JPH0797682B2 - レ−ザ発振装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、レーザ出力を自動制御して利用するレーザ発
振装置に関するものである。

従来の技術 従来のレーザ発振装置は、平行におかれた２枚のミラー
の間で特定波長の光を増幅して取り出すものである。こ
の場合、２枚のミラーを常に平行に保持し、かつミラー
の経済的な反射率の変化に対応して必要なレーザ出力を
安定に取り出すことはほとんど不可能であった。という
のも、近年レーザ出力を用いたほとんどの応用分野で
は、高精度に安定したレーザ出力を常に必要としている
からである。

そこで考え出されたのが、レーザ出力の一部を検出し、
その出力変化に応じて常にレーザ出力が一定になるよう
にするセンサを具備したレーザ発振装置であった。

発明が解決しようとする問題点 ところが、センサは非常に感度が高く、周囲温度などの
環境の変化に敏感なものでないと、高速に応答すること
が不可能なわけで、常に周囲環境による温度ドリフトが
生じ、レーザ出力を不安定なものにしていた。

問題点を解決するための手段 以上のような欠点に鑑み、本発明は、透過率の異なる２
枚の半透過鏡を正対させ、透過率の大きい方の第１半透
過鏡より大部分のレーザ出力を出し、透過率の小さい方
の第２半透過鏡より一部のレーザ出力を出すレーザ発振
装置を構成し、前記第２半透過鏡の後方に、一部のレー
ザ出力を検出する第１センサを配設し、前記第１センサ
の近傍に前記第１センサの温度を検出する第２センサを
配設し、第１センサの出力信号の温度ドリフト分を前記
第２センサの出力信号で補正する出力安定化手段を具備
してなるものである。

作用 上記構成において、第２センサによって第１センサの温
度ドリフト分を除外し、安定したレーザ出力を与える。

実 施 例 第１図に本発明の一実施例を示す。１は、透過率の大き
い方の第１半透過鏡、２は透過率の小さい方の第２半透
過鏡で、この間でレーザビームは増幅される。増幅され
た一部のレーザ出力は、透過率の小さい方の第２半透過
鏡２より出て、フィルター３を通り第１センサ４に入射
する。また、第センサ５によって検出した第１センサ４
の温度ドリフト分を出力安定化手段６により回路処理
し、この出力に基づいて制御回路７によりレーザ出力を
常に一定に制御する。

第２図は、出力の安定度を示す特性図である。曲線８
は、従来の出力安定度，直線９は本発明の一実施例によ
る出力安定度を示す。本実施例によれば明らかに安定度
が良くなっていることが判る。

発明の効果 本発明は、いかなるレーザ発振装置自身のばらつき、か
つ周囲環境の変化に対応し、高精度に安定したレーザ出
力を供給でき、あらゆるレーザ応用分野において、その
効果は絶大なるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すレーザ発振装置の回路
図、第２図は出力の安定度を示す特性図である。 １……第１半透過鏡、２……第２半透過鏡、３……フィ
ルター、４……第１センサ、５……第２センサ、６……
出力安定化手段、７……制御回路。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】透過率の異なる２枚の半透過鏡を正対さ
   せ、透過率の大きい方の第１半透過鏡より大部分のレー
   ザ出力を出し、透過率の小さい方の第２半透過鏡より一
   部のレーザ出力を出すレーザ発振装置を構成し、第２半
   透過鏡の後方に、一部のレーザ出力を検出する第１セン
   サを配設し、前記第１センサの近傍に前記第１センサの
   温度を検出する第２センサを配設し、前記第１センサの
   出力信号の温度ドリフト分を前記第２センサの出力信号
   で補正する出力安定化手段を具備したレーザ発振装置。