superposition errorとは 意味・読み方・使い方

Specifically, if the error is out of a predetermined range based on EGA (Enhanced Global Arrayment) superposition accuracy, it is judged that a measurement error is present.例文帳に追加

具体的には、この誤差が、ＥＧＡ重ね合わせ精度に基づく所定の範囲内にない場合には、計測エラーが生じていると判定する。 - 特許庁

DEVICE AND METHOD FOR INSPECTING SUPERPOSITION ERROR OF PATTERNS FORMED ON SUBSTRATE OR SEMICONDUCTOR WAFER例文帳に追加

基板又は半導体ウエーハに形成されたパターンの，重ね合わせ誤差検査装置及び重ね合わせ誤差検査方法 - 特許庁

A value found by adding the measurement error MIS due to the characteristics of the pattern to an actual superposition error (true value) is assumed as an expected value (the true value + MIS = the expected value).例文帳に追加

実際の重ね合わせ誤差（真値）にパターンの特性に起因する測定誤差（ＭＩＳ）を加えたものを期待値とする（真値＋ＭＩＳ＝期待値）。 - 特許庁

Subsequently, a relative distance of the first pattern in which the superposition error is reflected to the second pattern is calculated (S60).例文帳に追加

次いで、重ね合わせ誤差を反映した後の第１のパターンと第２のパターンの相対距離を算出する（Ｓ６０）。 - 特許庁

First, a superposition error of the second pattern to the first pattern is reflected in at least one of the first pattern and the second pattern (S50).例文帳に追加

まず、第１のパターンに対する第２のパターンの重ね合わせ誤差を、第１のパターン及び第２のパターンの少なくとも一方に、反映する（Ｓ５０）。 - 特許庁

To provide an electronic endoscope of a power supply superposition type, even if a power supply voltage is fluctuated, capable of transmitting signals without causing an error.例文帳に追加

電源電圧が変動してもエラーを起こすことなく信号を伝送できる電源重畳方式の電子内視鏡を提供すること。 - 特許庁

To improve accuracy in superposition of respective color images by suppressing an increase in control error even under an environment of large temperature variation in an image forming device.例文帳に追加

画像形成装置において、温度変化が大きい環境でも、制御誤差の増加を抑えて、各色画像の重ね合わせの精度を高める。 - 特許庁

To provide a photomask capable of improving a shift in transfer position due to an abbreviation of a projection lens, an alignment error due to a measurement error resulting from pattern asymmetry, and a decrease in superposition inspection precision.例文帳に追加

投影レンズの収差に起因した転写位置のずれや、パターン非対称による計測誤差に起因したアライメント誤差、及び重ね合わせ検査精度の低下を改善できるフォトマスクを提供すること。 - 特許庁