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Diffusion pumpsとは 意味・読み方・使い方
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To realize a coating line having variability in the positioning of vacuum pumps in a vacuum apparatus so as to deal with a turbopump, an oil diffusion pump or the like in which operational methods are different.例文帳に追加
真空装置においてターボポンプ、油拡散ポンプなど作動方法の異なるポンプに対応できるように真空ポンプの位置決め可変性のあるコーティングラインを実現する。 - 特許庁
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