| 意味 | 例文 (8件) |
inspection overlayの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 8件
OVERLAY MARK FOR OVERLAY INSPECTION AND MARK FOR LENS ABERRATION INVESTIGATION例文帳に追加
オーバーレイ検査用オーバーレイマーク及びレンズ収差調査用マーク - 特許庁
METHOD OF MEASURING OVERLAY ERROR, INSPECTION APPARATUS, AND LITHOGRAPHIC APPARATUS例文帳に追加
オーバレイエラーの測定方法、検査装置及びリソグラフィ装置 - 特許庁
PRODUCTION SUPPORT SYSTEM, INSPECTION METHOD OF OVERLAY ACCURACY, AND RECORDING MEDIUM例文帳に追加
生産支援システム、重ね合わせ精度の検査方法および記録媒体 - 特許庁
To provide an overlay mark for overlay inspection having a pattern capable of performing defect inspection with favorable accuracy not obtained in a prior art in a defect inspection apparatus in a manufacturing process of a semiconductor device.例文帳に追加
半導体デバイスの製造過程の欠陥検査装置において従来にはない精度の良い欠陥検査を実現することできるパターンを有するオーバーレイ検査用のオーバーレイマークを提供する。 - 特許庁
To optimize a correction factor, while maintaining the accuracy of sampling of an overlay deviation inspection.例文帳に追加
合わせずれ検査のサンプリングの精度を保持したままで合わせずれ補正係数を適正化する。 - 特許庁
A semiconductor chip judged rejectable through these visual inspection and electric characteristics inspection undergoes overlay processing at a test control unit 5, and a marker indicative of a rejectable product is put on the semiconductor chip by means of a concentration marker 6.例文帳に追加
これら外観検査と電気的特性検査とで不良と判別された半導体チップは、テスト制御部５において重ね合わせ処理され、集中マーカ６によって不良品を示すマーカが付けられる。 - 特許庁
| 意味 | 例文 (8件) |
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