Process Vacuum Systemとは 意味・読み方・使い方

To provide a vacuum membrane forming device capable of safely performing discharge of process gas in a vacuum tank while keeping a vacuum pump system safe even when a part of a vacuum pump fails, and a method for controlling the vacuum pump for a vacuum membrane forming device.例文帳に追加

真空ポンプの一部に故障が発生したときでも、真空ポンプシステムを安全に保つ一方、真空槽内のプロセスガスの排気を安全に行い得る真空薄膜作成装置、及び真空薄膜作成装置の真空ポンプ制御方法を提供する。 - 特許庁

To provide a plasma vacuum substrate treatment process and a system that can quickly change the flow of active gases in a vacuum enclosure.例文帳に追加

真空エンクロージャ内の活性ガスの流れを急速に変化させることができる、プラズマ真空基板処理方法およびシステムを提供する。 - 特許庁

To provide an observation system in a vacuum atmosphere where the imaging window of the observation system for photographing an object in the vacuum atmosphere can be protected against adhesion of dust during production process.例文帳に追加

真空雰囲気内で観察対象を撮影する観察装置の撮影窓に製造工程等に起因する塵等が付着するのを防止する真空雰囲気内観察装置を提供する。 - 特許庁

A method, computer readable medium, and system for treating a substrate in a process space of a processing system that is vacuum isolated from a transfer space of the processing system is described.例文帳に追加

処理システムの移送空間から真空分離された処理システムの処理空間内で基板を処理するための方法、コンピュータ読み取り可能なメディアおよびシステムが示される。 - 特許庁

The drier is composed of a drying process part 100 including a cylinder 1, a vacuum generator 16, a hot air circulation system 23, and a material supplying and discharging system 28.例文帳に追加

乾燥装置は、シリンダ１を含む乾燥処理部１００，真空発生装置１６，熱風循環システム２３，材料給排システム２８により構成される。 - 特許庁

After that, in a process detecting pressure in an evaporation system and determining leak, first, negative pressure is introduced into the evaporation system by a second vacuum pump and simultaneously, or before or after that, negative pressure is introduced into the evaporation system by the first vacuum pump.例文帳に追加

その後、エバポ系内圧力検出及びリーク判定処理では、まず、第２の負圧ポンプによりエバポ系内に負圧を導入すると共に、これと同時に又は前後して第１の負圧ポンプによりエバポ系内に負圧を導入する。 - 特許庁

To provide a method for producing a component for a vacuum film deposition system which can stably and effectively prevent the peeling of a film deposition material stuck in the process of a film deposition process.例文帳に追加

成膜工程中に付着する成膜材料の剥離を安定かつ有効に防止することを可能にした真空成膜装置用部品の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a process for producing a high precision thin film transistor simply and efficiently without requiring a vacuum system or photolithography.例文帳に追加

真空系やフォトリソを用いなくとも、精度の高い薄膜トランジスタ素子シートを、簡易、且つ、効率的に製造する方法を提供する。 - 特許庁