「FOUP」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

DEVICE FOR REPLACING GAS IN FOUP例文帳に追加

ＦＯＵＰ内ガス置換装置 - 特許庁

FOUP OPENER HOLDING AND OPENING, CLOSING, FOUP DOOR OF HINGED DOOR SYSTEM例文帳に追加

開きドア方式でＦＯＵＰドアを開閉保持するＦＯＵＰオープナー - 特許庁

WAFER DETECTION MECHANISM AND FOUP例文帳に追加

ウェーハ検出機構、及びＦＯＵＰ - 特許庁

LATCH SWITCHING DEVICE IN FOUP OPENER例文帳に追加

ＦＯＵＰオープナのラッチ開閉装置 - 特許庁

MAPPING MECHANISM, FOUP, AND LOAD PORT例文帳に追加

マッピング機構、ＦＯＵＰ、及びロードポート - 特許庁

FOUP OPENING/CLOSING DEVICE AND PROBE APPARATUS例文帳に追加

ＦＯＵＰ開閉装置及びプローブ装置 - 特許庁

An FOUP conveyance robot 20 conveys an FOUP 80 housing a plurality of substrates therein between a load port 10 and an FOUP placement table 30.例文帳に追加

ＦＯＵＰ搬送ロボット２０は、複数枚の基板が収納されたＦＯＵＰ８０をロードポート１０とＦＯＵＰ載置台３０との間で搬送する。 - 特許庁

To provide a FOUP (front opening united pod) station capable of flexibly and quickly corresponding to FOUP openers and respective processors arranged on the back of the FOUP openers.例文帳に追加

フープオープナー及びその背面に配置されている各処理装置に対して、柔軟に、且つ、迅速に対処可能なフープステーションを提供すること。 - 特許庁

Consequently, the FOUP 80b moves above the FOUP 80a to form an air gap 129 thus ensuring a carrying passage AR 6 of the FOUP 80a.例文帳に追加

これにより、ＦＯＵＰ８０ｂはＦＯＵＰ８０ａの上方に移動して空隙１２９が形成され、ＦＯＵＰ８０ａの搬送路ＡＲ６が確保される。 - 特許庁

FOUP OPENER CAPABLE OF DEALING WITH MULTIPLE KINDS OF CONTAINERS例文帳に追加

複数種類の容器に対応可能なＦＯＵＰオープナ - 特許庁

To perform operation for removing contaminants or the like from a wafer contained in an FOUP easily and surely.例文帳に追加

FOUPに収容されたウエハからの汚染物質等の除去操作を容易且つ確実に行うことを可能とする。 - 特許庁

FOUP STRUCTURE AND DEVICE FOR CARRYING SUBSTRATE STORAGE JIG例文帳に追加

ＦＯＵＰ構造ならびに基板収納治具搬送装置 - 特許庁

To ensure that a failure in a closed state of a FOUP door serving as a lid of a FOUP can be detected quickly and surely.例文帳に追加

フープの蓋であるフープドアの閉状態の異常を迅速且つ確実に検知することができるようにすること。 - 特許庁

METHOD AND APPARATUS FOR CLEANING AND DRYING DOOR SHELL FOR FOUP例文帳に追加

ＦＯＵＰ用ドアシェルの洗浄乾燥方法及び装置 - 特許庁

The locking of the FOUP door 12 is released and the FOUP shell is pulled inside the EFEM 41 by means of the latch key mechanism of the load port door 31.例文帳に追加

ロードポートドア３１のラッチキー機構によりＦＯＵＰドア１２の施錠を解除してＥＦＥＭ４１内に引き込む。 - 特許庁

APPARATUS AND METHOD OF ARRANGING FOUP ON LOAD PORT例文帳に追加

ロードポート上にＦＯＵＰを配置する装置およびその方法 - 特許庁

METHOD AND APPARATUS FOR CONTROLLING FOUP LOADING PORT, FOUP LOADING PORT CONTROL PROGRAM, AND RECORDING MEDIUM WITH THE PROGRAM RECORDED THEREON例文帳に追加

ＦＯＵＰロードポート制御方法および制御装置、ＦＯＵＰロードポート制御プログラムならびにそのプログラムを記録した記録媒体 - 特許庁

To prevent an increase in partial pressure of an oxidizing gas with time elapse inside FOUP that is fixed to an FIMS system and is in open state.例文帳に追加

FIMSシステムに固定されて開放状態にあるFOUP内部の酸化性ガスの分圧が時間の経過と共に増加することを防止する。 - 特許庁

APPARATUS AND METHOD OF FOUP CLEANING AND DRYING例文帳に追加

ＦＯＵＰ洗浄乾燥装置及びＦＯＵＰ洗浄乾燥方法 - 特許庁

The transfer apparatus includes a plurality of storing shelves 3 each for storing a FOUP 30 temporarily, and a grasping mechanism 25 capable of holding the FOUP 30.例文帳に追加

ＦＯＵＰ３０を一時的に保管する複数台の保管棚３と、ＦＯＵＰ３０を保持可能な把持機構２５を備えている。 - 特許庁

To prevent partial pressure of an oxidizing gas inside an FOUP, which is fixed in an FIMS system and in an opened state from increasing with the passage of time.例文帳に追加

FIMSシステムに固定されて開放状態にあるFOUP内部の酸化性ガスの分圧が時間の経過と共に増加することを防止する。 - 特許庁

To provide a detector for detecting the projection of a glass wafer from an FOUP or the poor holding of the glass wafer easily and conveniently in an FIMS.例文帳に追加

FIMSにおいて、ガラスウエハのFOUPからの飛び出し或いは収容不良を容易且つ簡便に検出する検出装置を提供する。 - 特許庁

To provide an apparatus and a method of FOUP (front opening unified pod) cleaning and drying which can eliminate contamination of FOUP due to a metal.例文帳に追加

ＦＯＵＰの金属による汚れを除去できるＦＯＵＰ洗浄乾燥装置及びＦＯＵＰ洗浄乾燥方法を提供する。 - 特許庁

A wafer transfer module composed of FOUP, an aligner, and a transfer robot and a processing module composed of a processing chamber, a cooling chamber, and others are separately provided.例文帳に追加

FOUP、アライナおよび搬送ロボットからなるウェーハ搬送モジュールと処理室、冷却室などからなるプロセス・モジュールをそれぞれ独立に設ける。 - 特許庁

A loader 10 comprises an accommodation part 20 for accommodating FOUP (hermetically sealing accommodation vessel), an opener 40 for carrying out a substrate from the FOUP, and a carrying robot 30 for carrying the FOUP between the accommodation part 20 and the opener 40.例文帳に追加

ローダー１０は、ＦＯＵＰ（密閉型収納容器）を収容する収容部２０、ＦＯＵＰから基板を搬出するオープナー４０および収容部２０とオープナー４０との間でＦＯＵＰの搬送を行う搬送ロボット３０を備える。 - 特許庁

A plurality of FOUP placement tables 30 is provided around the indexer robot 40.例文帳に追加

ＦＯＵＰ載置台３０は、インデクサロボット４０の周囲に複数個設けられる。 - 特許庁

To provide an apparatus and its method of arranging an FOUP on a load port.例文帳に追加

ロードポート上にＦＯＵＰを配置する装置およびその方法を提供する。 - 特許庁

To provide a FOUP opener, which prevents a clean environment from being contaminated with dusts adhered to the parts of a FOUP door or a FOUP opener which are exposed to the external atmosphere, and can stem the main cause that contaminates wafers with the dusts to the minimum.例文帳に追加

ＦＯＵＰドアやＦＯＵＰオープナが外部雰囲気に曝される部分に付着する塵埃がクリーン環境を汚染するのを防止して、ウェハが塵埃により汚染される要因を最小限に食い止めることができるＦＯＵＰオープナを提供する。 - 特許庁

In that case, the direction of supplying the inert gas to be supplied to the inside of the FOUP is a direction having no flow component opposite to a gas flow forming the gas curtain.例文帳に追加

その際、FOUP内部へ供給される不活性ガスの供給方向を、ガスカーテンを形成するガス流れに対して対向する流れ成分を有さない方向とする。 - 特許庁

Since the FOUP 80a can be moved to a containing shelf 141 without moving the FOUP 80b to another containing shelf, throughput can be enhanced in processing the substrates.例文帳に追加

そのため、ＦＯＵＰ８０ｂを他の収容棚に移動させることなくＦＯＵＰ８０ａを収容棚１４１に移動でき、基板処理のスループットを向上できる。 - 特許庁

For this reason, the carrying arm 35 which holds the FOUP passes the notch 43 from above, thereby transferring directly the FOUP to the mounting table 41, and a time required for transfer operations of the FOUP is shortened and a high throughput can be obtained.例文帳に追加

このため、ＦＯＵＰを保持した搬送アーム３５が切り欠き部４３を上方から通過することによって載置テーブル４１に直接ＦＯＵＰを渡すことができ、ＦＯＵＰの受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループットを得ることができる。 - 特許庁

Also, since a conveying robot conveys an FOUP from a fixed rack row to an opener loading rack through the space formed by the displacement of the displaceable storage racks, the FOUP can be conveyed with the reduced conveying time required for conveying the FOUP.例文帳に追加

また、変位収容棚が変位して形成された空間を通して、搬送ロボットが固定棚列からＦＯＵＰをオープナーの載置棚へ搬送するので、ＦＯＵＰを搬送するのに必要な搬送時間を低減させたまま、ＦＯＵＰを搬送することができる。 - 特許庁

A conveying system includes: a conveying rail 1 for conveying an FOUP (front opening unified pod) 4 for storing a semiconductor wafer; an OHT (overhead hoist transport) truck 2 for transferring the FOUP 4 and traveling on the conveying rail 1; and a suspension type temporary storage shelf 3 for temporarily storing the FOUP 4.例文帳に追加

搬送システムは、半導体ウェハを格納するＦＯＵＰ４を搬送させる搬送レール１と、ＦＯＵＰ４を移載し搬送レール１を走行するＯＨＴ台車２と、ＦＯＵＰ４を一時的に保管する懸垂式一時保管棚３とを備える。 - 特許庁

The wire 63 can support the load of the elevation driving section 25 and the FOUP 4.例文帳に追加

ワイヤ６３は、昇降駆動部２５およびＦＯＵＰ４の荷重を支えることが可能である。 - 特許庁

Alternatively, the FOUP 1 is evacuated to a slight negative pressure after a top flange 4 is lifted to deform the FOUP 1, and simultaneously the change in pressure is measured by the pressure gauge 19.例文帳に追加

またはトップフランジ４を引き上げてＦＯＵＰ１を変形させた後にＦＯＵＰ１の内部を微陰圧に真空引きし、同時に圧力の変化を圧力計１９によって測定する。 - 特許庁

To obtain an FOUP opener which makes it possible to manually or automatically open and close the FOUP door, which is a pod for housing 300 mm wafers, and is simple in structure, inexpensive, and small in occupying volume.例文帳に追加

３００ｍｍウエハ収納容器であるＦＯＵＰのＦＯＵＰドア開閉を手動もしくは自動ででき、構造が簡単で安価かつ占有容積の小さいＦＯＵＰオープナーを得る。 - 特許庁

LOAD PORT ADJUSTING TOOL, FOUP-MEASURING TOOL, FOUP WAFER PLANE MEASURING TOOL, KINEMATIC PIN SHAPE EVALUATING TOOL, KINEMATIC PIN POSITION EVALUATING TOOL, AND ADJUSTMENT/MEASUREMENT/EVALUATION METHOD USING THEM例文帳に追加

ロードポート調整治具、ＦＯＵＰ測定治具、ＦＯＵＰウェーハプレーン測定治具、キネマティックピン形状評価治具、キネマティックピン位置評価治具、およびこれらを用いる調整・測定・評価方法 - 特許庁

From a door 14 for shelves on one 2 of which the desired FOUP 3 to be taken out in emergency is placed, the operator takes out the desired FOUP 3 and places it on an elevating/sinking plate 12.例文帳に追加

緊急に取り出す必要のある所望のＦＯＵＰ３が載置されている棚２が属する扉１４から人が当該所望のＦＯＵＰ３を持出し、昇降板１２上に載置する。 - 特許庁

A position adjusting jig 30 has a part 41 which corresponds to the part which is held by a load port, out of an FOUP, and a part 42 which corresponds to a cover which corresponds to the cover of the FOUP.例文帳に追加

位置調整治具３０は、ＦＯＵＰのうちロードポートによって保持される部分に対応する被保持部対応部４１と、ＦＯＵＰの蓋に対応する蓋対応部４２とを有する。 - 特許庁

A FOUP 1 fixed no a kinematic plate 15 of a FOUP inspection device 14 is evacuated to a slight negative pressure, and simultaneously the change in pressure is measured by a pressure gauge 19.例文帳に追加

ＦＯＵＰ検査装置１４のキネマティックプレート１５上に固定したＦＯＵＰ１の内部を微陰圧に真空引きし、同時に圧力の変化を圧力計１９によって測定する。 - 特許庁

Any one of vertical spaces Y1-Y3 on the upper parts of respective FOUP openers 2L, 2C, 2R is optionally selected as a vertical movement axis Y on which a FOUP F can be vertically moved and an uppermost horizontal space X4 becomes a horizontal movement axis X on which the FOUP F can be horizontally moved in the right and left direction.例文帳に追加

各フープオープナー２Ｌ、２Ｃ、２Ｒの上方の縦空間Ｙ１〜Ｙ３の何れか１つは、任意に選択されて、フープＦが上下方向に移動可能な縦方向移動軸Ｙとなり、最上部横空間Ｘ４は、前記フープＦが左右横方向に移動可能な横方向移動軸Ｘとなる。 - 特許庁

An FOUP 1 having a semiconductor wafer 12 housed therein is moved onto a load port 17, a door 3 of the FOUP 1 is fixed by an FIMS door 24 and removed, the wafer 12 is extracted from a shell 2 of the FOUP 1, and then predetermined manufacturing treatment is applied to the wafer 12.例文帳に追加

ロードポート１７上に半導体ウエハ１２が収納されたＦＯＵＰ１を移載した後、ＦＩＭＳドア２４によってＦＯＵＰ１のドア３を固定して取り外し、さらにＦＯＵＰ１のシェル２から半導体ウエハ１２を取り出し、所定の製造処理を半導体ウエハ１２に施す。 - 特許庁

The stocker 1 is arranged adjacent a conveyor 3 for conveying an FOUP 2 in a manufacturing process.例文帳に追加

このストッカ１は、製造過程にあるＦＯＵＰ２を搬送するコンベア３に隣接して配置される。 - 特許庁

This system is constituted first to handle a standard 300 mm FOUP cassette.例文帳に追加

システムは、当初は標準３００ｍｍＦＯＵＰカセットをハンドリングするように構成されている。 - 特許庁

The process of eliminating volatile residues is performed in the system except a halogen treatment chamber and an FOUP.例文帳に追加

揮発性残渣除去プロセスは、ハロゲン処理チャンバとＦＯＵＰ以外のシステム内で行われる。 - 特許庁