wfを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 356件
Since it is possible to prevent the liquid membrane formed on the substrate surface Wf from coming into contact with the liquid refrigerant, the liquid membrane can be frozen, without making the substrate surface Wf contaminated.例文帳に追加
また、基板表面Wfに形成された液膜に液体冷媒が接触することがないため、基板表面Wfを汚染させることなく液膜を凍結させることができる。 - 特許庁
The shielding material 38 is folded and stored between the door frame 11 in the circumferential edge of the window WF and the interior material 21 and is so developed as to shield the window WF in operating.例文帳に追加
遮蔽材38は、窓WFの周縁におけるドアフレーム11と内装材21との間に、折り畳まれて収納され、作動時、窓WFを遮蔽するように展開される。 - 特許庁
Subsequently, a paddle-like liquid layer 21 of DIW is formed on the substrate surface Wf by supplying DIW from a mist supply nozzle 9 as a mist to the substrate surface Wf.例文帳に追加
続いて、ミスト供給ノズル9からDIWをミスト状に基板表面Wfに供給してDIWによるパドル状の液体層21を基板表面Wfに形成する。 - 特許庁
The acquired user information in the neighborhood is transmitted to the WF management device 2, and the information in the WF of the user is acquired, and approver information suitable for the application data is presented.例文帳に追加
取得した近辺のユーザ情報をWF管理装置2に送信し、かかるユーザのWF内での情報を取得し、申請データに適した承認者情報が提示される。 - 特許庁
To execute efficient and high quality WF system construction by checking whether any mistake is generated in the interface design contents of AP and WF, and then handing over the design contents to the detail design and development of the AP and WF in a downstream process.例文帳に追加
WFシステム構築において、APとWFのインターフェース設計内容にミスがないかどうかをチェックした上で、設計内容を下流工程であるAPとWFそれぞれの詳細設計及び開発に引き継ぎ、効率的で品質の良いWFシステム構築を行なえるようにする。 - 特許庁
A frozen film 13 is then formed on the substrate surface Wf by freezing the liquid film 11.例文帳に追加
続いて、液膜11を凍結させて基板表面Wfに凍結膜13を形成する。 - 特許庁
A support stand 11 of a semiconductor wafer WF is arranged in a treatment chamber which is not illustrated.例文帳に追加
図示しない処理チャンバ内部に半導体ウェハWFの支持台11が配備されている。 - 特許庁
The air bag 51 is developed and inflated in a position between the drawn-up occupant M and the window WF.例文帳に追加
そして、エアバッグ51が、引き起こされた乗員Mと窓WFとの間に、展開膨張する。 - 特許庁
Then, a medical solution is supplied from a medical solution nozzle 142 to the peripheral section of a rotating substrate surface Wf, thus supplying the medical solution to all regions of the peripheral section of the substrate surface Wf.例文帳に追加
そして、回転する基板表面Wfの周縁部に薬液ノズル142から薬液を供給することで基板表面Wfの周縁部のすべての領域に薬液が供給される。 - 特許庁
While a substrate W is rotated within an almost horizontal face in a horizontal posture that the substrate surface Wf which has gotten wet with rinse liquid is turned up, IPA liquid is supplied to the substrate surface Wf.例文帳に追加
リンス液で濡れた基板表面Wfを上方に向けた水平姿勢で基板Wが略水平面内にて回転されながらIPA液が基板表面Wfに供給される。 - 特許庁
In order to form the groove DT on the back of the semiconductor wafer WF, after applying a resist film on the back of the semiconductor wafer WF, the resist film is patterned by using photolithography technology.例文帳に追加
半導体ウェハWFの裏面に溝DTを形成するには、半導体ウェハWFの裏面にレジスト膜を塗布した後、フォトリソグラフィ技術を使用することにより、レジスト膜をパターニングする。 - 特許庁
A SC1 solution (mixed solution containing aqueous ammonia and hydrogen peroxide solution) is supplied to the substrate surface Wf to form the liquid film 11 composed of the SC1 solution on the substrate surface Wf.例文帳に追加
基板表面WfにSC1溶液(アンモニア水と過酸化水素水とを含む混合溶液)を供給して基板表面WfにSC1溶液で構成された液膜11を形成する。 - 特許庁
The drop of the cooling medium temperature is maintained while the substrate surface Wf is scanned by the cooling nozzle 3.例文帳に追加
冷媒温度の低下は冷却ノズル3が基板表面Wf上をスキャンしている間維持される。 - 特許庁
Supersonic vibration is given to liquid film LF on the surface Wf of the substrate at a vibration providing position.例文帳に追加
基板表面Wf上の液膜LFに対して振動付与位置で超音波振動が与えられる。 - 特許庁
Storage water is retained on the surface of the wafer WF, and dirt of the dicing is floated on the stored water.例文帳に追加
ウェハWF表面上には溜水ができ、この溜水にダイシング汚れの汚染物を浮遊させる。 - 特許庁
A reference wafer WF having a known position relation and a mark M_ijk is placed on a wafer stage WST.例文帳に追加
既知の位置関係にあるマークM_ijkが付与された基準ウエハWFをウエハステージWSTに載置する。 - 特許庁
A table 11 supports a wafer WF with a protection tape 12 attached thereon, and can be controlled for alignment and movement.例文帳に追加
テーブル11は、保護テープ12の貼られたウェハWFを支持し、アライメント及び移動制御可能である。 - 特許庁
In the circuit board 12, a probe card 124 is arranged in a region opposed to the semiconductor wafer WF.例文帳に追加
回路基材12では半導体ウェハWFとの対向領域にプローブカード124が配備される。 - 特許庁
In this way, the semiconductor wafer WF can be split into individual semiconductor chips even if a conventional dicing step is not executed.例文帳に追加
これによって、従来のダイシング工程を行わずとも各半導体チップへの分割が可能となる。 - 特許庁
The air bag 51 is accommodated on the side with upper rim of each window WF of a vehicle and developed and inflated in such a way as covering the inside of the cabin I of the window WF when the inflating gas from an inflator flows in at the time of actuation.例文帳に追加
エアバッグ51は、車両の窓WFの上縁側に収納されて、作動時のインフレ−タからの膨張用ガスの流入時に、窓WFの車内側Iを覆うように、展開膨張する。 - 特許庁
While a rinse liquid sticking on the substrate surface Wf is replaced with an IPA liquid, clean dry air (CDA) is supplied to a gap space SP to keep a periphery atmosphere of the substrate surface Wf at a low-humidity atmosphere.例文帳に追加
基板表面Wfに付着しているリンス液をIPA液に置換する間、低露点空気(CDA)が間隙空間SPに供給されて基板表面Wfの周囲雰囲気が低湿度雰囲気に保たれる。 - 特許庁
An intrusion prevention liquid is supplied to a surface Wf of a substrate, then a liquid to be frozen is supplied to the surface Wf of the substrate to allow a HFE to remain in a patten gap and in the vicinity of the pattern.例文帳に追加
基板表面Wfに対し、侵入防止液を供給し、その後凝固対象液を基板表面Wfに供給することにより、パターン間隙内部およびパターン近傍にHFEを残留させる。 - 特許庁
Consequently, the rinse liquid on the substrate surface Wf is replaced with the high-temperature IPA liquid with high replacement efficiency to suppress the amount of a rinse liquid remaining on the substrate surface Wf small before spin drying processing.例文帳に追加
このため、基板表面Wf上のリンス液が高い置換効率で高温IPA液に置換されてスピン乾燥処理前に基板表面Wf上に残存するリンス液の量を抑制することができる。 - 特許庁
Therefore, the wafer WF is supported in a state where its outer peripheral area becomes lower than its central area.例文帳に追加
従って、半導体ウェハWFは、中央領域に比べて外周領域が低くなるよう支持される。 - 特許庁
A substrate W is held on a spin chuck 2 in a substantially horizontal position while directing the front surface Wf upward.例文帳に追加
基板Wは、表面Wfを上方に向けた略水平姿勢の状態でスピンチャック2に保持される。 - 特許庁
A drain cup 13 is arranged along the wafer chuck section of the support stand 11 and the outer periphery of the wafer WF.例文帳に追加
支持台11のウェハチャック部分及びウェハWFの外周に沿うようにドレーンカップ13が配設されている。 - 特許庁
A chamber 10 is provided with a lower electrode part 11, on which a semiconductor wafer WF is placed and an upper electrode part 12.例文帳に追加
チャンバー10は、半導体ウェハWFを載置する下部電極11と、上部電極12を有する。 - 特許庁
A plating tool 15 has a cathode electrode 16 which fixes a wafer WF and contacts the prescribed portion of the wafer.例文帳に追加
めっき治具15は、ウェハWFを固定しウェハの所定部に接触するカソード電極16を備えている。 - 特許庁
Respective rollers 1F, 1R for mounting respective wheels WF, WR of the vehicle A are made freely movable along a lateral direction.例文帳に追加
車両Aの各車輪WF,WRを乗せる各ローラ1F,1Rを左右方向に移動自在とする。 - 特許庁
The projecting part 16 comprises an inner peripheral side wall part 16a on a window WF side and an outer peripheral side wall part 16d.例文帳に追加
突出部16は、窓WF側の内周側壁部16aと外周側壁部16dとを備える。 - 特許庁
After the substrate surface Wf covered with an IPA liquid is supplied with an HFE liquid to replace the IPA liquid with the HFE liquid so that the entire substrate surface Wf is covered with the HFE liquid, a high-temperature nitrogen gas is supplied to the substrate back surface Wb to heat the substrate W, and the HFE liquid is removed from the substrate surface Wf.例文帳に追加
IPA液で覆われた基板表面WfにHFE液を供給してIPA液をHFE液で置換して基板表面Wfの全部がHFE液で覆われた後に、高温窒素ガスが基板裏面Wbに供給されて基板Wが加熱されるとともに、基板表面WfからHFE液が除去される。 - 特許庁
Pre-drying processing (processing of supplying a high-concentration IPA to a substrate surface Wf) is executed, so that the concentration of an IPA of a liquid film to be formed on the substrate surface Wf is always adjusted to a final value suitable for substrate drying.例文帳に追加
乾燥前処理(基板表面Wfに高濃度IPAを供給する処理)を行うことで基板表面Wfに形成される液膜のIPA濃度は常に最終的に基板乾燥に適した値に調整されている。 - 特許庁
From the immediately after the elapse of the developing-solution-filling time, the number of revolutions of the wafer WF to be processed is decreased to not more than a half (SP2) so that the developing solution 16 expands more slowly to the periphery part of the wafer WF to be processed.例文帳に追加
現像液盛り時間経過直後からは被処理ウェハWFの回転数を半分以下に減少させ(SP2)、現像液16がより緩やかに被処理ウェハWFの外周部に広がっていくようにする。 - 特許庁
The development and inflation of the air bag 20F are made between the occupant MF pressed by the pressing device 31 and the window WF.例文帳に追加
このエアバッグ20Fは、押圧装置31によって押圧された乗員MFと窓WFとの間に、展開膨張する。 - 特許庁
Then, the drop set value WF(i) is corrected on the basis of the drop estimation value Fpc(i) and the deviation average value Epc(i).例文帳に追加
そして、落差推定値Fpc(i)および偏差平均値Epc(i)に基づいて、落差設定値WF(i)が補正される。 - 特許庁
A steering stem 7 for steerably retaining a front wheel WF is pivotally supported on a front part of a vehicle body frame of a motorcycle.例文帳に追加
自動二輪車の車体フレームの前部には、前輪WFを操舵可能に保持するステアリングステム7が軸支される。 - 特許庁
For a surface Wf (pattern-forming surface) of a substrate W, the particles etc. are removed by a frozen cleaning technique.例文帳に追加
基板Wの表面Wf(パターン形成面)については、凍結洗浄技術によってパーティクル等の除去を行う。 - 特許庁
An O3 water supply nozzle for back rinse 15 is arranged at the base of the drain cup 13 below the backside of the wafer WF.例文帳に追加
ウェハWF裏面側下方のドレーンカップ13底部にバックリンス用O_3 水供給ノズル15が配設されている。 - 特許庁
This occupant restraint device S is provided with a door frame 11 disposed in the circumferential edge of a window WF of a door FD of a vehicle, an interior material 21 disposed in the car inside I of the door frame 11 in the circumferential edge of the window WF, and the shielding material 38.例文帳に追加
乗員拘束装置Sは、車両のドアFDの窓WFの周縁に配置されるドアフレーム11と、窓WFの周縁におけるドアフレーム11の車内側Iに配置される内装材21と、遮蔽材38と、を備える。 - 特許庁
Prior to the drying step, an azeotropic composition or azeotropy-like composition of DIW and IPA is supplied as mixture liquid to the substrate surface Wf, in order to substitute the mixture liquid for the rinse liquid (DIW) adhering to the substrate surface Wf.例文帳に追加
乾燥工程前にDIWとIPAとの共沸組成物または共沸様組成物を混合液として基板表面Wfに供給して基板表面Wfに付着しているリンス液(DIW)を混合液に置換する(置換工程)。 - 特許庁
Accordingly, a region where the cooling gas is supplied is limited to a partial region on the substrate surface Wf, thereby generating the frozen film 13f entirely on the substrate surface Wf while inhibiting the degradation of durability of the substrate peripheral member.例文帳に追加
このため、冷却ガスの供給部位が基板表面Wf上の一部領域に限定され、基板周辺部材の耐久性が劣化するのを抑制しながら、基板表面Wfの全面に凍結膜13fを生成することができる。 - 特許庁
Thereby, a nitrogen gas layer L2 is formed on an argon gas layer L1 flowing along the substrate surface Wf, and dust D, mist M and the like suspended in the surroundings are prevented from being drawn into the argon gas layer L1 and carried to the vicinity of the substrate surface Wf.例文帳に追加
これにより、基板表面Wfに沿って流れるアルゴンガス層L1の上に窒素ガス層L2が形成され、周囲に浮遊するゴミDやミストM等がアルゴンガス層L1に取り込まれ基板表面Wf近傍に運ばれるのを防止する。 - 特許庁
Consequently, the semiconductor wafer WF housed in the process tube 4 can be heated so that the temperature of the wafer WF may become uniform by making the moving speed of the heater 17 slower in a low-temperature section and faster in a high-temperature section in the tube 4.例文帳に追加
移動式ヒータ17の移動速度をプロセスチューブ内の温度の低い部分では遅く、温度の高いところでは速くして、プロセスチューブ4に収容された半導体ウェハWFの温度が均一になるように加熱することができる。 - 特許庁
A cleaning liquid is supplied between the upper surface Wa of a wafer W rotated around the rotary axis R of the wafer and the substrate opposite surface WF opposed thereto from a nozzle N having a tip part NS in the substrate opposite surface WF and a vibration disk VF provided in the substrate opposite surface WF imparts ultrasonic vibration to the cleaning liquid.例文帳に追加
ウエハの回転軸Rを中心として回転させられているウエハWの上面Waとこれに対向する基板対向面WFとの間に、基板対向面WF内に先端部NSを有するノズルNが洗浄液を供給するとともに、この洗浄液に対して、基板対向面WF内に設けられた振動面VFが超音波振動を付与する。 - 特許庁
This dry etching device for applying etching processing to a wafer WF by arranging the wafer WF in a processing chamber and converting an introduced reaction gas to plasma includes: an annular first ring 110 arranged in the outside to surround the wafer WF and formed of a conductive material; and an annular second ring 120 arranged in the outside to surround the first ring 110 and formed of an insulating material.例文帳に追加
処理室内にウエハーWFが置かれ、導入される反応ガスをプラズマ化してウエハーWFにエッチング処理を施すドライエッチング装置であって、ウエハーWFを取り囲むように外側に配置され、導電性材料からなる環状の第1リング110と、第1リング110を取り囲むように外側に配置され、絶縁性材料からなる環状の第2リング120と、を備えた。 - 特許庁
After the replacement with the IPA liquid, the IPA liquid is removed from the substrate surface Wf to dry the surface Wf, in such a case, the water absorption by the IPA liquid is suppressed, so that remaining of water in the IPA liquid on the substrate surface Wf is securely suppressed through the drying process to effectively suppress the occurrence of the watermark and pattern destruction.例文帳に追加
そして、IPA液への置換後に、基板表面WfからIPA液が除去されて基板表面Wfが乾燥されるが、上記したようにIPA液への水分吸湿が抑制されていることから、当該乾燥処理によりIPA液中の水分が基板表面Wfに残留するのが確実に抑えられてウォーターマークやパターン倒壊を効果的に抑制している。 - 特許庁
The liquid LQ from a nozzle 13 is applied to and spread on a semiconductor wafer WF by the centrifugal force generated when the stage 11 is rotated.例文帳に追加
ノズル13からの液体LQは、ステージ11の回転による遠心力で半導体ウェハWF上に塗り広げられる。 - 特許庁
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