negative ion plasmaとは 意味・読み方・使い方

The plasma treatment method comprises a step of performing plasma treatment on a surface to be plasma-treated in plasma in which particles constituting the plasma caused by a plasma treatment material gas containing molecules to be negative ions in the plasma and gas-like molecules relieving an electric function of the negative ion are mixedly present.例文帳に追加

本発明に係るプラズマ処理方法は、プラズマ中で負イオンとなる分子を含むプラズマ処理用原料ガスで生じるプラズマを構成する粒子と、前記負イオンの電気的作用を緩和するガス状分子とが混在するプラズマ中で、プラズマ処理をされる被処理面にプラズマ処理を施すことを含む。 - 特許庁

Additionally, a neutral particle beam is produced by extracting a negative ion or a positive ion from the plasma separately individually, or alternately by extracting only a negative ion selectively to neutralize the plasma, and the substrate treatment may be carried out by irradiating the neutral particle beam to the substrate.例文帳に追加

また、前記プラズマから負イオンまたは正イオンを、個別にまたは交互に、あるいは、負イオンのみを選択的に引き出して中性化することにより中性粒子ビームを生成し、該中性粒子ビームを基板に照射して基板処理を行ってもよい。 - 特許庁

To restrict negative electrification on a substrate surface by electrons in plasma emitted from a plasma generating device as well as positive electrification following ion beam irradiation.例文帳に追加

イオンビーム照射に伴う正帯電だけでなく、プラズマ発生装置から放出するプラズマ中の電子による基板表面の負帯電をも小さく抑制する。 - 特許庁

By covering the plasma electrode surface of the negative ion source with carbon nanotubes, electrons are emitted from the carbon nanotubes at a sheath voltage of source plasma for ion generation and the electrode surface is brought into a state that the work function is equivalently lowered to intensify a negative ion generation reaction.例文帳に追加

負イオン源のプラズマ電極表面をカーボンナノチューブで覆うことにより、イオン生成用のソースプラズマのシース電圧でカーボンナノチューブから電子が放出されて等価的に仕事関数が低下した電極表面状態となり負イオン生成反応が増強された負イオン源。 - 特許庁

Voltage switched between positive and negative voltages of the same extent as plasma is applied to the first ion output electrode, and the negative voltage is applied to the second ion output electrode 157.例文帳に追加

第1のイオン引き出し電極156にはプラズマと同程度の正の電圧と負の電圧との間で切り換え可能な電圧が印加され、第2のイオン引き出し電極157には負の電圧が印加される。 - 特許庁

Electrons optically released from negative ion in the plasma 10 by irradiating are collected by the probe 3, and a density of the negative ion is measured by measuring the collected optically released electron current.例文帳に追加

照射によってプラズマ１０中の負イオンから光離脱した電子を、プローブ３によって捕集し、捕集した光離脱電子電流を計測することによって、負イオンの密度を計測する。 - 特許庁

To enhance an accuracy and efficiency of measuring a negative ion in a plasma.例文帳に追加

安価に、プラズマ内の負イオン計測の高精度化と高効率化を図ることができるプラズマ中負イオン計測方法及び装置を提供する - 特許庁

In the apparatus, a grid electrode is arranged on the front face of the deposition substrate in a plasma stream side and the positive or negative bias voltage to the potential of the plasma is applied to the grid electrode corresponding to the polarity of the atom ion to be doped.例文帳に追加

堆積基板の前面、プラズマ流側にグリッド電極を配置し、内包対象原子イオンの極性に応じて、グリッド電極にプラズマの電位に対し正または負のバイアス電圧を印加することにした。 - 特許庁