施例】近時のリードフレーム1は細密化・多ピン化
しているが、実施例を示す図1ないし図8では本願発明
の内容を理解し易くするため、リードピン2の数を少な
くして表示してある。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Although the lead frame 1 has been made finer and has more pins in recent years, the number of lead pins 2 is reduced in order to facilitate understanding of the contents of the present invention in FIGS. 1 to 8 showing an embodiment. It is displayed.
【0021】まず、ダムバー無しのフラットタイプまた
はDIPタイプのリードフレーム1の形成は、公知手段
の例えばプレス加工やフォトエッチングにより行えばよ
い。該リードフレーム1に樹脂製ダム部5を成形する時
期は、リードフレーム1の所定箇所にボンディング用部
分メッキ6を施した後に行えばよいが、同部分メッキ6
を施す前に行ってもよい。First, the flat type or DIP type lead frame 1 without a dam bar may be formed by known means such as press working or photo etching. The resin dam portion 5 may be formed on the lead frame 1 after the partial plating 6 for bonding is applied to a predetermined portion of the lead frame 1.
You may go before applying.
【0022】樹脂製ダム部5を形成する位置・形状は、
フラットタイプのリードフレーム1では、図1で示す如
く、樹脂モールドされる部分4の近接した外周箇所に、
各リードピン2と直交した細紐状で各リードピン間3を
埋める如く、紫外線硬化型の樹脂材料7を塗布し、それ
を硬化させて樹脂製ダム部5を形成しておく。 The position and shape of the resin dam 5 are as follows.
In the flat type lead frame 1, as shown in FIG.
In the vicinity of the outer periphery of the resin-molded portion 4,
A thin cord that is orthogonal to each lead pin 2 and has a space 3 between each lead pin.
Apply UV-curable resin material 7 to fill it, and
Is cured to form the resin dam portion 5.
【0023】また、DIPタイプのリードフレーム1で
は、図2で示す如く、樹脂モールドされる部分4の近接
した両外側箇所に、各リードピン2と直交した細紐状で
各リードピン間3を埋める如く、紫外線硬化型の樹脂材
料7を塗布し、それを硬化させて樹脂製ダム部5を形成
してある。 Also, with the DIP type lead frame 1,
Is the proximity of the resin-molded portion 4 as shown in FIG.
On both outer sides, in the shape of a thin string orthogonal to each lead pin 2.
An ultraviolet curable resin material that fills the space 3 between the lead pins.
Coating material 7 and curing it to form resin dam part 5
I am doing it.
【0024】樹脂製ダム部5を形成する樹脂材料7は、
ペースト状またはクリーム状で紫外線硬化型のものであ
れば、例えばアクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリブ
タジェン系樹脂、シリコン系樹脂等のものを用いればよ
いが、樹脂モールド時の摂氏200度程度に高温に耐え
得る耐熱性を有する必要もある。一般的には、アクリル
系樹脂に紫外線硬化タイプの硬化剤を添加したものを用
いればよい。The resin material 7 forming the resin dam portion 5 is
As long as it is a paste-like or cream-like UV-curing type, for example, an acrylic resin, an epoxy resin, a polybutadiene resin, a silicone resin, or the like may be used, but a high temperature of about 200 degrees Celsius during resin molding may be used. It must also have heat resistance to withstand. Generally, an acrylic resin to which an ultraviolet curing type curing agent is added may be used.
【0025】上記樹脂材料7の塗布手段としては、図3
で示す如く、ディスペンサー8とXYテーブル9を用い
るのがよいが、それに限らずマスクを用いた印刷によっ
てもよい。また該樹脂材料7の硬化手段としては、光硬
化型のものでは紫外線その他の光を照射すればよい。A means for applying the resin material 7 is shown in FIG.
As shown in, it is preferable to use the dispenser 8 and the XY table 9, but the present invention is not limited to this, and printing using a mask may be used. Further, as a curing means for the resin material 7, in the case of a photo-curing type, ultraviolet light or other light may be irradiated.
【0026】リードフレーム1に形成されるダム部5
は、後に樹脂モールドされる部分4に近接した外側箇所
に、図4で示す如く、各リードピン2と直交する細紐状
で各リードピン間3を埋めるとともに、各リードピン2
の表・裏面にも薄い樹脂膜19が形成されるようにして
おく。 Dam portion 5 formed on the lead frame 1
Is an outer part close to the part 4 to be resin-molded later
In addition, as shown in FIG. 4, a thin string shape orthogonal to each lead pin 2
Fill the space between each lead pin 3 with each lead pin 2
A thin resin film 19 is formed on the front and back surfaces of
deep.
【0027】その後に、このダム部付きのリードフレー
ム1を樹脂モールドするが、その際のモールド金型16
は、樹脂モールド部18に対応する凹部以外に、図5で
明らかな如く、上記樹脂膜19の位置・形状・厚みに対
応する浅い凹条部20を有するものを用いる。 After that, the lead frame with the dam part
The mold 1 is resin-molded, and the molding die 16 at that time
In addition to the concave portion corresponding to the resin mold portion 18, in FIG.
As is apparent, the position, shape, and thickness of the resin film 19 should be matched.
The one having the corresponding shallow groove portion 20 is used.
【0028】この状態で金型16間内にモールド樹脂材
料を充填し、硬化させて樹脂モールドすればよい(図5
参照)。これにより、図6で示すような樹脂モールドさ
れたリードフレーム1が形成されるが、図7はフラット
タイプのものの平面図で、図8はその斜視図を示してい
る。 In this state, the mold resin material is placed between the molds 16.
The material may be filled, cured and resin-molded (Fig. 5).
reference). As a result, the resin mold as shown in FIG.
Lead frame 1 is formed, but FIG. 7 is flat
FIG. 8 is a plan view of a type, and FIG. 8 shows its perspective view.
It
【0029】なお、樹脂製のダム部5を溶解除去する薬
剤としては、例えばアルカリ性のNaOH100g/l
の溶液を用いて、電解処理すればよい。インナーリード
固定用部13は、従来のテープを貼付するものでもよい
し、本願と同一出願人に係る特開昭63−283054
号公報に記載の如く、樹脂を塗布してもよい。図におい
て、11はアイランド吊りピン、15はアウターリード
固定ピン(セクションバーともいう)、21はリードフ
レーム受板を示す。[0029] As the agent for dissolving and removing the dam portion 5 made of resin, for example, alkaline NaOH100g / l
The solution may be used for electrolytic treatment. The inner lead fixing portion 13 may be a conventional tape to which a tape is attached, or JP-A-63-283054 disclosed by the same applicant as the present application.
A resin may be applied as described in the publication. In the figure, 11 is an island suspension pin, 15 is an outer lead fixing pin (also referred to as a section bar), and 21 is a lead frame receiving plate.
【0030】[0030]
【発明の効果】以上で明らかな如く、本発明に係るバリ
取り不要のリードフレームおよびそのリードフレームへ
の樹脂モールド方法は、従来のリードフレームと異な
り、樹脂モールド時のアウターリード部への樹脂漏れを
確実に防止でき、バリの発生を防止してバリ取り工程を
不要にできる。 As is apparent from the above, the lead frame which does not require deburring and the resin molding method for the lead frame according to the present invention are different from the conventional lead frame in that the resin leaks to the outer lead portion at the time of resin molding. To
Can be reliably prevented, Ru can be dispensed with the deburring process to prevent the occurrence of burrs.
【0031】即ち、従来のダムバー付きのリードフレー
ムは、バリの発生を押さえても後でダムバーをプレス金
型で打ち抜く必要があり、リードフレームの品種毎に対
応したプレス金型が必要となり、生産性の面で問題があ
るとともに、細密化・高精度化したプレス金型は磨耗・
変形が早く、コスト高となっていた。また、従来のテー
プをリードピン表・裏面に貼付するものは、リードピン
間に間隙が生じるため に、樹脂モールド時にモールド樹
脂がアウターリード部へ漏れ出て、バリが付着し易い
し、生産性や経済性に問題があった。 That is, in the conventional lead frame with a dam bar, it is necessary to punch the dam bar later with a press die even if the occurrence of burrs is suppressed, and a press die corresponding to each type of lead frame is required. both when there is a problem in sexual terms, fine and precision the press die is worn,
Deformation was fast and the cost was high. Moreover, those subjected pasting conventional tape lead pin table-back side, lead pins
For gap is formed between, leaked into the mold resin there Utarido section during resin molding, burrs are attached not easily
However, there was a problem in productivity and economy.
【0032】これに対して本発明においては、ダムバー
の無いリードフレームに、樹脂モールドされる部分の近
接した外側箇所に、各リードピンと直交した細紐状で各
リードピン間を埋めて樹脂製ダム部を形成するものであ
る。そのため樹脂モールド時に、リードピン間を埋めた
この樹脂ダム部により、そこからアウターリード部への
モールド樹脂の漏れ出しを確実に防止でき、アウターリ
ード部へのバリの付着が無く、したがってバリ取り工程
を不要にできる。On the other hand, in the present invention, a lead frame without a dam bar is provided on the outer side of the resin molded portion close to the lead frame with a string-like shape orthogonal to the lead pins and filling the space between the lead pins. der to form a
It Therefore, the space between the lead pins was filled during resin molding .
By this resin dam portion, from which can reliably prevent the leakage of the molding resin to the outer lead portions, no burrs adhering to the outer lead portions, thus the deburring unnecessary.
【0033】さらに本発明においては、上記樹脂製ダム
部を、各リードピンの表・裏面にも薄い樹脂膜が形成さ
れるようにしてある。そしてこのリードフレームを樹脂
モールドするモールド金型には、該樹脂膜の位置・形状
・厚みに対応する浅い凹条部を形成したものを用いてい
る。そのため、リードピンの表・裏面と金型間の僅かな
隙間を経て漏れ出ようとするモールド樹脂一部も、該凹
条部に係合した樹脂膜がシール材の役割をなすことにな
り、その間隙から漏れ出ようとするモールド樹脂の漏れ
を確実に防止できる。 Further, in the present invention, the above resin dam
The thin resin film is formed on the front and back surfaces of each lead pin.
It is designed to And this lead frame is made of resin
Position and shape of the resin film on the molding die
.Using a shallow groove that corresponds to the thickness
It Therefore, there is a slight gap between the front and back surfaces of the lead pin and the mold.
Even the part of the mold resin that is about to leak through the gap is
The resin film that engages with the ridges does not function as a sealing material.
The mold resin that tries to leak from the gap.
Can be reliably prevented.
【0034】したがって、本発明に係るリードフレーム
およびそれへの樹脂モールド方法によれば、樹脂モール
ド時にモールド樹脂がアウターリード部へ漏れ出ること
を確実に防止でき、後のバリ取り工程を無用にすること
ができる。 Therefore, the lead frame according to the present invention
According to the resin molding method therefor, the resin molding
Mold resin leaks to the outer leads when
Can be reliably prevented and the subsequent deburring process becomes unnecessary.
You can
【0035】なお、本発明での樹脂製ダム部は、薬液で
後に残留物を残さず容易かつ完全に除去できるので、次
の半田外装処理を完全に行うことができる。またこのダ
ム部除去工程は、従来の化学的バリ取り工程の代わりと
して、または次の半田外装処理の前処理工程として行え
ばよいので、特別な装置を増設することなく本発明を実
施することができる。 Since the resin dam portion according to the present invention can be easily and completely removed without leaving a residue afterwards with the chemical liquid, the next solder coating process can be performed completely. Further, since the dam portion removing step may be performed as a substitute for the conventional chemical deburring step or as a pretreatment step for the next solder exterior treatment, the present invention can be implemented without adding a special device. it can.
【図1】本発明をフラットタイプのリードフレームに実
施した場合の一部拡大平面図である。FIG. 1 is a partially enlarged plan view when the present invention is applied to a flat type lead frame.
【図2】本発明をDIPタイプのリードフレームに実施
した場合の一部拡大平面図である。FIG. 2 is a partially enlarged plan view when the present invention is applied to a DIP type lead frame.
【図3】本発明での樹脂材料の塗布を、ディスペンサー
とXYテーブルとで行う場合の一部拡大縦断面である。FIG. 3 is a partially enlarged vertical cross section in the case of applying a resin material according to the present invention with a dispenser and an XY table.
【図4】本発明で樹脂製ダム部が形成されたリードピン
の一部拡大斜視図である。FIG. 4 is a partially enlarged perspective view of a lead pin in which a resin dam portion is formed according to the present invention.
【図5】本発明のリードフレームに樹脂モールド時の一
部拡大縦断面図である。FIG. 5 is a partially enlarged vertical sectional view of the lead frame of the present invention when resin-molded.
【図6】樹脂モールド後の本発明のリードフレームの一
部拡大縦断面図である。FIG. 6 is a partially enlarged vertical sectional view of the lead frame of the present invention after resin molding.
【図7】本発明でのフラットタイプのリードフレーム
に、樹脂モールド後の一部拡大平面図である。FIG. 7 is a partially enlarged plan view of the flat type lead frame of the present invention after resin molding.
【図8】本発明でのフラットタイプのリードフレーム
に、樹脂モールド後の一部拡大斜視図である。FIG. 8 is a partially enlarged perspective view of a flat type lead frame of the present invention after resin molding.
1−リードフレーム 2−リードピン 3−リードピン間 4−樹脂モールド
される部分 5−樹脂製ダム部 6−ボンディング
用部分メッキ 7−樹脂材料 8−ディスペンサ
ー 9−XYテーブル 10−アイランド部 12−インナーリード部 13−インナーリ
ード固定部 14−アウターリード部 16−モールド金
型 17−モールド樹脂 18−樹脂モール
ド部 19−薄膜部 20−凹条部1-Lead Frame 2-Lead Pin 3-Between Lead Pins 4-Resin Molded Part 5-Resin Dam Part 6-Partial Plating for Bonding 7-Resin Material 8-Dispenser 9-XY Table 10-Island Part 12-Inner Lead Part 13-Inner lead fixing part 14-Outer lead part 16-Molding die 17-Molding resin 18-Resin molding part 19-Thin film part 20-Recessed line part
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 23/28 C 8617−4M 23/29 23/31 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification number Office reference number FI technical display location H01L 23/28 C 8617-4M 23/29 23/31
Claims (2)
ドフレーム1において、 後に樹脂モールドされる部分4に近接した外側箇所に、
各リードピン2と直交する細紐状で各リードピン間3を
埋めるとともに、各リードピン2の表・裏面にも薄い樹
脂膜19が形成されるように、紫外線硬化型樹脂製の樹
脂製ダム部5を形成したことを特徴とする、バリ取り不
要のリードフレーム。A lead frame (1) having no dam bars between lead pins (3) is provided at an outer portion near a portion (4) to be resin-molded later.
Each lead pin 2 perpendicular to thin cord-like in filling <br/> the lead pins between 3 Rutotomoni, thin tree in front and rear surface of the lead pins 2
A lead frame that does not require deburring , characterized in that a resin dam portion 5 made of an ultraviolet curable resin is formed so that the oil film 19 is formed .
レーム1で、樹脂モールドされる部分4に近接した外側
箇所に、 各リードピン2と直交する細紐状で、各リードピン間3
を埋めるとともに、各リードピン2の表・裏面にも薄い
樹脂膜19が形成された紫外線硬化型樹脂製の樹脂製ダ
ム部5を形成し、 その後に該樹脂製ダム部5付きのリードフレーム1を、
樹脂モールド部18に対応する凹部以外に上記樹脂膜1
9の位置・形状・厚みに対応する浅い凹条部20をもつ
モールド金型16間内へ装入し、 この状態でモールド金型16内にモールド樹脂材料を充
填し硬化させることにより、 アウターリード部14への樹脂漏れ無しを可能にしたこ
とを特徴とする、リードフレームへの樹脂モールド方
法。 In wherein rie de frame 1 of the dam bar without the lead pins between 3 and outer portions adjacent to the portion 4 which is a resin model Rudo, in thin cord-like perpendicular to the lead pins 2, between the lead pins 3
And also thin on the front and back of each lead pin 2.
Resin-made resin made of UV-curable resin on which the resin film 19 is formed
To form the lead frame 1 with the resin dam portion 5,
In addition to the concave portion corresponding to the resin molded portion 18, the resin film 1
9 has a shallow groove 20 corresponding to the position, shape and thickness of
It is charged into the space between the mold dies 16 and, in this state, the mold resin 16 is filled with the mold resin material.
By filling and curing it, it is possible to prevent resin leakage into the outer lead portion 14.
Resin molding method for lead frame, characterized by
Law.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3202609A JPH0797619B2 (en) | 1991-05-13 | 1991-05-13 | Deburring-free lead frame and resin molding method for the lead frame |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3202609A JPH0797619B2 (en) | 1991-05-13 | 1991-05-13 | Deburring-free lead frame and resin molding method for the lead frame |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04336459A JPH04336459A (en) | 1992-11-24 |
| JPH0797619B2 true JPH0797619B2 (en) | 1995-10-18 |
Family
ID=16460250
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3202609A Expired - Lifetime JPH0797619B2 (en) | 1991-05-13 | 1991-05-13 | Deburring-free lead frame and resin molding method for the lead frame |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0797619B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2590747B2 (en) * | 1994-07-29 | 1997-03-12 | 日本電気株式会社 | Method for manufacturing semiconductor device |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63283054A (en) * | 1987-03-11 | 1988-11-18 | Fuji Plant Kogyo Kk | Lead frame with pin-holding structure and holding method for pin of lead frame |
| JPH0275747U (en) * | 1988-11-29 | 1990-06-11 |
-
1991
- 1991-05-13 JP JP3202609A patent/JPH0797619B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04336459A (en) | 1992-11-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100198685B1 (en) | Semiconductor device manufacturing method and mold assembly thereof | |
| JPS6396947A (en) | Lead frame semiconductor device | |
| EP1100122A2 (en) | Die used for resin-sealing and molding an electronic component | |
| JPH0797619B2 (en) | Deburring-free lead frame and resin molding method for the lead frame | |
| JPH0246134B2 (en) | ||
| US20090246912A1 (en) | Method of producing semiconductor packages | |
| JP3722240B2 (en) | Resin sealing device and manufacturing method for electronic parts | |
| JPH04177753A (en) | Resin sealing type semiconductor device | |
| IT202100020555A1 (en) | PROCEDURE FOR PRODUCING SUBSTRATES FOR SEMICONDUCTOR DEVICES, MATCHING SUBSTRATE AND SEMICONDUCTOR DEVICE | |
| TW201021185A (en) | Leadframe and method for manufacturing the same | |
| JP3957862B2 (en) | IC module manufacturing method and IC module | |
| JP3444747B2 (en) | Resin sealing molding method for electronic parts | |
| JP3970671B2 (en) | Manufacturing method of semiconductor device | |
| JPH02122555A (en) | Manufacture of semiconductor device | |
| JPH07142664A (en) | Method for manufacturing resin-sealed semiconductor device | |
| JPH08264708A (en) | Lead frame | |
| JPH0738035A (en) | Method for manufacturing resin-sealed electronic circuit device | |
| JP2005081695A (en) | Resin molding mold | |
| JP3123976B2 (en) | Resin sealing mold for semiconductor device | |
| JP3358313B2 (en) | Lead frame manufacturing method | |
| US20110260311A1 (en) | Resin molded semiconductor device and manufacturing method thereof | |
| JPH0722559A (en) | Lead frame | |
| JPH0289349A (en) | Film carrier tape for tab | |
| CN121646363A (en) | Semiconductor device and semiconductor packaging method | |
| JPH098201A (en) | Method of manufacturing semiconductor device and lead frame used therefor |