Immersionを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 3841件
ARRANGEMENT OF SUBSTRATE IN OIL IMMERSION LITHOGRAPHY例文帳に追加
液浸リソグラフィにおける基板の配置 - 特許庁
VACUUM SYSTEM FOR IMMERSION PHOTOLITHOGRAPHY例文帳に追加
液浸フォトリソグラフィのための真空システム - 特許庁
WATER COLLECTOR FOR IMMERSION MEMBRANE SEPARATOR例文帳に追加
浸漬型膜分離装置の集水装置 - 特許庁
This liquid immersion system is used for liquid immersion exposure exposing a substrate with exposure light.例文帳に追加
液浸システムは、露光光で基板を露光する液浸露光に用いられる。 - 特許庁
To provide a cleaning fluid for an immersion lithography system, and an immersion lithography process.例文帳に追加
液浸リソグラフィシステム用洗浄液及び液浸リソグラフィ工程を提供する。 - 特許庁
HEAT EXHAUSTING DEVICE OF IMMERSION NOZZLE EXCHANGING DEVICE例文帳に追加
浸漬ノズル交換装置の排熱装置 - 特許庁
SUBSTRATE FOR OIL IMMERSION EXPOSURE AND ITS MANUFACTURING METHOD, AND METHOD OF OIL IMMERSION EXPOSURE例文帳に追加
液浸露光用基板およびその製造方法、ならびに液浸露光方法 - 特許庁
Though the water immersion due to rain in the pit becomes problem in this case, a water immersion sensing means 8 sensing the water immersion in the pit before the water immersion reaches the control device in the pit, is provided, and sends out water immersion sensing signal when sensing the water immersion.例文帳に追加
この場合にはピット内の雨水による浸水が問題になるが、浸水がピット内の制御装置に達する前にピット内の浸水を感知する浸水感知手段8を設け、浸水を感知すると浸水感知信号を送出する。 - 特許庁
OBSERVATION APPARATUS PROVIDED WITH IMMERSION OBJECTIVE LENS例文帳に追加
液浸対物レンズを備えた観察装置 - 特許庁
OPTICAL DEVICE USING SOLID IMMERSION LENS例文帳に追加
ソリッドイマージョンレンズを使用した光学装置 - 特許庁
To limit the movement of immersion liquid in a gap between immersion system structure and a projection system, and to reduce the quantity of immersion liquid that escapes the immersion system through the gap.例文帳に追加
液浸システム構造と投影システムとの間のギャップ内の液浸液の動きを制限し、ギャップを通って液浸システムから流出する液浸液の量を低減すること。 - 特許庁
IMMERSION LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
液浸リソグラフィ装置、デバイス製造方法 - 特許庁
IMMERSION LITHOGRAPHY APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
液浸リソグラフィ装置、デバイス製造方法 - 特許庁
CLEANING APPARATUS AND IMMERSION LITHOGRAPHIC APPARATUS例文帳に追加
クリーニング装置および液浸リソグラフィ装置 - 特許庁
AIR DIFFUSION PIPE, AIR DIFFUSION UNIT AND IMMERSION MEMBRANE UNIT例文帳に追加
散気管、散気ユニット及び浸漬膜ユニット - 特許庁
PARTIAL WATER IMMERSION TYPE ULTRASONIC FLAW DETECTOR例文帳に追加
局部水浸式超音波探傷装置 - 特許庁
LIQUID IMMERSION MICROSCOPE AND DEFECT INSPECTION APPARATUS例文帳に追加
液浸顕微鏡、及び欠陥検査装置 - 特許庁
LIQUID IMMERSION APOCHROMATIC MICROSCOPE OBJECTIVE LENS例文帳に追加
液浸系アポクロマート顕微鏡対物レンズ - 特許庁
A final lens element 136 is insitu cleaned inside the immersion lithography system having an immersion fluid showerhead that supplies an immersion fluid into the exposure zone of the immersion lithography system.例文帳に追加
液浸リソグラフィシステムの露光ゾーンに液浸流体を提供する液浸流体シャワーヘッドを有する液浸リソグラフィシステム内で、最終レンズ要素136をinsituクリーニングする。 - 特許庁
CAISSON IMMERSION METHOD AND WATER GAUGE FOR CAISSON例文帳に追加
ケーソン沈設方法およびケーソン用水位計 - 特許庁
HOLLOW FIBER MEMBRANE MODULE OF IMMERSION FILTRATION SYSTEM例文帳に追加
浸漬濾過方式の中空糸膜モジュール - 特許庁
IMMERSION LITHOGRAPHY SYSTEM AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
液浸リソグラフィ装置、デバイス製造方法 - 特許庁
To provide an immersion lithographic apparatus in which the generation of bubbles in immersion liquid is reduced.例文帳に追加
浸液中の気泡の発生が低減された浸漬リソグラフィ装置を提供する。 - 特許庁
LIQUID RECOVERY SYSTEM, IMMERSION EXPOSURE APPARATUS, IMMERSION EXPOSURE METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
液体回収システム、液浸露光装置、液浸露光方法、及びデバイス製造方法 - 特許庁
MEMBER FOR USE IN IMMERSION LITHOGRAPHY APPARATUS, IMMERSION LITHOGRAPHY APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
液浸露光装置に用いられる部材、液浸露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
OPTICAL ELEMENT, LIQUID IMMERSION EXPOSURE EQUIPMENT, LIQUID IMMERSION EXPOSURE METHOD, AND MICRO DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
光学素子、液浸露光装置、液浸露光方法及びマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
To prevent watermark generation after drying immersion liquid used during liquid immersion exposure.例文帳に追加
液侵露光における液侵液が乾燥した後のウォーターマークの発生を防止すること。 - 特許庁
LIQUID IMMERSION LITHOGRAPHIC DEVICE, DRYING DEVICE, LIQUID IMMERSION METRO LOGY DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
液浸リソグラフィ装置、乾燥デバイス、液浸メトロロジー装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
WATER IMMERSION DETECTION SYSTEM, WATER IMMERSION DETECTION METHOD USING THE SAME, AND WAVEGUIDE例文帳に追加
浸水検知システム及びこのシステムを用いた浸水検知方法、並びに導波管 - 特許庁
METHOD OF CLEANING LIQUID IMMERSION AUXILIARY PLATE, LIQUID IMMERSION LITHOGRAPHY, AND PATTERN FORMATION METHOD例文帳に追加
液浸補助板の洗浄方法と液浸露光方法及びパターン形成方法 - 特許庁
IMMERSION EXPOSURE DEVICE, IMMERSION EXPOSURE METHOD, DEVICE MANUFACTURING METHOD, PROGRAM, AND RECORDING MEDIUM例文帳に追加
液浸露光装置、液浸露光方法、デバイス製造方法、プログラム、及び記録媒体 - 特許庁
IMMERSION LITHOGRAPHY SYSTEM AND IMMERSION PHOTOLITHOGRAPHY PATTERNING METHOD FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT例文帳に追加
液浸リソグラフィシステムおよび半導体集積回路の液浸フォトリソグラフィパターニング方法 - 特許庁
PHOTORESIST ADDITIVE FOR LIQUID IMMERSION LITHOGRAPHY AND PHOTORESIST COMPOSITION FOR LIQUID IMMERSION LITHOGRAPHY例文帳に追加
液浸リソグラフィー用フォトレジスト添加剤及び液浸リソグラフィー用フォトレジスト組成物 - 特許庁
To provide an immersion optical device capable of making immersion exposure in appropriate environments, to provide a cleaning method, and to provide an immersion exposure method.例文帳に追加
適切な環境で液浸露光を行い得る液浸光学装置、洗浄方法及び液浸露光方法を提供すること。 - 特許庁
To provide an immersion which can control and surround an immersion lens solution in operating steps of an immersion lithography system.例文帳に追加
液浸リソグラフィシステムの操作工程において、液浸レンズ液の制御および包囲を行う能力を備える液浸を提供する。 - 特許庁
IMMERSION LITHOGRAPHY APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME例文帳に追加
液浸リソグラフィ装置、デバイス製造方法 - 特許庁
To provide a refining method of an immersion oil having excellent characteristics as an immersion solution.例文帳に追加
液浸用溶液として優れた特性を有する液浸油の精製方法を提供する。 - 特許庁
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