KR20120033499A

KR20120033499A - Imprint apparatus

Info

Publication number: KR20120033499A
Application number: KR1020100095047A
Authority: KR
Inventors: 김덕수; 박춘성; 최정욱; 서주환; 최윤희
Original assignee: 주식회사 디엠에스
Priority date: 2010-09-30
Filing date: 2010-09-30
Publication date: 2012-04-09
Anticipated expiration: 2030-09-30
Also published as: KR101156194B1

Abstract

기판과, 스템프를 합착, 분리하면서 임프린트 작업을 간편하게 진행할 수 있는 임프린트 장치를 개시한다.
이러한 임프린트 장치는, 기판이 놓여지는 스테이지와, 기판과 대응하는 임프린트면을 구비하고 이 임프린트면이 기판을 향하는 상태로 상기 스테이지 위쪽에 배치되는 스템프와, 상기 스템프 위쪽에서 이 스템프의 대향하는 가장자리 내에 복수 개가 배치되어 상기 스테이지의 기판과 대응하는 상태로 상기 스템프를 잡아줄 수 있도록 형성된 홀더들로 구성되는 홀더부와, 상기 홀더부의 홀더들 사이사이를 상,하 방향의 유격을 갖는 끼움 결합으로 잡아주면서 상기 스템프의 대향하는 가장자리 사이를 연결하는 상태로 상기 홀더들을 고정할 수 있도록 형성된 연결구들로 구성되는 플렉시블 연결수단 그리고, 상기 플렉시블 연결수단의 전체 연결구간 중에서 가운데 부분이 아래로 처진 연결 상태를 이루면서 위로 들어올려질 수 있도록 구동하는 제1 구동부를 포함한다.An imprint apparatus that can easily proceed an imprint operation while bonding and separating a substrate and a stamp is disclosed.
Such an imprint apparatus includes a stage on which a substrate is placed, an imprint surface corresponding to the substrate, and a stamp disposed above the stage with the imprint surface facing the substrate, and within the opposite edge of the stamp above the stamp. A plurality of holders are arranged to hold the stamp in a state corresponding to the substrate of the stage and the holding portion between the holders of the holder portion between the holder portion by holding the fitting coupling having a clearance of up and down direction Flexible connection means consisting of connectors formed so as to secure the holders in a state of connecting between the opposite edges of the stamp, and the center portion of the entire connection section of the flexible connection means sagging down A first driven to be lifted up It includes a drive unit.

Description

Imprint apparatus

본 발명은 평판표시소자용 기판의 임프린트(imprint) 작업을 간편하게 행할 수 있는 임프린트 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an imprint apparatus that can easily perform an imprint operation of a substrate for a flat panel display element.

평판표시소자용 기판의 제조시 각종 기능성 패턴(예: 식각 및 비식각 영역)들을 형성하는 방법 중에는 임프린트(imprint) 작업 방식이 널리 알려져 있다.In the method of forming various functional patterns (eg, etched and non-etched regions) in manufacturing a substrate for a flat panel display device, an imprint working method is widely known.

이러한 임프린트 작업에는 주로 평판형의 스템프(stamp)를 구비한 임프린트 장치가 사용되며, 이 장치는, 대부분 스템프 아래쪽에 기판이 놓여지는 스테이지가 위치되어, 상기 스템프 또는 상기 스테이지가 상,하 방향으로 움직일 때 스템프와 기판이 서로 합착 및 분리되는 동작으로 임프린트 작업이 진행될 수 있도록 형성된다.In such an imprint operation, an imprint apparatus having a flat stamp is mainly used. In this apparatus, a stage on which a substrate is placed is placed mostly under the stamp, and the stamp or the stage moves in the up and down direction. When the stamp and the substrate is bonded to and separated from each other is formed so that the imprint operation can proceed.

그리고, 상기 임프린트 장치는 상기 스템프와 대응하는 홀더부를 구비하고 있으며, 이 홀더부는 흡착력으로 스템프를 평탄하게 잡아줄 수 있도록 형성된다.The imprint apparatus includes a holder portion corresponding to the stamp, and the holder portion is formed so as to grasp the stamp evenly by the attraction force.

즉, 상기한 홀더부는 주로 복수 개의 홀더(진공패드)들로 구성되어 이 홀더들로 스템프의 윗면(백플레이트)을 한 군데 이상 진공 흡착력으로 분리 가능하게 잡아줄 수 있는 구조로 이루어진다.That is, the holder part is mainly composed of a plurality of holders (vacuum pads), and the holders have a structure capable of separably holding the upper surface (back plate) of the stamp by one or more vacuum suction forces.

이러한 임프린트 장치의 구조 및 작업 방식에 의하면, 특히 기판과 합착된 상태의 스템프를 상기 홀더들로 잡아당기면서 기판으로부터 분리할 때 상기 스템프가 스트레스를 받지 않는 안정적인 상태로 분리 작업을 진행하는 것이 매우 중요하다.According to the structure and working method of such an imprint apparatus, it is particularly important to perform the separation work in a stable state where the stamp is not stressed when detaching from the substrate while pulling the stamp bonded to the substrate with the holders. Do.

하지만, 기판에서 스템프를 분리하는 작업은 대부분 홀더들로 스템프를 평탄하게 잡아 준 상태에서 전체면을 한 번에 잡아당기면서 일괄 분리하는 방식으로 진행되므로 여러 가지의 문제가 발생할 수 있다.However, most of the separation of the stamp from the substrate is carried out in a manner that is separated by pulling the entire surface at a time while the stamp is held flat with the holders in a batch to cause various problems.

예를 들어, 기판과, 스템프의 합착면 사이에는 약액(예: 에칭레지스트)의 접착력이 작용하므로 스템프 전체면을 평탄하게 잡아준 상태로 한 번에 일괄 분리하면 저항력이 커져서 기판은 물론이거니와, 스템프 및 패턴층(약액층)이 비정상으로 변형되거나 파손되는 현상을 초래할 수 있고, 이로 인하여 과다한 불량 품질이 발생할 수 있다.For example, the adhesive force of a chemical liquid (for example, an etching resist) acts between the substrate and the bonding surface of the stamp, so if the entire surface of the stamp is held flat and separated at once, the resistance is increased to increase the resistance as well as the substrate. The pattern layer (chemical liquid layer) may be abnormally deformed or damaged, thereby causing excessive defect quality.

더욱이, 상기한 현상들은 대면적(大面積) 기판과, 스템프를 분리할 때 더욱 심각하게 발생하는 것으로 알려져 있으므로 종래의 분리 방법이나 구조로는 점차 대면적화 되어 가는 기판의 제조 라인에 적극적으로 대응하기 어렵다.Moreover, the above phenomena are known to occur more seriously when separating a large-area substrate and a stamp, so that the conventional separation method or structure actively responds to the production line of the substrate, which is gradually becoming larger. it's difficult.

상기와 같은 일괄 분리 방식의 단점을 보완하기 위하여 예를 들어, 기판과 스템프의 합착면 가장자리 틈새를 향하여 유체(질소)를 분사하거나, 각각의 구동부(예: 스크류 잭과, 서보모터)들로 복수 개의 흡착홀더들의 위치나 배열을 개별적으로 제어하면서 스템프의 전체면 중에서 가장자리를 먼저 들어올린 후 가운데 지점을 순차적으로 들어올리는 이른바, 순차 분리 작업이 가능한 구조를 갖는 임프린트 장치들이 제시되고 있다.In order to compensate for the above disadvantages of the batch separation method, for example, a fluid (nitrogen) is injected toward the edge of the joint surface of the substrate and the stamp, or a plurality of driving units (eg, screw jacks and servomotors) are provided. Imprint apparatuses having a structure in which a so-called sequential separation operation can be performed by lifting the edge first from the entire surface of the stamp first and then sequentially lifting the edges while individually controlling the position or arrangement of the two suction holders are proposed.

그라나, 전자의 구조는, 유체를 분사할 때 각종 이물들이 쉽게 달라붙어서 심각한 오염을 유발할 수 있고, 후자의 구조는 흡착홀더들의 작동을 개별적으로 제어할 수 있도록 여러 개의 구동부를 설치해야 하므로 구조가 복잡하고 과다한 제작비와 유지보수 비용이 소요되는 또 다른 문제를 야기할 수 있다.However, the former structure is complicated because various foreign materials can easily stick to each other when injecting a fluid, causing serious pollution, and the latter structure has to be equipped with several driving units to individually control the operation of the suction holders. This can lead to other problems, including excessive manufacturing and maintenance costs.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서,SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems occurring in the prior art,

본 발명의 목적은, 특히 기판과 합착된 상태의 스템프를 기판으로부터 안정적인 상태로 순차 분리할 수 있도록 형성된 임프린트 장치를 제공하는데 있다.It is an object of the present invention, in particular, to provide an imprint apparatus formed so as to sequentially separate a stamp in a state of being bonded to a substrate in a stable state.

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 실현하기 위하여,In order to realize the object of the present invention as described above,

기판이 놓여지는 스테이지;A stage on which the substrate is placed;

기판과 대응하는 임프린트면을 구비하고 이 임프린트면이 기판을 향하는 상태로 상기 스테이지 위쪽에 배치되는 스템프;A stamp having an imprint surface corresponding to the substrate and disposed above the stage with the imprint surface facing the substrate;

상기 스템프 위쪽에서 이 스템프의 대향하는 가장자리 내에 복수 개가 배치되어 상기 스테이지의 기판과 대응하는 상태로 상기 스템프를 잡아줄 수 있도록 형성된 홀더들로 구성되는 홀더부;A plurality of holders disposed at opposite edges of the stamp, the holders being configured to hold the stamp in a state corresponding to the substrate of the stage;

상기 홀더부의 홀더들 사이사이를 상,하 방향의 유격을 갖는 끼움 결합으로 잡아주면서 상기 스템프의 대향하는 가장자리 사이를 연결하는 상태로 상기 홀더들을 고정할 수 있도록 형성된 연결구들로 구성되는 플렉시블 연결수단;Flexible connection means consisting of connecting means formed to hold the holder in the state of connecting between the opposing edges of the stamp while holding between the holders of the holder portion in the fitting engagement having a clearance in the up, down direction;

상기 플렉시블 연결수단의 전체 연결구간 중에서 가운데 부분이 아래로 처진 연결 상태를 이루면서 위로 들어올려질 수 있도록 구동하는 제1 구동부;A first driving unit which drives a center portion of the flexible connection means to be lifted up while forming a connection state which sags downward;

를 포함하는 임프린트 장치를 제공한다.It provides an imprint apparatus comprising a.

이와 같은 본 발명은 특히 스템프와 대응하는 홀더부의 홀더들 사이사이를 상,하 방향의 유격을 갖는 끼움 결합 상태로 플렉시블하게 연결할 수 있도록 형성된 플렉시블 연결수단(연결구들)과, 이 플렉시블 연결수단의 전체 연결구간의 가운데 지점이 아래로 처진 상태(대략 "U"자 모양)로 들어올릴 수 있는 제1 구동부를 구비하고 있으므로, 기판에서 스템프를 분리할 때 이 스템프의 전체면 중에서 가장자리 부분을 먼저 들어 올리면서 점차 가운데 부분을 위로 잡아당기는 순차 분리 방식으로 스템프를 기판으로부터 안정적인 상태로 분리할 수 있다.In particular, the present invention provides a flexible connecting means (connectors) formed so as to be able to flexibly connect between the holder of the stamp and the holder of the corresponding holder in a fitted state having a clearance in the up and down directions, and the whole of the flexible connecting means. Since the center point of the connection section has a first driving part which can be lifted down (approximately "U" shaped), the edge part of the entire surface of the stamp is lifted first when removing the stamp from the substrate. The stamp can be removed from the substrate in a stable manner by sequential separation by pulling up the center portion.

그러므로, 본 발명은 예를 들어, 기판과 합착된 스템프의 전체면을 홀더들로 잡아 당기면서 대략 평탄한 상태로 일괄 분리하는 방식으로 스템프의 분리 작업을 진행할 때 발생할 수 있는 문제들을 방지할 수 있다.Therefore, the present invention can prevent problems that may occur when the detachment work of the stamp is carried out, for example, by pulling the entire surface of the stamp bonded to the substrate to the holders and collectively separating them in a substantially flat state.

또한, 상기한 플렉시블 연결수단은, 연결구들 간의 간단한 끼움 결합 방식으로 홀더들의 전체 연결구간을 스템프의 대향하는 가장자리 사이에서 순차 분리가 가능하도록 플렉시블하게 연결할 수 있으므로 예를 들어, 여러 개의 홀더들을 각각의 구동원(예: 스크류 잭과, 서보모터)을 사용하여 개별적으로 작동을 제어하면서 순차 분리하는 방식의 종래 임프린트 장치들이 갖는 작용 및 제작 상의 문제들을 간단한 구조로 개선할 수 있다.In addition, the flexible connecting means can be flexibly connected so that the entire connecting section of the holders can be sequentially separated between the opposite edges of the stamp by a simple fitting method between the connecting members, for example, The operation and manufacturing problems of conventional imprint apparatuses in which a driving source (such as a screw jack and a servomotor) are separated while controlling operation individually can be improved with a simple structure.

도 1은 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치의 전체 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2 내지 도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치의 세부 구조 및 작용을 설명하기 위한 도면들이다.
도 5는 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치의 조절수단의 세부 구조 및 작용을 설명하기 위한 도면이다.1 is a view schematically showing the overall structure of an imprint apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 to 4 are views for explaining the detailed structure and operation of the imprint apparatus according to an embodiment of the present invention.
5 is a view for explaining the detailed structure and operation of the adjustment means of the imprint apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 실시 예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자들이 본 발명의 실시가 가능한 범위 내에서 설명된다.The embodiments of the present invention will be described by those skilled in the art to which the present invention is applicable.

따라서, 본 발명의 실시 예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있는 것이므로 본 발명의 특허청구범위는 아래에서 설명하는 실시 예들로 인하여 한정되는 것은 아니다.Therefore, the embodiments of the present invention can be modified into various other forms, so that the claims of the present invention are not limited by the embodiments described below.

도 1은 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치의 전체 구조를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 2 내지 도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치의 세부 구조 및 작용을 설명하기 위한 도면들로서, 부호 2는 스테이지를 지칭한다.1 is a view schematically showing the overall structure of an imprint apparatus according to an embodiment of the present invention, Figures 2 to 4 are views for explaining the detailed structure and operation of the imprint apparatus according to an embodiment of the present invention , 2 denotes a stage.

상기 스테이지(2)는 기판(G)이 평탄한 상태로 놓여질 수 있는 로딩면(F)을 구비한 판상의 형태로 이루어질 수 있다.The stage 2 may be in the form of a plate having a loading surface F on which the substrate G may be placed in a flat state.

상기 스테이지(2)는 도 1에서와 같은 작업대(T) 상에서 상기 로딩면(F)이 위쪽을 향하는 상태로 평탄하게 배치될 수 있다.The stage 2 may be disposed flat on the work table T as shown in FIG. 1 with the loading surface F facing upward.

상기 스테이지(2)는 기판(G)을 로딩 상태로 간편하게 고정하거나 고정 상태를 해제할 수 있는 구조이면 좋다.The stage 2 may be any structure that can easily fix the substrate G in a loading state or release the fixing state.

예를 들어, 상기 스테이지(2)는 판상의 진공척(vacuum chuck, 또는 정전척)을 사용할 수 있다. 그러면, 상기 스테이지(2) 상에서 기판(G)과, 후술하는 스템프(4)를 서로 합착하거나, 기판(G)으로부터 스템프(4)를 분리할 때 상기 기판(G)이 움직이지 않는 안정적인 상태로 간편하게 잡아줄 수 있다.For example, the stage 2 may use a plate-shaped vacuum chuck (or electrostatic chuck). Then, when the substrate G and the stamp 4 to be described later are bonded to each other on the stage 2 or the stamp 4 is separated from the substrate G, the substrate G does not move in a stable state. It's easy to hold.

상기 스테이지(2) 위쪽에는 기판(G)과 대응하도록 스템프(4)가 배치된다.The stamp 4 is disposed above the stage 2 to correspond to the substrate G.

상기 스템프(4)는 상기 스테이지(2) 측에 놓여진 기판(G)과 임프린트 동작으로 합착되거나, 분리되면서 상기 기판(G) 측에 각종 기능성 패턴(예: 식각 및 비식각 영역)들을 임프린트 방식으로 간편하게 패터닝할 수 있도록 형성된다.The stamp 4 may be bonded or separated from the substrate G placed on the stage 2 by an imprint operation or imprinted various functional patterns (eg, etched and non-etched regions) on the substrate G side. It is formed for easy patterning.

상기 스템프(4)는 기판(G)과 대응하는 사이즈로 형성되며, 일면에는 임프린트면(S1)을 구비하고, 타면에는 백플레이트(미도시)가 부착된 통상의 구조로 이루어진다.The stamp 4 is formed in a size corresponding to the substrate (G), has an imprint surface (S1) on one surface, and has a conventional structure attached to the back plate (not shown).

상기 스템프(4)는 임프린트면(S1)이 기판(G)과 평행한 상태로 마주할 수 있도록 상기 스테이지(2) 위쪽에 배치된다.The stamp 4 is disposed above the stage 2 so that the imprint surface S1 may face in parallel with the substrate G. As shown in FIG.

그리고, 상기 스테이지(2) 위쪽에는 상기 스템프(4)와 대응하는 홀더부(6)가 제공된다.In addition, a holder portion 6 corresponding to the stamp 4 is provided above the stage 2.

상기 홀더부(6)는, 복수 개의 홀더(H)들로 구성되며, 이 홀더(H)들은 통상의 진공 흡착패드(흡착기)를 사용할 수 있다.The holder part 6 is composed of a plurality of holders H, and these holders H may use a conventional vacuum suction pad (adsorber).

상기 홀더(H)들은 도 1에서와 같이 상기 스템프(4)의 위쪽에 배치되며, 이 스템프(4)의 대향하는 가장자리 사이를 연결하는 방향을 따라 복수 개가 간격을 띄우고 배치된 상태로 제공될 수 있다.The holders H are disposed above the stamp 4 as shown in FIG. 1, and a plurality of holders H may be provided in a state in which a plurality of holders are spaced apart from each other along a direction connecting the opposite edges of the stamp 4. have.

상기한 홀더(H)들은 상기 스템프(4) 위쪽에 배치된 상태에서 이 스템프(4)의 윗면(백플레이트)을 진공 흡착력으로 간편하게 고정하여 잡아주거나, 고정 상태를 해제할 수 있도록 작동된다.The holders (H) are operated to be easily fixed to hold the upper surface (back plate) of the stamp (4) by the vacuum suction force in the state disposed above the stamp (4), or to release the fixed state.

한편, 상기 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치는, 상기 홀더부(6)와 대응하는 플렉시블 연결수단(8)을 포함하여 이루어진다.On the other hand, the imprint apparatus according to an embodiment of the present invention comprises a flexible connecting means 8 corresponding to the holder portion (6).

상기 플렉시블 연결수단(8)은, 상기 스템프(4)의 대향하는 가장자리 사이에 배치된 상기 홀더(H)들이 대략 "U"자 모양의 연결구간을 형성하는 상태로 배열될 수 있도록 상기 홀더(H)들을 플렉시블하게 연결하기 위한 것이다.The flexible connecting means (8) is such that the holder (H) arranged between the opposite edges of the stamp (4) can be arranged in a state forming a connection section of a substantially "U" shape (H) ) Is for flexible connection.

상기 플렉시블 연결수단(8)은, 상기 홀더(H)들 사이사이를 상,하 방향으로 유격을 갖는 끼움 결합 상태로 연결할 수 있도록 형성된 연결구들로 구성된다.The flexible connection means 8 is composed of connectors that are formed to connect between the holder (H) in the fitted coupling state with a clearance in the up, down direction.

예를 들어, 상기 플렉시블 연결수단(8)은, 도 1 및 도 2에서와 같이 상기 스템프(4)의 대향하는 가장자리 지점과 대응하도록 배치되는 제1 연결구(C1)들과, 이 제1 연결구(C1)들 사이에서 상,하 방향으로 유격을 갖는 끼움 결합 상태로 연결되는 제2 연결구(C2)들을 포함하여 이루어질 수 있다.For example, the flexible connecting means 8 may include first connectors C1 disposed to correspond to opposite edge points of the stamp 4, as shown in FIGS. 1 and 2, and the first connectors (1). It may include a second connector (C2) that is connected in the fitted coupling state having a clearance in the up, down direction between the C1).

상기 제1 연결구(C1)와, 제2 연결구(C2)는, 도 2에서와 같이 일측 및 타측에 걸림돌기(K1) 또는 걸림홈(K2)을 구비하고, 상기 스템프(4) 위쪽에서 이 스템프(4)의 대향하는 가장자리 사이를 연결하는 방향으로 배치된다.The first connector C1 and the second connector C2 are provided with locking projections K1 or locking grooves K2 on one side and the other side as shown in FIG. 2, and the stamps are placed above the stamp 4. It is arranged in the direction of connecting between opposing edges of (4).

즉, 상기 제1 연결구(C1)들은 일측에 걸림돌기(K1)만 구비하고, 상기 제2 연결구(C2)들은 일측에 걸림돌기(K1), 타측에 걸림홈(K2)을 구비하여 도 2에서와 같이 상기 스템프(4) 위쪽에서 이 스템프(4)의 대향하는 가장자리 지점 사이에 배치될 때 상기 연결구(C1, C2)들 사이사이가 걸림돌기(K1)와, 걸림홈(K2)의 끼움 결합으로 연결된 구조로 제공될 수 있다.That is, the first connector C1 has only one locking protrusion K1 on one side, and the second connector C2 has a locking protrusion K1 on one side and a locking groove K2 on the other side. When the gap between the connector (C1, C2) between the engaging projection (K1) and the engaging groove (K2) when disposed between the opposite edge point of the stamp (4) above the stamp (4) It may be provided in a structure connected to.

그리고, 상기 제2 연결구(C2)들의 전체 연결 구간 내에는 제3 연결구(C3)를 더 설치할 수 있다.In addition, a third connector C3 may be further installed in the entire connection section of the second connector C2.

상기 제3 연결구(C3)는 상기 제1 및 제2 연결구(C1, C2)들의 전체 연결구간 중에서 가운데 지점이 아래쪽을 향하여 원활하게 처진 상태(대략 "U"자 모양)가 될 수 있는 연결 구조를 갖도록 형성된다.The third connector C3 has a connection structure in which a center point of the entire connection sections of the first and second connectors C1 and C2 may be smoothly sag downward (approximately “U” shaped). It is formed to have.

즉, 상기 제3 연결구(C3)는 예를 들어, 도 2에서와 같이 일측 및 타측에 걸림홈(K2)이 각각 형성된 구조를 가지며 상기 제2 연결구(C2)들의 전체 연결구간의 가운데 지점에 배치될 수 있다.That is, the third connector C3 has a structure in which the locking grooves K2 are formed at one side and the other side, for example, as shown in FIG. 2, and are disposed at the center points of the entire connection sections of the second connector C2. Can be.

그리고, 상기 제3 연결구(C3)를 사이에 두고 배치되는 제2 연결구(C2)들은 상기 제3 연결구(C3)의 걸림홈(K2) 측에 걸림돌기(K1)들이 끼워지는 방향의 배열을 갖도록 연결된다.The second connector C2 disposed with the third connector C3 interposed therebetween has an arrangement in a direction in which the locking protrusions K1 are inserted into the locking groove K2 side of the third connector C3. Connected.

상기한 제1, 제2, 제3 연결구(C1, C2, C3)들 측에 형성된 걸림돌기(K1)와, 걸림홈(K2)들은 예를 들어, 도 2를 기준으로 할 때 돌기와 홈이 서로 끼움 결합된 상태에서 상,하 방향으로 유격 틈새(L)가 발생할 수 있는 크기 및 모양을 갖도록 형성된다.The locking projections K1 and the locking grooves K2 formed on the side of the first, second, and third connector C1, C2, and C3 are, for example, when the projections and the grooves are different from each other. It is formed to have a size and shape that the clearance gap (L) can occur in the up and down direction in the fitted state.

이처럼, 상기 각 연결구(C1, C2,C 3)들의 연결 지점이 걸림돌기(K1)와, 걸림홈(K2)들에 의해 상,하 방향으로 유격 틈새(L)를 갖는 상태로 끼움 결합되면, 도 2에서와 같이 스템프(4)의 대향하는 가장자리 측에 배치된 제1 연결구(C1)들을 위로 들어올릴 때 각 연결 지점의 유격 틈새(L)들에 의해 상기 제2 연결구(C2)의 연결구간 가운데 부분이 아래쪽을 향하여 처진 상태('U"자 모양)가 될 수 있도록 플렉시블한 연결 구조를 제공할 수 있다.As such, when the connection point of each of the connector (C1, C2, C3) is fitted in the state having a clearance gap (L) in the up, down direction by the locking projection (K1), the locking groove (K2), As shown in FIG. 2, when lifting up the first connector C1 disposed on the opposite edge side of the stamp 4, the connecting section of the second connector C2 is formed by the clearance gaps L of the respective connection points. It is possible to provide a flexible connection structure so that the center portion can be drooped downward ('U' shape).

그리고, 상기 홀더부(6)의 홀더(H)들은 도 2에서와 같이 상기 각 연결구(C1, C2, C3)들의 하부 측에 일단이 통상의 방법으로 고정되어 흡착부가 아래쪽을 향하는 상태로 배치될 수 있다.Then, holders H of the holder part 6 are fixed to the lower side of each of the connector C1, C2, C3 in a conventional manner as shown in FIG. 2 so that the adsorption part may be disposed downward. Can be.

다시 도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 플렉시블 연결수단(8)의 각 연결구(C1, C2, C3)들 상부에는 예를 들어, 일단이 고정되어 세워진 상태로 가이드핀(Y)들을 설치할 수 있다.Referring back to FIGS. 1 and 2, the guide pins Y may be installed on, for example, one end of the flexible connector 8 in the state where the one end is fixed. .

상기 가이드핀(Y)들은 상기 각 연결구(C1, C2, C3)들의 상,하 방향 이동을 가이드할 수 있도록 도면에는 나타내지 않았지만, 가이드홀 측에 끼워져서 통상의 방법으로 상,하 방향 가이드 작용이 가능하게 셋팅될 수 있다.The guide pins (Y) are not shown in the drawings to guide the upward and downward movement of each of the connector (C1, C2, C3), but is inserted in the guide hole side to guide the upper and lower direction in a conventional manner It can be set possibly.

그러면, 상기 각 연결구(C1, C2, C3)들이 플렉시블하게 움직일 때 상,하 방향으로만 안정적인 상태로 움직일 수 있다.Then, each of the connector (C1, C2, C3) can move in a stable state only in the up and down direction when the flexible movement.

상기 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치는, 상기 플렉시블 연결수단(8)과 대응하는 제1 구동부(10)를 포함한다.The imprint apparatus according to the embodiment of the present invention includes a first driving unit 10 corresponding to the flexible connecting means 8.

상기 제1 구동부(10)는 상기 홀더부(6)의 홀더(H)들 연결구간이 대략 "U"자 모양을 이루도록 상기 플렉시블 연결수단(8)의 작동을 제어할 수 있도록 형성된다.The first driving unit 10 is formed to control the operation of the flexible connecting means 8 such that the connecting sections of the holders H of the holder unit 6 have a substantially “U” shape.

상기 제1 구동부(10)는 예를 들어, 통상의 스크류 잭(또는 실린더)을 제1 구동원(M1)으로 사용할 수 있으며, 상기 스템프(4)의 대향하는 가장자리와 대응하도록 배치된 제1 연결구(C1)들 위쪽에서 이 제1 연결구(C1)들을 상,하 방향으로 움직일 수 있도록 셋팅될 수 있다.The first drive unit 10 may use, for example, a conventional screw jack (or cylinder) as the first drive source M1, and includes a first connector (eg, a first connector disposed to correspond to an opposite edge of the stamp 4). Above the C1), the first connector C1 may be set to move upward and downward.

즉, 도 1에서와 같이 상기 제1 구동원(M1)의 스크류 잭 일단(자유단)이 상기 제1 연결구(C1)들의 상부와 연결된 상태로 제공될 수 있다. 그러면, 스크류 잭의 통상의 구동에 의해 상기 제1 연결구(C1)들을 상,하 방향으로 움직일 수 있다.That is, as shown in FIG. 1, one end (free end) of the screw jack of the first driving source M1 may be provided in a state of being connected to an upper portion of the first connector C1. Then, the first connector C1 may be moved in the up and down directions by the normal driving of the screw jack.

상기한 플렉시블 연결수단(8)과, 제1 구동부(10)의 구조에 의하면, 상기 홀더부(6)의 홀더(H)들로 상기 스템프(4)를 잡아줄 때 이 스템프(4)의 대향하는 가장자리 사이가 아래쪽을 향하여 처진 상태(대략 "U"자 모양)가 되도록 상기 홀더(H)들을 플렉시블한 상태로 연결 및 구동할 수 있다.According to the structure of the flexible connecting means 8 and the first drive part 10, the stamp 4 is opposed to the holder H by the holders H of the holder part 6. The holders H can be connected and driven in a flexible state such that the edges thereof are drooped downward (approximately “U” shaped).

특히, 이러한 플렉시블 연결수단(8)과, 제1 구동부(10)의 구조 및 작용에 의하면, 기판(G)과 합착된 상태의 스템프(4)를 기판(G)으로부터 분리하는 작업을 진행할 때 한층 향상된 작업 안전성을 확보할 수 있도록 상기 홀더부(6)의 작동을 제어할 수 있다.In particular, according to the structure and the action of the flexible connecting means 8 and the first drive unit 10, the operation of separating the stamp 4 in the state bonded to the substrate (G) from the substrate (G) further proceeds. It is possible to control the operation of the holder part 6 to ensure improved working safety.

도 3을 참조하여 상기 플렉시블 연결수단(8)과, 제1 구동부(10)의 바람직한 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to FIG. 3, the preferred operation of the flexible connecting means 8 and the first drive unit 10 will be described.

즉, 통상의 방법으로 기판(G)과 합착된 스템프(4)가 스테이지(2) 상에 놓여진 상태에서 상기 스템프(4)의 윗면을 상기 홀더부(6)의 홀더(H)들로 각각 잡아준 다음, 상기 제1 구동부(10)의 제1 구동원(M1)으로 상기 플렉시블 연결수단(8)의 제1 연결구(C1)를 위로 들어올린다.That is, in a state where the stamp 4 bonded to the substrate G is placed on the stage 2 in a conventional manner, the upper surface of the stamp 4 is held by the holders H of the holder part 6, respectively. Next, the first connector C1 of the flexible connecting means 8 is lifted up by the first driving source M1 of the first driving unit 10.

이처럼, 상기 제1 연결구(C1)를 들어올리면, 이 제1 연결구(C1) 측에 설치된 홀더(H)에 의해 상기 스템프(4)의 전체면 중에서 도 3에서와 같이 대향하는 가장자리 부분이 상기 제1 연결구(C1)를 따라 위로 들어 올려진다.As such, when the first connector C1 is lifted up, the edge portions of the entire surface of the stamp 4 that face each other as shown in FIG. 3 by the holder H installed on the side of the first connector C1 may be formed. 1 Lift up along connector (C1).

이때, 상기 제1 연결구(C1)들 사이에 배치된 제2 연결구(C2)들은, 상,하 방향으로 유격 틈새(L)을 갖는 상태로 연결되므로 상기 제1 연결구(C1)들 측에서 상기 제3 연결구(C3)를 향하여 각 연결지점의 유격 틈새(L) 길이만큼 점차 아래로 처진 상태로 연장된다.In this case, since the second connector C2 disposed between the first connector C1 is connected in a state having a clearance gap L in an up and down direction, the first connector C1 is disposed at the side of the first connector C1. 3 toward the connector (C3) extends gradually down to the length of the clearance gap (L) of each connection point.

즉, 상기 제2 연결구(C2)들의 연결 구간은, 도 3을 기준으로 할 때 좌측편의 제1 연결구(C1) 측에서 가운데 지점의 제3 연결구(C3)를 향하여 점차 아래를 향하는 상태로 연장되고, 상기 제3 연결구(C3) 측에서 우측의 제1 연결구(C1)를 향하여 점차 위쪽을 향하는 상태로 연장된다.That is, the connection section of the second connector (C2) is extended toward the third connector (C3) of the center point gradually downwards from the first connector (C1) side of the left side, based on FIG. In the third connector (C3) side toward the first connector (C1) of the right side is gradually extended upward.

그러므로, 상기한 제1 및 제2, 제3 연결구(C1, C2, C3)들의 연결 상태에 의하면, 상기 스템프(4)의 분리 작업시 전체면 중에서 대향하는 가장자리 부분이 먼저 들어올려진 다음, 점차 가운데를 향하여 분리되는 이른바, 순차 분리 방식으로 기판(G)에서 스템프(4)를 분리할 수 있도록 상기 홀더(H)들의 위치를 제어할 수 있다.Therefore, according to the connection state of the said 1st, 2nd, 3rd connector C1, C2, C3, the opposing edge part of the whole surface is lifted first, and then gradually the center part at the time of detaching work of the stamp 4 The positions of the holders H may be controlled to separate the stamp 4 from the substrate G in a so-called sequentially separated manner.

이처럼, 상기 각 연결구(C1, C2, C3)들을 간단한 끼움 결합으로 연결하여 상,하 방향의 걸림 접촉에 의해 간섭으로 상기 홀더(H)들의 위치를 제어하면서 기판(G)에서 스템프(4)를 순차 분리하는 방식은, 예를 들어, 도면에는 나타내지 않았지만 스템프의 전체면을 평탄한 상태로 한 번에 들어올리면서 일괄 분리하는 구조 또는 여러 개의 구동원(스크류 잭 또는, 실린더)으로 각 흡착패드(홀더)들의 상,하 방향 이동을 제어하면서 분리하는 종래의 분리 방식 및 구조(장치)들이 갖는 작동 및 제작 상의 문제들을 개선할 수 있다.As such, connecting the connectors C1, C2, and C3 by a simple fitting combination, the stamp 4 is removed from the substrate G while controlling the position of the holders H by interference by up and down engagement. The method of sequential separation, for example, is not shown in the drawings, but the structure of separating the entire surface of the stamp in a flat state at once, or a plurality of driving sources (screw jack or cylinder) of each of the adsorption pads (holders) Operational and manufacturing problems with conventional separation schemes and structures (devices) for separating while controlling up and down movement can be improved.

그리고, 도 4를 참조하면, 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치는, 상기 플렉시블 연결수단(8)과 대응하는 제2 구동부(12)를 더 포함하여 이루어질 수 있다.4, the imprint apparatus according to an embodiment of the present invention may further include a second driving unit 12 corresponding to the flexible connecting means 8.

상기 제2 구동부(12)는 상기 플렉시블 연결수단(8)의 연결 상태를 대략 "-"자 모양으로 조절 및 셋팅이 가능하게 구동할 수 있도록 형성된다.The second drive unit 12 is formed to enable driving and adjustment of the connection state of the flexible connection means 8 in a substantially "-" shape.

상기 제2 구동부(12)는 스크류 잭(또는 실린더)을 제2 구동원(M2)으로 사용할 수 있으며, 상기 플렉시블 연결수단(8)의 연결구간 가운데 지점 즉, 연결구(C1, C2, C3)들 중에서 제3 연결구(C3)를 상,하 방향으로 움직일 수 있도록 셋팅될 수 있다.The second drive unit 12 may use a screw jack (or cylinder) as the second drive source (M2), the middle of the connection section of the flexible connection means 8, that is, from the connection (C1, C2, C3) The third connector C3 may be set to move in the up and down directions.

상기한 제2 구동부(12)는 예를 들어, 도 4에서와 같이 상기 제3 연결구(C3)만 위로 들어올려서 상기 제1 연결구(C1) 사이에 연결된 제2 연결구(C2)들이 수평한 연결 상태를 이루도록 할 수 있다.For example, as shown in FIG. 4, the second driving unit 12 lifts up only the third connector C3 so that the second connector C2 connected between the first connector C1 is horizontally connected. Can be achieved.

이러한 작용에 의하면, 상기 홀더부(8)로 스템프(4)를 잡아준 상태에서 이 스템프(4)의 대향하는 가장자리 사이를 평탄하게 조절 및 셋팅할 수 있으므로 한층 향상된 작동 호환성을 확보할 수 있다.According to this operation, it is possible to smoothly adjust and set between the opposite edges of the stamp 4 in a state in which the holder 4 is held by the holder portion 8, thereby ensuring further improved operation compatibility.

다시 도 1을 참조하면, 상기 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치는, 상기 플렉시블 연결수단(8)과 대응하는 유격조절수단(14)을 더 포함하여 이루어질 수 있다.Referring back to FIG. 1, the imprint apparatus according to the embodiment of the present invention may further include a clearance adjusting means 14 corresponding to the flexible connecting means 8.

도 5는 상기 유격조절수단(14)의 세부 구조 및 작용을 설명하기 위한 도면이다.5 is a view for explaining the detailed structure and operation of the clearance adjustment means (14).

상기 유격조절수단(14)은, 상기 플렉시블 연결수단(8) 즉, 제1 및 제2, 제3 연결구(C1, C2, C3)들 간의 각 끼움 결합 지점의 유격 틈새(L)를 적절하게 조절 및 셋팅할 수 있도록 형성된다.The clearance adjustment means 14, according to the flexible connection means 8, that is, to properly adjust the clearance gap (L) of the fitting engagement point between the first, second and third connector (C1, C2, C3) And to be set.

상기 유격조절수단(14)은 예를 들어, 나사부(W1)를 구비한 조절나사(W)로 구성될 수 있으며, 나사 결합력에 의한 누름 압력으로 유격 조절이 가능하게 이루어질 수 있다.The clearance adjustment means 14 may be configured, for example, with an adjustment screw (W) having a screw portion (W1), it can be made possible to adjust the clearance by the pressing pressure by the screw coupling force.

상기 조절나사(W)는 상기 제2 연결구(C2)들의 걸림홈(K2) 상부에 배치되고, 정,역 회전시 나사 결합력에 의해 상,하 방향으로 움직일 수 있도록 셋팅될 수 있다.The adjustment screw (W) is disposed above the locking groove (K2) of the second connector (C2), it can be set to move in the up and down direction by the screw coupling force during forward and reverse rotation.

즉, 상기 조절나사(W)를 일측으로 돌리면, 하측 단부가 아래쪽을 향하여 이동되면서 상기 걸림홈(K2) 안쪽을 향하여 돌출되므로 이 걸림홈(K2) 측에 끼워진 걸림돌기(K1)들의 상,하 방향 이동 거리를 더 짧게 제한할 수 있다.That is, when the adjustment screw (W) is turned to one side, the lower end is moved downwards and protrudes toward the inside of the locking groove (K2), so the upper and lower of the locking projections (K1) fitted to the locking groove (K2) side It is possible to limit the direction travel distance shorter.

그러면, 상기와 같이 조절나사(W)를 적절하게 정,역 회전시켜서 상기 걸림홈(K2)들의 유격 틈새(L) 간격을 간편하게 조절 및 셋팅할 수 있다.Then, it is possible to easily adjust and set the clearance gap (L) interval of the engaging grooves (K2) by appropriately rotating the adjustment screw (W) as described above.

예를 들어, 상기 조절나사(W)들의 돌출 단부가 상기 걸림홈(K2) 내측으로 길게 돌출될수록 상기 걸림돌기(K1)들의 상,하 방향 이동 거리가 짧아지므로 상기 제1 연결구(C1)들 사이에 연결되는 제2 및 제3 연결구(C2, C3)들의 연결구간의 처짐 상태를 짧게 줄일 수 있다.For example, the longer the protruding end of the adjustment screw (W) protrudes into the engaging groove (K2), the shorter the moving distance of the locking projections (K1) in the vertical direction between the first connector (C1) The deflection state of the connection section of the second and third connector (C2, C3) connected to can be shortened.

그리고, 상기 조절나사(W)를 반대 방향으로 돌리면, 상기 제1 연결구(C1)들 사이에 연결되는 제2 및 제3 연결구(C2, C3)들의 연결구간의 처짐 상태를 길게 늘릴 수 있다.When the adjusting screw W is turned in the opposite direction, the deflection state of the connecting section of the second and third connecting connectors C2 and C3 connected between the first connecting members C1 may be increased.

그러므로, 상기와 같은 유격조절수단(14)을 더 구비하면, 스템프(4)를 기판(G)에서 분리할 때 요구되는 작업 환경과 부합하는 상태로 상기 플렉시블 연결수단(8)의 연결 상태를 적절하게 조절 및 셋팅할 수 있으므로 한층 향상된 작업 호환성을 확보할 수 있다.Therefore, if the clearance adjustment means 14 is further provided, the connection state of the flexible connection means 8 can be properly adjusted in a state consistent with the work environment required when the stamp 4 is removed from the substrate G. It can be adjusted and set up to achieve more work compatibility.

따라서, 상기한 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치는, 특히 기판(G)과 합착된 상태의 스테이지(2)를 상기 기판(G)에서 분리할 때 도 3에서와 같이 스템프(4)의 대향하는 가장자리 부분에서 가운데 지점을 향하여 순차적으로 분리될 수 있도록 상기 홀더(H)들의 연결구간을 플렉시블하게 연결하는 플렉시블 연결수단(8)을 구비하고 있으므로 스템프(4)의 변형이나 파손을 최대한 억제할 수 있는 순차 분리 방식으로 스템프(4)의 분리 작업을 간편하게 진행할 수 있다.Therefore, the imprint apparatus according to the embodiment of the present invention, in particular, when separating the stage (2) in the state bonded to the substrate (G) as shown in Figure 3 of the stamp (4) Flexible connection means 8 for flexibly connecting the connection sections of the holders H so that they can be sequentially separated from the opposite edge toward the center point can be prevented from deformation or breakage of the stamp 4 as much as possible. The separation of the stamp 4 can be easily performed in a sequential separation method.

이와 같은 본 발명은, 예를 들어, 도면에는 나타내지 않았지만 기판과 합착된 상태의 스템프 전체면을 평탄한 상태로 한 번에 들어올리면서 일괄 분리하는 방식으로 스템프의 분리 작업을 진행할 때 발생하는 문제들을 개선할 수 있다.Although the present invention, for example, although not shown in the drawings, it is possible to improve the problems that occur when the separation operation of the stamp in a manner of batch separation while lifting the entire surface of the stamp bonded to the substrate in a flat state at once. Can be.

또한, 상기 플렉시블 연결수단(8)은 제1 및 제2, 제3 연결구(C1, C2, C3)들이 상,하 방향의 유격을 갖는 끼움 결합 상태로 연결되므로 간단한 끼움 결합 방식으로 상기 홀더(H)들의 연결구간 배열 및 위치를 플렉시블하게 제어할 수 있다.In addition, the flexible connecting means 8 is connected to the first, second, and third connector (C1, C2, C3) in the fitted coupling state having a clearance in the up, down direction, so that the holder (H) in a simple fitting method It is possible to flexibly control the arrangement and position of the connection section.

그러므로, 본 발명은, 예를 들어, 도면에는 나타내지 않았지만 각 홀더들과 대응하도록 구동원(스크류 잭 또는, 실린더)을 각각 연결하여 홀더들 위치나 배열을 개별적으로 제어하는 구조를 갖는 종래의 임프린트 장치들과 비교할 때 장치의 구조가 간단하고 제작에 소요되는 비용 등을 대폭 절감할 수 있다.Therefore, the present invention, for example, although not shown in the drawings, conventional imprint apparatuses having a structure for individually controlling the position or arrangement of the holders by connecting driving sources (screw jacks or cylinders) to correspond to the respective holders, respectively. Compared to the above, the structure of the device is simple and the manufacturing cost can be greatly reduced.

2: 스테이지 4: 스템프 6: 홀더부
8: 플렉시블 연결수단 10: 제1 구동부 G: 기판
C1: 제1 연결구 C2: 제2 연결구 C3: 제3 연결구2: stage 4: stamp 6: holder
8: flexible connecting means 10: first drive part G: substrate
C1: first connector C2: second connector C3: third connector

Claims

A stage on which the substrate is placed;
A stamp having an imprint surface corresponding to the substrate and disposed above the stage with the imprint surface facing the substrate;
A plurality of holders disposed at opposite edges of the stamp, the holders being configured to hold the stamp in a state corresponding to the substrate of the stage;
Flexible connection means consisting of connecting means formed to hold the holder in the state of connecting between the opposing edges of the stamp while holding between the holders of the holder portion in the fitting engagement having a clearance in the up, down direction;
A first driving unit which drives a center portion of the flexible connection means to be lifted up while forming a connection state which sags downward;
Imprint apparatus comprising a.

The method according to claim 1,
Holders of the holder portion,
An imprint apparatus having a vacuum suction unit and set to hold one surface of the stamp by vacuum suction force.

The method according to claim 1,
The first driving unit,
Using a screw jack or cylinder as the first drive source,
Imprint apparatus is set to be able to move in the up and down direction, the connectors arranged at a point corresponding to the opposite edge of the stamp among the connectors.

The method according to claim 1,
The flexible connection means,
First connectors arranged to correspond with opposite edge points of the stamp;
Engaging protrusions formed to be fitted in a state having clearance gaps in the up and down directions between the first connector, and second connecting members connected by fitting engagement of the engaging grooves;
Imprint apparatus comprising a.

The method of claim 4,
The first connector and the second connector,
The locking projections and the gaps in the up and down directions occurring at the fitting engagement points of the locking grooves extend from the opposite edge side of the stamp to the center point so as to form a connection section in the downward state gradually. Imprint device to be set.

The method according to claim 1,
The imprint apparatus,
It further comprises a clearance adjustment means corresponding to the flexible connection means,
The play control means,
An imprint apparatus, comprising: an adjusting screw having a screw, and set so that one end may protrude into the clearance gap while moving forward and backward by forward and reverse rotation at a fitting engagement point of the connectors.

The method according to claim 1,
The imprint apparatus,
Further comprising a second drive unit corresponding to the flexible connecting means,
The second drive unit,
Using a screw jack or cylinder as the second drive source,
Imprint apparatus is set to move in the up and down direction, the connector disposed at the point corresponding to the center between the opposite edge of the stamp among the connector.