JPH0814466B2 - 高温用加熱炉 - Google Patents
高温用加熱炉Info
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- JPH0814466B2 JPH0814466B2 JP2190414A JP19041490A JPH0814466B2 JP H0814466 B2 JPH0814466 B2 JP H0814466B2 JP 2190414 A JP2190414 A JP 2190414A JP 19041490 A JP19041490 A JP 19041490A JP H0814466 B2 JPH0814466 B2 JP H0814466B2
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- JP
- Japan
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- heating element
- high temperature
- heating furnace
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Links
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- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 8
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
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- Resistance Heating (AREA)
- Vertical, Hearth, Or Arc Furnaces (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は高温用加熱炉、特に1000℃以上の高温用加熱
炉に関するものである。
炉に関するものである。
従来、炉内の温度が1000℃以上となる高温用の加熱炉
としては、直径4m/m以上の線状の発熱体を加熱炉内面
に、適当な間隔をもって配置し、耐熱電気絶縁性を有す
る保持具にて保持せしめ、その外面に、シリカ、アルミ
ナなどのファインセラミックスを材料とするファイバー
状断熱材を配置し、この線状発熱体に通電して炉内を昇
温していた。又、これにより細い直径の線状発熱体をコ
イル状やジグザグ状に曲げ加工して、加熱炉内面に配置
してなる高温用加熱炉も使用されている。
としては、直径4m/m以上の線状の発熱体を加熱炉内面
に、適当な間隔をもって配置し、耐熱電気絶縁性を有す
る保持具にて保持せしめ、その外面に、シリカ、アルミ
ナなどのファインセラミックスを材料とするファイバー
状断熱材を配置し、この線状発熱体に通電して炉内を昇
温していた。又、これにより細い直径の線状発熱体をコ
イル状やジグザグ状に曲げ加工して、加熱炉内面に配置
してなる高温用加熱炉も使用されている。
然しながら細い線状の発熱体を用いたものでは太い線
のものに比べて、高温時の強度が弱い為、熱変形を生じ
易く、長時間の使用に耐える物ではなかった。
のものに比べて、高温時の強度が弱い為、熱変形を生じ
易く、長時間の使用に耐える物ではなかった。
又直径4m/m以上の線状の発熱体を使用した炉の場合、
線の断面積が大きくなる為、抵抗値は小さくなり、炉内
面の面積に対応させた適当な電気容量を得る為には、ト
ランスなどの変圧器により印加電圧を下げて大電流を流
す必要があり、又、発熱体及び保持具の熱容量が大きい
為、急速な昇温及び降温は不可能であった。又、印加電
圧を下げる為のトランスは重量が極めて大きく、設置す
る場所が限定される場合が多かった。
線の断面積が大きくなる為、抵抗値は小さくなり、炉内
面の面積に対応させた適当な電気容量を得る為には、ト
ランスなどの変圧器により印加電圧を下げて大電流を流
す必要があり、又、発熱体及び保持具の熱容量が大きい
為、急速な昇温及び降温は不可能であった。又、印加電
圧を下げる為のトランスは重量が極めて大きく、設置す
る場所が限定される場合が多かった。
このため例えば特開平１−116395号公報や特公昭40−
22097号公報に示すように帯状の発熱体を用いたものが
提案されている。
22097号公報に示すように帯状の発熱体を用いたものが
提案されている。
然しながら、このようなものでは帯状の発熱体の支持
構造が複雑で且つ確実性に欠ける欠点があった。
構造が複雑で且つ確実性に欠ける欠点があった。
本発明は上記の欠点を除くようにしたものである。
本発明の高温用加熱炉は、炉心を囲むよう周方向及び
軸方向に延びる帯状発熱体と、この帯状発熱体の外面に
対向する断熱兼保持用のファイバー状断熱材とより成
り、上記帯状発熱体の上下縁の少なくとも何れか一方に
軸方向に延びる切り込みを有し、この切り込み部分で上
記縁が外方に折り曲げられて突出し、この突出部分が上
記ファイバー状断熱材内に埋め込まれていることを特徴
とする。
軸方向に延びる帯状発熱体と、この帯状発熱体の外面に
対向する断熱兼保持用のファイバー状断熱材とより成
り、上記帯状発熱体の上下縁の少なくとも何れか一方に
軸方向に延びる切り込みを有し、この切り込み部分で上
記縁が外方に折り曲げられて突出し、この突出部分が上
記ファイバー状断熱材内に埋め込まれていることを特徴
とする。
本発明の高温用加熱炉は炉心に面するよう筒状に巻か
れた帯状発熱体から一体に外方に突出する部分が形成さ
れ、この部分が、帯状発熱体の外面を覆うファイバー状
断熱材に埋め込まれ、これによって帯状発熱体が強固に
保持されるようになる。
れた帯状発熱体から一体に外方に突出する部分が形成さ
れ、この部分が、帯状発熱体の外面を覆うファイバー状
断熱材に埋め込まれ、これによって帯状発熱体が強固に
保持されるようになる。
以下図面によって本発明の実施例を説明する。
本発明の高温用加熱炉においては第１図に示すように
炉心１の円筒状に囲むように巻いた複数の帯状発熱体２
を円周方向及び軸方向に延びるよう螺旋状に巻き、この
帯状発熱体２の外面の断熱兼保持用の円筒状のファイバ
ー状断熱材３によって保持せしめる。
炉心１の円筒状に囲むように巻いた複数の帯状発熱体２
を円周方向及び軸方向に延びるよう螺旋状に巻き、この
帯状発熱体２の外面の断熱兼保持用の円筒状のファイバ
ー状断熱材３によって保持せしめる。
この保持のため、本発明の高温用加熱炉においては、
帯状発熱体２はその上下縁、例えば上縁に第２図に示す
ように多数の軸方向の切り込み４を形成し、この切り込
み４を利用して上記上縁を他の部分に対し第３図、第４
図に示すように直角に外方に折り曲げ、この折り曲げ部
分５を第５図に示すように上記ファイバー状断熱材３内
に食い込ませ又は埋め込むようにする。
帯状発熱体２はその上下縁、例えば上縁に第２図に示す
ように多数の軸方向の切り込み４を形成し、この切り込
み４を利用して上記上縁を他の部分に対し第３図、第４
図に示すように直角に外方に折り曲げ、この折り曲げ部
分５を第５図に示すように上記ファイバー状断熱材３内
に食い込ませ又は埋め込むようにする。
本発明の高温用加熱炉は上記のような構成であるか
ら、帯状発熱体２を簡単，確実にすることができる。
ら、帯状発熱体２を簡単，確実にすることができる。
本発明の高温用加熱炉は上記のような構成であるから
下記のような種々な利益がある。
下記のような種々な利益がある。
（１） 帯状発熱体を炉内面に向けて配置し炉心に面す
る側が保持材によって覆わないようにしたので、炉の内
面有効発熱面積を太い発熱線と同じように大きくするの
は容易であり、しかも、断面積を小さく出来る為、商用
電圧である200Vや220Vをそのまま使用出来、変圧器が不
要であり、又、電流が小さい為、給電部や配線材を小さ
く出来る。
る側が保持材によって覆わないようにしたので、炉の内
面有効発熱面積を太い発熱線と同じように大きくするの
は容易であり、しかも、断面積を小さく出来る為、商用
電圧である200Vや220Vをそのまま使用出来、変圧器が不
要であり、又、電流が小さい為、給電部や配線材を小さ
く出来る。
（２） 帯状発熱体の上縁または下縁を折り曲げ、これ
をファイバー状断熱材に直接保持させるようにしたので
その保持が確実であり、また、特別な保持具を必要とせ
ず、保持具が不要となる分、コストダウンが可能とな
る。
をファイバー状断熱材に直接保持させるようにしたので
その保持が確実であり、また、特別な保持具を必要とせ
ず、保持具が不要となる分、コストダウンが可能とな
る。
第１図は本発明高温用加熱炉の断面図、第２図は加工前
の帯状発熱体の一部の展開図、第３図、第４図は加工後
の上記帯状発熱体の一部の正面図及び縦断側面図、第５
図は第１図のＡ−Ａ線断面図である。 １……炉心、２……帯状発熱体、３……ファイバー状断
熱材、４……切り込み、５……折り曲げ部分。
の帯状発熱体の一部の展開図、第３図、第４図は加工後
の上記帯状発熱体の一部の正面図及び縦断側面図、第５
図は第１図のＡ−Ａ線断面図である。 １……炉心、２……帯状発熱体、３……ファイバー状断
熱材、４……切り込み、５……折り曲げ部分。
Claims (1)
- 【請求項１】炉心を囲むよう周方向及び軸方向に延びる
帯状発熱体と、この帯状発熱体の外面に対向する断熱兼
保持用のファイバー状断熱材とより成り、上記帯状発熱
体の上下縁の少なくとも何れか一方に軸方向に延びる切
り込みを有し、この切り込み部分で上記縁が外方に折り
曲げられて突出し、この突出部分が上記ファイバー状断
熱材内に埋め込まれていることを特徴とする高温用加熱
炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2190414A JPH0814466B2 (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | 高温用加熱炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2190414A JPH0814466B2 (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | 高温用加熱炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0480590A JPH0480590A (ja) | 1992-03-13 |
| JPH0814466B2 true JPH0814466B2 (ja) | 1996-02-14 |
Family
ID=16257745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2190414A Expired - Fee Related JPH0814466B2 (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | 高温用加熱炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0814466B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5544121B2 (ja) | 2009-07-21 | 2014-07-09 | 株式会社日立国際電気 | 加熱装置、基板処理装置、及び半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0539437Y2 (ja) * | 1988-01-29 | 1993-10-06 |
-
1990
- 1990-07-20 JP JP2190414A patent/JPH0814466B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0480590A (ja) | 1992-03-13 |
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Legal Events
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