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「Immersion」に関連した英語例文の一覧と使い方(69ページ目) - Weblio英語例文検索
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Immersionを含む例文一覧と使い方

該当件数 : 3841



例文

To provide a device and a method for simulating the generation of an air pocket by which a boundary of liquid and air is derived as a smooth boundary and simulation adapted to actual immersion painting is performed in the case of analyzing the generation of the air pocket for a painted work.例文帳に追加

被塗装ワークについて空気溜りの発生を解析するにあたり、液体と空気の境界を滑らかなものとして導き出し、実際の浸漬塗装に即したシミュレーションを行うことができる空気溜まり発生シミュレーション装置及び方法を提供する。 - 特許庁

To provide a liquid recovery apparatus capable of excellent exposure processing by quickly and accurately measuring a flow rate of a liquid recovered by mixing a gas with the liquid, and reducing an effect due to leakage or intrusion of the liquid; and to provide an immersion lithography.例文帳に追加

気体と液体が混合して回収される液体の流量を、早くかつ精度よく測定し、液体の漏洩あるいは浸入による影響を低減し、良好な露光処理を可能とする液体回収装置および液浸露光装置を提供する。 - 特許庁

This composition is for liquid-repellent treatment of surfaces of components in an immersion exposure apparatus which irradiates an exposure beam to expose a base material to light via a liquid, and at least contains an organosilicon compound represented by the general formula (1) and a solvent.例文帳に追加

この組成物は、露光ビームを照射し液体を介して基材を露光する液浸露光装置の部材表面を撥液処理するための組成物であり、少なくとも下記一般式(1)で示される有機ケイ素化合物と溶剤とを含有することを特徴とする。 - 特許庁

An immersion piece 400 such as puncture needle sunk into an object is composed of substances 402 and 404 at least one part of which have unclei with a magnetic rotation ratio different from the magnetic rotation ratio in terms of the spin of the nuclei of substances occupying the most of the object.例文帳に追加

対象の内部に沈入する例えば穿刺針等の沈入物400を、少なくとも一部分が、対象において大多数を占める物質の原子核のスピンの磁気回転比と異なる磁気回転比を有する原子核を持つ物質402,404で構成する。 - 特許庁

例文

The temperature of the steel parts in the rapidly cooling mode and the isothermally temperature keeping mode is controlled by the immersion time in the quenching oil and the leaving time after the steel parts is taken out of the quenching oil which are determined based on the preset cooling curved of the steel parts.例文帳に追加

この場合、急冷時及び恒温保持時の鋼材部品の温度を、予め設定された当該鋼材部品の冷却曲線に基づき決定した焼入油中の浸漬時間及び焼入油中から取り出した後の放置時間により管理する。 - 特許庁


例文

The polymer compound (A) obtained by copolymerizing a monomer [formula (1a)] having hexafluoroalcohol in a side chain and a monomer [formula (1b)] in which the hydroxyl group of hexafluoroalcohol in a side chain is protected is used as an additive material and a resist protective film material for a photoresist for use in immersion lithography.例文帳に追加

側鎖にヘキサフルオロアルコールを有するモノマー(1a)と、側鎖のヘキサフルオロアルコールの水酸基が保護されたモノマー(1b)の共重合により得られる高分子化合物(A)を液浸リソグラフィー用フォトレジスト用の添加剤材料及びレジスト保護膜材料として用いる。 - 特許庁

A target board is arranged inside the channel so as to support the exposure of at least one sample to concentrated solar radiation when the operation part is present in the first operation position and support the immersion of the sample in fluid when the operation part is present in the second operation position.例文帳に追加

ターゲットボードは、動作部が第一動作位置にある場合には、少なくとも一つの試料が太陽放射の集中に曝されるのを支持するために、さらに、第二動作位置にある場合には、試料が流体に浸漬されるのを支持するため、チャンネル内に配置されている。 - 特許庁

To form a pattern exhibiting excellent refractive index and translucence in far ultraviolet region while suppressing variation in purity among production lots, and exhibiting excellent sensitivity, resolution and pattern profile when it is used as liquid immersion exposure liquid while suppressing variation in light exposure (reproducibility) among the lots.例文帳に追加

遠紫外領域における屈折率および透過性に優れ、かつ、製造ロット間の純度のばらつきが小さく、液浸露光用液体として用いた場合、感度、解像度、パターン形状に優れ、かつロット間の露光量バラツキ(再現性)の小さいパターンを形成する。 - 特許庁

The conductor and the electrode are connected at and for the soldering temperature and immersion time at and for which the insulating film is melted to erode the surface plating film without eroding the substrate plating film and the component metal of the conductor and the component metal of the electrode can form an alloy with soldering components.例文帳に追加

そして、絶縁膜を溶融させるとともに、下地メッキ膜が侵食することなく表面メッキ膜を侵食させ、かつ導電体の構成金属と電極の構成金属とが半田成分と合金を形成可能な半田温度及び浸積時間で、導電体と電極とを接続させる。 - 特許庁

例文

In the liquid immersion exposure method wherein a gap between a resist film applied on a substrate and a lens of an exposure device which is arranged confronting the resist film is filled up with H_2O, PEB treatment is carried out after H_2O absorbed into the resist film is removed.例文帳に追加

基板上に塗布されたレジスト膜とレジスト膜に対向して配置される露光装置のレンズとの間にH_2Oを満たしてレジスト膜を露光する液浸露光方法において、レジスト膜中に吸収されたH_2Oを除去してからPEB処理する液浸露光方法。 - 特許庁

例文

To provide a positive photosensitive resin composition excellent in pattern collapse margin with excellent fine pattern formation, excellent pattern shape, and less development defect even in not only normal exposure (dry exposure) but also immersion exposure, and to provide a pattern forming method using it.例文帳に追加

通常露光(ドライ露光)のみならず液浸露光においても、微細で良好なパターン形成が可能で、パターン形状が良好であり、現像欠陥が極めて少なく、且つパターン倒れマージンに優れた、ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

The nonaqueous electrolyte secondary battery is characterized as having a metal battery receptacle 2 and a sealing body for sealing an electrolyte immersion hole 1 equipped with the receptacle, and having the sealing body composed of the main body 41 of the metal sealing body and a rubber plug 42.例文帳に追加

金属製電池容器2と、前記電池容器に設けられた電解液注液孔1を封孔するための封孔体とを備え、封孔体が金属製封孔体本体41とゴム栓体42とで構成されていることを特徴とする非水電解質二次電池とする。 - 特許庁

In the immersion nozzle equipped with the twist tapelike swirl blade for imparting the swirl flow to the molten metal in the nozzle, the inner wall face of the nozzle on the swirl blade equipped position, or the swirl blade itself, or both of them are constituted of the porous texture.例文帳に追加

ノズル内の溶鋼に旋回流を付与するねじりテープ状の旋回羽根を装着してなる浸漬ノズルにおいて、旋回羽根装着部位のノズル内壁面または旋回羽根自身、あるいはその両方がガス吹き込み用の多孔質組織で構成されていることを特徴とする浸漬ノズルである。 - 特許庁

The objective lens 1 is constituted of a lens 5 converting incident light to convergent light, a phase compensator 6 arranged in the optical path of the incident light converted to the convergent light by the lens 5 and the solid immersion lens 7 formed so that the incident light passed through the compensator 6 is made incident on it.例文帳に追加

対物レンズを、入射光を収束光とするレンズと、当該レンズによって収束光とされた入射光の光路中に配された位相補償板と、当該位相補償板を通過してきた入射光が入射するようになされたソリッドイマージョンレンズとから構成する。 - 特許庁

This device comprises a level detecting means 2 for detecting the water level in case of water immersion of the underground storage part 8, and a control means 3 for controlling an elevator 1 to move the vehicle 7 in the underground storage part 8 to an upper parking chamber 10 in the operation of the level detecting means 2.例文帳に追加

地下格納部8への浸水時の水位を検知する水位検知手段2を設け、該水位検知手段2が作動した時に、前記エレベータ1が地下格納部8の車両7をより上方の駐車室10に移動させるように制御する制御手段3を備える。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a cold-rolled steel sheet exhibiting excellent chemical conversion processability and excellent corrosion resistance after coating in harsh corrosive environments such as in a warm salt water immersion test or a compound cyclic corrosion test; a cold rolled steel sheet manufactured by the method; and automobile members prepared using the cold-rolled steel sheet.例文帳に追加

化成処理性に優れかつ塩温水浸漬試験や複合サイクル腐食試験のような過酷な腐食環境での塗装後耐食性にも優れる冷延鋼板の製造方法と、その方法で製造する冷延鋼板、ならびにその冷延鋼板を用いた自動車部材を提供する。 - 特許庁

This is an apparatus for liquid immersion lithography, in which a compensation controller controls actuators to apply forces to the substrate equal in magnitude and opposite in direction to forces which are applied to the substrate by a liquid supply system which supplies liquid between a final element of a projection system and the substrate.例文帳に追加

投影システムの最終エレメントと基板の間に液体を供給する液体供給システムによって基板に印加される力と大きさが同じで逆方向の力を基板に印加するべく補償コントローラによってアクチュエータが制御される液浸リソグラフィのための装置である。 - 特許庁

The exposure device includes an immersion unit which forms an immersed region of liquid on a body disposed at a position which can be irradiated with the exposure light, and a first irradiation unit which irradiates the liquid with first light optically captures foreign matter in the liquid with light pressure of the first light.例文帳に追加

露光装置は、露光光が照射可能な位置に配置された物体上に液体の液浸領域を形成する液浸装置と、液体に第1光を照射し、第1光の光圧によって液体中の異物を光学的に捕捉する第1照射装置とを備えている。 - 特許庁

A problem of unstable gap control between the master disk and the lens caused by direct irradiation of the inorganic resist with a laser beam resulting in contamination of a surface of a solid immersion lens due to volatilization of the resist material is avoided by conducting exposure in a state in which the inorganic resist layer is covered with the protective thin film.例文帳に追加

無機レジスト層が保護薄膜に覆われた状態で露光を行うことで、無機レジスト上へ直接レーザを照射した際にレジスト材料の揮発でソリッドイマージョンレンズ表面が汚れてしまい、原盤−レンズ間のギャップ制御が不安定になる問題を回避する。 - 特許庁

To provide an immersion nozzle for continuously casting steel with which clogging by Al_2O_3 in molten steel is prevented and the structural stability of which is high without spoiling the cleanliness of a slab and without hindering the stability of the continuous casting operation when continuously casting the molten steel.例文帳に追加

溶鋼の連続鋳造の際に、鋳片の清浄性を損なうことなくかつ連続鋳造操業の安定性を阻害することなく、溶鋼中のAl_2O_3による閉塞を防止することができ、かつ構造安定性の高い鋼の連続鋳造用浸漬ノズルを提供すること。 - 特許庁

To provide techniques for collecting a substrate which is not suitably coated with a protective film without adversely affecting a normal substrate and for facilitating removing operation for the protection film in a coating and developing device applied to liquid immersion exposure.例文帳に追加

液浸露光に適用される塗布、現像装置において、適正に保護膜が塗布されていない基板について正常な基板の処理効率に悪影響を与えることなく回収することができ、且つ保護膜の除去作業の簡便化を図ることができる技術を提供する。 - 特許庁

To provide an immersion type membrane filter apparatus capable of efficiently operating filtration, flocculation and sedimentation in a space substantially equal to or less than a convential space while avoiding an increase in the load of flocs or backwashing wastewater to a filter membrane.例文帳に追加

凝集フロックや逆洗排水が濾過膜への負荷を増大させることを回避しつつ、濾過、凝集、沈澱が実質的に従来のスペースと同等以下のスペースで効率よく実施できるようにした、濾過性能に優れ、膜寿命が長く、ランニングコストも低い浸漬型膜濾過装置を提供する。 - 特許庁

When the water immersion signal is received, a required power is supplied from a power source 9 to the hoisting machine 5, the control device is hoisted to a predetermined height, the power supply is cut off, and the brake force is given to the hoisting machine 5 to fix it.例文帳に追加

この浸水感知信号を受けると、動力源9から引上げ機構5に所要の電力を供給し、制御装置を所定の高さ位置まで引き上げ、所定の時間後に電力供給を断とし、引上げ機構5にブレーキ7により制動力を与えて固定する。 - 特許庁

The immersion nozzle for continuous casting in which a spinel graphite refractory is arranged at least in the inner face is characterized in that the spinel graphite refractory containes, in mass%, C: 11-45%, MgO: 6-25%, Al_2O_3: 40-80%, and CaO: 1-7%.例文帳に追加

スピネルグラファイト耐火物を少なくとも内面に配した連続鋳造用浸漬ノズルであって、前記スピネルグラファイト耐火物が、mass%で、C:11〜45%、MgO:6〜25%、Al_2O_3:40〜80%およびCaO:1〜7%を含有することを特徴とする連続鋳造用浸漬ノズル。 - 特許庁

This immersion lithography device including a detector measuring a distance between a board support structure and/or a board and a fluid handling system, and/or detecting an item when the item is present between the fluid handling system and the board and/or the upper surface of the board support structure, is disclosed.例文帳に追加

基板支持構造及び/又は基板と流体ハンドリングシステムの間の距離を測定する、及び/又は流体ハンドリングシステムと基板及び/又は基板支持構造の上面との間にアイテムが存在する場合に、それを検出する検出器を含む液浸リソグラフィ装置が開示される。 - 特許庁

To provide a peripheral surface immersion type gravure coater for positively discharging air bubbles contained in a coating solution within a chamber to eliminate the filling of a cell with the air bubble-containing coating solution and preventing the leak of the coating solution from the contact part of a doctor with a gravure roll to always perform proper coating.例文帳に追加

チャンバー内の塗液に含まれる気泡を積極的に排出して、気泡を含む塗液がセルに充填されるのを解消し、さらにドクタのグラビアロールとの接触部から塗液が漏出するのを阻止して、常に適正な塗工が行える周面浸漬型のグラビアコータを提供する。 - 特許庁

A formwork for concrete made of a polyurethane elastomer of which the hardness at 25°C after an immersion test in an aqueous alkali solution with a pH of 13 at 85°C for 10 days is 55-90 and the maintenance factor of tear strength is 80% or higher is provided, and so is a polyurethane elastomer composition used for manufacturing the formwork.例文帳に追加

85℃におけるpH13のアルカリ水溶液浸漬試験で10日経過後の硬度が25℃で55〜90、引裂強度の維持率が80%以上のポリウレタン系エラストマーからなるコンクリート用型枠、及び該型枠の製造に用いられるポリウレタン系エラストマー組成物である。 - 特許庁

In the ultrasonic flaw detection method by the water immersion method, ultrasonic wave transmission/reception means is provided with optical irradiation means, the optical irradiation means irradiates a specimen with an optical marker, and an imaging device images the irradiation position of the optical marker to perform flaw detection.例文帳に追加

水浸法による超音波探傷方法において、超音波送受信手段に光学的照射手段を搭載させ、光学的照射手段から被検体へ光学的マーカを照射し、撮像装置にて光学的マーカの照射位置を撮影して探傷を行う。 - 特許庁

To provide a highly antistatic laminate excellent in antistatic properties even under low humidity or after water immersion or molding, certainly preventing the generation of static electricity under all environments, having excellent transparency and blocking resistance, extremely low in the deficient of a conductive layer, and a molded product using the same.例文帳に追加

低湿度下でも、また水中浸せき後や成形後も帯電防止性に優れ、あらゆる環境下で静電気発生を確実に防止し、且つ、すぐれた透明性、耐ブロッキング性を有し、導電層の欠損率が極めて低い高制電性積層体およびそれを用いた成形品を提供する。 - 特許庁

This proximity field light generating element (solid immersion mirror) 10 forms an image in the central part of a second surface 12 by reflecting the laser beam L made incident on the peripheral part of a first surface 11 of a plane shape at a second surface 12 in the form of a paraboloid of revolution and further reflecting the same in the central part of the first surface 11.例文帳に追加

平面状の第1面11の周辺部分に入射したレーザ光Lを回転放物面状の第2面12で反射させ、さらに第1面11の中央部で反射させ、第2面12の中央部に結像させる近接場光発生素子(固浸ミラー)10。 - 特許庁

To raise a controllability of a line width of a pattern, while reducing a developing defect, in case of forming a protective film of a water repellent property on a substrate an which a resist film is formed, and performing a development processing to the substrate after forming a liquid layer on a front surface of the protective film and carrying out an oil immersion exposure.例文帳に追加

レジスト膜が形成された基板の上に撥水性の保護膜を形成し、その表面に液層を形成して液浸露光した後の基板に現像処理を行うにあたって、現像欠陥を低減させると共にパターンの線幅の制御性を向上させること。 - 特許庁

To provide a pressure-sensitive adhesive sheet for marking which is an environmentally friendly pressure-sensitive adhesive sheet whose substrate comprises a non-vinyl chloride type resin sheet, has rubbing resistance, resistance to immersion in a chemical, resistance to cracking upon being elongated, weather resistance, and desired degree of glossiness, and can be desirably used for, e.g., automobiles.例文帳に追加

基材として非塩化ビニル系樹脂基材を用いてなる環境対応型の粘着シートであって、耐擦過性、耐薬品浸漬性、延伸時における耐クラック性、耐候性及び所望の光沢度を有し、例えば自動車用などとして好適に用いられるマーキング用粘着シートを提供する。 - 特許庁

After the ultrasonic washing while cooling the washing liquid in the immersion washing chamber 610 ends, the liquid crystal panels 1 are transferred as they are into a process chamber 630 where the liquid crystal panels are subjected to shower washing and steam washing, following which the process chamber 630 is partitioned by a work base 620 and vacuum drying is executed there.例文帳に追加

この浸漬洗浄室610で、洗浄液を冷却しながらの超音波洗浄を終えた後は、そのまま処理室630に液晶パネル1に移し、そこでシャワー洗浄および蒸気洗浄を行った後、処理室630をワーク台620で仕切り、そこで真空乾燥を行う。 - 特許庁

The cleaning apparatus S has a circulation passage for the cleaning solution formed with pipes 2a and 2c connecting the cleaning vessel 1 with the reservoir tank 2, and work W is immersion-cleaned by introducing the work W into the cleaning vessel 1 and showering the cleaning solution on the work W from a shower head 8.例文帳に追加

洗浄装置Sは、洗浄槽1とリザーバタンク2を接続する配管2a、2cによって洗浄液の循環流路を形成しており、洗浄槽1にワークWを導入してシャワーヘッド8から洗浄液を導入することにより、ワークWに浸漬洗浄を行なう。 - 特許庁

To provide a membrane cartridge which secures a uniform cleaning action of upward flow to a membrane surface by reducing the resistance of water flow to smoothly reverse the upward flow, suppresses the blocking of a membrane cartridge and acts a uniform transmembrane pressure difference to the whole membrane surface, and an immersion type membrane separator.例文帳に追加

水流の抵抗を減じて上昇流のスムーズな反転を行って膜面に対する上昇流の均一な洗浄作用を確保し、膜カートリッジの目詰まりを抑制するとともに、膜面全体に均等な膜間差圧が作用する膜カートリッジおよび浸漬型膜分離装置を提供する。 - 特許庁

To provide a machining tank device for an immersion-type wire electric discharge machine, having reliable sealing and low moving resistance of the machining tank by sealing an opening for a lower arm formed on a seal plate arranged in the machining tank by a sealing means not rubbing against a lower arm.例文帳に追加

この発明は、加工槽内に配置されたシール板に形成されている下アーム貫通用の開口を下アームと擦れ合わない密封手段で密封して、密封が確実で加工槽の移動抵抗が小さい浸漬式ワイヤ放電加工機の加工槽装置を提供する。 - 特許庁

In a method for producing the polyimide separation membrane by immersing a polyamic acid solution in a poor solvent, producing a separation membrane by a phase inversion method, and imidating the membrane at a high temperature, before the immersion of the polyamic acid solution, the membrane is heat-treated to be imidated partially.例文帳に追加

ポリアミック酸溶液を貧溶媒に浸漬し、相反転法で分離膜を製造し、この分離膜を高温でイミド化させてポリイミド分離膜を製造する方法であって、上記ポリアミック酸溶液を貧溶媒に浸漬する前に加熱処理することによって部分的にイミド化させる。 - 特許庁

There are also provided preferred delivery systems and methods for stably administering at least one dsRNA to a crustacean whereby the dsRNA is administered via injection, immersion, in a feed or nutrient medium or, that expresses the dsRNA and is ingestible by the crustacean, e.g., a shrimp.例文帳に追加

また、甲殻類動物に、少なくとも1種のdsRNAを恒常的に投与する、好ましい送達系、及び方法であって、該dsRNAが、注入、浸漬、餌料、又は栄養媒体を経て投与されるか、或いdsRNAを発現し、かつエビなどの甲殻類動物により摂取可能である方法。 - 特許庁

The method has a process of immersing the discharge face of a discharge head 301 discharging a liquid material in a predetermined solution capable of decomposing aggregates produced in the liquid material and a process of wiping the discharge face of the discharge head 301 after immersion with a predetermined member 391.例文帳に追加

本発明の液滴吐出装置の整備方法は、液体材料を吐出する吐出ヘッド301の吐出面を、液体材料に生じる凝集物を分解可能な所定液に浸漬する工程と、浸漬後の吐出ヘッド301の吐出面を所定部材391で拭う工程とを有する。 - 特許庁

In the step for forming the surface layer which constitutes the outermost surface of the electrophotographic photoreceptor, the surface layer is formed by the immersion coating method by using the coating liquid for the surface layer containing the lubricant and a fluorine-based solvent, having a cyclic structure as the solvent.例文帳に追加

電子写真用感光体の最外表面を構成する表面層を形成する表面層形成工程において、前記表面層が潤滑剤及び溶剤として環状構造を有するフッ素系溶剤を含有した表面層用塗布液を用いて浸漬コーティング法により形成する。 - 特許庁

To provide a method for producing an alicyclic saturated hydrocarbon compound by using a purification method of using an adsorbent, removing impurities contained in the alicyclic saturated hydrocarbon compound suitable as a liquid immersion light exposure and excellent in transmittance at 193 nm, in a good efficiency, and having good reproducibility and a stable optical property.例文帳に追加

吸着剤を用いる精製方法で、193nmにおける透過率に優れる液浸露光用液体として好適な脂環式飽和炭化水素化合物中に含まれる不純物を効率よく除去し、再現性よく、光学的性質が安定している。 - 特許庁

The manufacturing method of the polarizing film comprises: performing boric acid treatment after performing adsorption orientation of iodine to polyvinyl alcohol based film, wherein immersion treatment of the polyvinyl alcohol based film is performed after the boric acid treatment in an aqueous solution of about 28 to 50 pts.wt. of iodide such as potassium iodide to 100 pts.wt. of water.例文帳に追加

ポリビニルアルコール系フィルムにヨウ素を吸着配向させた後、ホウ酸処理する偏光フィルムの製造方法であって、該ホウ酸処理後のポリビニルアルコール系フィルムを、水100重量部に対して約28〜50重量部のヨウ化カリウム等のヨウ化物の水溶液に浸漬処理する。 - 特許庁

To provide an immersion microscope apparatus capable of obtaining an observing state without using movement of a substrate and capable of preventing spread of a liquid toward an unnecessary area (i.e., an area where a liquid cannot be recovered afterward) around an observation point regardless of the condition (hydrophilic/repellent property) of the surface of a substrate.例文帳に追加

基板の移動を利用せずに観察状態を実現することができ、基板の表面の状態(親水性/撥水性)に拘わらず、観察点の周囲の不要な箇所(後から回収できない箇所)への液体の広がりを防止できる液浸顕微鏡装置を提供する。 - 特許庁

To provide an immersion nozzle having twisting tape-like swivel wings for making a molten steel flow inside the nozzle a swivel flow, which can prevent alumina adhesion to a swivel wing, smoothly divide the molten steel flow, positively obtain swivel flow imparting effects, and improve quality of cast slabs.例文帳に追加

ノズル内の溶鋼流を旋回流とするねじりテープ状の旋回羽根を装着した浸漬ノズルにおいて、旋回羽根へのアルミナ付着を防止し、溶鋼流をスムーズに二分し、旋回流付与効果が確実に得られ、鋳片の品質向上効果の高い浸漬ノズルを提供する。 - 特許庁

To provide a positive resist composition and a method of pattern formation using the composition, the positive resist composition improved in performances relating to a pattern profile, pattern falling and scum and excellent in a receding contact angle with an immersion liquid and water following-up property.例文帳に追加

ポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供することであり、パターンプロファイル、パターン倒れ、スカムの諸性能が改善され、かつ液浸液の後退接触角ならびに水追随性も優れたポジ型レジスト組成物及びパターン形成方法を提供することである。 - 特許庁

To provide an actinic ray sensitive or radiation sensitive resin composition which can provide a pattern having improved uniformity of coating film thickness and excellent size uniformity in the wafer surface on which the pattern has been formed by liquid immersion exposure, and a pattern forming method using the composition.例文帳に追加

塗布膜厚の均一性が改善され、且つ、液浸露光により形成されたパターンのウエハー面内における寸法均一性に優れるパターンを提供可能な感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物およびそれを用いたパターン形成方法を提供すること。 - 特許庁

To provide an actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition suitable not only to a normal dry process but also to an immersion process for a line width of 45 nm or less and improved in the DOF, pattern collapse and iso/dense bias, and to provide a resist film and a pattern forming method each using the composition.例文帳に追加

通常のドライプロセスに加え、線幅45nm以下の液浸プロセスにも適合した、DOF、パターン倒れ、及び疎密依存性が改良された感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いたレジスト膜及びパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

The aligner irradiates the certain member with either the exposure light exiting the exit surface and/or the irradiating light in a state that the surface of the certain member comes into contact with the liquid in the liquid immersion space having the concentration of gas which is raised as compared with a concentration when the substrate is irradiated with the exposure light.例文帳に追加

露光装置は、基板に対する露光光の照射時よりも気体濃度が高められた液浸空間の液体と所定部材の表面とが接触された状態で、射出面から射出される露光光及び照射光の少なくとも一方を所定部材に照射する。 - 特許庁

The minimum horizontal distance between tops of the curved parts 11a, 11b and the immersion nozzles 21 is30 mm and ≤80 mm in a range from the lower end of the electromagnetic stirring apparatus 7a in the vertical direction to the position higher than the upper end of the electromagnetic stirring apparatus 7a by 50 mm.例文帳に追加

湾曲部11a、11bの頂部と浸漬ノズル21との間の最短水平距離は、高さ方向で電磁攪拌装置7aの下端部から、電磁攪拌装置7aの上端部よりも50mm高い位置までの範囲において、30mm以上かつ80mm以下である。 - 特許庁

例文

The magnetic field immersion type electron gun has a double-gap magnetic path with three magnetic poles arranged on a coaxial line in which a magnetic lens has a hole in its central axis, wherein a permanent magnet is arranged in a gap of two gaps made up among the three magnetic poles, the gap on the side where there exists no electron source.例文帳に追加

磁場レンズが中心軸に孔を有する3枚の磁極を同軸線上に配置したダブルギャップ型の磁路を有する磁場界浸型電子銃において、3枚の磁極の間に構成される2つのギャップのうち電子源の存在しない側のギャップに永久磁石を配置する。 - 特許庁




  
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