「OSF-3」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

(1) A method for producing an epitaxial wafer comprises using a silicion single crystal wafer which is doped with nitrogen and contains oxygen in a concentration of ≤9×1017 atom/cm3 in an OSF ring area.例文帳に追加

(1) 窒素がドープされ、ＯＳＦリング領域の酸素濃度が９×10^17atoms/cm^3以下であるシリコン単結晶ウェーハを用いたエピタキシャルウェーハの製造方法。 - 特許庁

Since the interstitial oxygen concentration of a silicon wafer 20 is set at 1.4×10^18 atoms/cm^3 or below or the OSF density of the silicon wafer 20 is set at 20,000/cm^2 or below after devices are provided, the silicon wafer 20 can be protected against warpage caused by the interstitial oxygen concentration or OSF density.例文帳に追加

シリコンウェーハ２０の格子間酸素濃度を１．４×１０^１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ^３以下、または、デバイス形成後のシリコンウェーハ２０のＯＳＦ密度を２００００個／ｃｍ^２以下としたので、格子間酸素濃度、ＯＳＦ密度に起因するシリコンウェーハ２０の反りの発生を防止できる。 - 特許庁