「ion layer」に関連した英語例文の一覧と使い方(47ページ目) - Weblio英語例文検索

To prevent decrease in the sample transmission capacity of electron beams in a STEM observation with decreased acceleration voltage and the bad influence of a damaged layer generated by the application of ion beams, to remove the damaged layer effectively by minimizing the damage to a desired region in a sample, and to prevent processing failure by detecting an optimum processing completion point in time even if the thickness of a thin-film sample is reduced.例文帳に追加

加速電圧を下げたＳＴＥＭ観察での電子ビームの試料透過能力の低下やイオンビームの照射により生じるダメージ層の悪影響を防ぎ、試料の所望の領域への損傷を最小限にしてダメージ層を効果的に除去すること、および薄膜試料の厚さがより薄くなっても最適な加工終了時点を検出して加工失敗を防ぐ。 - 特許庁

An N type semiconductor layer 22 having a low impurity concentration is epitaxially grown on an N semiconductor substrate 21, a desired pattern of oxide film is formed thereon, and the substrate is subjected to ion implantation with use of the pattern as its mask to form an active region edge 28 and a guard ring region 24.例文帳に追加

Ｎ型の半導体基板２１上に不純物濃度が低いＮ型の半導体層２２をエピタキシャル成長させ、その表面に所望のパターンの酸化膜を形成し、それをマスクとしてイオン注入により活性領域エッジ部２８およびガードリング領域２４を形成する。 - 特許庁

To provide an electrode for an electrochemical device for manufacturing the electrochemical device such as a lithium-ion secondary battery and an electric double layer capacitor which has an active material free from exfoliation from an electric collector and also low in internal resistance, and to provide the electrochemical device using such an electrode for the electrochemical device.例文帳に追加

活物質が集電体から剥離することがなく、内部抵抗が小さな、リチウムイオン二次電池や電気二重層キャパシタなどの電気化学素子を製造するための電気化学素子用電極、およびそのような電気化学素子用電極を用いた電気化学素子を提供すること。 - 特許庁

A part of the silicide layer 6 directly under the contact hole is turned amorphous through an ion implantation method 13, by which silicide is lessened in wet resistance, and silicide directly under the contact hole is removed in a self- aligned manner, after silicide is cleaned and pre-treated before polysilicon is grown.例文帳に追加

イオン注入法１３により、コンタクト孔直下部分のシリサイド層６をアモルファス化することにより、シリサイドのウェット耐性を低下させ、更に、ポリシリコンの成長前にシリサイドの洗浄と前処理を施すした後に、コンタクト孔直下のシリサイドが自己整合的に除去される。 - 特許庁

In a method of manufacturing the electrode of a battery for forming an electrode active material layer of a non-aqueous electrolyte lithium ion secondary battery by coating a band-shaped base material 1 with the electrode mix coating liquid 2 including an electrode mix by using the rotary screen 3, the viscosity of the electrode mix coating liquid 2 is controlled.例文帳に追加

ロータリースクリーン３を用いて電極合剤を含有した電極合剤塗液２を帯状基材１上に塗布して、非水電解質リチウムイオン二次電池の電極活物質層を形成する電池の電極製造方法であって、電極合剤塗液２の粘度を制御する。 - 特許庁

Then, a thermal oxide 4 and an insulating film 5 are formed on the major surface of the semiconductor substrate 1 and are flattened (S14, S15) and hydrogen ions are injected from the surface of the insulating film 5 to form an ion injection layer 6 (S16) and a base substrate 7 is bonded onto the surface of the insulating film 5.例文帳に追加

次に、半導体基板１主面に熱酸化膜４，絶縁膜５を形成し平坦化し（Ｓ１４，Ｓ１５）、その絶縁膜５の表面から水素イオン注入してイオン注入層６を形成した後（Ｓ１６）、前記絶縁膜５表面にベース基板７を接合する（Ｓ１７）。 - 特許庁

The seed layer is formed on the side wall of the opening where at least a barrier film is formed, and on the upper surface of the insulating film by an ionization PVD device having a chuck that is subjected to RF bias application for accelerating a target where power for plasma formation is applied and an ion.例文帳に追加

少なくともバリヤ膜が形成されたオープニングの側壁および絶縁膜の上部面にシード層を形成し、シード層はプラズマ形成用の電力が印加されるターゲットとイオンを加速するためのＲＦバイアス印加されるチャックを備えるイオン化ＰＶＤ装置を使用して形成する。 - 特許庁

To provide a method of detecting variation in a cell, in a state where it is not affected by a chemical substance, such as a labeled substance by dispensing with introduction of it into cells, in detecting the variations in the cells near cell surface layer, using secondary ion mass spectrometry.例文帳に追加

二次イオン質量分析法を利用する細胞表層近傍の細胞内変化の検出において、標識物質などの化学物質の細胞内への導入を要しないことで、これらの影響を受けない状態の細胞内変化を検出する方法を提供すること。 - 特許庁

A manufacturing method of a lithium ion secondary battery includes an assembly step (step S1) of manufacturing a battery in which an electrode body including a negative electrode with a negative electrode mixture layer and a nonaqueous electrolyte including a chemical compound represented by the following expression (1) are housed in a battery case, and an activation step (step S2) of activating the battery.例文帳に追加

負極合材層を備える負極を有する電極体、及び、下記の式（１）で表される化合物を含有する非水電解液を、電池ケース内に収容した電池を作製する組み付け工程（ステップＳ１）と、上記電池を活性化させる活性化工程（ステップＳ２）とを備える。 - 特許庁

This inkjet recording sheet having a color material-receiving layer is characterized by containing a water-soluble polymer and a dispersion which contains a cationic polymer having an average mol.wt. of ≤60,000 and has a sulfate ion concentration of ≤1.5 wt.% based on the cationic polymer.例文帳に追加

色材受容層を有するインクジェット記録用シートであって、カチオンポリマーの平均分子量が６万以下であり、かつ硫酸イオン濃度がカチオンポリマーに対して１．５質量％以下である分散液と水溶性樹脂とを色材受容層中に含有することを特徴とするインクジェット記録用シート。 - 特許庁

Finally, a drain region 8 and a source region 9 are formed by forming an insulating gate 6 of polysilicon layer, having substantially T-shaped cross-section through the silicon oxide film 5, while filling the trench 4 and performing ion implantation and annealing using the insulating gate 6 as a mask.例文帳に追加

次に、溝部４を埋め込むように、シリコン酸化膜５を介して断面略Ｔ字状のポリシリコン層から成る絶縁ゲート６を形成し、絶縁ゲート６をマスクとしてイオン注入及びアニール処理を行うことにより、ドレイン領域８及びソース領域９を形成する。 - 特許庁

After a sidewall 604 is formed on both side surfaces of the gate electrode 602, an N-type impurity is applied thereto through ion implantation by using the gate electrode 602 and sidewall 604 as a mask, and the entire substrate is heated so as to form an N-type first impurity diffusion layer 605.例文帳に追加

ゲート電極６０２の両側面にサイドウォール６０４を形成した後、ゲート電極６０２及びサイドウォール６０４をマスクとしてＮ型の不純物をイオン注入し、その後、熱処理を行なうことによりＮ型の第１の不純物拡散層６０５を形成する。 - 特許庁

To enable to efficiently manufacture a junction body suitable as a membrane-electrode junction in a electrochemical device such as a direct methanol type fuel cell with excellent dimensional stability, heat resistance, and methanol non-permeability, and with an excellent jointing property between an electrode layer and an ion exchange membrane hardly generating exfoliation.例文帳に追加

直接メタノール型燃料電池等の電気化学的デバイスにおける隔膜−電極接合体として好適な、寸法安定性、耐熱性、メタノール非透過性に優れ、かつ電極層とイオン交換膜との接合性がよく、剥離等の生じ難い接合体を効率よく製造する。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a large number of reproducible, hyperbolic drum type elements by using an ion beam etching process, and a hyperboloidal drum type structure that is adjustable in size of an active layer and that is usable for manufacturing optical devices and an electronic devices of nano-scale.例文帳に追加

イオンビームエッチング法を利用して再演性のある双曲面ドラム型素子を大量に製造する方法、及び活性層の大きさの調節が可能であって、ナノ規模の光素子及び電子素子の製造に活用することができる、双曲面ドラム型構造を提供する。 - 特許庁

The hydrogen concentration of the surface atomic layer of a sample (a substrate 20) is measured in the surface treatment apparatus without extracting the sample in atmospheric air, by conducting in the vacuum chamber 2 of the surface treatment apparatus by using the elastic recoil-particle detecting method by the low-energy ion scattering spectral method.例文帳に追加

低エネルギーイオン散乱分光法による弾性反跳粒子検出法を用い、表面処理装置の真空室２内で行うことによって、試料（基板２０）を大気中に取り出すことなく表面処理装置内において、試料の表面原子層の水素濃度の測定を行う。 - 特許庁

A p^+ region 89 is formed within a source neighborhood p-type region 83 in an n-well 33 and then arsenic is injected into a shallow substrate surface in the p^+ region 89 by applying an ion implantation method using a ring-shaped gate electrode 35 as a mask to form a surface n^+ layer 90.例文帳に追加

ｎウェル３３中のソース近傍ｐ型領域８３内にｐ^+領域８９を形成した後、リング状ゲート電極３５をマスクとしたイオン注入法を適用して、ｐ^+領域８９中の浅い基板表面にひ素を注入して、表面ｎ^+層９０を形成する。 - 特許庁

The ion implantation for forming the first impurity area 22 softens a stress caused from a mismatch between a lattice constant of the compound layer 24 and that of the semiconductor substrate 3, and is carried out in a condition that an atom does not form a cluster between lattices developed in the semiconductor substrate 3.例文帳に追加

第１の不純物領域２２を形成するイオン注入は、化合物層２４の格子定数と半導体基板３の格子定数との不整合による応力を緩和するとともに、半導体基板内３に発生する格子間原子がクラスタを形成することのない条件で行われる。 - 特許庁

An atmospheric oxidizing treatment or a wet treatment with Zn ion-containing aqueous solution, is applied to the galvannealed steel sheet having the hot dip Zn-Fe alloy plated layer having the composition composed by mass % of 8-12% Fe, 0.05-0.25%例文帳に追加

質量％でFe：８〜12％、Al：0.05〜0.25％、残部は不純物およびZnからなる組成の、η相が存在しないZn−Fe合金めっき層、を有する合金化溶融亜鉛めっき鋼板を大気酸化するか、Znイオン含有水溶液で湿式処理して、めっき層の上にZn化合物を主体とする表面層を形成する。 - 特許庁

In the method, an oriented thin film exhibiting high anisotropy in electric conductivity that high ion conductivity is shown in a film thickness direction is deposited on the surface of a porous ceramic solid electrolyte layer from a crystalline oxide target depositing a proton conductive film by a pulsed laser ablation deposition method (PLD).例文帳に追加

多孔質のセラミック固体電解質層表面にプロトン導電性膜を形成する結晶性の酸化物のターゲットからパルスレーザアブレーション堆積法（ＰＬＤ）により膜厚方向に高いイオン導電性を示す電気伝導度に高い違法性を示す配向性薄膜を形成する方法。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a high-quality TMR element by performing two times of ion milling to remove a conductive material adhered to a barrier layer of a TMR element, in more detail, regarding a TMR element manufacturing method.例文帳に追加

本発明は、ＴＭＲ素子の製造方法に関し、より詳細にはＴＭＲ素子の形成過程において２回のイオンミリングを行いＴＭＲ素子のバリア層に付着した導電物質を除去して品質の高いＴＭＲ素子を製造する方法に関するものである。 - 特許庁

A silver halide color photosensitive material having at least one silver halide emulsion layer on a support is provided, wherein an ion complex compound of the following compounds (A) and (B) is contained in the silver halide color photosensitive material.例文帳に追加

支持体上に、少なくとも１層のハロゲン化銀乳剤層を有するハロゲン化銀カラー写真感光材料において、該ハロゲン化銀カラー写真感光材料中に下記化合物（Ａ）と下記化合物（Ｂ）とのイオンコンプレックス化合物を含有することを特徴とするハロゲン化銀カラー写真感光材料。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of an electrode for a battery suitable for a lithium ion secondary battery in which the initial discharge capacity and charge/discharge cycle characteristics are improved by forming an active material layer in an amorphous state, and to provide a manufacturing device used for its manufacturing.例文帳に追加

活物質層を非晶質状態で形成することによって、初回放電容量及び充放電サイクル特性が改善された、リチウムイオン二次電池などに好適な電池用電極を製造する方法、及びその製造に用いられる製造装置を提供すること。 - 特許庁

In an image forming apparatus to transfer a developed toner image to the intermediate transfer medium 4 by developing an electrostatic latent image on the photoreceptor 1 with toner, the intermediate transfer medium 4 has a structure where the ion conductive agent is incorporated and an abrasive material is dispersed in a surface layer.例文帳に追加

感光体１上の静電潜像をトナーによって現像し、現像されたトナー像を中間転写媒体４に転写する画像形成装置において、前記中間転写媒体４は、イオン導電剤を含むと共に表層に研磨材を分散した構造を有する。 - 特許庁

Thereafter, a gate electrode 5 of rich silicon state is formed in the nMOS region and a gate electrode 6 of rich Ni state is formed in the pMOS region by conducting the annealing process through formation of a mask layer 4 only to the pMOS region and silicon ion implantation only to the nMOS region.例文帳に追加

その後、ｐＭＯＳ領域のみにマスク層４を形成して、ｎＭＯＳ領域のみにシリコンをイオン注入し、アニール処理することにより、ｎＭＯＳ領域にはシリコンリッチ状態のゲート電極５を、ｐＭＯＳ領域にはＮｉリッチ状態のゲート電極６を形成する。 - 特許庁

In a purification system for the water containing radioactive materials which is equipped with a desalting tower 10 in a nuclear power plant, an active carbon treatment component 22 which brings the water containing radioactive materials into contact with active carbons is provided on the upstream side or the downstream side of an ion exchange resin layer 18 in the desalting tower 10.例文帳に追加

原子力発電所における脱塩塔１０を備えた放射性物質含有水の浄化系において、脱塩塔内のイオン交換樹脂層１８の上流側または下流側に上記放射性物質含有水を活性炭に接触させる活性炭処理部２２を設ける。 - 特許庁

In the method for manufacturing the pure copper coated copper foil, a sulfuric acid-copper sulfate solution of which Cl^- ion concentration is ≤0.5 mg/l is used as an electrolytic solution, electrolysis is performed by using the ground copper foil side as a cathode, and the pure copper plating layer is formed at least on the glossy surface of the ground copper foil.例文帳に追加

電解液としてＣｌ^−イオン濃度が０．５ｍｇ／ｌ以下の硫酸−硫酸銅水溶液を用い、下地銅箔側が陰極になるように電解して、下地銅箔の少なくとも光沢面上に純銅めっき層を形成する純銅被覆銅箔の製造方法。 - 特許庁

A He ion is irradiated on the whole of a chip and a lifetime killer is introduced from a position d2 shallower than a position d1 of a PN junction surface 31 including the n^- semiconductor layer 22 and the p^+ diffusion region 23 to a position d3 deeper than the position d1 to form a low lifetime region 32 on the whole of the chip.例文帳に追加

チップ全面にＨｅイオンを照射して、ｎ^-半導体層２２とｐ^+拡散領域２３とからなるＰＮ接合面３１の位置ｄ１よりも浅い位置ｄ２から深い位置ｄ３までライフタイムキラーを導入し、チップ全体に低ライフタイム領域３２を形成する。 - 特許庁

To produce an inert resin which is a poly(meth)acrylic ester-based resin capable of suppressing floating onto a water surface and effective in shortening a purity rise time and improving the ultimate purity of pure water when used as the inert resin in a three-layer mixed bed type ion exchange equipment.例文帳に追加

ポリ（メタ）アクリル酸エステル系の樹脂であって、三層混床式イオン交換装置の不活性樹脂として用いた場合に、水面への浮上が抑制でき、純度立ち上がり時間の短縮及び純水の到達純度向上に有効な不活性樹脂を提供する。 - 特許庁

On the lithium-ion secondary battery equipped with a cathode made of complex lithium oxide, an anode, and an electrolyte solution made of a nonaqueous solvent, a porous film layer with fine-particle fillers as a main material is integrally formed on the surface of the anode after having propylene carbonate contained as a solvent of the electrolyte solution.例文帳に追加

複合リチウム酸化物からなる正極と、負極と、非水溶媒からなる電解液とを備えたリチウムイオン二次電池に対し、電解液の溶媒としてプロピレンカーボネイトを含んだ上で、負極の表面に微粒子フィラーを主材とする多孔膜層を一体形成させる。 - 特許庁

To provide a packaging material for a lithium ion battery having excellent cold formability, causing no whitening even if electrolyte solution sticks to the surface in a packaging process and causing no delamination between a metallic foil and a sealant layer even if the battery has been stored for a long period after packaging.例文帳に追加

優れた冷間成形性を有し、電池包装工程で表面に電解液が付着しても表面が白化せず、電池を包装後長期間保存した場合でも金属箔とシーラント層間のデラミネーションが発生しないリチウムイオン電池用外装材を提供することにある。 - 特許庁

To improve yields in an active matrix substrate, its manufacturing method, an optoelectronic device and its manufacturing method by reducing damage on an insulation layer of storage capacitance caused by an ion implantation while maintaining necessary specific resistance on the lower electrode of the storage capacitance.例文帳に追加

アクティブマトリクス基板とその製造方法、及び電気光学装置とその製造方法において、蓄積容量の下部電極において必要な比抵抗値を確保しながらイオン注入に起因する蓄積容量の絶縁膜へのダメージを低減させて歩留まりを向上させること。 - 特許庁

To provide a vinyllactam-base crosslinked compound that contains little residual monomer and can be used in various solvents and also produced by simpler process, and a composition from which said crosslinked compound is obtained, as well as a lithium-ion cell and an electrical double layer capacitor to be made from said crosslinked compound.例文帳に追加

残留単量体が少なく、種々の溶媒中で適用でき、かつより簡便なプロセスで製造が可能なビニルラクタム系架橋体、および該架橋体を得るための組成物、並びに前記架橋体の用途として、リチウムイオン電池や電気二重層コンデンサを提供する。 - 特許庁

This pipe such as a water pipe is constituted of a pipe body such as a water pipe and a supply pipe and a mixed layer mixed with mixture of powder of tourmaline mineral ore having a far-infrared effect and a negative ion effect, granite powder or charcoal grain powder.例文帳に追加

水道管や給水管等のパイプ本体と、このパイプ本体の内側面に形成された、遠赤外線効果やマイナスイオン効果を有するトルマリン鉱石や花崗岩等の粉末や炭粒粉等の混合物を混合した混合層とで水道管等のパイプを構成している。 - 特許庁

Thus, the method can accurately measure the ion implantation amount and estimate the thickness of the BOX layer of the SIMOX product.例文帳に追加

ＦＴ−ＩＲ装置を利用し、シリコン半導体基板に酸素イオンが注入される前のスペクトル波形と、酸素イオンが注入された後のスペクトル波形の差をスペクトル演算することでイオン注入量を正確に測定することができるとともに、これによりＳＩＭＯＸ製品のＢＯＸ層厚みを推定できる。 - 特許庁

The laminate 10 is formed by laminating antistatic or conductive exfoliation layers 2, 2 on both surfaces of a gel layer 1 comprising antistatic or conductive segmented polyurethane adhesive gel having a segment of alkylene oxide the great portion or the whole of which is liquid at a room temperature and including an ion compound.例文帳に追加

常温で大半ないし全てが液状であるアルキレンオキサイドのセグメントを有し且つイオン化合物が含有された制電性ないし導電性のセグメント化ポリウレタン粘着ゲルからなるゲル層１の両面に、制電性ないし導電性の剥離層２，２を積層した積層体１０とする。 - 特許庁

This fuel cell comprises a polymer electrolytic film 1, having a kinetic viscoelasticity coefficient at 110°C of 1×10^9-1×10^10 Pa and a catalyst layer 5 formed by use of an ion conductive polymer binder, having a kinetic viscoelasticity coefficient at 110°C smaller than that of the electrolytic film 1.例文帳に追加

１１０℃における動的粘弾性係数が１×１０^9〜１×１０^10Ｐａの範囲にある高分子電解質膜１と、１１０℃における動的粘弾性係数が高分子電解質膜１より小さいイオン導伝性高分子バインダーを用いて形成された触媒層５とを備える。 - 特許庁

To provide a solid polymer fuel cell, which can have stable output characteristics over a long time, by suppressing deterioration of an ion-exchange resin or electrolytic film caused by drying a membrane electrode laminated body, when an oxidizer gas having a low dew point is supplied to a cathode catalyst layer.例文帳に追加

露点の低い酸化剤ガスをカソード触媒層に供給した場合に、膜電極接合体の乾燥によって引き起こされるイオン交換樹脂の劣化や電解質膜の劣化が抑制され、長期にわたって安定した出力特性を有する固体高分子型燃料電池を提供する。 - 特許庁

By mutually dissolving the intermediate layer 13 with the electrolyte, negative electrode active materials 12 become spaces for absorbing expansion or contraction, whereby the electrode 1 capable of suppressing deterioration, having high capacity and excelling in a charge-discharge characteristic and this lithium ion secondary battery using it can be provided.例文帳に追加

中間層１３が電解液の相溶することで、負極活物質１２が膨張・収縮を吸収する空間となり、劣化を抑制し、高容量で尚且つ充放電サイクル特性に優れた電極１およびそれを用いたリチウムイオン二次電池を実現することが可能となる。 - 特許庁

To provide a catalyst layer-electrolyte membrane laminate with a reinforcement membrane, which can prevent thickness unevenness from occurring in an ion conductive polymer electrolyte membrane and has high productivity; a membrane-electrode assembly with a reinforcement membrane; a solid polymer fuel cell; and a method for manufacturing these.例文帳に追加

イオン伝導性高分子電解質膜における厚さムラの発生を防止することができ、且つ生産性の高い補強膜付き触媒層−電解質膜積層体、補強膜付き膜−電極接合体、及び固体高分子形燃料電池、並びにこれらの製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a diaphragm for fuel cell which has a high jointing performance with a catalyst electrode layer, and is superior in ion conductivity between both members, and has non-permeability, dimension stability, and thermal resistance or the like of methanol compatible with these characteristics.例文帳に追加

架橋型のイオン交換膜を用いた燃料電池用隔膜において、触媒電極層との接合性が高く、両部材間のイオン伝導性に優れ、これら性状と、メタノールの非透過性や寸法安定性、耐熱性等を両立させた燃料電池用隔膜を提供する。 - 特許庁

Preferably, the liquid-impermeable catalyst layer is formed through at least one process chosen from electroplating, vapor deposition, sputtering and ion plating, has a thickness of 0.5-30 μm and has a platinum group metal deposited inside or on its surface through electroless plating.例文帳に追加

前記液不透過性触媒層が電気めっき、蒸着法、スパッタ法、イオンプレーティングのいずれかの１つ以上の方法により形成され、その厚さが０．５μｍから３０μｍであること、前記隔膜の表面或いはまた内部に、無電解めっきによる白金族金属を担持していることが好ましい。 - 特許庁

A method is disclosed for using at least one kind of additive inside or over the electrode 2 of the fuel cell 1 having the ion- exchange membrane 6, the electrode catalyst layer 4, and the electrode 2 having at least one gas flow passage for the reaction gas 7.例文帳に追加

本発明はまた、イオン交換膜（６）と、電極触媒層（４）と少なくとも１本の反応ガス（７）用のガス流路を有している電極（２）と、を有している燃料電池（１）の電極（２）の内部または上に少なくとも１種の添加剤を使用する方法に関する。 - 特許庁

To provide a discharge electrode applicable as an ionizer electrode or as various other discharge application electrodes having high ion generating efficiency, excellent durability with very long life, no trouble for occurrence of dust by interface peeling of a covered layer, and being capable of manufacturing with low-cost.例文帳に追加

イオナイザー用電極を始めとする種々の放電用途に適用する放電用電極として、イオン発生効率が高く、耐久性に優れて非常に長寿命であり、被覆層の界面剥離による発塵を生じる懸念がなく、安価に製作できるものを提供する。 - 特許庁

The secondary battery has a positive electrode, a negative electrode, and an electrolyte layer composed of ion-conducting polymer electrolyte containing a polymer including a polymerizable compound (α) having a polymerizable group and an oxyalkylene group having average addition molar number of ≥1 and ≤10 in the same molecule.例文帳に追加

二次電池は、正極と、負極と、同一分子中に重合性基と平均付加モル数が１以上で１０以下のオキシアルキレン基とを有する重合性化合物（α）を含む重合体を含有するイオン伝導性ポリマー電解質からなる電解質層とを有する。 - 特許庁

After H ions and He ions are implanted into a silicon substrate with acceleration energy of 5-40 keV, temperature of the silicon substrate is raised to about 500°C and then O ions are implanted with acceleration energy of 30-180 keV thus forming an ion implantation layer 2.例文帳に追加

シリコン基板にＨイオン又はＨｅイオンを、加速エネルギが５ｋｅＶ以上４０ｋｅＶ未満で注入した後、該シリコン基板を略５００℃に昇温し、それにＯイオンを、加速エネルギが３０ｋｅＶ以上１８０ｋｅＶ以下で注入し、イオン注入層２を形成する。 - 特許庁