「SPASS」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

The transport robot TR is controlled to repeatedly perform one cycle of transporting processes from an entrance position (feed mounting portion SPASS) to an exit position (return mounting portion RPASS) through reloading positions 1, 2, 3, and 4.例文帳に追加

搬送ロボットＴＲは、入口ポジション（送り載置部ＳＰＡＳＳ）から移載ポジション１，２，３，４を経て出口ポジション（戻り載置部ＲＰＡＳＳ）へと向かう１サイクルの搬送工程を繰り返して実行するように制御される。 - 特許庁

A substrate W where resist films are formed is placed on a substrate placement part PASS9, and then is passed to a sending substrate placement part SPASS by a delivery robot BR on an interface block 5, further being sent out to an exposure unit EXP by a sending transfer robot SBR.例文帳に追加

レジスト膜が形成された基板Ｗは基板載置部ＰＡＳＳ９に載置された後、インターフェイスブロック５の受渡ロボットＢＲによって送り基板載置部ＳＰＡＳＳに渡され、さらに送り搬送ロボットＳＢＲによって露光ユニットＥＸＰに送り出される。 - 特許庁