JPH0810247B2 - Circuit board inspection equipment - Google Patents
Circuit board inspection equipmentInfo
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- JPH0810247B2 JPH0810247B2 JP63331215A JP33121588A JPH0810247B2 JP H0810247 B2 JPH0810247 B2 JP H0810247B2 JP 63331215 A JP63331215 A JP 63331215A JP 33121588 A JP33121588 A JP 33121588A JP H0810247 B2 JPH0810247 B2 JP H0810247B2
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Description
【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、回路基板の検査装置に関するものである。Description: [Industrial field of use] The present invention relates to a circuit board inspection apparatus.
[従来の技術] 従来行われている回路基板の検査は、検査すべき回路
基板の搬送路上に検査ヘッドが設けてあり、搬送路を通
過するキャリア上に載置した回路基板が検査ヘッドの下
を通過する際に、搬送を一旦停止し、上から検査ヘッド
を下降させてプローブを上面のパターン面に当接するこ
とにより検査を行なっている。[Prior Art] In the conventional inspection of a circuit board, an inspection head is provided on a transfer path of a circuit board to be inspected, and a circuit board placed on a carrier passing through the transfer path is placed under the inspection head. When passing through, the inspection is performed by temporarily stopping the transportation, lowering the inspection head from above, and bringing the probe into contact with the pattern surface of the upper surface.
[解決しようとする課題] 上記した従来の検査装置では、設備は比較的簡単なも
のですむが、回路基板をキャリア上に置いたままプロー
ブを当接するものであり、キャリア上では基板のガイド
のためにある程度の余裕が必要であるので、どうしても
位置決めが不正確となり、回路基板の高精度な検査が難
しい。また、検査時間が長く検査効率が悪い。[Problems to be Solved] In the conventional inspection apparatus described above, the equipment is relatively simple, but the probe is brought into contact with the circuit board placed on the carrier. Therefore, a certain amount of margin is required, so positioning is inaccurate and it is difficult to perform a highly accurate inspection of the circuit board. Also, the inspection time is long and the inspection efficiency is poor.
さらに、異なる種類の回路基板を検査する場合には、
異なるパターン面に当接可能なプローブを有する検査ヘ
ッドを用いねばならないが、上記の従来の装置では、一
々検査を中断して検査ヘッドを交換しなければならず、
煩雑な手間と余分な時間がかかるなどの問題がある。Furthermore, when inspecting different types of circuit boards,
An inspection head having a probe capable of abutting on different pattern surfaces must be used, but in the above-mentioned conventional apparatus, the inspection head must be interrupted and the inspection head replaced.
There are problems such as complicated labor and extra time.
そこで本発明の目的は、搬送される回路基板を一旦専
用の検査装置に移し、正確に位置決めしてから検査をす
るようにして高精度な検査を可能にし、搬送装置から検
査装置への回路基板の授受を無駄なく行なえるようにし
て、検査時間の短縮を図り、さらに回路基板の種類の変
更に伴う検査ヘッドの変更を容易にして余分な時間を排
除することのできる回路基板の検査装置を提供すること
にある。Therefore, an object of the present invention is to move a conveyed circuit board to a dedicated inspection device, accurately position it, and then inspect it to enable a highly accurate inspection, and a circuit board from the conveyance device to the inspection device. A circuit board inspection device capable of exchanging wastelessly, shortening the inspection time, and easily changing the inspection head according to the change of the type of the circuit board to eliminate extra time. To provide.
[課題を解決するための手段] 本発明の第1の特徴は、回路基板を搬送する搬送装置
と、この搬送装置の一側部に配設してあり、上記回路基
板のパターン面に当接するプローブを有する検査ヘッド
が設けてある検査装置と、上記搬送装置と上記検査装置
との中間位置に設けてあり上記回路基板の授受を行なう
マニピュレータとを含み、上記マニピュレータは、回転
駆動手段によって回転駆動されると共に昇降手段によっ
て昇降駆動されるアームと、このアームの両端部に設け
てある1対のチャックとによって構成してあり、上記ア
ームは、上記回転駆動手段の回転軸に対し180度の位相
関係をもって両側に延伸しており、上記1対のチャック
は、上記回転軸に対し対称に位置しており、上記搬送位
置から上記検査装置への検査用の回路基板の移動および
上記検査装置から上記搬送装置への検査済の回路基板の
移動とを並行して行なうところにある。[Means for Solving the Problems] A first feature of the present invention is to provide a carrying device for carrying a circuit board, and the carrying device is provided at one side portion of the carrying device and abuts on a pattern surface of the circuit board. The manipulator includes an inspection device provided with an inspection head having a probe, and a manipulator provided at an intermediate position between the transfer device and the inspection device for exchanging the circuit board. The manipulator is rotationally driven by a rotational drive means. And a pair of chucks provided at both ends of the arm, and the arm is driven up and down by the lifting means. The arm has a phase of 180 degrees with respect to the rotation axis of the rotation driving means. The pair of chucks are extended symmetrically with respect to each other, the pair of chucks are symmetrically positioned with respect to the rotation axis, and transfer of the circuit board for inspection from the transfer position to the inspection device. The operation and the movement of the inspected circuit board from the inspection device to the transfer device are performed in parallel.
本発明の第2の特徴は、上記検査装置には、上記回路
基板の種類に対応して複数の上記検査ヘッドが移動切換
え可能に設けてあるところにある。A second feature of the present invention resides in that the inspection apparatus is provided with a plurality of inspection heads that can be moved and switched according to the type of the circuit board.
[実施例] 以下本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。Embodiment An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第1図に示すように、テーブル1上に搬送装置2が設
けてあり、この搬送装置2には、左方から右方に回路基
板Pを載置したキャリア3を搬送するコンベア42には、
左方から右方に回路基板Pを載置したキャリア3を搬送
するコンベア4が備わっている。コンベア4は図示しな
い制御装置により進行・停止が制御される。As shown in FIG. 1, a transfer device 2 is provided on the table 1. The transfer device 2 has a conveyor 42 for transferring a carrier 3 on which a circuit board P is placed from left to right.
A conveyor 4 is provided from left to right for carrying the carrier 3 on which the circuit board P is placed. The conveyor 4 is controlled to move or stop by a controller (not shown).
搬送装置2の進行方向左側(第1図上方)には、テー
ブル1と一体に形成してある支持台1a上に、回路基板P
の検査装置5が取付けてある。検査装置5は、両面にパ
ターン面を有する両面回路基板の検査が可能なものであ
る。支持台1a上に固定テーブル6が設けてあり、固定テ
ーブル6上には、レール6a,6aが水平状態に敷設してあ
り、このレールに沿って移動テーブル7が走行自在に設
けてある。検査ヘッド8は、移動テーブル7上に配設さ
れるもので、回路基板Pの種類に対応して、それぞれの
パターン面に当接するプローブ(図示せず)を備えた、
3個の検査ヘッド81,82,83からなるものである。On the left side (upward in FIG. 1) of the transport device 2 in the traveling direction, the circuit board P is mounted on the support base 1a formed integrally with the table 1.
The inspection device 5 is attached. The inspection device 5 is capable of inspecting a double-sided circuit board having pattern surfaces on both sides. A fixed table 6 is provided on the support base 1a, rails 6a, 6a are laid horizontally on the fixed table 6, and a movable table 7 is provided along the rails so that the movable table 7 can travel freely. The inspection head 8 is disposed on the moving table 7, and is provided with probes (not shown) that come into contact with respective pattern surfaces according to the type of the circuit board P.
It is composed of three inspection heads 81, 82, 83.
第2図に示すように、移動テーブル7上には検査装置
5を保持しているコラム11が立設してあり、このコラム
の上端に天板12が固定してある。移動テーブル7と点板
12との間に立設されたガイド柱13に、下取付け板14が固
着してあり、上記した検査ヘッド8は、この下取付け板
14の上面に取り付けてある。下取付け板14は、移動テー
ブル7に立設した支柱7bにより、安定して正しい姿勢に
支持してある。検査ヘッド8は、回路基板の下面のパタ
ーン面を検査するための下部の検査ヘッドを構成するも
ので、この検査ヘッドの上部には、上面のパターン面を
検査するための上部の検査ヘッド18が設けてある。すな
わち、ガイド柱13に沿って昇降可能に上取付け板15が設
けてあり、この上取付け板の下面に、下部の検査ヘッド
8と同一構成であり図示しない3個の検査ヘッドからな
っている上部の検査ヘッド18が、検査ヘッド8と対向的
に取り付けてある。上取付け板15の上面には、天板12上
に設けてあるシリンダ16の出力部16aが連結してあり、
上部の検査ヘッド18は、このシリンダ16の伸縮によって
下降および上昇が可能である。As shown in FIG. 2, a column 11 holding the inspection device 5 is erected on the moving table 7, and a top plate 12 is fixed to the upper end of this column. Moving table 7 and point plate
A lower mounting plate 14 is fixed to a guide column 13 which is erected between the lower mounting plate 12 and the guide column 13.
It is attached to the upper surface of 14. The lower mounting plate 14 is stably supported in a correct posture by a column 7b provided upright on the moving table 7. The inspection head 8 constitutes a lower inspection head for inspecting the pattern surface of the lower surface of the circuit board, and an upper inspection head 18 for inspecting the upper pattern surface is provided on the upper portion of this inspection head. It is provided. That is, an upper mounting plate 15 is provided so as to be able to move up and down along the guide column 13, and an upper portion having the same structure as the lower inspection head 8 and having three inspection heads (not shown) is provided on the lower surface of the upper mounting plate. The inspection head 18 of FIG. On the upper surface of the upper mounting plate 15, the output portion 16a of the cylinder 16 provided on the top plate 12 is connected,
The upper inspection head 18 can be lowered and raised by expanding and contracting the cylinder 16.
検査ヘッド8および18は、それぞれ下板8aと受け板8b
および上板18aと当て板18bの2枚構成となっており、回
路基板Pの検査に必要なプローブ(図示せず)は、それ
ぞれ下板8a,上板18aに植設してある。受け板8b,当て板1
8bはそれぞれ下板8a,上板18aに対して弾発的に設けてあ
り、受け板8aの上面に回路基板Pが供給されるものであ
る。The inspection heads 8 and 18 have a lower plate 8a and a receiving plate 8b, respectively.
Also, the upper plate 18a and the contact plate 18b are configured in two pieces, and the probes (not shown) necessary for inspecting the circuit board P are planted in the lower plate 8a and the upper plate 18a, respectively. Backing plate 8b, backing plate 1
8b are elastically provided to the lower plate 8a and the upper plate 18a, respectively, and the circuit board P is supplied to the upper surface of the receiving plate 8a.
検査ヘッド8,18を水平移動させて、3個の検査ヘッド
81,82,83の位置を切換えるための装置として、固定テー
ブル6にはモータ9が固定してあり、このモータによっ
て回転駆動されるリードスクリュー10が水平に設けてあ
る。移動テーブル7の下面には、リードスクリュー10と
螺合するナット7aが設けてあり、このリードスクリュー
の回転によってこのナットを介して移動テーブル7が移
動するように構成してある。3 inspection heads by moving the inspection heads 8 and 18 horizontally
As a device for switching the positions of 81, 82, and 83, a motor 9 is fixed to the fixed table 6, and a lead screw 10 that is rotationally driven by this motor is horizontally provided. A nut 7a screwed with the lead screw 10 is provided on the lower surface of the moving table 7, and the moving table 7 is configured to move via this nut by the rotation of the lead screw.
第1,2図に示すように、搬送装置2と検査装置5との
中間位置には、回路基板Pの授受を行うためのマニピュ
レータ20が設けてある。そこでマニピュレータ20の構成
について説明すると、テーブル1上にステップモータ21
が設けてあり、このステップモータの回転軸21aは、モ
ータによる回転に加えて進退可能に設けてあり、この回
転軸21aと一体的に回転するように回転板22が設けてあ
る。回転軸21aの先端には、アーム23が固着してあり、
このアームは、この回転軸に対し180度の位相関係をも
って両側に延伸している。回転板22とアーム23との間に
は、回転軸21aに対して対称位置に、昇降手段の2本の
シリンダ24,24が取付けてある。アーム23の両端部に
は、回路基板Pを授受するための1対のエアチャック2
5,26が設けてあり、この両チュックは回転軸21aに対し
対称に位置している。As shown in FIGS. 1 and 2, a manipulator 20 for transferring the circuit board P is provided at an intermediate position between the transfer device 2 and the inspection device 5. Therefore, the structure of the manipulator 20 will be described.
The rotary shaft 21a of the step motor is provided so as to be able to move forward and backward in addition to being rotated by the motor, and the rotary plate 22 is provided so as to rotate integrally with the rotary shaft 21a. An arm 23 is fixed to the tip of the rotating shaft 21a,
This arm extends on both sides with a phase relationship of 180 degrees with respect to this axis of rotation. Between the rotary plate 22 and the arm 23, two cylinders 24, 24 of lifting means are attached at symmetrical positions with respect to the rotary shaft 21a. A pair of air chucks 2 for transferring and receiving the circuit board P are provided at both ends of the arm 23.
5, 26 are provided, and these two checks are located symmetrically with respect to the rotating shaft 21a.
検査装置5の反対側には、この検査装置が選別した不
良の回路基板を除去するための不良品除去装置27が設け
てある。On the opposite side of the inspection device 5, there is provided a defective product removing device 27 for removing the defective circuit board selected by the inspection device.
次に本発明の動作について説明する。 Next, the operation of the present invention will be described.
第1図に示すようにマニピュレータ20のアーム23がコ
ンベア4の進行方向に平行に位置している時には、複数
の回路基板Pが載置してあるキャリア3は、コンベア4
によって左方から右方へ移動しており、検査位置にある
検査ヘッド81上には検査済みの回路基板Pが載置してあ
る。コンベア4が所定位置で一旦停止すると、アーム23
はステップモータ21により反時計方向に90度回転し、1
対のチャック25,26がそれぞれ検査ヘッド81とキャリア
3上の回路基板Pとに対向したとき、シリンダ24が後退
し、アーム23は下降する。そこで一方のチャック26はキ
ャリア3上の回路基板Pを吸着し、他方のチャック25は
検査ヘッド81から検査済みの回路基板Pを吸着する。シ
リンダ24が伸長し、ステップモータ21の作動によりアー
ム23が今度は180度回転し、チャック25がキャリア3上
に、およびチャック26が検査ヘッド81上にそれぞれ位置
し、上記と同様に下降して回路基板Pを解放する。これ
によって検査済みの回路基板Pはキャリア3上に戻さ
れ、未検査の回路基板Pは検査ヘッド81上に供給される
ことになる。アーム23が再び元の搬送方向に平行な位置
に戻ったとき、搬送装置2のコンベア4は所定量だけ移
動し、次の回路基板Pの授受に備える。また検査装置5
では検査ヘッド8,18による回路基板Pの検査が為され
る。As shown in FIG. 1, when the arm 23 of the manipulator 20 is positioned parallel to the traveling direction of the conveyor 4, the carrier 3 on which a plurality of circuit boards P are mounted is
The printed circuit board P is placed on the inspection head 81 located at the inspection position by moving from left to right. Once the conveyor 4 is stopped at a predetermined position, the arm 23
Is rotated 90 degrees counterclockwise by the step motor 21 and 1
When the pair of chucks 25 and 26 face the inspection head 81 and the circuit board P on the carrier 3, respectively, the cylinder 24 retracts and the arm 23 descends. Therefore, one chuck 26 attracts the circuit board P on the carrier 3, and the other chuck 25 attracts the inspected circuit board P from the inspection head 81. The cylinder 24 is extended, the arm 23 is rotated 180 degrees this time by the operation of the step motor 21, the chuck 25 is located on the carrier 3, and the chuck 26 is located on the inspection head 81. The circuit board P is released. As a result, the inspected circuit board P is returned onto the carrier 3, and the uninspected circuit board P is supplied onto the inspection head 81. When the arm 23 returns to the position parallel to the original transport direction again, the conveyor 4 of the transport device 2 moves by a predetermined amount to prepare for the next transfer of the circuit board P. Also inspection device 5
Then, the inspection heads 8 and 18 inspect the circuit board P.
この検査が終ると、先に説明したと同様に、アーム23
が回転してチャック25,26がそれぞれ回路基板Pを取上
げ、同じ動作が順序よく繰り返され、回路基板Pの検査
が続けられる。このように搬送装置2のキャリア3から
検査装置5の検査ヘッド81への検査用の回路基板Pの移
動(授受)と、この検査装置からこの搬送装置への検査
済の回路基板の移動つまり授受とを並行して行うもので
ある。After this inspection, the arm 23
Is rotated and the chucks 25 and 26 pick up the circuit board P, respectively, and the same operation is repeated in order, and the inspection of the circuit board P is continued. In this way, the inspection circuit board P is moved (transferred) from the carrier 3 of the transfer device 2 to the inspection head 81 of the inspection device 5, and the inspected circuit board is transferred or transferred from this inspection device to this transfer device. And are done in parallel.
異なる種類の回路基板が供給された場合は、モータ9
を駆動してリードスクリュー10を回転させ、移動テーブ
ル7を所定の距離だけ移動させ、新たな回路基板に対応
したプローブが設けてある別の検査ヘッド82を検査位置
に移動させて切換える。さらに別の種類の回路基板が供
給された場合には、別の検査ヘッド83を検査位置に移動
させて切換えればよい。If different types of circuit boards are supplied, the motor 9
Is driven to rotate the lead screw 10 to move the moving table 7 by a predetermined distance, and another inspection head 82 provided with a probe corresponding to a new circuit board is moved to the inspection position and switched. When another type of circuit board is supplied, another inspection head 83 may be moved to the inspection position and switched.
検査の結果、不良と判断された回路基板は不良品除去
装置27によってキャリア3上から取上げられ、図示しな
い回収ボックスに除去される。As a result of the inspection, the circuit board determined to be defective is picked up from the carrier 3 by the defective product removing device 27 and removed in a recovery box (not shown).
[効果] 本発明は、専用の検査装置を設けたので、正確な位置
決めが可能で、高精度な検査が可能である。そして搬送
装置から検査装置への回路基板の授受および検査装置か
ら搬送装置への回路基板の授受は、アームの回転により
その両端の1対のチャックによって並行して行なうの
で、無駄なく行なえて検査時間が短縮でき、検査能率が
向上する。さらに回路基板の種類に対応して複数の検査
ヘッドを設けているので、必要に応じて検査ヘッドの切
換えが極めて簡単に行なえ、余分な時間を排除できる。[Effect] Since the present invention is provided with a dedicated inspection device, accurate positioning is possible and highly accurate inspection is possible. The transfer of the circuit board from the transfer device to the inspection device and the transfer of the circuit board from the inspection device to the transfer device are performed in parallel by the pair of chucks at both ends of the rotation of the arm. Can be shortened and inspection efficiency can be improved. Further, since a plurality of inspection heads are provided corresponding to the type of circuit board, the inspection heads can be switched very easily as needed, and extra time can be eliminated.
第1図は平面図、第2図は側面図である。 2……搬送装置、 5……検査装置、 8,18……検査ヘッド、 81,82,83……検査ヘッド、 20……マニピュレータ、 21……回転駆動手段(ステップモータ)、 21a……回転軸、 23……アーム、 24……昇降手段(シリンダ)、 25,26……チャック、 P……回路基板。 FIG. 1 is a plan view and FIG. 2 is a side view. 2 ... Conveyor device, 5 ... Inspection device, 8,18 ... Inspection head, 81,82,83 ... Inspection head, 20 ... Manipulator, 21 ... Rotation drive means (step motor), 21a ... Rotation Axis, 23 ... Arm, 24 ... Lifting means (cylinder), 25, 26 ... Chuck, P ... Circuit board.
Claims (2)
装置の一側部に配設してあり、上記回路基板のパターン
面に当接するプローブを有する検査ヘッドが設けてある
検査装置と、上記搬送装置と上記検査装置との中間位置
に設けてあり上記回路基板の授受を行なうマニピュレー
タとを含み、 上記マニピュレータは、回転駆動手段によって回転駆動
されると共に昇降手段によって昇降駆動されるアーム
と、このアームの両端部に設けてある1対のチャックと
によって構成してあり、 上記アームは、上記回転駆動手段の回転軸に対し180度
の位相関係をもって両側に延伸しており、 上記1対のチャックは、上記回転軸に対し対称に位置し
ており、 上記搬送位置から上記検査装置への検査用の回路基板の
移動および上記検査装置から上記搬送装置への検査済の
回路基板の移動とを並行して行なうものである ことを特徴とする回路基板の検査装置。1. A transport device for transporting a circuit board, and an inspection device provided on one side of the transport device, the test head having a probe for contacting a pattern surface of the circuit board. It includes a manipulator which is provided at an intermediate position between the transfer device and the inspection device and which transfers and receives the circuit board, the manipulator being driven to rotate by a rotation drive means and to be moved up and down by an elevating means, and The arm comprises a pair of chucks provided at both ends of the arm, and the arm extends to both sides with a phase relationship of 180 degrees with respect to the rotation axis of the rotation driving means. The chuck is positioned symmetrically with respect to the rotation axis, and moves the inspection circuit board from the transfer position to the inspection device and from the inspection device to the transfer device. The circuit board inspection device is characterized in that it moves the inspected circuit board to the circuit board in parallel.
記回路基板の種類に対応して複数の上記検査ヘッドが移
動切換え可能に設けてあることを特徴とする回路基板の
検査装置。2. The inspection device for a circuit board according to claim 1, wherein the inspection device is provided with a plurality of the inspection heads that can be moved and switched according to the type of the circuit substrate.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP63331215A JPH0810247B2 (en) | 1988-12-29 | 1988-12-29 | Circuit board inspection equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63331215A JPH0810247B2 (en) | 1988-12-29 | 1988-12-29 | Circuit board inspection equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02179482A JPH02179482A (en) | 1990-07-12 |
| JPH0810247B2 true JPH0810247B2 (en) | 1996-01-31 |
Family
ID=18241183
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63331215A Expired - Fee Related JPH0810247B2 (en) | 1988-12-29 | 1988-12-29 | Circuit board inspection equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0810247B2 (en) |
Families Citing this family (1)
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|---|---|---|---|---|
| US7945424B2 (en) * | 2008-04-17 | 2011-05-17 | Teradyne, Inc. | Disk drive emulator and method of use thereof |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63142650A (en) * | 1986-12-05 | 1988-06-15 | Pfu Ltd | Automatic test equipment for large-scale integrated circuits |
| JPH0691136B2 (en) * | 1987-05-29 | 1994-11-14 | 東京エレクトロン株式会社 | Probe device with automatic probe card exchange function |
-
1988
- 1988-12-29 JP JP63331215A patent/JPH0810247B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| JPH02179482A (en) | 1990-07-12 |
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