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JPH0814697B2 - Photosensitive resin composition - Google Patents
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JPH0814697B2 - Photosensitive resin composition - Google Patents

Photosensitive resin composition

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Publication number
JPH0814697B2
JPH0814697B2 JP62115676A JP11567687A JPH0814697B2 JP H0814697 B2 JPH0814697 B2 JP H0814697B2 JP 62115676 A JP62115676 A JP 62115676A JP 11567687 A JP11567687 A JP 11567687A JP H0814697 B2 JPH0814697 B2 JP H0814697B2
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JP
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photosensitive resin
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JP62115676A
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正 藤井
勝則 土屋
勝重 塚田
昇 菅沢
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Hitachi Chemical Co Ltd
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    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)
  • Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 《産業上の利用分野》 本発明は、印刷配線板製造、金属精密加工等に使用さ
れる保護膜形成用の感光性樹脂組成物に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION << Industrial Application Field >> The present invention relates to a photosensitive resin composition for forming a protective film used in printed wiring board production, precision metal processing, and the like.

《従来の技術》 従来、印刷配線板業界において、ソルダマスク、化学
メッキ用レジスト等に使用可能な、優れた特性を有する
感光性樹脂組成物が知られている。
<< Prior Art >> Conventionally, in the printed wiring board industry, a photosensitive resin composition having excellent properties, which can be used as a solder mask, a resist for chemical plating, etc., has been known.

ソルダマスクの主な目的は、ハンダ付け時のハンダ付
け領域を限定し、ハンダブリッジ等を防ぐこと、裸の銅
導体の腐蝕を防止すること、及び長期にわたって導体間
の電気絶縁性を保持することである。
The main purpose of the solder mask is to limit the soldering area during soldering, prevent solder bridges, etc., prevent corrosion of bare copper conductors, and maintain electrical insulation between conductors for a long period of time. is there.

ところで、通常ソルダマスクとしては、エポキシ樹
脂、アミノプラスト樹脂等の熱硬化性樹脂を主成分とす
るもの(印刷マスク)が用いられる。
By the way, as the solder mask, one having a thermosetting resin as a main component (printing mask) such as an epoxy resin or an aminoplast resin is usually used.

しかし、近年、印刷配線板の配線密度が高まり、また
導体間の電気絶縁性の要求も厳しくなり、それらに用い
るソルダマスクも厚膜で、寸法精度の優れたものが要求
されるようになり、スクリーン印刷方式のものでは対処
できなくなっている。
However, in recent years, the wiring density of printed wiring boards has increased, and the requirements for electrical insulation between conductors have become stricter, and the solder mask used for them has to be thick film and have excellent dimensional accuracy. The printing method cannot handle it.

そこで、写真法(像状露光に続く現像により画像を形
成)で厚膜(通常導体上25μmが望まれている)で、か
つ寸法精度の優れた高信頼性のソルダマスクを形成する
感光性樹脂組成物の出現が望まれている。
Therefore, a photosensitive resin composition for forming a highly reliable solder mask having a thick film (usually desired to be 25 μm on the conductor) by a photographic method (an image is formed by development following imagewise exposure) and having excellent dimensional accuracy. The appearance of things is desired.

従来、ソルダマスク形成用感光性樹脂組成物として
は、 (1)アクリル系ポリマ及び光重合性モノマを主成分と
する感光性樹脂組成物(特開昭53−56018号公報,特開
昭54−1018号公報等)、 (2)光反応性が付与されたエポキシ樹脂及びエポキシ
樹脂硬化剤を主成分とする感光性樹脂組成物(特開昭52
−37996号公報、特開昭58−62636号公報等)、 (3)イソシアナートエチルメタクリレート変性感光性
樹脂組成物(特開昭61−132947号公報)等が知られてい
る。
Conventionally, as a photosensitive resin composition for forming a solder mask, (1) a photosensitive resin composition containing an acrylic polymer and a photopolymerizable monomer as main components (JP-A-53-60518, JP-A-54-1018). (2) Photosensitive resin composition mainly composed of photoreactive epoxy resin and epoxy resin curing agent (JP-A-52)
-37996, JP-A-58-62636, etc.), (3) Isocyanatoethyl methacrylate-modified photosensitive resin composition (JP-A-61-132947), etc. are known.

しかしながら、前記(1)の感光性樹脂組成物は、通
常のエッチング及びメッキ用フィルム状感光材料(例え
ばデュポン社製,商品名リストン、日立化成工業(株)
製,商品名フオテック等)に使用されている難燃性の1,
1,1−トリクロルエタンで現像可能であり、高解像度の
ソルダマスクを形成することはできるが、このような感
光性樹脂組成物はフィルム性付与のため、アクリル系ポ
リマを多量に使用するので、硬化被膜の耐熱性が充分で
ないという欠点がある。
However, the photosensitive resin composition of the above (1) is a film-shaped photosensitive material for ordinary etching and plating (eg DuPont, trade name: Liston, Hitachi Chemical Co., Ltd.).
Made of flame-retardant 1, used in the product name, Fotech, etc.
Although it can be developed with 1,1-trichloroethane and can form a high-resolution solder mask, such a photosensitive resin composition uses a large amount of an acrylic polymer for imparting film property, so that it is cured. There is a drawback that the heat resistance of the coating is not sufficient.

また、前記(2)の感光性樹脂組成物は、エポキシ樹
脂をベースとしており、硬化被膜の耐熱性には優れてい
るが、1,1,1−トリクロルエタン等の難燃性有機溶剤に
不溶性であるため、現像液としてシクロヘキサノン等の
可燃性有機溶剤を使用する必要があり、安全上好ましく
ないという欠点がある。
Further, the photosensitive resin composition of the above (2) is based on an epoxy resin and has excellent heat resistance of a cured film, but is insoluble in a flame-retardant organic solvent such as 1,1,1-trichloroethane. Therefore, it is necessary to use a flammable organic solvent such as cyclohexanone as the developing solution, which is disadvantageous in terms of safety.

更に、前記(3)の感光性樹脂組成は、1,1,1−トリ
クロルエタン等の現像液で現像でき、かつ解像度,耐熱
性にも優れ、特開昭58−62636号公報で示されているタ
ルクを主体とした充填剤を混合すると、印刷配線板と硬
化被膜との粘着力を向上させ、高信頼性のソルダマスク
を形成するが、現像のダメージによって被膜表面に光沢
がないという欠点がある。このため、電子部品等の最終
製品に使用されるまでに外的要因ですりきずを生じ、ソ
ルダマスクとしての価値を損うという問題点がある。
Further, the photosensitive resin composition (3) can be developed with a developer such as 1,1,1-trichloroethane and has excellent resolution and heat resistance, and is disclosed in JP-A-58-62636. When a filler mainly composed of talc is mixed, the adhesiveness between the printed wiring board and the cured film is improved and a highly reliable solder mask is formed, but there is a drawback that the film surface is not glossy due to damage from development. . Therefore, there is a problem that scratches are generated by an external factor before it is used for a final product such as an electronic component, and the value as a solder mask is impaired.

《発明の目的》 本発明は、上記問題点に鑑み、1,1,1−トリクロルエ
タン等の、難燃性現像液により現像でき、かつ解像度、
耐熱性及び表面光沢性に優れた、信頼度の高いソルダマ
スクを形成することのできる感光性樹脂組成物を提供す
ることを目的とする。
<Object of the Invention> In view of the above problems, the present invention is capable of developing with a flame-retardant developer such as 1,1,1-trichloroethane, and a resolution,
An object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition which is excellent in heat resistance and surface gloss and which can form a highly reliable solder mask.

《問題点を解決するための手段》 本発明は、オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹
脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂及びハロゲン
化フェノールノボラック型エポキシ樹脂からなる群より
選ばれる1種または2種以上のノボラック型エポキシ樹
脂と不飽和カルボン酸とを、酸当量/エポキシ当量比を
0.1〜0.98の範囲で付加反応させて得られる不飽和化合
物の2級水酸基に、イソシアナートエチルメタクリレー
トをイソシアナート当量/水酸基当量比を0.1〜1.2の範
囲で反応させて得られる光重合性不飽和化合物100重量
部、 (b)2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニ
ル〕−2−モルフォリノプロパノン−1 2〜15重量部、 (c)微粒状充填剤20〜100重量部および (d)加熱硬化剤1〜10重量部 を含有してなる感光性樹脂組成物に関する。
<< Means for Solving Problems >> The present invention relates to one or more kinds of novolac type epoxy selected from the group consisting of orthocresol novolac type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin and halogenated phenol novolac type epoxy resin. Resin and unsaturated carboxylic acid, acid equivalent / epoxy equivalent ratio
Photopolymerizable unsaturated obtained by reacting the secondary hydroxyl group of the unsaturated compound obtained by addition reaction in the range of 0.1 to 0.98 with isocyanate ethyl methacrylate at an isocyanate equivalent / hydroxyl group equivalent ratio of 0.1 to 1.2. 100 parts by weight of compound, (b) 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropanone-12 15 to 15 parts by weight, (c) 20 to 100 parts by weight of finely divided filler, and d) A photosensitive resin composition containing 1 to 10 parts by weight of a heat curing agent.

本発明になる感光性樹脂組成物は、必須成分(a)と
して、オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フ
ェノールノボラック型エポキシ樹脂及びハロゲン化フェ
ノールノボラック型エポキシ樹脂からなる群より選ばれ
る1種または2種以上のノボラック型エポキシ樹脂と不
飽和カルボン酸とを、酸当量/エポキシ当量比を、0.1
〜0.98の範囲として付加反応させて得られる不飽和化合
物の2級水酸基に、イソシアナートエチルメタクリレー
トをイソシアナート当量/水酸基当量比を0.1〜1.2の範
囲として反応させて得られる光重合性不飽和化合物を含
有する。
The photosensitive resin composition according to the present invention has, as the essential component (a), one or more selected from the group consisting of orthocresol novolac type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin and halogenated phenol novolac type epoxy resin. Of the novolac type epoxy resin and the unsaturated carboxylic acid having an acid equivalent / epoxy equivalent ratio of 0.1
To 0.98, the photopolymerizable unsaturated compound obtained by reacting the secondary hydroxyl group of the unsaturated compound obtained by the addition reaction with isocyanate ethyl methacrylate at an isocyanate equivalent / hydroxyl group equivalent ratio of 0.1 to 1.2. Contains.

本発明に用いられるノボラック型エポキシ樹脂は、例
えばオルソクレゾール、フェノール、ハロゲン化フェノ
ール等とアルデヒドを、酸触媒の存在下に反応させて得
られるノボラック型樹脂のフェノール性水酸基に、アル
カリの存在下に、エピクロルヒドリンを反応させて得ら
れるもので、商業的にも入手可能である。
The novolak type epoxy resin used in the present invention is, for example, orthocresol, phenol, a halogenated phenol or the like and an aldehyde, a phenolic hydroxyl group of a novolac type resin obtained by reacting in the presence of an acid catalyst, in the presence of an alkali. , Is obtained by reacting epichlorohydrin, and is commercially available.

オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂として
は、例えばチバ・ガイギー社製,アラルダイトECN1299
(軟化点99℃、エポキシ当量230),ECN1280(軟化点80
℃,エポキシ当量230),ECN1273(軟化点73℃、エポキ
シ当量230),日本化薬(株)製,EOCN104(軟化点90〜1
00℃,エポキシ当量225〜245),EOCN103(軟化点80〜90
℃,エポキシ当量215〜235),EOCN102(軟化点70〜80
℃,エポキシ当量215〜235),EOCN101(軟化点65〜69
℃,エポキシ当量205〜225)等が挙げられる。
Examples of the orthocresol novolac type epoxy resin include Araldite ECN1299 manufactured by Ciba Geigy.
(Softening point 99 ° C, epoxy equivalent 230), ECN1280 (softening point 80
℃, epoxy equivalent 230), ECN1273 (softening point 73 ℃, epoxy equivalent 230), Nippon Kayaku Co., Ltd., EOCN104 (softening point 90-1
00 ℃, Epoxy equivalent 225-245), EOCN103 (Softening point 80-90
℃, epoxy equivalent 215-235), EOCN102 (softening point 70-80
℃, epoxy equivalent 215-235), EOCN101 (softening point 65-69
C., epoxy equivalent 205 to 225) and the like.

フェノールノボラック型エポキシ樹脂としては、例え
ばシェル社製,エピコート154(エポキシ当量176〜18
1),ダウケミカル社製,DEN431(エポキシ当量172〜17
9),DEN438(エポキシ当量175〜182)、東都化成(株)
製,YDPN−638(エポキシ当量170〜190),YDPN−601(エ
ポキシ当量180〜220),YDPN−602(エポキシ当量180〜2
20)等が挙げられる。
Examples of the phenol novolac type epoxy resin include Epicoat 154 (epoxy equivalent: 176 to 18 manufactured by Shell Co.).
1), made by Dow Chemical Co., DEN431 (epoxy equivalent 172--17)
9), DEN438 (epoxy equivalent 175-182), Tohto Kasei Co., Ltd.
Manufactured by YDPN-638 (epoxy equivalent 170-190), YDPN-601 (epoxy equivalent 180-220), YDPN-602 (epoxy equivalent 180-2)
20) etc.

ハロゲン化フェノールノボラック型エポキシ樹脂とし
ては、例えば日本化薬(株)製,BREN(エポキシ当量270
〜300,臭素含有量35〜37%,軟化点80〜90℃)等の臭素
化フェノールノボラック型エポキシ樹脂等が挙げられ
る。
Examples of the halogenated phenol novolac type epoxy resin include BREN (epoxy equivalent of 270, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.).
~ 300, bromine content 35 ~ 37%, softening point 80 ~ 90 ℃) brominated phenol novolac type epoxy resin and the like.

また不飽和カルボン酸としては、アクリル酸、メタク
リル酸、β−フリルアクリル酸、β−スチリルアクリル
酸、α−シアノケイ皮酸、ケイ皮酸等が用いられる。
As the unsaturated carboxylic acid, acrylic acid, methacrylic acid, β-furylacrylic acid, β-styrylacrylic acid, α-cyanocinnamic acid, cinnamic acid and the like are used.

本発明においてこれらのノボラック型エポキシ樹脂と
不飽和カルボン酸との付加反応は、常法により式(1)
に示すように、酸当量/エポキシ当量比を0.1〜0.98の
範囲として行なわれる。
In the present invention, the addition reaction of these novolac type epoxy resin and unsaturated carboxylic acid can be carried out by a conventional method according to the formula (1)
As shown in, the acid equivalent / epoxy equivalent ratio is in the range of 0.1 to 0.98.

酸当量/エポキシ当量比が0.1未満ではイメージ露光
後の現像処理により、光硬化被膜が膨潤し易い。酸当量
/エポキシ当量比が0.98を越える場合には、密着性、耐
熱性等が低下する。
If the acid equivalent / epoxy equivalent ratio is less than 0.1, the photo-cured film is likely to swell due to the development treatment after image exposure. If the acid equivalent / epoxy equivalent ratio exceeds 0.98, the adhesion, heat resistance, etc. will decrease.

例えば、上記ノボラック型エポキシ樹脂をメチルエチ
ルケトン、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソ
ルブアセテート、シクロヘキサノン等の不活性有機溶剤
に溶解し、触媒としてトリエチルアミン、トリ−n−ブ
チルアミン、ジエチルシクロヘキシルアミン等の3級ア
ミン、塩化ベンジルトリメチルアンモニウム、塩化ベン
ジルトリエチルアンモニウム等の4級アンモニウム塩等
を、また重合禁止剤としてハイドロキノン、p−メトキ
シフェノール等を用い、70〜110℃で前記不飽和カルボ
ン酸と、上記の当量比の範囲で攪拌反応させることによ
り、不飽和化合物が得られる。
For example, the above novolac type epoxy resin is dissolved in an inert organic solvent such as methyl ethyl ketone, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, and cyclohexanone, and a tertiary amine such as triethylamine, tri-n-butylamine, diethylcyclohexylamine, benzyl chloride is used as a catalyst. Using quaternary ammonium salts such as trimethylammonium and benzyltriethylammonium chloride, etc., and hydroquinone, p-methoxyphenol, etc. as a polymerization inhibitor, the unsaturated carboxylic acid at 70 to 110 ° C. within the above equivalent ratio range. The unsaturated compound is obtained by reacting with stirring.

上記のように、ノボラック型エポキシ樹脂を不飽和カ
ルボン酸と付加反応させて得られる不飽和化合物の2級
水酸基に対するイソシアナートエチルメタクリレートの
反応は常法により式(2)に示すように、イソシアナー
ト当量/水酸基当量比を0.1〜1.2の範囲として行なわれ
る。
As described above, the reaction of isocyanate ethyl methacrylate with the secondary hydroxyl group of the unsaturated compound obtained by the addition reaction of the novolac type epoxy resin with the unsaturated carboxylic acid is carried out by the conventional method as shown in the formula (2). The equivalent ratio / hydroxyl equivalent ratio is in the range of 0.1 to 1.2.

イソシアナート当量/水酸基当量比が、0.1未満の場
合には、1,1,1−トリクロルエタン等の難燃性有機溶剤
による現像が困難となり、また光硬化性も低下する。イ
ソシアナート当量/水酸基当量比が1.2を越える場合に
は、反応時にゲル化し易くなり、また耐熱性等の特性も
低下する。反応後、メタノール、エタノール、2−ヒド
ロキシエチルメタクリレート等の1級アルコールを用い
て、残存するイソシアナートエチルメタクリレートをウ
レタン化し、失活させることが安全上及び保存安定性向
上の上で望ましい。イソシアナートエチルメタクリレー
トとしては、例えばダウケミカル社製のものが用いられ
る。
When the isocyanate equivalent / hydroxyl equivalent ratio is less than 0.1, it becomes difficult to develop with a flame-retardant organic solvent such as 1,1,1-trichloroethane, and the photocurability also deteriorates. If the isocyanate equivalent / hydroxyl equivalent ratio exceeds 1.2, gelation is likely to occur during the reaction, and heat resistance and other properties deteriorate. After the reaction, it is desirable from the viewpoint of safety and improvement of storage stability to urethaneize and deactivate the remaining isocyanate ethyl methacrylate using a primary alcohol such as methanol, ethanol or 2-hydroxyethyl methacrylate. As the isocyanate ethyl methacrylate, for example, one manufactured by Dow Chemical Co. is used.

例えば、前記のノボラック型エポキシ樹脂と不飽和カ
ルボン酸との付加反応を行ない、次いでこの生成物にジ
ブチルチンジラウレート、ジブチルチンジ2エチルヘキ
ソエート等のウレタン化触媒を添加し上記の当量比の範
囲で、イソシアナートエチルメタクリレートを50〜110
℃で攪拌反応させることにより、光重合性不飽和化合物
が得られる。このような反応条件下では、ウレタン結合
とエポキシ基との反応、不飽和結合の熱重合等の副反応
を防止することができ、その結果ゲル状物を生成させる
ことなく、光重合性不飽和化合物を得ることができる。
For example, the addition reaction of the above-mentioned novolac type epoxy resin and unsaturated carboxylic acid is carried out, and then a urethanization catalyst such as dibutyltin dilaurate or dibutyltin di2-ethylhexoate is added to this product in the above equivalence ratio range. , Isocyanatoethyl methacrylate 50-110
A photopolymerizable unsaturated compound is obtained by stirring and reacting at 0 ° C. Under such reaction conditions, it is possible to prevent a side reaction such as a reaction between a urethane bond and an epoxy group and a thermal polymerization of an unsaturated bond, and as a result, a photopolymerizable unsaturated bond is formed without forming a gel-like substance. The compound can be obtained.

本発明において、特に好ましい光重合性不飽和化合物
としては、オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂
/アクリル酸/イソシアナートエチルメタクリレート系
反応物(酸当量/エポキシ当量比0.1〜0.98、イソシア
ナート当量/水酸基当量比0.1〜1.2) オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂/メタク
リル酸/イソシアナートエチルメタクリレート系反応物
(酸当量/エポキシ当量比0.1〜0.98、イソシアナート
当量/水酸基当量比0.1〜1.2)等が挙げられる。
In the present invention, a particularly preferred photopolymerizable unsaturated compound is an orthocresol novolac type epoxy resin / acrylic acid / isocyanatoethyl methacrylate-based reaction product (acid equivalent / epoxy equivalent ratio 0.1 to 0.98, isocyanate equivalent / hydroxyl equivalent ratio). 0.1 to 1.2) Orthocresol novolac type epoxy resin / methacrylic acid / isocyanatoethyl methacrylate-based reaction product (acid equivalent / epoxy equivalent ratio 0.1 to 0.98, isocyanate equivalent / hydroxyl equivalent 0.1 to 1.2) and the like.

次に本発明になる感光性樹脂組成物は必須成分(b)
として、次式(3)で表わされる2−メチル−1−〔4
−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパ
ノン−1 を光重合開始剤として含有する。
Next, the photosensitive resin composition according to the present invention has an essential component (b)
As 2-methyl-1- [4 represented by the following formula (3)
-(Methylthio) phenyl] -2-morpholinopropanone-1 Is contained as a photopolymerization initiator.

2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−
2−モルフォリノプロパノン−1としては、例えばチバ
・ガイギー社製IRGACURE907が挙げられる。
2-Methyl-1- [4- (methylthio) phenyl]-
Examples of 2-morpholinopropanone-1 include IRGACURE907 manufactured by Ciba-Geigy.

本発明に用いられる必須成分(b)は、単独で使用し
てもよいが、置換または非置換の多核キノン類、例え
ば、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアント
ラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2−ベンズ
アントラキノン、2,3−ジフェニルアントラキノン等、
ジアセチルベンジル等のケトアンドニル化合物、ベンゾ
イン,ピロン等のα−ケトアルドニルアルコール類及び
エーテル類、α−炭化水素置換芳香族アシロイン類、例
えばα−フェニル−ベンゾイン,α,α−ジエトキシア
セトフェノン等、ベンゾフェノン、4,4′−ビスジアル
キルアミノベンゾフェノン等の芳香族ケトン類、2メチ
ルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2
−クロルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサン
トン、2−エチルチオキサントン等のチオキサントン類
の増感剤の1種または2種以上と併用してもよい。
The essential component (b) used in the present invention may be used alone, but may be a substituted or unsubstituted polynuclear quinone, for example, 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1, 2-benzanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone, etc.
Ketoandonyl compounds such as diacetylbenzyl, α-ketoaldonyl alcohols and ethers such as benzoin and pyrone, α-hydrocarbon-substituted aromatic acyloins such as α-phenyl-benzoin, α, α-diethoxyacetophenone, and benzophenone. , 4,4′-bisdialkylaminobenzophenone and other aromatic ketones, 2 methylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2
-It may be used in combination with one or more sensitizers of thioxanthones such as chlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone and 2-ethylthioxanthone.

また、それ自体で光開始性はないが、前記物質と組合
せて用いることにより、全体として光開始性能のより良
好な増感剤系となるような添加剤、例えば、ベンゾフェ
ノンに対するトリエタノールアミン等の3級アミン、チ
オキサントン類に対するジメチルアミノ安息香酸イソア
ミル、N−メチルジエタールアミン、ビスエチルアミノ
ベンゾフェノン等を用いることもできる。
Further, although it has no photoinitiating property by itself, an additive which, when used in combination with the above substance, becomes a sensitizer system having better photoinitiating performance as a whole, such as triethanolamine for benzophenone. It is also possible to use a tertiary amine, isoamyl dimethylaminobenzoate for thioxanthones, N-methyldietal amine, bisethylaminobenzophenone and the like.

次に本発明の感光性樹脂組成物は、必須成分(c)と
して微粒状充填剤を含有する。
Next, the photosensitive resin composition of the present invention contains a fine particulate filler as an essential component (c).

微粒状充填剤としては、例えばタルク、シリカ、酸化
チタン、クレイ、炭酸カルシウム、含水珪酸、水酸化ア
ルミニウム、アルミナ、硫酸バリウム、三酸化アンチモ
ン、炭酸マグネシウム、マイカ粉、珪酸アルミニウム、
珪酸マグネシウム等が用いられる。
As the particulate filler, for example, talc, silica, titanium oxide, clay, calcium carbonate, hydrous silicic acid, aluminum hydroxide, alumina, barium sulfate, antimony trioxide, magnesium carbonate, mica powder, aluminum silicate,
Magnesium silicate or the like is used.

微粒状充填剤の粒径は、解像度,硬化被膜の密着性等
の低下防止の点から、好ましくは0.01〜10μm、より好
ましくは0.01〜1.5μmである。微粒状充填剤は感光性
樹脂組成物中に均一に分散されていることが好ましい。
The particle size of the fine particulate filler is preferably 0.01 to 10 μm, and more preferably 0.01 to 1.5 μm from the viewpoint of preventing the deterioration of the resolution and the adhesion of the cured film. The fine particulate filler is preferably uniformly dispersed in the photosensitive resin composition.

また、充填剤と前記光重合性不飽和化合物との間の接
着力を増すために、充填剤の表面を水酸基、アミノ基、
エポキシ基、ビニル基等の官能基を有するシランカップ
リング剤で処理することもできる。シランカップリング
剤としては、例えばγ−アミノプロピルトリエトキシシ
ラン、β−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリメト
キシシラン、γ−グリシドオキシプロピルトリメトキシ
シラン、γ−メタアクリロキシプロピルトリメトキシシ
ラン等が挙げられる。
Further, in order to increase the adhesive force between the filler and the photopolymerizable unsaturated compound, the surface of the filler is a hydroxyl group, an amino group,
It can also be treated with a silane coupling agent having a functional group such as an epoxy group or a vinyl group. Examples of the silane coupling agent include γ-aminopropyltriethoxysilane, β-aminoethyl-γ-aminopropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane and the like. Can be mentioned.

また本発明の感光性樹脂組成物は必須成分(d)とし
て加熱硬化剤を含有する。
Further, the photosensitive resin composition of the present invention contains a heat curing agent as an essential component (d).

加熱硬化剤の例として、例えばジシアンジアミド、三
フッ化ホウ素モノエチルアミンコンプックス、2−メチ
ルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、1−
ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル
−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−
メチルイミダゾールトリメリテート、1−シアノエチル
−2−ウンデシルイミダゾールトリメリテート、2,4−
ジアミノ−6−[2′−メチル−イミダゾール−
(1)′]−エチル−1,3,5−トリアジン、2,4−ジアミ
ノ−6−[2′−エチル−4′メチルイミダゾリル−
(1)′]−エチル−1,3,5−トリアジン、2,4−ジアミ
ノ−6−[2′−ウンデシル−イミダゾリル−
(1)′]−エチル−1,3,5−トリアジン等の潜在性硬
化剤が好ましい。
Examples of the heat curing agent include dicyandiamide, boron trifluoride monoethylamine Compux, 2-methylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 1-
Benzyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-
Methylimidazole trimellitate, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole trimellitate, 2,4-
Diamino-6- [2'-methyl-imidazole-
(1) ′]-Ethyl-1,3,5-triazine, 2,4-diamino-6- [2′-ethyl-4′methylimidazolyl-
(1) ′]-Ethyl-1,3,5-triazine, 2,4-diamino-6- [2′-undecyl-imidazolyl-
Latent curing agents such as (1) ']-ethyl-1,3,5-triazine are preferred.

本発明になる感光性樹脂組成物においては、光重合性
不飽和化合物(a)100重量部に対して、2−メチル−
1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリ
ノプロパノン−1(b)を2〜15重量部、微粒状充填剤
(c)を20〜100重量部および加熱硬化剤(d)を1〜1
0重量部の範囲で用いられる。
In the photosensitive resin composition according to the present invention, the amount of 2-methyl-based is 100 parts by weight of the photopolymerizable unsaturated compound (a).
2 to 15 parts by weight of 1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropanone-1 (b), 20 to 100 parts by weight of the fine particulate filler (c) and 1 of the heat curing agent (d). ~ 1
Used in the range of 0 parts by weight.

本発明において、成分(a)(c)および(d)は2
種以上を併用してもよい。成分(b)が2重量部未満で
は光硬化性に劣り、15重量部を越えると表面の硬化が速
すぎて内部が硬化しにくくなる。成分(c)が20重量部
未満では硬化収縮の際の残留歪が大でクラック,はがれ
を生じやすく、100重量部を越えると現像後その粒子が
表面に露出しやすくなり、耐水性,光沢が劣る。成分
(d)はエポキシ基の反応性,耐溶剤性,および現像残
りの点から1〜10重量部の範囲とされる。
In the present invention, the components (a) (c) and (d) are 2
You may use together 1 or more types. If the amount of the component (b) is less than 2 parts by weight, the photocurability is poor, and if it exceeds 15 parts by weight, the surface is cured too quickly to harden the inside. If the amount of the component (c) is less than 20 parts by weight, residual strain during curing shrinkage is large and cracks and peeling are likely to occur, and if it exceeds 100 parts by weight, the particles are likely to be exposed on the surface after development, resulting in water resistance and gloss. Inferior. The component (d) is contained in the range of 1 to 10 parts by weight from the viewpoints of reactivity of epoxy group, solvent resistance, and residual development.

また、本発明になる感光性樹脂組成物は他の光重合性
化合物を含有してもよい。
Further, the photosensitive resin composition according to the present invention may contain other photopolymerizable compound.

他の光重合性化合物としては、例えばトリメチロール
プロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリ
アクリレート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアナ
ート/2−ヒドロキシエチルアクリレート(1/2モル比)
反応物、イソシアナートエチルメタクリレート/水(2/
1モル比)反応物等が挙げられる。また、特開昭53−560
18号公報に示される光重合性化合物を用いることもでき
る。しかし、これらの他の光重合性化合物の含有量は耐
熱性の保持上から、光重合性不飽和化合物(a)に対し
て10重量%以下とすることが好ましい。
As other photopolymerizable compounds, for example, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, trimethylhexamethylene diisocyanate / 2-hydroxyethyl acrylate (1/2 molar ratio)
Reactants, isocyanate ethyl methacrylate / water (2 /
(1 molar ratio) reaction products and the like. In addition, JP-A-53-560
It is also possible to use the photopolymerizable compound disclosed in JP-A-18. However, the content of these other photopolymerizable compounds is preferably 10% by weight or less with respect to the photopolymerizable unsaturated compound (a) in order to maintain heat resistance.

更に本発明の感光性樹脂組成物は他の副次的成分を含
有していてもよい。副次的成分としては、高分子結合
剤、熱重合防止剤、染料、顔料、塗工性向上剤、消泡
剤、難燃剤、密着性向上剤等が挙げられる。
Further, the photosensitive resin composition of the present invention may contain other auxiliary components. Examples of secondary components include polymer binders, thermal polymerization inhibitors, dyes, pigments, coatability improvers, defoamers, flame retardants, and adhesion improvers.

本発明の感光性樹脂組成物はディップコート法、フロ
ーコート法、スクリーン印刷法等の常法により加工保護
すべき基板上に直接塗工し、厚さ10〜150μmの感光層
を容易に形成することができる。塗工にあたり必要なら
ば組成物を溶剤に溶解させて行なうこともできる。溶剤
としては、例えばメチルエチルケトン、メチルセロソル
ブアセテート、エチルセロソルブアセテート、シクロヘ
キサノン、メチルセロソルブ、塩化メチレン、1,1,1−
トリクロルエタン等を挙げることができる。
The photosensitive resin composition of the present invention is directly coated on a substrate to be processed and protected by a conventional method such as a dip coating method, a flow coating method and a screen printing method to easily form a photosensitive layer having a thickness of 10 to 150 μm. be able to. If necessary, the composition can be dissolved in a solvent for coating. Examples of the solvent include methyl ethyl ketone, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, cyclohexanone, methyl cellosolve, methylene chloride, 1,1,1-
Trichloroethane etc. can be mentioned.

またこの溶液を例えばポリエチレンテレフタレートフ
ィルム,ポリイミドフィルム等のフィルム上に、ナイフ
コート法、ロールコート法等により塗布し、乾燥して得
られる感光性エレメントを熱ロールを用いて基板上に加
熱加圧積層して感光層を形成することもできる。この際
基板が導体配線ラインの形成された印刷配線板等の10μ
m以上の凹凸を有する場合には、空気の巻き込みを防ぐ
ため、200mmHg以下の真空下で積層することが好まし
い。このための装置としては、例えば特公昭55−13341
号公報に記載される積層装置が用いられる。なお活性光
に不透明な支持体フィルムを用いる場合には、露光時に
支持体フィルムを剥離する必要がある。
Further, this solution is applied onto a film such as a polyethylene terephthalate film or a polyimide film by a knife coating method, a roll coating method or the like, and a photosensitive element obtained by drying is heated and laminated on a substrate by using a heat roll. Then, the photosensitive layer can be formed. At this time, the substrate is 10 μm such as printed wiring board with conductor wiring line formed.
When it has irregularities of m or more, it is preferable to stack under a vacuum of 200 mmHg or less in order to prevent air entrapment. An apparatus for this purpose is, for example, Japanese Patent Publication No. 55-13341.
The laminating apparatus described in the publication is used. When a support film that is opaque to actinic light is used, it is necessary to peel off the support film during exposure.

こうして形成された感光層の露光及び現像は、常法に
より行なわれる。すなわち、光源として超高圧水銀灯、
高圧水銀灯等を用い、感光性樹脂組成物の層上に直接ま
たはポリエチレンテレフタレートフィルム等の透明フィ
ルムを介し、ネガマスクを通して像的に露光する。露光
後、透明フィルムが残っている場合には、これを剥離し
た後現像する。
Exposure and development of the photosensitive layer thus formed are carried out by a conventional method. That is, as a light source, an ultra-high pressure mercury lamp,
Using a high-pressure mercury lamp or the like, imagewise exposure is performed on the layer of the photosensitive resin composition directly or through a transparent film such as a polyethylene terephthalate film through a negative mask. After the exposure, if the transparent film remains, it is peeled off and developed.

現像液としては、例えば1,1,1−トリクロルエタン等
のハロゲン化炭化水素が用いられる。また1,1,1−トリ
クロルエタンを主成分とする洗浄剤、例えばスリーワン
EX(東亜合成化学(株)製)を使用することもできる。
As the developing solution, for example, a halogenated hydrocarbon such as 1,1,1-trichloroethane is used. Also, a cleaning agent containing 1,1,1-trichloroethane as a main component, such as Three One
EX (manufactured by Toagosei Kagaku Co., Ltd.) can also be used.

上記の方法で得られた像的な保護被膜は、通常のエッ
チング,メッキ等のための耐蝕膜としての特性を持って
いるが、現像後に活性光の露光及び80〜200℃の加熱処
理を行なうことにより、すりきず性、密着性、耐熱性、
耐溶剤性等の特性を向上でき、ソルダマスク等の感光性
樹脂組成物としての特性を満足する永久的な保護膜が得
られる。
The image-wise protective film obtained by the above method has properties as a corrosion-resistant film for ordinary etching, plating, etc., but is exposed to active light and subjected to heat treatment at 80 to 200 ° C. after development. As a result, scratch resistance, adhesion, heat resistance,
Properties such as solvent resistance can be improved, and a permanent protective film satisfying the properties as a photosensitive resin composition such as a solder mask can be obtained.

《実施例》 次に本発明に係る感光性樹脂組成物について、その実
施例を説明する。実施例中の「部」は重量部を意味す
る。
<< Example >> Next, the Example is demonstrated about the photosensitive resin composition which concerns on this invention. "Parts" in the examples means parts by weight.

実施例1 (a)光重合性不飽和化合物の合成 A.オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、 EOCN−102(エポキシ当量230) 1095部 エチルセロソルブアセテート 800部 B.アクリル酸 69部 塩化ベンジルトリメチルアンモニウム塩 7部 p−メトキシフェノール 3部 エチルセロソルブアセテート 100部 C.トソシアナートエチルメタクリレート 163部 ジブチルチンジラウレート 0.5部 エチルセロソルブアセテート 100部 D.メタノール 10部 温度計、攪拌装置、冷却管及び滴下器の付いた加熱及
び冷却可能な5lの反応器に、前記Aを加え、攪拌しなが
ら60℃に昇温し、均一に溶解させた。反応温度を60℃に
保ちながら、これに約1時間かけてBを滴下した。Bの
滴下後、2時間かけて80℃に昇温し、80℃で約15時間攪
拌を続け反応系の酸価を1以下にした。
Example 1 (a) Synthesis of photopolymerizable unsaturated compound A. Orthocresol novolac type epoxy resin, EOCN-102 (epoxy equivalent 230) 1095 parts Ethyl cellosolve acetate 800 parts B. Acrylic acid 69 parts Benzyltrimethylammonium chloride 7 Part p-Methoxyphenol 3 parts Ethyl cellosolve acetate 100 parts C. Tosocyanate ethyl methacrylate 163 parts Dibutyltin dilaurate 0.5 part Ethyl cellosolve acetate 100 parts D. Methanol 10 parts Thermometer, stirrer, cooling tube and dropper attached The above A was added to a 5 liter reactor which can be heated and cooled, and the temperature was raised to 60 ° C. with stirring to uniformly dissolve it. While maintaining the reaction temperature at 60 ° C, B was added dropwise to this over about 1 hour. After the dropwise addition of B, the temperature was raised to 80 ° C. over 2 hours, and stirring was continued at 80 ° C. for about 15 hours to reduce the acid value of the reaction system to 1 or less.

次いで温度を60℃に下げ、反応温度を60℃に保ちなが
ら、約3時間かけて均一にCを滴下した。Cの滴下後、
約5時間かけて徐々に反応温度を80℃まで昇温した後、
温度を60℃に下げ、Dを加え、約1時間攪拌を続けた。
こうして不揮発分57重量%のオルソクレゾールノボラッ
ク型エポキシ樹脂/アクリル酸/イソシアナートエチル
メタクリレート(酸当量/エポキシ当量比=0.2、イソ
シアナート当量/水酸基当量比=1.1)系光重合性不飽
和化合物の溶液(1)を得た。
Next, the temperature was lowered to 60 ° C, and C was uniformly added dropwise over about 3 hours while maintaining the reaction temperature at 60 ° C. After dropping C,
After gradually raising the reaction temperature to 80 ° C over about 5 hours,
The temperature was lowered to 60 ° C., D was added and stirring was continued for about 1 hour.
Thus, a solution of an orthocresol novolac type epoxy resin / acrylic acid / isocyanatoethyl methacrylate (acid equivalent / epoxy equivalent ratio = 0.2, isocyanate equivalent / hydroxyl equivalent = 1.1) -based photopolymerizable unsaturated compound having a nonvolatile content of 57% by weight (1) was obtained.

(b)感光性樹脂組成物の調整 (a)で得られた光重合性不飽和化合物の溶液(1)
175部(不揮発分100部)に(チバ・ガイギー社製IRGACU
RE 907,以下同じ)10部、ミクロエースp−4(日本タ
ルク製、超微粒子タルク、平均粒径1.5μm)7部、ク
リスタライト5V(龍森製、超微粒子シリカ、平均粒径5
μm)36部、フタロシアニングリーン0.1部、2−メチ
ルイミダゾール3部及びモダブロー(三菱モンサント
製、ポリメタクリレート系レベリング材)0.1部を配合
し、3本ロールで混合分散させて、感光性樹脂組成物の
溶液を調整した。
(B) Preparation of photosensitive resin composition Solution of photopolymerizable unsaturated compound obtained in (a) (1)
175 parts (nonvolatile content 100 parts) (IRGACU manufactured by Ciba-Geigy)
RE 907, same below) 10 parts, Microace p-4 (Nippon Talc, ultrafine particle talc, average particle size 1.5 μm) 7 parts, Crystallite 5V (Tatsumori, ultrafine particle silica, average particle size 5)
μm) 36 parts, phthalocyanine green 0.1 part, 2-methylimidazole 3 parts and modabro (manufactured by Mitsubishi Monsanto, polymethacrylate-based leveling material) 0.1 parts are mixed and dispersed by three rolls to prepare a photosensitive resin composition. The solution was adjusted.

(c)硬化被膜の形成 (b)で得られた感光性樹脂組成物の溶液を、銅張り積
層板(日立化成工業社製MCL−E−61)上に塗布し、室
温で20分、80℃で20分間乾燥し、厚さ40μmの感光層を
形成した。次いでネガマスクを通してオーク製作所
(株)製、フェニックス3000型露光機を用い、400mJ/cm
2で露光した。露光後80℃で5分間加熱し、常温で30分
放置した後、1,1,1−トリクロルエタンを用いて20℃で6
0秒間スプレー現像した。次いで東芝電材(株)製、東
芝紫外線照射装置(定格電圧200V、定格消費電力7.2K
W、適合ランプH5600L/2、ランプ本数1本)を使用し、1
J/cm2で照射した後、150℃で30分間加熱処理してネガマ
スクに相応する寸法精度の優れたソルダマスクを得た。
このソルダマスクは表面光沢を有し、耐冷熱衝撃性に優
れ、ロジン系フラックスA−226(タムラ化研(株)
製)を用いて、260℃で10秒間、ハンダ付け処理し、更
にトリクレンで25℃で10分間清浄化処理した後、MIL−S
TD−202E107D条件B(−65℃30分間、常温5分以内、12
5℃30分間)、50サイクルの冷熱衝撃試験でクラックの
発生及び被膜の剥がれは認められず、長期間の信頼性が
非常に優れていることがわかった。
(C) Formation of cured film The solution of the photosensitive resin composition obtained in (b) was applied onto a copper-clad laminate (MCL-E-61 manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), and the mixture was kept at room temperature for 20 minutes and then at 80 minutes. It was dried at 0 ° C. for 20 minutes to form a photosensitive layer having a thickness of 40 μm. Next, through a negative mask, using a Phoenix 3000 type exposure machine manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd., 400 mJ / cm
Exposed at 2 . After exposure, heat at 80 ℃ for 5 minutes, leave at room temperature for 30 minutes, and then use 1,1,1-trichloroethane at 20 ℃ for 6 minutes.
Spray developed for 0 seconds. Next, Toshiba Denshi Co., Ltd., Toshiba UV irradiation device (rated voltage 200V, rated power consumption 7.2K
W, compatible lamp H5600L / 2, number of lamps 1), 1
After irradiating with J / cm 2 , heat treatment was performed at 150 ° C. for 30 minutes to obtain a solder mask excellent in dimensional accuracy corresponding to a negative mask.
This solder mask has surface gloss and excellent resistance to thermal shock, and has rosin flux A-226 (Tamura Kaken Co., Ltd.).
Manufactured by MIL-S, after soldering at 260 ° C for 10 seconds and further cleaning with trichlene at 25 ° C for 10 minutes.
TD-202E107D Condition B (-65 ℃ 30 minutes, normal temperature within 5 minutes, 12
In a thermal shock test of 50 cycles at 5 ° C for 30 minutes, cracking and peeling of the coating were not observed, and it was found that the long-term reliability was extremely excellent.

実施例2 (a)光重合性不飽和化合物の合成 A.オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、 日本化薬(株)製 商品名 EOCN−104 (エポキシ当量230) 920部 ハロゲン化フェノールノボラック型エポキシ樹脂,日本
化薬(株)製 商品名 BREN(エポキシ当量285)285部 メチルセロソルブアセテート 600部 B.アクリル酸 288部 塩化ベンジルトリエチルアンモニウム塩 7部 p−メトキシフェノール 3部 メチルセロソルブアセテート 100部 C.イソシアナートエチルメタクリレート 620部 ジブチルチンジラウレート 0.5部 メチルセロソルブアセテート 100部 D.メタノール 10部 上記A〜Dを用い、その他は実施例1(a)と同様に
して、不揮発分54重量%のオルソクレゾールノボラック
型エポキシ樹脂/アクリル酸/イソシアナートエチルメ
タクリレート(酸当量/エポキシ当量比=0.8、イソシ
アナート当量/水酸基当量比=1)系光重合性不飽和化
合物の溶液(2)を得た。
Example 2 (a) Synthesis of photopolymerizable unsaturated compound A. Orthocresol novolak type epoxy resin, Nippon Kayaku Co., Ltd. trade name EOCN-104 (epoxy equivalent 230) 920 parts halogenated phenol novolac type epoxy resin, Brand name BREN (epoxy equivalent 285) 285 parts Methyl cellosolve acetate 600 parts B. Acrylic acid 288 parts Benzyl triethylammonium chloride salt 7 parts p-Methoxyphenol 3 parts Methyl cellosolve acetate 100 parts C. Isocyanate Ethyl methacrylate 620 parts Dibutyltin dilaurate 0.5 part Methyl cellosolve acetate 100 parts D. Methanol 10 parts Orthocresol novolac type epoxy having a nonvolatile content of 54% by weight in the same manner as in Example 1 (a) except that the above A to D are used. Resin / acrylic acid / isocyanatoethyl methacrylate (acid equivalent / Epoxy equivalent ratio = 0.8, isocyanate equivalent ratio / hydroxyl equivalent ratio = 1) to obtain a solution (2) of photopolymerizable unsaturated compound.

(b)感光性樹脂組成物の調整 上記(a)で得られた光重合性不飽和化合物の溶液
(2)185部(不揮発分100部)に、三酸化アンチモン
(平均粒径0.15μm)3部、2−メチル−1−〔4−
(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパノ
ン−1 5部、2−メチルチオキサントン1部、ホスマー
M(油脂製品社製、リン酸エステル)とベンゾトリアゾ
ールとの等モル塩0.1部、ビクトリアビュアブルー0.02
部、2−メチルイミダゾール2部を、3本ロールで混合
分散させて、感光性樹脂組成物の溶液を調整した。
(B) Preparation of Photosensitive Resin Composition To the solution (2) of the photopolymerizable unsaturated compound obtained in (a) above, 185 parts (nonvolatile content: 100 parts) of antimony trioxide (average particle size: 0.15 μm) 3 Part, 2-methyl-1- [4-
(Methylthio) phenyl] -2-morpholinopropanone-15 (15 parts), 2-methylthioxanthone (1 part), Fosmer M (phosphoric acid ester, manufactured by Y Fat Products Co., Ltd.) and 0.1 parts equimolar salt of benzotriazole, Victoria Viewer Blue 0.02
And 2-methylimidazole (2 parts) were mixed and dispersed with a three-roll mill to prepare a solution of the photosensitive resin composition.

以下、実施例1(c)と同様にして、表面光沢を有し
耐熱性に優れた硬化被膜を得た。
Then, a cured coating having surface gloss and excellent heat resistance was obtained in the same manner as in Example 1 (c).

実施例3 (a)光重合性不飽和化合物の合成 A.オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、 東都化成(株)製 YDPN−638(エポキシ当量180) 857
部 エチルセロソルブアセテート 600部 B.ケイ皮酸 176部 アクリル酸 86部 塩化ベンジルトリメチルアンモニウム塩 7部 p−メトキシフェノール 3部 エチルセロソルブアセテート 100部 C.トソシアナートエチルメタクリレート 369部 ジブチルチンジラウレート 0.1部 エチルセロソルブアセテート 100部 D.メタノール 10部 上記A〜Dを用い、その他は実施例1(a)と同様に
して、不揮発分65重量%のオルソクレゾールノボラック
型エポキシ樹脂/ケイ皮酸/アクリル酸/イソシアナー
トエチルメタクリレート(酸当量/エポキシ当量比=0.
5、イソシアナート当量/水酸基当量比=1)系光重合
性不飽和化合物の溶液(3)を得た。
Example 3 (a) Synthesis of photopolymerizable unsaturated compound A. Orthocresol novolac type epoxy resin, YDPN-638 (epoxy equivalent 180) manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd. 857
Part Ethyl cellosolve acetate 600 parts B. Cinnamic acid 176 parts Acrylic acid 86 parts Benzyltrimethylammonium chloride 7 parts p-Methoxyphenol 3 parts Ethyl cellosolve acetate 100 parts C. Tosocyanate ethyl methacrylate 369 parts Dibutyltin dilaurate 0.1 parts Ethyl Cellosolve acetate 100 parts D. Methanol 10 parts Using the above-mentioned A to D, and otherwise the same as in Example 1 (a), orthocresol novolac type epoxy resin having a nonvolatile content of 65% by weight / cinnamic acid / acrylic acid / isocyanate. Natoethyl methacrylate (acid equivalent / epoxy equivalent ratio = 0.
5, a solution (3) of an isocyanate equivalent / hydroxyl equivalent = 1) type photopolymerizable unsaturated compound was obtained.

(b)感光性樹脂組成物の調整 (a)で得られた光重合性不飽和化合物の溶液(3)
154部(不揮発分100部)に、クリスタライト2101−41
(龍森製、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラ
ン処理超微粒子シリカ、平均粒径1μm)50部、2−メ
チル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モル
フォリノプロパノン−1 10部、ジメチルアミノ安息香酸
エチル1部、フタロシアニングリーン0.1部、ジシアン
ジアミド2部、2−メチルイミダゾール1部及びメチル
セロソルブ5部を3本ロールで混合分散させて、感光性
樹脂組成物の溶液を調整した。
(B) Preparation of photosensitive resin composition Solution of photopolymerizable unsaturated compound obtained in (a) (3)
Crystallite 2101-41 in 154 parts (nonvolatile content 100 parts)
(Manufactured by Tatsumori, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane-treated ultrafine particle silica, average particle size 1 μm) 50 parts, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropanone-1 10 Parts, ethyl dimethylaminobenzoate 1 part, phthalocyanine green 0.1 part, dicyandiamide 2 parts, 2-methylimidazole 1 part and methyl cellosolve 5 parts were mixed and dispersed with a three-roll to prepare a solution of the photosensitive resin composition. .

以下、実施例1(c)と同様にして、表面光沢を有し
耐熱性に優れた硬化被膜を得た。
Then, a cured coating having surface gloss and excellent heat resistance was obtained in the same manner as in Example 1 (c).

比較例1 実施例1(a)で得た光重合性不飽和化合物の溶液
(1)175部に、ベンゾフェノン10部、ミクロエースp
−4 7部、クリスタライト5V 36部、フタロシアニングリ
ーン0.1部、2−メチルイミダゾール3部、モダフロー
0.1部を配合し、3本ロールで混合分散させて、実施例
1(c)と同様にして得られた硬化被膜は、耐熱性に優
れていたが、表面光沢を有していなかった。
Comparative Example 1 In 175 parts of the solution (1) of the photopolymerizable unsaturated compound obtained in Example 1 (a), 10 parts of benzophenone and p-microace p were added.
-4 7 parts, crystallite 5V 36 parts, phthalocyanine green 0.1 part, 2-methylimidazole 3 parts, modaflow
A cured coating obtained by mixing 0.1 parts and mixing and dispersing with a three-roll mill in the same manner as in Example 1 (c) had excellent heat resistance, but did not have surface gloss.

比較例2 実施例2(a)で得た光重合性不飽和化合物の溶液
(2)175部に、三酸化アンチモン3部、2−メチルチ
オキサントン5部、ジメチル安息香酸イソアミル1部、
ホスマーMとベンゾトリゾールとの等モル塩0.1部、ビ
クトリアビュアブル−0.02部、2−メチルイミダゾール
2部を配合し、3本ロールで混合分散させて、実施例1
(c)と同様にして得られた硬化被膜は、比較例1と同
様に耐熱性に優れていたが、表面光沢を有していなかっ
た。
Comparative Example 2 To 175 parts of the solution (2) of the photopolymerizable unsaturated compound obtained in Example 2 (a), 3 parts of antimony trioxide, 5 parts of 2-methylthioxanthone, 1 part of isoamyl dimethyl benzoate,
Example 1 was prepared by mixing 0.1 part of equimolar salt of phosmer M and benzotrizole, 0.02 part of Victoria-viewable and 2 parts of 2-methylimidazole, and mixing and dispersing with a three-roll mill.
The cured film obtained in the same manner as in (c) had excellent heat resistance as in Comparative Example 1, but did not have surface gloss.

比較例3 実施例3(a)で得た光重合性不飽和化合物の溶液
(3)154部に、クリスタライト2101−41,50部、ジメチ
ルベンジルケタール(チバ・ガイギー製、商品名IRGACU
RE651)7部、フタロシアニングリーン0.1部、ジシアン
ジアミド2部、2−メチルイミダゾール1部及びメチル
セロソルブ5部を配合し、3本ロールで混合分散させ
て、実施例1(c)と同様にして得られた硬化被膜は、
耐熱性に優れていたが、表面光沢を有していなかった。
Comparative Example 3 154 parts of the solution (3) of the photopolymerizable unsaturated compound obtained in Example 3 (a), crystallite 2101-41,50 parts, dimethylbenzyl ketal (manufactured by Ciba Geigy, trade name IRGACU
RE651) 7 parts, phthalocyanine green 0.1 part, dicyandiamide 2 parts, 2-methylimidazole 1 part and methyl cellosolve 5 parts were blended and mixed and dispersed with a three-roll to obtain in the same manner as in Example 1 (c). The cured coating is
Although it had excellent heat resistance, it did not have surface gloss.

《発明の効果》 本発明になる感光性樹脂組成物を用いて得られた保護
被膜は、上記実施例1及び比較例1からも明らかなよう
に耐熱性、耐冷熱衝撃性に優れているので、エッチン
グ、メッキ等のため耐蝕膜、ソルダマクス等の永久的な
保護膜として使用することができる。
<< Effects of the Invention >> The protective film obtained by using the photosensitive resin composition of the present invention is excellent in heat resistance and cold and thermal shock resistance as is clear from Example 1 and Comparative Example 1 above. It can be used as a corrosion-resistant film for etching, plating, etc., or as a permanent protective film for solder max.

また、本発明の感光性樹脂組成物を用いることによ
り、1,1,1−トリクロルエタン等の難燃性現像液により
現像でき、解像度、耐熱性及び表面光沢性に優れたソル
ダマスクを形成することができ、しかも写真法により厚
膜のソルダマスク等を形成することも可能である。
Further, by using the photosensitive resin composition of the present invention, it is possible to develop with a flame-retardant developer such as 1,1,1-trichloroethane to form a solder mask excellent in resolution, heat resistance and surface gloss. In addition, it is possible to form a thick film solder mask or the like by a photographic method.

更に本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成される被
膜は、優れた化学的、物理的特性を有し、このため多層
印刷配線板の層間絶縁層、感光性接着剤、塗料、プラス
チックレリーフ、印刷版材料、金属精密加工材料等にも
用いることができる。
Furthermore, the coating film formed by using the photosensitive resin composition of the present invention has excellent chemical and physical properties, and therefore, the interlayer insulating layer of the multilayer printed wiring board, the photosensitive adhesive, the paint, the plastic relief. It can also be used as a printing plate material, a metal precision processing material, and the like.

またこの被膜は、トリクレン、メチルエチルケトン、
イソプロピルアルコール、トルエン等の有機溶剤に充分
耐え、酸性水溶液またはアルカリ水溶液にも耐える等の
効果を有する。
Also, this coating is trichlene, methyl ethyl ketone,
It has the effect of sufficiently withstanding organic solvents such as isopropyl alcohol and toluene, and withstanding acidic aqueous solutions or alkaline aqueous solutions.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 菅沢 昇 茨城県日立市東町4丁目13番1号 日立化 成工業株式会社茨城研究所内 (56)参考文献 特開 昭61−264341(JP,A) 特開 昭61−199691(JP,A) 特開 昭61−132947(JP,A) 特開 昭62−10642(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── --- Continuation of front page (72) Inventor Noboru Sugazawa 4-13-1, Higashimachi, Hitachi, Ibaraki Prefecture, Ibaraki Research Laboratory, Hitachi Chemical Co., Ltd. (56) Reference JP-A-61-264341 (JP, A) JP 61-199691 (JP, A) JP 61-132947 (JP, A) JP 62-10642 (JP, A)

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】(a)オルソクレゾールノボラツク型エポ
キシ樹脂、フェノールノボラツク型エポキシ樹脂及びハ
ロゲン化フェノールノボラツク型エポキシ樹脂からなる
群より選ばれる1種または2種以上のノボラツク型エポ
キシ樹脂と不飽和カルボン酸とを、酸当量/エポキシ当
量比を0.1〜0.98の範囲として付加反応させて得られる
不飽和化合物の2級水酸基に、イソシアナートエチルメ
タクリレートをイソシアナート当量/水酸基当量比を0.
1〜1.2の範囲として反応させて得られる光重合性不飽和
化合物100重量部、 (b)2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニ
ル〕−2−モルフォリノプロパノン−1 2〜15重量部、 (c)微粒状充填剤20〜100重量部および (d)加熱硬化剤1〜10重量部 を含有してなる感光性樹脂組成物。
1. A compound of (a) one or more novolak epoxy resins selected from the group consisting of ortho-cresol novolak epoxy resins, phenol novolak epoxy resins and halogenated phenol novolak epoxy resins. Saturated carboxylic acid, acid equivalent / epoxy equivalent ratio in the range of 0.1 ~ 0.98 in the secondary hydroxyl group of the unsaturated compound obtained by addition reaction, isocyanatoethyl methacrylate isocyanato equivalent / hydroxyl equivalent ratio of 0.
100 parts by weight of a photopolymerizable unsaturated compound obtained by reaction in the range of 1 to 1.2, (b) 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropanone-12 15 to 15 parts by weight Parts, (c) 20 to 100 parts by weight of finely divided filler, and (d) 1 to 10 parts by weight of a heat curing agent.
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