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「evaporation source」に関連した英語例文の一覧と使い方(10ページ目) - Weblio英語例文検索
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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > evaporation sourceの意味・解説 > evaporation sourceに関連した英語例文

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evaporation sourceの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 488



例文

Especially, the device for manufacturing multilayered film optical filters vapor-deposits a plurality of dielectric multilayered films on a substrate, and a plurality of film thickness monitors are installed in the peripheral direction of the substrate, and the evaporation rate profile is recognized by the plurality of film thickness monitors and is fed back to control the vapor-deposition source.例文帳に追加

特に、基板上に複数の誘電体多層膜を蒸着する多層膜光学フィルターの形成装置であって、基板周方向に複数個の膜厚モニターを設置し、前記複数個の膜厚モニターによって蒸着速度分布を把握し、フィードバックして蒸着源を制御することを特徴とする。 - 特許庁

The annular running path 141 of the shape that the ends of outside and inside circles are connected in a U shape by cutting out the parts of two concentric circles in a sector shape with the center 14a of a dome type disk 14 as a center is installed on the dome type disk 14 opposed to an evaporation source 114.例文帳に追加

蒸発源114に対向するドーム型円盤14上に、ドーム型円盤14の中心14aを中心とする2つの同心円の一部を扇形に切り取ってその外側及び内側の円のそれぞれの端部をU字型に接続した形状の環状走路141を設置する。 - 特許庁

In a vapor deposition preparation step, an object to be treated and an evaporation source 10 including a crucible 13 for containing a vapor deposition material 30, a heating part 14 for heating the crucible 13, and a nozzle 12 for discharging the vapor deposition material 30 gasified in the crucible 13 toward the object to be treated are arranged in a vacuum chamber.例文帳に追加

蒸着準備工程では、蒸着材料30を収納する坩堝13、坩堝13を加熱する加熱部14、および坩堝13内で気体化した蒸着材料30を被処理物に向かって放出するノズル12、を備える蒸発源10、および被処理物を真空チャンバ内に配置する。 - 特許庁

The liquid material is made to atomized particles by the supersonic vibrator 13, the binding energy level of a magnesium oxide percursor of the liquid material is increased by optical energy with a mercury lamp as a light source, further, the evaporation of an organic solvent component therein is promoted, the atomized material is supplied to a body 3 to be treated in a heated state.例文帳に追加

液体材料を超音波振動子13により霧化微粒子とし、水銀ランプ7を光源とする光エネルギーにより液体材料の酸化マグネシウム前駆体の結合エネルギー準位を高めるとともに、有機溶媒成分の蒸発を促進させ、加熱状態の被処理体3に供給させる。 - 特許庁

例文

Thus configured film-forming apparatus can form the film consisting of the columnar crystals without increasing a distance between the substrate 11 and the vapor evaporation source 20, because when halogenated Cs is employed as a film-forming material 25 and deposits on the surface of the substrate 11 while having the incident angle θx of 20 degrees or less, it grows as columnar crystals.例文帳に追加

成膜材料25にハロゲン化Csを用いた場合には、入射角度θxが20°以下であれば、基板11表面に柱状結晶が成長するので、本発明によれば、基板11と蒸着源20との間の距離を大きくしなくても、柱状結晶の膜を成膜することができる。 - 特許庁


例文

The solid compressed pellet of the organic material used as the evaporation source contains (a) a support member for enabling rotation of the pellet and/or passage of a cooling fluid and (b) a compressed solid core of the organic material molded on the surface of the support member.例文帳に追加

蒸着源用の有機材料の固体圧縮ペレットであって、 (a) 該ペレットの回転を可能にし、もしくは冷却流体を通過させ、又はその両方を行うための支持部材、及び (b) 該支持体部材の周囲表面に成形された有機材料の圧縮固体コアを含むことを特徴とする固体圧縮ペレット。 - 特許庁

Silicon particulates are produced by heating a silicon evaporation source 15, transported, and jetted into a vacuum chamber 30 while carried with an air current of a supersonic free jet J to be physically vapor-deposited on a substrate 33 arranged in the vacuum chamber 30, thereby forming the polycrystalline silicon film of the silicon particulates.例文帳に追加

シリコン蒸発源15の加熱によりシリコン微粒子を生成し、次に、シリコン微粒子を移送し、超音速フリージェットJの気流に乗せて真空チャンバー30中に噴出して、真空チャンバー30中に配置された基板33上に物理蒸着させ、シリコン微粒子からなる多結晶シリコン膜を形成する。 - 特許庁

To provide an air conditioning system capable of elongating a time of a heating operation utilizing the heat outside the system by increasing a temperature of the water returned to an external heat source, by improving performance of a refrigerating cycle due to increase of enthalpy difference by lowering of a condenser outlet temperature and rise of evaporation temperature in a heating operation.例文帳に追加

暖房運転時、コンデンサ出口温度の低下によるエンタルピ差の増加及び蒸発温度上昇による冷凍サイクルの性能の向上を図ることにより、外部熱源へ戻る水温を高くして、システムの外部熱を利用した暖房運転時間を長くできる空気調和システムを提供する。 - 特許庁

A heating/sterilizing means is arranged for heating/sterilizing this evaporation type distillation equipment by the source 23 by reducing or nulling the amount of cooling water 24 to be supplied to the condenser 12 by a cooling water volume regulating valve 22 to reduce or null the amount of the steam to be condensed in the condenser 12.例文帳に追加

冷却水量調整弁22によって凝縮器12に供給する冷却水24の量を減少又は零として凝縮器12における水蒸気の冷却量を減少又は零とすることで熱源23により真空蒸発式蒸留装置を加熱して殺菌する加熱殺菌手段を有する。 - 特許庁

例文

A part of the watering belt 1 between a vase 11 or a flower pot 13 and a watering source such as water vessel 12 or watering tank 14 is inserted into a pipe 4 made of a water-impermeable synthetic resin film sheet and, accordingly, the evaporation of water during the transfer through the belt is suppressed to improve the watering efficiency.例文帳に追加

そして、給水帯1は花瓶11或は植木鉢13と水容器12や給水タンク14である給水源の間が、合成樹脂製の不透水性のフィルムシートから形成した筒体4に挿通されているから、給水途中の水が外気中へ蒸発するのを抑制して給水効率を高め得る。 - 特許庁

例文

In this internal pressurization type low-temperature air processing equipment, temperature of liquid oxygen inside a liquid oxygen separator 9 is normally measured and the condition (temperaturepressure) required for oxygen evaporation in the state is automatically calculated for adjusting an operation pressure of an air booster 4 as a supply source of boosted air.例文帳に追加

本発明は、液体酸素分離機9の内部の液体酸素の温度を常時計測し、その状態の酸素蒸発に必要な条件(温度→圧力)を自動演算して、昇圧空気の供給元である空気昇圧機4の運転圧力を調整する内部昇圧式深冷空気分離装置である。 - 特許庁

In this device, an organic EL display element is manufactured by preparing multiple crucibles 12 to be individually filled with multiple organic materials, by selecting any one of the crucibles 12, by vaporizing the organic material by the use of heat of a corresponding evaporation source 21 in a vacuum chamber 11 to deposit it on a substrate 20 so as to form each film and by laminating the films.例文帳に追加

有機薄膜形成装置は、複数の有機材料を個別に充填する複数のルツボ12を用意し、ルツボのいずれかを選択し、真空室11内で有機材料を蒸発源21の熱で蒸発させ、基板20に蒸着して膜を形成し膜を積層して有機EL表示素子を作る。 - 特許庁

The vacuum evaporation system for forming the film by vaporizing the evaporating material 6 on a heating boat 1 and depositing the vapor on a substrate is provided with: a vapor source heating mechanism for heating the evaporating material 6 on the heating boat 1 for forming the film on the substrate; and a vapor source forcibly heating mechanism for reheating and vaporizing the remaining evaporating material 6 on the heating boat 1 after completing the film formation on the substrate.例文帳に追加

加熱ボート1上の蒸着材料6を蒸発させ、蒸気を基板に付着させて成膜を行う真空蒸着装置において、基板への成膜を行うために加熱ボート1上の蒸着材料6を加熱する成膜用蒸発源加熱機構と、基板への成膜を終了させた後に加熱ボート1上に残された蒸着材料5を再度加熱して蒸発させる蒸発源強制加熱機構とを持たせた。 - 特許庁

This sample gas supply device for supplying a gas sample for inspection used when inspecting the detection performance of the gas sensor for detecting inflammable gas is provided with a sample gas generator in which a sample gas source impregnated with a liquid hydrocarbon for generating the inflammable gas by evaporation into a filling material for impregnation is arranged inside a sealed container.例文帳に追加

サンプルガス供給装置は、可燃性ガス検知用のガスセンサーの検知性能を検査するに際して用いられる検査用サンプルガスを供給するためのものであって、気化して燃焼性ガスを発生する液状炭化水素を含浸用充填材に含浸させてなるサンプルガス源が密閉容器内に配置されてなるサンプルガス発生器を具えてなる。 - 特許庁

The main control unit 80 fluctuates an amount of supply of the atmosphere gas from an atmosphere gas supply source 106 in a direction where the pressure fluctuation within the vacuum chamber 10 due to the evaporation of the vapor deposition material or the introduction of a process gas is mitigated during the course of the changeover of the heating state between the film-forming state and the non film-forming state.例文帳に追加

そして、主制御装置80は、成膜状態と非成膜状態との間における加熱状態の切り替え途上において、蒸着材料の蒸発やプロセスガスの導入による真空チャンバ10内の圧力変動を緩和する方向に、雰囲気ガス供給源106からの雰囲気ガスの供給量を変動させる。 - 特許庁

In this case, by utilizing plasma generated with a pressure gradient type plasma gun 1 separate from the electron beam generator 2 as an evaporation source of the organic material or inorganic material, the vaporized organic material or inorganic material is activated, and an organic thin film layer or an inorganic thin film layer is formed on a transparent base material film 13.例文帳に追加

ここで、前記有機材料または前記無機材料の蒸発源である前記電子ビーム発生器2とは別の圧力勾配型プラズマガン1によって発生されるプラズマを利用して、前記気化した有機材料または無機材料を活性化させて、透明基材フィルム13上に有機薄膜層または無機薄膜層を形成する。 - 特許庁

The ink supply device 1 is formed with a chamber 7 for suppressing the diffusion of an evaporation component of the ink by arranging a cover 3 around a plate cylinder 4 immersed into the ink i of an ink pan 2, in which a tube 6 composed of a porous material of a fluororesin is arranged in the chamber 7 and is connected to a supply source of the inert gas.例文帳に追加

インキパン2のインキiに浸けられる版胴4の周囲にカバー3が配置されることにより、インキiの蒸発成分の拡散を抑制するチャンバ7が形成されたインキ供給装置1において、チャンバ7には、フッ素樹脂の多孔質体にて構成されたチューブ6が配置され、チューブ6は不活性ガスの供給源と接続されている。 - 特許庁

In the vapor deposition process, vapor deposition material gas is generated from an evaporation source including a crucible for storing the vapor deposition material, a heating unit for heating the crucible, a nozzle for emitting the vapor deposition material vaporized in the crucible toward an object to be processed, and a reflector 15 arranged around the crucible, and a vapor deposition film is formed on the object to be processed.例文帳に追加

蒸着工程では、蒸着材料を収納する坩堝、坩堝を加熱する加熱部、坩堝内で気体化した前記蒸着材料を前記被処理物に向かって放出するノズル、および坩堝の周囲に配置されるリフレクタ15を備える蒸発源から、蒸着材料ガスを発生させ、被処理物に蒸着膜を形成する。 - 特許庁

The element can be manufactured by aligning the Er atoms to the position among the lattices of the GaAs crystal through the epitaxial growth with simultaneous control of the evaporation velocity of the molecular beam source and expitaxial growth temperature on the GaAs substrate 2 of the (001) alignment or on the epitaxial growth layer of the (001) alignment using the Ga atoms, As atoms and Er atoms as the molecular beam sources.例文帳に追加

Ga原子、As原子及びEr原子を分子線源とし、(001)面方位GaAs基板2上、または(001)面方位エピタキシャル成長層上に、分子線源の蒸発速度と、エピタキシャル成長温度とを同時に制御してエピタキシャル成長し、Er原子をGaAs結晶の格子間位置に配位させることにより製作できる。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a layered body provided with a multilayer thin film particularly suitable for an electromagnetic-wave shielding film in front surface of a display unit, which can form the multilayer thin film on the surface of a long substrate with great productivity through one vapor depositing operation with the use of a substantially single evaporation source, and to provide a manufacturing apparatus therefor.例文帳に追加

多層薄膜付き積層体の製造において、実質的に単独の蒸発源による1回の蒸着により長尺基材表面に多層の薄膜が形成可能であり、また特にディスプレイ前面電磁波シールドフィルムとして好適かつ生産性の高い、多層薄膜付き積層体の製造方法および製造装置を提供すること。 - 特許庁

The system is further provided with a moving mechanism 50 of moving (turning) each substrate holder 34 so that the hollow part 12 of the substrate 10 held thereto is successively located in front of the evaporation source 4, and a rotating mechanism 30 of rotating each substrate holder 34 with a central axis 44 piercing the hollow part 12 of the substrate 10 held thereto.例文帳に追加

更に、各基体保持具34を、それに保持した基体10の中空部12が蒸発源4の前方に順次位置するように移動(旋回)させる移動機構50と、各基体保持具34を、それに保持した基体10の中空部12を貫く中心軸44を中心にして回転させる回転機構30とを備えている。 - 特許庁

The flexible printed substrate that improves the adhesiveness with polymer film and metal one is manufactured, by forming electric plating of 1-30 μm after cleaning a resin film comprising the liquid crystal polymer (LCP) and depositing a conductive metal as an evaporation source on a LCP film so that the thickness of the metal thin film is 1 μm or less.例文帳に追加

液晶性ポリマー(LCP)からなる樹脂フィルムに脱脂処理をしたのち、導電体金属を蒸発源として金属薄膜の膜厚が1μm以下となるようにLCPフィルム上に蒸着させた後、電気メッキを1μm以上30μm以下形成して、ポリマーフィルムと金属膜との密着性を高めたフレキシブルプリント基板を作製する。 - 特許庁

In this manufacturing method of the radiological image conversion panel including a process for forming a phosphor layer by depositing on a substrate a material generated by heating an evaporation source containing a halogen-containing phosphor or its raw material, deposition is performed in a deposition atmosphere having a partial pressure of hydrogen halogenide of 2.0×10^-5 Pa or higher.例文帳に追加

ハロゲン含有蛍光体もしくはその原料を含む蒸発源を加熱して発生する物質を基板上に蒸着させることにより蛍光体層を形成する工程を含む放射線像変換パネルの製造方法において、該蒸着を、ハロゲン化水素の分圧が2.0×10^−5Pa以上の蒸着雰囲気中で行う。 - 特許庁

To provide a device for watering a plant by utilizing drying, which automatically repeats the watering by an evaporation cycle by evaporating water according to the dried state of open air in the watering to the plant, operates without using electricity, a battery or the like as an external operation-assisting source, hardly causes excessive watering and water short, and enables the watering according to the natural drying.例文帳に追加

植物への水やりで外気の乾燥状態に応じ水を蒸発させ蒸発サイクルで自動的に給水を繰り返し外部作動補助源としての電気、電池等を使用する事無く作動し過度な水やり、水不足を発生せず自然乾燥に応じた水やりを可能にする乾燥を利用した植物給水装置を提供する事を課題とする。 - 特許庁

The method for manufacturing the gas barrier film includes: a step of preparing an organic layer polyester laminated substrate formed of an organic layer containing a component formed with polyester and melamine cross-linked on at least one surface of a polyester base material; and a step of depositing an evaporation source material on the organic layer by ion plating to form an inorganic layer.例文帳に追加

本発明のガスバリア性フィルムの製造方法は、ポリエステル基材の少なくとも一方の面にポリエステルとメラミンとが架橋してなる成分を含有する有機層が形成された有機層ポリエステル積層基材を準備する工程と、イオンプレーティングにより上記有機層に蒸発源材料を付着させて無機層を形成する工程と、を有するように構成して上記課題を解決する。 - 特許庁

To provide a light-emitting layer forming solid material capable of adjusting the composition of an evaporated film, by changing the heating temperature of an evaporation source using one kind of solid material, obviating co-deposition that is difficult to control, reducing the variations in element performance, and improving repeating reproducibility, and to provide an organic electroluminescent element and a method for producing the layer.例文帳に追加

1種の固形材料を使用して、蒸着源の加熱温度を変化させることにより、蒸着膜の組成を調整でき、制御困難な共蒸着が不要になり、素子性能のばらつきが低減し、繰り返し再現性を向上できる発光層形成用固形材料、並びに有機電界発光素子及び有機電界発光素子の製造方法の提供。 - 特許庁

There are provided a drying apparatus and a drying method concerning the drying apparatus characterized in that the apparatus comprises a member 10 storing substances containing moisture to store substances 30 containing moisture heated by a heat source; and a member 20 for restricting moisture immersion and aeration having an evaporation cooling surface 20A and a condensing surface 20B for condensing water vapor evaporated from the substances 30 containing moisture.例文帳に追加

熱源により加熱される水分含有物質30を収容する水分含有物質収容部材10と、蒸発冷却面20A及び該水分含有物質30から蒸発した水蒸気が凝結する凝結面20Bを有する水分浸透通気抑制部材20とを有することを特徴とする乾燥装置と該乾燥装置に関する乾燥方法が提供される。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of a photoelectric device capable of preventing an element from deteriorating the characteristics by thermal damage by preventing heat radiation or bumping of evaporation source generated when forming electrode, and capable of preventing the element from deteriorating of characteristics caused by the heat increase of the base plate by quickly scattering the heat added to the base plate when forming the electrode.例文帳に追加

電極形成時にて生じる放射熱や蒸着源の突沸等を防ぐことで、これらの熱的ダメージによる素子の特性低下を防止することができ、また、電極形成の際に基板に加わる熱を速やかに散逸させることで、基板の温度上昇に起因する素子の特性低下を防止することができる電気光学装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

For the heating element 3, a coating film of tungsten of which the impurity metal content is ≤0.01 weight% is formed on a surface of a base member made of tungsten, by an electron beam vapor deposition method taking tungsten powder of which the impurity metal content is ≤0.01 weight%, as an evaporation source or a chemical vapor deposition method using reduction with hydrogen of tungsten hexafluoride.例文帳に追加

発熱体3は、タングステン製の基体の表面に、不純物金属含有量が0.01重量%以下のタングステン粉末を蒸発源とした電子ビーム蒸着法又は六フッ化タングステンの水素による還元反応を利用した化学蒸着法により、不純物金属含有量が0.01重量%以下のタングステンの被覆膜を形成したものである。 - 特許庁

This invention relates to a vacuum chamber, and is characterized by arranging a shadow mask-replacing chamber having a means for carrying in and out a shadow mask to a vacuum deposition chamber via two adjacent parts, adjacently to the vacuum deposition chamber and an air atmosphere part for depositing a deposition material in an evaporation source on a substrate in the vacuum chamber by positioning the substrate and the shadow mask.例文帳に追加

本発明は、真空チャンバであって、基板とシャドウマスクとの位置合せを行い、真空チャンバ内で蒸発源内の蒸着材料を基板に蒸着する真空蒸着チャンバと大気雰囲気部とに隣接し、前記2つの隣接部を介して前記真空蒸着チャンバに前記シャドウマスクを搬入出する手段を有するシャドウマスク交換室を設けたことを特徴とする。 - 特許庁

A vapor ejector 110 of the evaporation polymerization apparatus 4 includes a plurality of vapor branching units 101A, 101B in which the vapor of raw monomer is respectively supplied from a raw monomer supply source 4B while the atmospheres thereof being isolated from each other, and a vapor mixing chamber 151 for mixing vapor of a plurality of kinds of raw monomer diffused in the vapor branching units 101A, 101B.例文帳に追加

蒸着重合装置4の蒸気放出器110は、原料モノマー供給源4Bから原料モノマーの蒸気がそれぞれ供給され互いの雰囲気が隔離された複数の蒸気分岐ユニット101A、101Bと、蒸気分岐ユニット101A、101Bにおいて拡散された複数の原料モノマーの蒸気を混合する蒸気混合室151とを有する。 - 特許庁

The vacuum arc vapor deposition apparatus is constituted so that a porous member 10 is arranged on the inner wall of a plasma duct 5 provided with a deflection magnetic field forming means having a magnetic coil 8 at its outside, with which the plasma containing a cathode substance generated from a cathode 7 attached to a evaporation source 6 can be guided to the neighborhood of the substrate 11 housed in a film forming chamber 1.例文帳に追加

この真空アーク蒸着装置は真空アーク放電によって、蒸発源6に取り付けられた陰極7から生成する陰極物質を含むプラズマを粗大粒子を除去して、成膜室1に収納された基体11近傍に導くように、その外部に磁気コイル8を有する偏向磁場形成手段が設けられたプラズマダクト5の内壁に多孔部材10を配設している。 - 特許庁

In a deposition chamber, the second evaporation source is heated at a temperature lower than the first temperature to evaporate the first material, then the second evaporation chamber is heated so as to form an organic compound layer between an anode and a cathode by evaporating the organic compound.例文帳に追加

本発明は、ある一定圧力下において、第1の温度と第1の温度よりも高い第2の温度の間で蒸発する有機化合物、第1の温度以下で蒸発する第1の材料、及び第2の温度以上で蒸発する第2の材料が装填された第1の蒸発源を、第2の温度よりも低い温度で加熱して、有機化合物と第1の材料を蒸発させて第2の蒸発源に吸着させ、成膜室において、第2の蒸発源を第1の温度よりも低い温度で加熱して、第1の材料を蒸発させ、成膜室において、第2の蒸発源を加熱して、有機化合物を蒸発させて有機化合物の層を陽極と陰極の間に形成するものである。 - 特許庁

This film deposition apparatus has functions of performing sublimation and purification of the EL material by utilizing the sublimation temperature of the pure EL material immediately before film deposition, removing oxygen, water and other impurities contained in the EL material, and performing film deposition by using the EL material (EL material of high purity) obtained through sublimation and purification as an evaporation source as it is.例文帳に追加

本発明における成膜装置は、成膜直前に純粋なEL材料の昇華温度を利用してEL材料の昇華精製を行い、EL材料に含まれる酸素、水およびその他の不純物を除去すると共に、昇華精製により得られたEL材料(高純度EL材料)をそのまま蒸発源として用いて成膜を行うことができるという機能を有する成膜装置。 - 特許庁

To provide an evaporation source, vapor deposition system, and vapor deposition method capable of uniformly promoting melting of a material for vapor deposition even if the material is an organic material and of efficiently forming uniform and good-quality vapor deposited films containing fewer impurities by averting damaging the organic material and by enhancing the effect of heat transfer thereof.例文帳に追加

蒸着材料が有機材料であっても、有機材料に熱ダメージを与えることなく、しかも伝熱効果を高めて、蒸発材料の溶融を均一に促進させることができ、均一で不純物の少ない良質な蒸着膜を効率よく形成することができ、しかも、大型基板にも同様に対応できる蒸発源、蒸着装置および蒸着方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

In the provided method, an InGaP layer is formed on a substrate, a gate electrode with a Ti layer and an Au layer is deposited through the evaporation on the InGaP layer; a GaAs layer is formed in an area on the InGaP layer, in a region different from where the gate electrode is formed; and a source electrode and a drain electrode are further formed on the GaAs layer.例文帳に追加

基板にInGaP層を形成し、InGaP層の上面にTi層とAu層とを有するゲート電極を蒸着により形成し、InGaP層の上面においてゲート電極が形成される領域とは異なる領域にGaAs層を更に形成し、GaAs層の上面にソース電極及びドレイン電極を更に形成する半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

In the evaporation source provided with: a crucible storing an organic matter as an organic thin film material and having a heating unit ; and at least one spray nozzle of spraying the organic matter on a substrate, the crucible has at least one baffle arranged onto a moving path of the organic matter to be evaporated, and the spray nozzle has a shower head structure capable of shielding radiant heat.例文帳に追加

本発明による有機薄膜材料である有機物が収納され、加熱部を有するるつぼと、前記有機物を基板に噴射する少なくとも一つの噴射ノズルとを備える蒸発源において、前記るつぼは蒸発する前記有機物の移動経路上に配設される少なくとも一つのバッフルを有し、前記噴射ノズルは、輻射熱を遮断することができるシャワーヘッド構造を有する。 - 特許庁

例文

To provide a BOG supply system letting BOG pass through a heat exchanger using LNG as a refrigerant, keeping inlet BOG in each compression process at a constant low temperature irrespective of flow rate, evaporating the LNG stored in a tank in an evaporator forcibly to generate BOG, and saving a heat source required for evaporation of LNG when BOG generated naturally in the tank is insufficient as fuel.例文帳に追加

LNGを冷媒に用いた熱交換器にBOGを通過させ、各圧縮行程の入り口BOGを流量の大小に拘わらず一定の低温に保たせられ、またタンク貯留のLNGを強制的に蒸発器で蒸発させてBOGを発生させ、タンク内で自然発生するBOGだけでは燃料として不足する場合に、LNGの蒸発に必要な熱源を節約できるBOG供給システムを提供する。 - 特許庁




  
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