JPH0827046B2 - プレナム・モジュール装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、クリーン・ルームの天
井の構造に関する。更に具体的に言うならば、本発明
は、クリーン・ルーム若しくは他の施設例えば、照明シ
ステム、消化システム及び電気的分配システムのため
の、空気フィルタ・システムを含む平坦な天井構造に関
する。

【０００２】

【従来の技術】例えば高精度の機械及び電子コンポーネ
ントのような多くの製品は、周囲雰囲気中で多く見られ
る微粒子状物質による汚染に対して非常に敏感である。
製造後は、これらの製品はシールされ若しくは他の手段
により汚染から守られる。しかしながら、この様な型の
製品の製造の過程では、製品自体に対する保護を行うこ
とは出来ず、もっぱら信頼性は、汚染物及び汚染物質の
源を厳格に排除するクリーン・ルームと呼ばれる施設に
依存してきた。

【０００３】この様なクリーン・ルームの信頼性は、こ
の中に存在する若しくは外部から入り込むどのような汚
染物質をも除去するために空気を連続的にフィルタする
ことに依存する。実際において、汚染物は、加工物を加
工したり加工物からある材料を除去する工程、蒸気から
の物質の凝縮工程等を含む製造プロセスの間にクリーン
・ルーム内で発生される。従って、クリーン・ルーム内
の全ての空気を連続的に循環してそしてフィルタするこ
とが必須である。更に、一端発生した汚染物をこれらを
捕捉する場所に迅速に運び、汚染物がクリーン・ルーム
内の他の場所に循環しないようにすることが重要であ
る。このために、空気は天井から床へ（しばしばこれは
隆起状の格子構造を有する）クリーン・ルーム内を循環
されそしてダクトとを介して天井に戻される。これは、
クリーン・ルームの最短の距離を横切る循環を与えそし
て汚染物をこれが生じた領域に押し込める。又、汚染物
は大体において周囲雰囲気よりも密度が高いので、汚染
物の急速な移動が重力により加速される。空気は、天井
からの出口でフィルタされる。空気若しくは他の例外物
を天井から床への循環パターンに乗せるのを防止するた
めに、空気の分布は出来るだけ天井の領域で多くしなけ
ればならない。

【０００４】作業者の安全を確保するためそしてこのク
リーン・ルーム内で行われる製造プロセスを助けるため
に、クリーン・ルーム内には、高度にフィルタされた空
気に加えて、例えば照明、圧縮空気、消化システム等の
他のサービスを設けることが一般に必要である。本明細
書ではこれらのサービスを”ファシリティ”と呼ぶ。こ
れらは通常クリーン・ルームの壁、天井及び／若しくは
床を貫通することを必要とするので、これらのファシリ
ティを設けることはクリーン・ルームの環境にある程度
の妥協を求める。これらのファシリティがクリーン・ル
ーム内に貫通して入り込む場所に設けられる例えば電気
的絶縁物、クリーン・ルームを構成する材料自体のよう
な材料が、汚染物質の源となりうる。更に空間が大きく
なると、これらのファシリティを天井に設置することが
便利である。フィルタに例えば開口等の不連続部分が生
じるのが望ましくないので、天井の面積はこれらファシ
リティに占められそして天井から床への空気循環パター
ンを維持することが出来なくなる。照明を設けることは
特に困難である。その理由は、照明は多くの場合平坦に
且つ均一に分布されねばならずそしてこの分布を達成す
るためには天井の部分を形成しなければならないからで
ある。

【０００５】同様に、クリーン・ルームの天井の下側に
相当な水平方向面積を有する構造物を釣り下げることは
望ましくない。その理由は、この様な構造物が所望の空
気の流れのパターンを中断若しくは乱すからであり、そ
して更に微粒子物質を集めるからである。そして機械的
な外乱により、この集められた物質が比較的大量に散乱
されてクリーン・ルームの大部分を汚染し、そして製造
中の製品がこれの取り出しの前に汚染される。これに関
して、照明器具も又問題を生じる。その理由は、釣り下
げられた照明器具特に蛍光灯が機械的に損傷を受け、か
くして汚染の新たな源となるからである。更に、天井の
下側に釣り下げられた若しくは天井の高さの下側で大き
な面積を有するファシリティは、この面積に亘る光の分
布を妨げる。

【０００６】他の問題は、クリーンルーム内にいわゆる
小雰囲気領域即ち区画を形成するための仕切壁を設ける
ことに基ずいて生じる。小雰囲気区画は、クリーン・ル
ームの特定な領域で汚染物を更に完全に排除若しくは阻
止するためにしばしば必要とされる。これらの小雰囲気
領域には、クリーン・ルームの残りの部分と異なる流速
の空気が供給される。これらの小雰囲気領域は、構造的
な理由から、天井に取り付けられて釣り下げられねばな
らない仕切壁により形成される。水平方向の面積が生じ
るのをなくするために、比較的薄いシート材料が一般に
望ましい。天井の近くで汚染物が浮遊するのを防ぐため
に天井に近い釣り下げ具が必要である。しかしながら、
この様な釣り下げ具のための位置が、フィルタにより覆
われている領域にはないので、釣り下げはファシリティ
が占める同じ領域からなされなければならない。特に、
照明器具及びこの照明器具の固定具がこの領域の大きな
部分を占めるので、仕切壁が設置されるとこの仕切壁は
固定具からの光の伝わりを妨げる。要するに、全てのフ
ァシリティは、互いに干渉若しくは妨害し合いそして空
気循環及びフィルタ・システムの機能を妨害する。

【０００７】クリーン・ルーム内の最高の空気量が、空
気分配のためのプレナムを使用するシステムにより与え
られることが又知られている。プレナムとは、閉じた空
間の空気圧を外部の大気圧よりも高くして強制換気をす
る装置を指す。これらのプレナムは、逆Ｕ字型の断面を
有する箱状の構造として一般に知られているプレナム・
モジュールから構成されるのが望ましく、この結果底部
は、フィルタ材料及び例えばダンパのような他の空気流
調整装置を受け入れるように開かれている。プレナム・
モジュールの底部は互いにボルトで留められて、クリー
ン・ルームの領域の上に延びる１つ以上のプレナム若し
くはダクトを形成する。プレナム・モジュールの側面に
は、フィルタを取り付けられる若しくはプレナム・モジ
ュール相互間で空気を流通させるための開口が形成され
ることが出来る。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】この様にプレナム・モ
ジュールにより形成されたプレナム若しくはダクトは、
クリーン・ルームの空気分配システムの主要な構造部分
を形成し、そしてフィルタ・エレメント（並びにダンパ
及び他の空気流制御装置）を支持する。同時に、プレナ
ムは、例えばプレナム・モジュールの少なくとも内壁上
の焼き付けられたポリウレタン皮膜（汚染物を放出しな
い）のような表面内に循環空気を封じ込める。従って、
例えばドリルにより孔開けをしてこれにファシリティを
通すようなプレナム若しくはプレナム・モジュールの改
修は望ましくない。プレナム・モジュールが省略された
場合、ファシリティへのアクセスをするための領域は、
上述の所望の空気の流れのパターンを乱す。更に、この
様な領域を生じるためのプレナム・モジュールの省略
は、プレナム・アッセンブリの構造的一体性を減少す
る。

【０００９】他の方法は、空気の供給及びフィルタのパ
フォーマンスを折衷したプレナム・モジュールの修正を
必要とし、そしてこれは構造的一体性に影響を与える。

【００１０】更に、従来知られているプレナム及びプレ
ナム・モジュールは、修正することなしに小雰囲気区画
を形成するのに適した構造を与えず、そして小雰囲気区
画を簡便的に変更し得ない。上述の如く、仕切壁は、空
気フィルタ・システムにより占められていない天井位置
にのみ取り付けられることが出来る。かくして、或る領
域にファシリティが集中すると、仕切壁を天井に取り付
けるための位置を制限する。同時に、ファシリティが集
中すると、光の分布の一様性を損ない、そして仕切壁の
取り付け位置が制限されると、仕切壁が、光の分布等の
ファシリティ若しくは空気の循環及びフィルタ作用と相
互干渉を起こす。

【００１１】通常、小雰囲気区画は、他と異なる空気流
を使用する領域を他の領域と分離するために形成される
ので、仕切壁の配置がこれら異なる空気流の領域相互間
の境界に正確に沿ってなされない場合には、汚染された
空気が天井の近くに浮遊（ｅｎｔｒａｉｎｍｅｎｔ）若
しくは滞留しがちである。特に、空気流の分布は、ファ
シリティの集中している場所で乱されるので、汚染され
た空気の浮遊が確実に生じ、そしてこれらの領域からの
仕切壁の釣り下げにより悪化される。仕切壁の支持を床
からのみ行うことは問題を解決しない。その理由は、こ
れの上端エッジが横方向において不安定であり、そして
これらに位置が正確に保たれないからである。更に、天
井及び空気流入口からの間隔が一定となり、これが汚染
空気の浮遊を増大する。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明の目的は、ファシ
リティの分布を与えるクリーンルームのためのモジュラ
ー・プレナム型の空気分配構造を提供することである。

【００１３】本発明の他の目的は、空気の流れのパター
ン、ファシリティ及び小雰囲気区画の間の干渉が固有的
に非常に制限され若しくは殆ど除去されるモジュラー・
プレナム型の構造システムを提供することである。

【００１４】本発明の他の目的は、ほぼ平坦な下側表面
を有し、この表面からファシリティに必要な構造物が突
き出ることがなく、ファシリティを設置するに当たりそ
して仕切壁を釣り下げる等の構造的接続を行うに当たり
これらを均質的になすことが出来る天井構造システムを
提供することである。

【００１５】本発明の他の目的は、空気の循環パターン
と、例えば照明装置及び消火装置のようなファシリティ
の分散配置に対する干渉を固有的に最小に保ちながら、
小雰囲気区画の仕切壁の懸架を行える構造を提供するこ
とである。

【００１６】本発明に従うプレナム装置は、内方に向か
って段付けされた部分を下端に有する少なくとも一つの
側壁と、 上記段付けされた部分に形成され、該段付け
された部分の内側で少なくとも一つの上に開いた溝を形
成する溝部材とを有する。

【００１７】上記段付けされた部分は、上記側壁の下端
から横に延びる第１部分及び該第１部分から下方に延び
る第２部分を有し、上記溝部材は、上記第２部分の下側
に取り付けられ、上記第２部分の内側及び外側で上方に
開いた２つの溝を形成する。

【００１８】本発明に従うプレナム装置は、少なくとも
３つの側壁を有し、該３つの側壁は閉ざされた多角形を
形成するように互いに接続され、上記３つの側壁の下端
の上記第２部分の内側の上記上方に開いた溝は互いに連
結された溝を形成する。

【００１９】本発明に従うプレナム装置は、少なくとも
３つの側壁を有し、該３つの側壁は閉ざされた多角形を
形成するように互いに接続され、上記３つの側壁の下端
の上記第２部分の外側の上記上方に開いた溝は互いに連
結された溝を形成する。

【００２０】本発明に従うプレナム装置は、上記側壁に
接続された上壁及び該上壁を貫通しそして上記第１部分
を貫通する導管を有する。

【００２１】上記少なくとも３つの側壁で囲まれた空間
内に、空気フィルタ装置がこれの取り付け具を上記互い
に連結された溝内に収容されて取り付けられており、該
溝内には上記取り付け具及び該溝の間の気密を保つため
のゲル状のシール材が充填されている。

【００２２】本発明に従うクリーン・ルームのための天
井装置においては、内方に向かって段付けされた部分を
それぞれ下端に有する複数個の側壁と、上記段付けされ
た部分に形成され、該段付けされた部分の内側で少なく
とも一つの上に開いた溝を形成する溝部材と、上記側壁
に設けられた連結手段とを有するプレナム・モジュール
装置が複数個上記連結手段により互いに連結され、該連
結されたプレナム・モジュールの上記側壁の下端の段付
けされた部分同士が下方に開いた溝を形成する。

【００２３】

【実施例】図１を参照すると、本発明に従うプレナム・
モジュール１０が示されている。プレナム・モジュール
の全体的な形は下側が開いた逆Ｕ字型であり、そしてこ
こに点線２０で示した空気制御装置がこのプレナム・モ
ジュール内に挿入される。空気制御装置の下端は、モジ
ュールのこの下側が開いた構造の下の面と一致してい
る。プレナム・モジュールは、例えば焼き付けられたポ
リウレタンのような安定で且つ非放出性の（ｎｏｎ−ｓ
ｈｅｄｄｉｎｇ）表面被覆で覆われたシート状スチール
で製造されることが望ましい。プレナム・モジュールの
側壁は開かれていても若しくは閉ざされていてもよく、
但しもしも側壁１２が開かれたいるならば、比較的広い
フランジ１４がこの開口（点線１２’により示されてい
る）を枠ずけすることが望ましい。これは、複数個のモ
ジュールの端部即ち側壁同士をボルトで接続して構造的
に高い強度の且つ一体性のボックスを格子状に形成する
際の構造的強度を与えそしてこのためのボルトの開口の
ためのスペースを与える。この格子状に組み立てられた
構造は、天井領域の全体若しくは所望の部分に亘り、複
数個のボックスが互いに連結されて例えば直交方向のよ
うな或る角度で交差する方向に延びてボックスのビーム
を形成するので、強度が高くそして堅固である。クリー
ン・ルームを構成する部屋の天井にプレナム・モジュー
ルを繰り返し的に即ち周期的に取り付ける（若しくは釣
り下げる）ための開口若しくはブラケット（図示せず）
が、上面１６に設けられることが出来る。これらの開口
が設けられる場合には、全ての開口は、表面被覆を付け
る前に形成されることが望ましく、これによって、プレ
ナム・モジュールの材料は、完全にシールされそして保
護されることが出来る。

【００２４】本発明に従うと、プレナム・モジュールの
側面即ち側壁の下端には、この側壁から内方に向かって
段づけされた２つの段部１８及び１８’が形成されてお
り、そして後者の段部は、上方に面した溝２４を形成す
るための上方に曲げられたフランジ２２を含むことが望
ましい。この上方に面した溝２４に、上方に開いたＵ字
型の溝部材２６が望ましくは溶接により取り付けられて
いる。溝部材２６はプレナム・モジュール１０の下端を
補強し、そして上方に曲げられたフランジ２８により追
加の溝３０を形成するように、溝２４の外側寸法よりも
広いことが望ましい。溝部材２６はプレナム・モジュー
ル１０の残りの部分と同じシート・メタル材料で形成さ
れるのが望ましいが、引き抜き若しくは圧延された材料
で形成されてもよい。上方に曲げられたフランジ３２の
上端とフランジ２２の上端とが同一面になるように、フ
ランジ３２はフランジ２２よりもこのプレナム・モジュ
ールの厚さだけ長いことが望ましい。溝部材２６の幅
は、溝２４の外側寸法よりもわずかに広いことが望まし
く、そしてフランジ２８は、溝２４が比較的広く且つ深
くなるように一方溝３０が比較的狭く且つ浅くなるよう
にフランジ３２よりも短いことが望ましい。これらの相
対的寸法は、各溝が支持する構造及び機械的ジョイント
の特性に適合するように選ばれている。特に、溝２４
は、これにより支持される構造物との間で気密なジョイ
ントを形成しなければならない。その理由はこれがプレ
ナム・モジュールの内部に配置されるからである。一
方、溝３０はプレナム・モジュールの外側になるのでこ
れを必要としない。

【００２５】プレナム・モジュール１０は又、１つ以上
の導管１５０を含むことが望ましい。

【００２６】導管１５０はプレナム・モジュールの開口
を通って挿入され、そして導管１５０の周囲の空隙は溶
接により閉ざされる即ち気密にされることが望ましい。
導管１５０の先端にスプリンクラー・ヘッドを取り付け
る場合には点線で示すように導管が溝１２０内に或る長
さだけ突き出ることが望ましい。本発明によると、プレ
ナム・モジュールは、保守要員が天井構造の上のファシ
リティを保守できるように十分な高さの溝をファシリテ
ィの床に形成するように十分に堅固である。かくして、
本発明に従う天井構造は、クリーン・ルームを取り囲む
構造内のうちの下側のクリーン・ルーム及び上側のファ
シリティの溝の間の気密なバリアを与える。個々のプレ
ナム・モジュールにはかくして必要に応じてファシリテ
ィが設けられることが出来る。

【００２７】図２を参照すると、横方向即ちエンド・ツ
ゥ・エンドの方向に結合された２つのプレナム・モジュ
ールの組立体が示されている。簡略化のために、２つの
横方向に隣接するプレナム・モジュール１０ａ及び１０
ｂの側壁１２の部分だけが示されている。エンド・ツゥ
・エンド・ジョイントはほぼ同じであることが望ましい
が、プレナム・モジュールの長さ対幅の比が２：１若し
くは３：１であるので、２つの接続が互いに異なりう
る。しかしながら、モジュールの寸法は本発明の実施に
おいてあまり重要ではない。これらのモジュールはボル
ト１１０及びナット１１２により互いに結合されること
が望ましい。この様な複数個のモジュールは、天井の出
来るだけ大部分に亘って格子状に延びる１つ以上のプレ
ナムから成るネットワークを形成する。プレナム・モジ
ュールのシート材料上の被覆に対する損傷を避けるため
にワッシャを使用することが望ましい。

【００２８】かくして、プレナム・モジュール１０ａ及
び１０ｂが互いに取り付けられると、隣接する２つのプ
レナム・モジュールのそれぞれの下端の第１の内方に延
びる段部１８（図１）は、天井の表面１２２の上の位置
でくぼまされ且つ下方に開いた溝１２０を形成する。格
子状に延ばされた複数個のプレナムのアッセンブリにお
いては、上述のように、これらの溝１２０は又、プレナ
ム・モジュールにより覆われる面積全体に亘って周期的
に延びる格子状の溝のアレイを形成する。かくして、フ
ァシリティはプレナム・モジュールに個別的に設けられ
ることもでき、若しくはファシリティを溝１２０内に走
らせることもできる。汚染物が集まる表面が存在するこ
とをなくするために、例えばスプリンクラー１５２が導
管１５０によりプレナム・モジュールに個々に設けられ
ることが出来、そして必要に応じて例えばスプリンクラ
ー・システムのパイプ１５２及びノズル１５４で示され
るように天井の表面１２２にまで延ばされることが出来
る。同様に、蛍光灯１４０のような照明が溝内に引っ込
んだ位置に設けられることが出来る。構造を簡単にする
ためそしてこの構造の保守を簡単にするために、照明の
固定器具はプレナム・モジュール相互間のジョイントを
横切って延びないことが望ましい。又、電気を分配する
装置が溝内に設けられることが出来、そして配線は導管
１５０（シールされている）を通って引き回されること
が出来る。

【００２９】かくして、溝部材２６は、プレナム・モジ
ュール（例えば１０ａ及び１０ｂ）の側面１２により形
成されるウエブにより釣り下げられ、そしてこれは、チ
ャネル２４の底部におけるフランジ２２及び３０の材料
の二重構造に基づき相当な構造的強度及び堅固性を有す
ることが明らかである。従って、この構造的ネットワー
クは、相当な重量の空気制御装置２０を支持することが
出来る。この空気制御装置は、図２において、フィルタ
２０’（フェイス・ガードを有するＨＥＰＡフィルタが
望ましい）及び空気流の体積を調整するためのダンパ２
０”（例えば調整可能な羽板）として示されている。こ
れら２０’及び２０”の両方は、フランジ１１４で支持
されており、そしてこのフランジは、フィルタのフェイ
ス・ガードを天井の表面１２２と同一面にするような寸
法にされることが望ましい。

【００３０】フランジの周りには気密シールがゲル・シ
ールにより形成され、そしてこのゲル・シールは溝２４
内に含まれそして粘着性に基づいて流れて信頼性のある
シールを維持する。更に捕捉すると、図３の斜視図に示
すように、溝２４はプレナム・モジュール１０の内側の
周辺に沿って形成されて閉じた形の矩形状に延びる溝を
構成する。所望される場合には、スチールの一枚パネル
１８０が同様にはめ込まれる。

【００３１】上述の説明から、プレナム・モジュールの
上記の構造は、空気フィルタ及び制御構造を含む平坦な
天井を実現し、ここで、ファシリティを分布させるため
のネットワークは天井の表面１２２の上側に引っ込めら
れ、かくして空気の分布に影響を与えず、即ち水平方向
に延びる表面を与え、これにより汚染物粒子は空気の流
れのパターンの影響のもとに捕捉されることが出来る。
更に、天井の平面１２２の上側にファシリティを引っ込
めることにより、ファシリティは機械的損傷から著しく
保護される。これらの特徴は、従来知られていたプレナ
ム型の天井構造に勝る著しい改善を実現するが、本発明
の溝部材２６及びボックス・ビーム格子は天井構造によ
る他の構造物の支持を可能にする。

【００３２】特に、図２を参照すると、小雰囲気室区画
構造がブラケット１３０により溝３０から釣り下げられ
ることが出来、そしてこれは、フランジ２８に沿った任
意の所望位置に置かれることが出来る。図４の斜視図に
示すように、ブラケット１３０はステンレス・スチール
であることが望ましい相当堅固な板２００で形成される
のが望ましい。これの全体的な形はＶ字型であり、そし
て開口２３０を通るステンレス・スチールのアイ・ボル
ト１３２（図２）を受けるようにその底部２２０は平坦
である。板２００の両端には、この図４で想像線で示さ
れている溝３０及びフランジ２８に係合するためのフッ
ク部分２１０が設けられている。

【００３３】ブラケット１３０から釣り下げられ得る小
雰囲気区画の良好か型が図２に示されている。この小雰
囲気区画の周囲壁は、陽極酸化されたアルミニウムの矩
形状の管により形成されるのが望ましいフレーム１３６
のより限定されている。酸化による表面処理は、アルミ
ニウムの酸化を防止し、そしてフレームが汚染物質粒子
の放出源となることを防止する。アルミニウムがその軽
重量のために望ましいが、例えばステンレス・スチール
のような他の材料を使用することが出来る。幾つかの材
料は、表面を安定化させるために例えば焼き付けられた
ポリウレタンのような表面処理を必要とする。図５に示
す仕切壁シート即ちパネル１３８は、約６．３ｍｍの厚
さのポリカーボネート材料のシートで作られることが望
ましいけれども、材料が汚染物質粒子の源とならない限
り、材料及びその厚さは本発明の実施に関係がない。

【００３４】ポリカーボネート・パネル１３８をフレー
ム１３６にボルト１３４で留めて天井構造に取り付ける
前に、小雰囲気区画が組み立てられることが望ましい。
ボルト１３４は、ステンレス・スチールのアイ・ボルト
１３２に留められており、そしてこれはブラケット１３
０から小雰囲気区画の仕切壁を釣り下げるのに使用され
る。次いでアイ・ボルト１３２がブラケット１３０に取
り付けられ、そしてフック部分２１０を溝３０のフラン
ジ２８に係合させることにより、この小雰囲気区画が天
井構造から釣り下げられる。

【００３５】仕切壁１３８、フレーム１３６及びアイ・
ボルト１３２の組立は、小雰囲気区画の周囲の周りの仕
切壁のズレを与え、そしてこのズレは段部１８（図１）
の水平方向の寸法にほぼ等しい。このズレは他の方法に
より与えられることが出来るが、この位置決めは原理的
にはフレーム部材１３６の幅の関数である。フレーム部
材１３６は又溝の中心からズレており、そしてここから
の陰は仕切壁上に全体的に落ち、かくして照明に影響を
与えない。ファシリティが小雰囲気区画の内部若しくは
外部に設けられるかに依存して、フレーム１３６はこの
小雰囲気区画の内部若しくは外部に設けられることが出
来、そして仕切壁の寸法は標準寸法に留められうる。か
くして、仕切壁は空気フィルタ及びダンパの間の格子の
みに沿い、かくして空気流量が変えられる場所に配置さ
れる。釣り下げ即ち懸架は、上部において一定な小さな
ギャップ即ち間隙（ブラケット１３０の設置を容易にす
るためのフランジ２２、３２の高さと同様）を維持す
る。この様な配置は、天井の近くの汚染空気の浮遊を殆
ど排除する。

【００３６】本発明に従うプレナム・モジュールは、ク
リーン・ルームのための施設（ｃｌｅａｎ ｒｏｏｍ
ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔ）とファシリティを配置する溝
（ｆａｃｉｌｉｔｉｅｓ ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ
ｃｈａｓｅ）との間に、構造的強度及び堅固さが高い気
密バリアーを形成するように横方向に互いにボルトで連
結され得る単一型のモジュールを提供することが明かで
ある。例えばスプリンクラー、電気分配ハードウエア及
び照明設備等のファシリティは、くぼまされた溝内に収
容され、そしてこれらの溝は、互いに干渉せず若しくは
クリーン・ルームのための良好な空気の流れのパターン
を乱さない。モジュラー・プレナム構造は又、空気フィ
ルタ及び空気制御ダンパー並びに小雰囲気区画を形成す
るための仕切壁を支持することが出来、そしてこれらの
仕切壁は容易に移動され且つ取り替えられ、そして特に
ファシリティの設置及び照明効果に悪影響を及ぼさな
い。小雰囲気区画の仕切壁の位置は、クリーン・ルーム
の天井の近くに汚染空気が浮遊するのを殆ど排除する。

【００３７】総括的に述べると図５の斜視図に示すよう
に、本発明に従いプレナム・モジュールから組み立てら
れて完成された天井は、ほぼ平坦な天井構造であり、そ
してこれのほぼ全面積はフィルタ及び空気流制御装置２
０で覆われており、そして照明取り付け具１４０及びス
プリンクラー・システム１５４は、下側に向かって開い
た溝内にくぼまされた状態で収容される。これらの溝は
天井の面積に亘って格子状パターンに延ばさせており、
かくしてファシリティも同様に天井の面積全体に亘って
均一的に分布されることが出来る。ファシリティは溝内
に互いに離されて且つ隣接して装着されるので、これら
は互いに干渉せずそして空気の流れのパターンを乱さな
い。同様に、溝部材２６の格子パターンは、各空気制御
装置２０のフィルタ（若しくは一枚パネル１８０）を取
り囲み、そしてブラケット１３０により例えば仕切り壁
１３８がこの格子状にめぐらされた溝部材２６に、空気
の流量若しくは流速が互いに異なる領域相互間の境界に
対応する位置で釣り下げられることが出来、かくして汚
染空気の滞留若しくは浮遊を殆ど防止することが出来
る。更に、小雰囲気区画２００を形成する仕切壁１３８
をブラケット１３０及びフレーム１３６の組み合わせに
よってズラせて装着することにより、空気の流れのパタ
ーンを乱さずそして、照明若しくは消火用のスプリンク
ラー・システム１５４のようなファシリティの分布若し
くは配置が仕切り壁１３８により悪影響されない。ブラ
ケット１３０でさえも照明に対して影響を与えない。そ
の理由はこれらが一般にモジュールの角の近くに配置さ
れそして殆どの場合照明器具を横切らないからである。
ブラケットが照明器具の一部分を横切って即ち遮って配
置される場合にも、ブラケットは幅が比較的狭い蛍光灯
の長手方向に垂直な方向に延びるので、クリーン・ルー
ムの作業領域に悪い陰を投影しない。

【００３８】本発明の原理を説明してきたので、図６を
参照して本発明の実施例を説明する。

【００３９】図６は、図１に示したのと同様な単一のプ
レナム・モジュールの断面図であり、そして図１で使用
してと同じ参照番号が部分的に使用されている。モジュ
ールの横の側壁の構成は上述の構造と同じであり、そし
て隣接するモジュールへの取り付けも又図２に示すのと
同じである。従ってこれら同じ部分についての説明は省
略する。

【００４０】このプレナム・モジュールの良好な型が前
述のと相違する点は、フィルタ及びダンパに対する寸法
であり、そしてスプリンクラー・システムの一部を構成
する導管１５０’が配列されていることである。図６に
は具体的に示されていないが、商業的に入手可能なフィ
ルタの形状は図５に示すように長方形である。プレナム
・モジュールの製造に必要な材料及びこれの設置に必要
な労働量の観点から見ると、プレナム・モジュールが複
数個のフィルタを支持できるような寸法で製造される場
合には、組み立てられた構造の強度及びパフォーマンス
を悪化することなく、相当な節約が実現されうることが
判った。４ｘ４の格子アレイが特によいことが判った。

【００４１】これらフィルタ・モジュールを支持し、そ
してこの大きなモジュールを横切って照明及びスプリン
クラーを引っ込んだ位置に取り付けるために、追加の溝
部材６００のネットワークを有するモジュールのそれぞ
れの開いた下側の面に追加の格子が形成される。これら
の追加の溝部材６００は、略Ｈ字型の押し出し加工金属
部材に一体的に形成されることが望ましく、そしてこれ
の水平部分の中央に直立ウエブ６１０が形成される。直
立するウエブは、モジュールの上側表面１６からの懸架
を、大きな寸法の上端６２０により補強する。このウエ
ブによる補強は、本発明が、プレナム・モジュールの下
側部分のみに対応する格子モジュールを有する非プレナ
ム・システムにおいて実施される場合にもこれに対して
行われうる。溝部材６００の外側の上方に延びる脚部は
上方に開いた溝６３０を形成し、そしてここにはフィル
タ・モジュール２０のフランジ１１４’に対して気密シ
ールを形成するためのゲル・シールが入れられる。

【００４２】図５に示す実施例において、消化システム
のスプリンクラー・ヘッド１５４が溝の中心からずれて
且つ照明器具の端部に装着される。スプリンクラー・ヘ
ッドが天井からわずかに突出される時でさえもスプリン
クラーの分布に適切でないこの中心から外れた位置決め
は、図１の小型のプレナム・モジュールの横の側面に溝
を形成することにより効果的に使用される。又、電気的
な取り付け具を水源若しくは液状の消化化学剤に近づけ
ることも望ましくない。更に、一つのスプリンクラー・
ヘッドがカバーする面積は、一つのフィルタ・モジュー
ルがカバーする面積よりも相当大きく、従って図５に示
すスプリンクラー設置間隔は幾分過度であるかもしれな
い。又、照明器具の設置状況は所望されるよりも明るい
照明レベルを与える。良好な実施例においては、溝部材
６００を使用することにより、スプリンクラー・ヘッド
１５４は溝の中央には位置され、そして格子状の溝６０
０の交差点の間にそしてこの格子の一つの座標軸方向の
みに沿って配置される。スプリンクラー・ヘッド１５４
及び照明器具１４０の間を分離するために、照明器具は
格子の他の座標軸方向のくぼまされた溝内に配置される
ことが望ましい。この様にスプリンクラー・ヘッドの配
置をパターン化すると、更に長い蛍光灯を用いる照明取
り付け具を使用できる。かくして、格子パターンが４ｘ
４に細分割されたプレナム・モジュールを有する本発明
の良好な型においては、各プレナム・モジュールごと
に、２つの導管１５０’がスプリンクラー・システムに
対して設けられ、そして６若しくは８つの導管１５０が
電気的配線の引き回しのために設けられる。

【００４３】上述のように、プレナム・モジュールを使
用する本発明の実施例は、クリーンルームにおける使用
に適するが、本発明は又非プレナム天井システムにも使
用されうる。本発明の利点即ち空気流のパターン、ファ
シリティ及び小雰囲気区画の間の相互不干渉は、構造
が、図６の線６６０よりも下側の構造即ち格子モジュー
ルの組立のためのフランジ１４’を残したものに制限さ
れる場合にも達成される。

【００４４】上述の説明から当業者により明らかな如
く、本発明の範囲内で変形及び修正が可能である。特に
良好な構造が図７に示されている。図７は、図２と同様
な断面図である。従って、図１及び図２の同じ参照番号
が図７でも使用され、又２００だけ加算された参照番号
が使用されている。

【００４５】図７は、溝部材２６の形及び配置の点で図
２の実施例と異なる。モジュール（例えばプレナム・モ
ジュール若しくは格子モジュール）の側面１２の内方に
向かう段部１８は、２１８’及び２２２に於いて内方に
ではなく外方に曲げられている。溝部材２６は、内方に
向かう段部１８の下のエッジにではなく上方に配置され
ており、そしてゲル・シールを収容するための上方に開
いた溝を形成する。この構造は図１及び図２のよりもい
くらか優れている。その理由は、モジュールの外側上の
溝がモジュールと一体的に形成され、そしてモジュール
１０ａ及び１０ｂの側面の内方に向かう段部１８及び溝
部材２６の間のジョイントがここでは圧縮されているか
らである。この構造はわずかに優れている。その理由
は、モジュール構造により占められる天井表面の面積２
１８’が減少され、そして断面形状が図６の実施例の各
モジュールの格子の溝部材６００を形成する突出部に似
せられるからである。

【００４６】上述の実施例に対して変更を加えることが
出来る。例えば、内方に向かう段部は隣接するプレナム
・モジュールの両方の側面に非対称的に設けられ若しく
は一方の側面のみに設けらっれることが出来、その結
果、下方に開いた溝は、一対のモジュールの下側で分割
されるのではなく、一つのモジュールだけに設けられる
ことが出来る。これは保守の点でいくらかの利点を有す
るが、非対称的な構造及び内方に向かう段部に形成され
る延長された片持部材は、例えば小雰囲気区画のような
ものを懸架するにはわずかに強度が弱くなる。

【００４７】

【発明の効果】空気の流れのパターン、ファシリティ及
び小雰囲気区画の間の干渉が固有的に非常に制限され若
しくは殆ど除去されるモジュラー・プレナム型の構造シ
ステムを実現することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に従うプレナム・モジュールの断面図で
ある。

【図２】本発明に従うプレナム構造の２つのプレナム・
モジュールを横方向に接続した断面図である。

【図３】プレナム・モジュールの斜視図である。

【図４】図２のブラケット１３０の斜視図である。

【図５】本発明に従って構成された天井構造の下側表面
の斜視図である。

【図６】本発明に従うプレナム・モジュールの良好な型
を示す図である。

【図７】本発明の他の実施例を示す図である。

【符号の説明】

１０・・・プレナム・モジュール １２・・・側面 １２’・・開口 １４・・・フランジ １６・・・上面 １８・・・段部 ２０・・・空気制御装置 ２２、３２・・・フランジ ２４、３０・・・溝 ２６・・・溝部材 ２８・・・フランジ １２２・・・天井の表面 １３０・・・ブラケット １３６・・・フレーム １３８・・・仕切壁 １５０・・導管

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】内方に向かって段付けされた部分を下端に
   有する少なくとも一つの側壁と、 上記段付けされた部分に形成され、該段付けされた部分
   の内側で少なくとも一つの上に開いた溝を形成する溝部
   材とを有するプレナム・モジュール装置。
2. 【請求項２】上記段付けされた部分は、上記側壁の下端
   から横に延びる第１部分及び該第１部分から下方に延び
   る第２部分を有し、上記溝部材は、上記第２部分の下側
   に取り付けられ、上記第２部分の内側及び外側で上方に
   開いた２つの溝を形成することを特徴とする請求項１の
   プレナム・モジュール装置。
3. 【請求項３】少なくとも３つの側壁を有し、該３つの側
   壁は閉ざされた多角形を形成するように互いに接続さ
   れ、上記３つの側壁の下端の上記第２部分の内側の上記
   上方に開いた溝は互いに連結された溝を形成することを
   特徴とする請求項２のプレナム・モジュール装置。
4. 【請求項４】少なくとも３つの側壁を有し、該３つの側
   壁は閉ざされた多角形を形成するように互いに接続さ
   れ、上記３つの側壁の下端の上記第２部分の外側の上記
   上方に開いた溝は互いに連結された溝を形成することを
   特徴とする請求項２のプレナム・モジュール装置。
5. 【請求項５】上記側壁に接続された上壁及び該上壁を貫
   通しそして上記第１部分を貫通する導管を有することを
   特徴とする請求項２のプレナム・モジュール装置。
6. 【請求項６】上記少なくとも３つの側壁で囲まれた空間
   内に、空気フィルタ装置がこれの取り付け具を上記互い
   に連結された溝内に収容されて取り付けられており、該
   溝内には上記取り付け具及び該溝の間の気密を保つため
   のゲル状のシール材が充填されていることを特徴とする
   請求項３のプレナム・モジュール装置。
7. 【請求項７】内方に向かって段付けされた部分をそれぞ
   れ下端に有する複数個の側壁と、 上記段付けされた部分に形成され該段付けされた部分の
   内側で少なくとも一つの上に開いた溝を形成する溝部材
   と、上記側壁に設けられた連結手段とを有するプレナム
   ・モジュール装置が複数個上記連結手段により互いに連
   結され、該連結されたプレナム・モジュールの上記側壁
   の下端の段付けされた部分同士が下方に開いた溝を形成
   することを特徴とするクリーン・ルームのための天井装
   置。