JPH0822727B2 - Ozone generator and ozone generation method - Google Patents
Ozone generator and ozone generation methodInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、オゾン発生装置及びオゾン発生方法に関す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Field of Industrial Application) The present invention relates to an ozone generator and an ozone generating method.
（従来の技術） 一般に、無声放電によるエネルギーや、水銀放電管か
ら放出される紫外線の光子エネルギー等によって、一部
の酸素分子が解離して原子状態となり、この原子状酸素
が酸素分子と結合して酸素３原子のオゾンを生成する。
無声放電によるオゾン発生装置例として、例えば第３図
に示す装置がある。この図において、平板状の接地電極
（1a）はこれを冷却するために設けられたウォータージ
ャケット（１）の一部として設置されている。この接地
電極（1a）の上方には、平板状の誘電体（２）が接して
配置されており、この誘電体（２）は放電ギャップ
（３）を介して平板状の高圧電極（４）と近接対向して
配置され、この高圧電極（４）の上方には高圧電極
（４）を冷却するための冷却フィン（５）が接して設け
られている。オゾンを生成するための上記放電ギャップ
（３）は高圧電極（４）の下面と誘電体（２）の上面と
の間に形成され、この放電ギャップ（３）は原料ガス入
口（６）およびオゾンガス出口（７）に接続されてい
る。また、上記ウォータージャケット（１）には冷却水
入口（８）と冷却水出口（９）が設置されている。これ
らはすべて筐体（10）の内部に収納されている。(Prior Art) Generally, some oxygen molecules are dissociated into an atomic state by energy due to silent discharge, photon energy of ultraviolet rays emitted from a mercury discharge tube, etc., and this atomic oxygen is bonded to the oxygen molecule. To generate ozone of three oxygen atoms.
As an example of an ozone generating device by silent discharge, there is a device shown in FIG. 3, for example. In this figure, a flat ground electrode (1a) is installed as a part of a water jacket (1) provided to cool it. Above the ground electrode (1a), a flat plate-shaped dielectric (2) is disposed in contact with the ground electrode (1a), and the flat plate-shaped high voltage electrode (4) is placed through the discharge gap (3). A cooling fin (5) for cooling the high-voltage electrode (4) is provided in contact with and above the high-voltage electrode (4). The discharge gap (3) for generating ozone is formed between the lower surface of the high voltage electrode (4) and the upper surface of the dielectric (2), and the discharge gap (3) is formed by the source gas inlet (6) and the ozone gas. It is connected to the outlet (7). The water jacket (1) is provided with a cooling water inlet (8) and a cooling water outlet (9). These are all housed inside the housing (10).
そして、このような構成のオゾン発生装置において、
高圧電極（４）および接地電極（1a）に図示しない高電
圧電源から高電圧を供給し、放電ギャップ（３）内で無
声放電を発生させる。このとき原料ガス入口（６）から
少なくとも酸素を含むガスを供給すると、放電ギャップ
（３）内で酸素の一部が活性化されオゾンが発生する。
発生したオゾンは、オゾンガス出口（７）から取り出さ
れる。一般に放電に伴って熱が発生し、両電極および放
電ギャップ（３）内はかなり高温となる。第４図は温度
とオゾンの分解半減期を示すグラフで温度が高くなると
オゾンの分解は顕著となる。したがって高濃度のオゾン
を得るためには効率よく電極および放電ギャップ（３）
を冷却することが必要である。And in the ozone generator of such a configuration,
A high voltage is supplied to the high voltage electrode (4) and the ground electrode (1a) from a high voltage power source (not shown) to generate silent discharge in the discharge gap (3). At this time, when a gas containing at least oxygen is supplied from the raw material gas inlet (6), a part of oxygen is activated in the discharge gap (3) to generate ozone.
The generated ozone is taken out from the ozone gas outlet (7). In general, heat is generated with the discharge, and the temperatures of both electrodes and the discharge gap (3) are considerably high. FIG. 4 is a graph showing the half life of decomposition of ozone with temperature. As the temperature increases, the decomposition of ozone becomes remarkable. Therefore, in order to obtain a high concentration of ozone, the electrode and the discharge gap (3) are efficiently used.
Need to be cooled.
（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上記従来のオゾン発生装置では、接地
電極（1a）は冷却水によって十分冷却されるが、絶縁性
を保つ為に、高圧電極（４）は冷却フィン（５）の空冷
により冷却される程度であった為、特に高圧電極（４）
の温度が上昇していた。そこで、供給される酸素がこの
熱により温度上昇し、この酸素の温度上昇によりオゾン
の分解は著しく促進され、放電によって生成されたオゾ
ンが放電ギャップ（３）内で再び分解されて、オゾンの
生成効率が低下し所望の高濃度のオゾンを得ることがで
きないという問題があった。(Problems to be Solved by the Invention) However, in the conventional ozone generator described above, the ground electrode (1a) is sufficiently cooled by the cooling water, but the high voltage electrode (4) is provided with the cooling fin in order to maintain insulation. Since it was cooled by air cooling in (5), the high voltage electrode (4)
The temperature was rising. Then, the temperature of the supplied oxygen rises due to the heat, and the decomposition of ozone is remarkably promoted by the rise in the temperature of the oxygen. The ozone generated by the discharge is decomposed again in the discharge gap (3) to generate ozone. There is a problem that efficiency is lowered and a desired high concentration of ozone cannot be obtained.
本発明は、上記点に対処してなされたもので、オゾン
の生成効率を向上し、高濃度のオゾンを得ることのでき
るオゾン発生装置及びオゾン発生方法を提供するもので
ある。The present invention has been made in consideration of the above points, and provides an ozone generator and an ozone generating method capable of improving ozone generation efficiency and obtaining high-concentration ozone.
（問題点を解決するための手段） 本発明の１つは、対向した電極間に電圧を印加してオ
ゾンを発生するオゾン発生装置において、絶縁性のケー
スと、このケースに冷却フィンに接して設けられた高圧
電極と、同じくケースに前記高圧電極と離間対向して設
けられた接地電極と、前記ケースに一体に設けられ酸素
供給源と連通し、前記電極間の放電ギャップ内に酸素を
供給するガス供給口と、前記ケースと一体に設けられ前
記放電ギャップ内で発生したオゾンを含んだガスを放出
するガス出口と、冷却液循環装置と連通し、前記電極の
少なくとも一方を冷却する前記ケースの内部に設けられ
た電極冷却部と、この電極冷却部と連通し、冷却液によ
って前記ガス供給口及びガス出口を20℃以下に冷却する
供給口冷却部及び出口冷却部とを具備したことを特徴と
するオゾン発生装置にある。(Means for Solving Problems) One aspect of the present invention is an ozone generator that generates ozone by applying a voltage between electrodes facing each other, in which an insulating case and a cooling fin are in contact with the case. Supplying oxygen to the discharge gap between the electrodes by providing a high-voltage electrode, a ground electrode, which is also provided in the case so as to face the high-voltage electrode, facing away from the high-voltage electrode, and integrally provided in the case, to communicate with an oxygen supply source. A gas supply port, a gas outlet provided integrally with the case for discharging a gas containing ozone generated in the discharge gap, and the case for communicating with a cooling liquid circulation device to cool at least one of the electrodes And an electrode cooling part provided inside the electrode cooling part, and a supply port cooling part and an outlet cooling part which communicate with the electrode cooling part and cool the gas supply port and the gas outlet to 20 ° C. or less by a cooling liquid. In the ozone generator, wherein the door.
もう１つは、対向した電極間に電圧を印加してオゾン
を発生するオゾン発生方法において、冷却液をガス供給
部に供給し、酸素供給源から前記電極間の放電ギャップ
内に供給される酸素をガス供給部で冷却する第１の冷却
工程と、冷却液を電極冷却部に供給し、前記放電ギャッ
プを冷却する第２の冷却工程と、冷却液をガス出口部に
供給し、前記放電ギャップから放出されるオゾンガスを
20℃以下に冷却する第３の冷却工程とを具備したことを
特徴とするオゾン発生方法にある。The other is an ozone generation method in which a voltage is applied between opposing electrodes to generate ozone, and a cooling liquid is supplied to a gas supply unit, and oxygen supplied from an oxygen supply source into a discharge gap between the electrodes is supplied. In a gas supply unit, a second cooling process in which a cooling liquid is supplied to the electrode cooling unit to cool the discharge gap, and a cooling liquid is supplied to the gas outlet unit to discharge the discharge gap. The ozone gas emitted from
And a third cooling step of cooling to 20 ° C. or lower.
（作用） 酸素供給源から電極間の放電ギャップ内に供給される
酸素はガス供給口を通過する間に冷却液によって冷却さ
れ、冷却された酸素が放電ギャップに供給される。さら
に、前記電極は電極冷却部に供給される冷却液によって
冷却され、放電ギャップ内の温度を一層低い温度の雰囲
気に保つことができ、発生したオゾンの分解を防止でき
る。(Function) Oxygen supplied from the oxygen supply source into the discharge gap between the electrodes is cooled by the cooling liquid while passing through the gas supply port, and the cooled oxygen is supplied to the discharge gap. Further, the electrode is cooled by the cooling liquid supplied to the electrode cooling unit, so that the temperature in the discharge gap can be maintained in an atmosphere of a lower temperature, and the generated ozone can be prevented from being decomposed.
（実施例） 以下、本発明のオゾン発生装置を実施例につき図面を
参照して説明する。(Example) Hereinafter, the ozone generator of this invention is demonstrated with reference to drawings about an Example.
絶縁性のケース（11）内の上側に、冷却フィン（12）
と上面を接する平面状チタン製高圧電極（13）が設けら
れている。また、ケース（11）内の下側には、高圧電極
（13）に放電ギャップ（14）とセラミック製誘電体（1
5）を介して対向し、内部に冷却流水例えば冷却液が循
環する様な接地電極冷却部（16）を備えた平面状接地電
極（17）が設けられている。Cooling fins (12) on top of the insulating case (11)
And a planar titanium high-voltage electrode (13) contacting the upper surface of the electrode. Also, on the lower side of the case (11), the discharge gap (14) and the ceramic dielectric (1
A planar ground electrode (17) is provided opposite to each other with a ground electrode cooling unit (16) in which cooling water such as a cooling liquid circulates.
そして、放電ギャップ（14）と誘電体（15）を介して
対向し放電領域を形成した高圧電極（13）と接地電極
（17）の間に、酸素を供給するガス供給口（18）が設け
られており、このガス供給口（18）はガス流量調整器
（19）を介して酸素供給源（20）に接続されている。ま
た、ガス供給口（18）対向部には、放電ギャップ（14）
内で発生したオゾンを含んだガスを放出可能なガス出口
（21）が設けられていて、図示しないオゾンを用いた処
理部に接続されている。そして、ガス供給口（18）とガ
ス出口（21）の外周には、内部に接地電極冷却部（16）
からの冷却液が循環可能な供給口冷却部（22）と出口冷
却部（23）が設けられている。A gas supply port (18) for supplying oxygen is provided between the ground electrode (17) and the high-voltage electrode (13) facing the discharge gap (14) through the dielectric (15) and forming a discharge region. The gas supply port (18) is connected to the oxygen supply source (20) via the gas flow rate regulator (19). In addition, the discharge gap (14) is provided in the portion facing the gas supply port (18).
A gas outlet (21) capable of discharging a gas containing ozone generated therein is provided, and is connected to a processing unit using ozone (not shown). Further, the ground electrode cooling part (16) is internally provided on the outer periphery of the gas supply port (18) and the gas outlet (21).
A supply port cooling unit (22) and an outlet cooling unit (23) through which the cooling liquid from can be circulated are provided.
また、高圧電極（13）と接地電極（17）に電圧を印加
する如く高電圧高周波電源（24）例えば周波数１〜10KH
z程度で電圧１〜10KV程度のものが接続設置されてい
る。In addition, a high-voltage high-frequency power source (24), for example, a frequency of 1 to 10 KH, which applies voltage to the high-voltage electrode (13) and the ground electrode (17)
It is connected and installed with a voltage of about 1 to 10 KV at a z level.
そして、接地電極冷却部（16）及びこの接地電極冷却
部（16）を介して供給口冷却部（22）と出口冷却部（2
3）を20℃以下に冷却可能な如く、接地電極冷却部（1
6）に設けられた冷却液入口（25）と冷却液出口（26）
に、絶縁性のホースで冷却液を冷却し循環させる冷却液
循環装置（27）が接続されていて、供給する酸素及び発
生して排出されるオゾン及び接地電極（17）を20℃以下
に冷却する様に構成されている。また、このオゾン発生
装置は図示しない制御部により制御される。Then, the ground electrode cooling unit (16) and the supply port cooling unit (22) and the outlet cooling unit (2) through the ground electrode cooling unit (16).
3) The ground electrode cooling part (1
Coolant inlet (25) and coolant outlet (26) provided in 6)
A cooling liquid circulation device (27) that cools and circulates the cooling liquid with an insulating hose is connected to the, and oxygen supplied and ozone generated and discharged and the ground electrode (17) are cooled to 20 ° C or less. It is configured to do. Further, this ozone generator is controlled by a control unit (not shown).
次に、上述したオゾン発生装置によるオゾンの発生方
法を説明する。Next, a method of generating ozone by the ozone generator described above will be described.
まず、冷却液循環装置（27）で冷却流体例えば水や沸
素系不活性液体等の冷却液を冷却し循環する。この冷却
液循環装置（27）で送出した冷却液は冷却液入口（25）
より接地電極冷却部（16）に循環し、その後、供給口冷
却部（22）及び出口冷却部（23）に循環され、再び接地
電極冷却部（16）に戻り、冷却液出口（26）より排出さ
れ、再度冷却液循環装置（27）で冷却され循環する。First, a cooling fluid circulating device (27) cools and circulates a cooling fluid, for example, a cooling fluid such as water or a fluorine-based inert liquid. The cooling liquid sent out by this cooling liquid circulation device (27) is the cooling liquid inlet (25).
Is circulated to the ground electrode cooling unit (16), then circulated to the supply port cooling unit (22) and the outlet cooling unit (23), then returned to the ground electrode cooling unit (16) again, and then to the cooling liquid outlet (26). It is discharged, cooled again by the cooling liquid circulating device (27), and circulated.
そして、高圧電極（13）と冷却状態の接地電極（17）
に高電圧高周波電源（24）で例えば周波数１〜10KHz電
圧１〜10KV程度の高電圧を印加する。この時、酸素供給
源（20）とガラス流量調節器（19）で所望の流量例えば
０〜20sl/min程度の酸素ガスを、ガス供給口（18）から
放電ギャップ（14）に流出する。ここで、電圧を印加し
た両電極（13,17）の間に誘電体（15）と放電ギャップ
（14）を形成した放電領域で生ずる無声放電によりオゾ
ンが発生し、ガス出口（21）より図示しないオゾンを用
いた処理部にオゾンを送出する。Then, the high voltage electrode (13) and the grounded electrode (17) in the cooled state
The high voltage high frequency power supply (24) applies a high voltage having a frequency of 1 to 10 KHz and a voltage of about 1 to 10 KV. At this time, oxygen gas having a desired flow rate, for example, about 0 to 20 sl / min is discharged from the gas supply port (18) to the discharge gap (14) by the oxygen supply source (20) and the glass flow rate controller (19). Here, ozone is generated by silent discharge generated in the discharge region where the dielectric (15) and the discharge gap (14) are formed between the electrodes (13, 17) to which a voltage is applied, and ozone is generated from the gas outlet (21). Ozone is sent to the processing unit using ozone.
この時、冷却液循環装置（27）と図示しない制御部に
より、接地電極冷却部（16）と供給口冷却部（22）と出
口冷却部（23）を20℃以下に冷却する。特に、供給口冷
却部（22）の冷却手段で供給する酸素をオゾンの分解が
顕著に改善される20℃以下に冷却することにより、供給
する酸素が両電極（13,17）の放電で温度上昇するのを
防止でき、放電ギャップ（14）内の雰囲気温度をより低
い温度にできるので、発生したオゾンの分解を顕著に防
止できる。At this time, the ground electrode cooling unit (16), the supply port cooling unit (22), and the outlet cooling unit (23) are cooled to 20 ° C. or lower by the cooling liquid circulating device (27) and the control unit (not shown). In particular, by cooling the oxygen supplied by the cooling means of the supply port cooling unit (22) to 20 ° C or below at which ozone decomposition is remarkably improved, the supplied oxygen is heated by the discharge of both electrodes (13, 17). Since it can be prevented from rising and the ambient temperature in the discharge gap (14) can be made lower, the decomposition of the generated ozone can be remarkably prevented.
また、接地電極冷却部（16）で接地電極（17）を冷却
することにより、接地電極（17）自身の温度上昇による
生成オゾンの分解を防止可能となる効果がある。しか
も、生成されたオゾンガスは放電により温度上昇してい
るが、出口冷却部（23）で冷却することにより、オゾン
ガスの自身の温度で自己分解するのを防止できる。Further, by cooling the ground electrode (17) by the ground electrode cooling unit (16), it is possible to prevent decomposition of ozone generated due to temperature rise of the ground electrode (17) itself. Moreover, although the temperature of the generated ozone gas rises due to the discharge, by cooling in the outlet cooling section (23), the ozone gas can be prevented from self-decomposing at its own temperature.
また、本発明のオゾン発生装置の他の実施例として、
第２図に示す如く、ガス供給口（18）とガス出口（21）
と接地電極（17）を同時にひとつの冷却部（30）で冷却
する如く構成してもよい。ここで、第１図と同じ機能の
ものは同一の符号を使用している。In addition, as another embodiment of the ozone generator of the present invention,
As shown in Fig. 2, gas supply port (18) and gas outlet (21)
The grounding electrode (17) and the ground electrode (17) may be simultaneously cooled by one cooling unit (30). Here, the same reference numerals are used for those having the same functions as those in FIG.
上記実施例の冷却する手段は、供給する酸素を冷却流
体の循環による熱交換で説明したが、供給する酸素を20
℃以下に冷却する手段であれば何でもよく、サーモモジ
ュールで冷却してもよく、ヒートパイプで冷却してもよ
いことは言うまでもない。In the cooling means of the above embodiment, the oxygen to be supplied was explained by the heat exchange by circulating the cooling fluid.
Needless to say, any means may be used as long as it is cooled to a temperature of not higher than 0 ° C., and it may be cooled by a thermo module or a heat pipe.
また、上記実施例の各電極（13,17）間の放電は、誘
電体（15）と放電ギャップ（14）を介した無声放電で説
明したが、オゾンを発生する為の放電なら何でもよく、
コロナ放電でもグロー放電でもよい。Further, the discharge between the electrodes (13, 17) in the above embodiment is described as a silent discharge through the dielectric (15) and the discharge gap (14), but any discharge for generating ozone may be used,
Corona discharge or glow discharge may be used.
以上述べたようにこの実施例によれば、放電ギャップ
（14）と誘電体（15）を介して対向した高圧電極（13）
と接地電極（17）に電圧を印加し、この電極（13,17）
間に酸素を供給してオゾンを発生する。この供給する酸
素を冷却流体の循環により熱交換で20℃以下に冷却する
ことで、供給する酸素の放電による昇温を防止し、放電
ギャップ（14）内の雰囲気をより低い温度にすることが
でき、発生したオゾンの分解を顕著に防止できる。As described above, according to this embodiment, the high voltage electrode (13) facing the discharge gap (14) through the dielectric (15).
And voltage is applied to the ground electrode (17) and this electrode (13, 17)
Oxygen is generated by supplying oxygen between them. By cooling this supplied oxygen to 20 ° C or less by heat exchange by circulating a cooling fluid, it is possible to prevent the temperature rise due to the discharge of the supplied oxygen and to lower the atmosphere in the discharge gap (14). Therefore, the generated ozone can be remarkably prevented from being decomposed.
以上説明したように本発明によれば、供給する酸素は
ガス供給口を通過する間に冷却液によって冷却され、冷
却された酸素が放電ギャップに供給される。さらに、電
極は電極冷却部に供給された冷却液によって冷却され、
冷却効率を向上でき、放電ギャップ内の温度を一層低い
温度の雰囲気に保つことができ、オゾンの分解が防止で
き、オゾンの生成効率を向上し、高濃度のオゾンを得る
ことができる。As described above, according to the present invention, the oxygen to be supplied is cooled by the cooling liquid while passing through the gas supply port, and the cooled oxygen is supplied to the discharge gap. Further, the electrode is cooled by the cooling liquid supplied to the electrode cooling unit,
The cooling efficiency can be improved, the temperature in the discharge gap can be maintained in an atmosphere of a lower temperature, the decomposition of ozone can be prevented, the ozone generation efficiency can be improved, and high concentration ozone can be obtained.
第１図は本発明のオゾン発生装置の一実施例を説明する
ための構成図、第２図は第１図の他の実施例の構成図、
第３図は従来のオゾン発生装置を示す構成図、第４図は
第３図における温度とオゾンの分解半減期の関係を示す
図である。 図において、 13……高圧電極、17……接地電極 18……ガス供給口、22……供給口冷却部 30……冷却部FIG. 1 is a block diagram for explaining an embodiment of the ozone generator of the present invention, FIG. 2 is a block diagram of another embodiment of FIG. 1,
FIG. 3 is a configuration diagram showing a conventional ozone generator, and FIG. 4 is a diagram showing the relationship between temperature and ozone decomposition half-life in FIG. In the figure, 13 ... high-voltage electrode, 17 ... ground electrode 18 ... gas supply port, 22 ... supply port cooling unit 30 ... cooling unit
フロントページの続き (72)発明者 芹川 聖一 熊本県菊池郡菊陽町津久礼2655番地 テル 九州株式会社内 (72)発明者 佐藤 勝宣 熊本県菊池郡菊陽町津久礼2655番地 テル 九州株式会社内 (56)参考文献 特開 昭50−26791（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−3334（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−100905（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−155206（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−86008（ＪＰ，Ａ) 特公 昭51−8638（ＪＰ，Ｂ２)Front page continuation (72) Inventor Seiichi Serikawa 2655 Tsukyu, Kikuyo-cho, Kikuchi-gun, Kumamoto Ter Kyushu Co., Ltd. 56) References JP-A-50-26791 (JP, A) JP-A-55-3334 (JP, A) JP-A-57-100905 (JP, A) JP-A-61-155206 (JP, A) JP-A Sho 60-86008 (JP, A) Japanese Patent Sho 51-8638 (JP, B2)
Claims (2)
発生するオゾン発生装置において、 絶縁性のケースと、このケースに冷却フィンに接して設
けられた高圧電極と、同じくケースに前記高圧電極と離
間対向して設けられた接地電極と、前記ケースに一体に
設けられ酸素供給源と連通し、前記電極間の放電ギャッ
プ内に酸素を供給するガス供給口と、前記ケースと一体
に設けられ前記放電ギャップ内で発生したオゾンを含ん
だガスを放出するガス出口と、冷却液循環装置と連通
し、前記電極の少なくとも一方を冷却する前記ケースの
内部に設けられた電極冷却部と、この電極冷却部と連通
し、冷却液によって前記ガス供給口及びガス出口を20℃
以下に冷却する供給口冷却部及び出口冷却部とを具備し
たことを特徴とするオゾン発生装置。1. In an ozone generator for generating ozone by applying a voltage between electrodes facing each other, an insulating case, a high-voltage electrode provided in contact with a cooling fin in this case, and the high-voltage electrode in the case. A ground electrode, which is provided so as to be spaced apart from and faces the electrode, is provided integrally with the case, is connected to an oxygen supply source, and is provided with a gas supply port for supplying oxygen into the discharge gap between the electrodes, and is integrally provided with the case. A gas outlet for discharging a gas containing ozone generated in the discharge gap, and an electrode cooling section provided inside the case for cooling at least one of the electrodes, which communicates with a cooling liquid circulation device, It communicates with the electrode cooling part, and the gas supply port and gas outlet are kept at 20 ° C by the cooling liquid.
An ozone generating apparatus comprising: a supply port cooling unit and an outlet cooling unit for cooling below.
発生するオゾン発生方法において、 冷却液をガス供給部に供給し、酸素供給源から前記電極
間の放電ギャップ内に供給される酸素をガス供給部で冷
却する第１の冷却工程と、冷却液を電極冷却部に供給
し、前記放電ギャップを冷却する第２の冷却工程と、冷
却液をガス出口部に供給し、前記放電ギャップから放出
されるオゾンガスを20℃以下に冷却する第３の冷却工程
とを具備したことを特徴とするオゾン発生方法。2. A method of generating ozone by applying a voltage between opposed electrodes to generate ozone, wherein a cooling liquid is supplied to a gas supply unit and oxygen is supplied from an oxygen supply source into a discharge gap between the electrodes. In a gas supply unit, a second cooling process in which a cooling liquid is supplied to the electrode cooling unit to cool the discharge gap, and a cooling liquid is supplied to the gas outlet unit to discharge the discharge gap. And a third cooling step of cooling the ozone gas released from the ozone gas to 20 ° C. or less.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62321063A JPH0822727B2 (en) | 1987-12-18 | 1987-12-18 | Ozone generator and ozone generation method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62321063A JPH0822727B2 (en) | 1987-12-18 | 1987-12-18 | Ozone generator and ozone generation method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01160807A JPH01160807A (en) | 1989-06-23 |
| JPH0822727B2 true JPH0822727B2 (en) | 1996-03-06 |
Family
ID=18128388
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62321063A Expired - Fee Related JPH0822727B2 (en) | 1987-12-18 | 1987-12-18 | Ozone generator and ozone generation method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0822727B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPS63282106A (en) * | 1987-05-13 | 1988-11-18 | Sanyo Electric Co Ltd | Ozone generator |
-
1987
- 1987-12-18 JP JP62321063A patent/JPH0822727B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01160807A (en) | 1989-06-23 |
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