radiation defectsとは 意味・読み方・使い方

To provide a radiation-sensitive resin composition that has an excellent reactivity with an alkali developer while securing hydrophobicity during liquid immersion exposure, and can prevent occurrence of development defects such as blob defects and bridge defects.例文帳に追加

本発明の目的は、液浸露光時における疎水性を確保しつつ、アルカリ現像液に対する反応性に優れ、ブロッブ欠陥、ブリッジ欠陥等の現像欠陥の発生を抑制することができる感放射線性樹脂組成物を提供することである。 - 特許庁

To provide a radiation image photographing device capable of preventing a bias line from being broken, thereby reducing the occurrence ratio of linear defects.例文帳に追加

バイアス線の断線を防止し、線欠陥の発生率を低減させることが可能な放射線画像撮影装置を提供する。 - 特許庁

To provide a method for stably manufacturing a radiation image conversion panel having a fixed performance with few image, defects.例文帳に追加

画像欠陥が少なく、一定の性能を有する放射線像変換パネルを安定して製造する方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a radiation-sensitive composition including a cyclic olefinic polymer and giving a resin film excellent in sensitivity to radiation, capable of forming a patterned film under radiation and ensuring the patterned film with scarce defects.例文帳に追加

環状オレフィン系重合体を含む感放射線組成物であって、放射線に対する感度に優れ、放射線によるパターン膜の形成が可能で、パターン膜の欠陥が少ない樹脂膜を与える感放射線組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a vapor phase deposition film manufacturing method, a vapor phase deposition film manufacturing apparatus, and a radiation image conversion panel manufacturing method capable of manufacturing a radiation image conversion panel suppressing occurrence of point defects or the like and obtaining an image of high quality with less defects.例文帳に追加

点欠陥などの発生を抑制し、欠陥が少ない高品位な画像が得られる放射線像変換パネルを製造することができる気相堆積膜の製造方法および気相堆積膜の製造装置並びに放射線像変換パネルの製造方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a radiation image photographing apparatus capable of preventing line defects from appearing continuously on multiple scan lines when the apparatus itself detects, for example, a start of applying radiation.例文帳に追加

装置自体で放射線の照射の開始等を検出する場合に、線欠陥が複数の走査線に連続して現れることを防止することが可能な放射線画像撮影装置を提供する。 - 特許庁

To provide a radiation-sensitive resin composition having high transpar ency to a radiation, ensuring few development defects and excellent in basic physical properties as a resist, such as sensitivity, resolution and pattern shape.例文帳に追加

放射線に対する透明性が高く、特に現像欠陥が極めて少なく、しかも感度、解像度、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a radiation sensitive resin composition which suppresses occurrence of development defects, so that the yield of semiconductor devices can be improved.例文帳に追加

現像欠陥の発生を抑制し、半導体デバイスの歩留まりを向上させることができる感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁