vacuum diffusionとは 意味・読み方・使い方

To provide an oil diffusion pump capable of simply obtaining a high vacuum condition having high quality.例文帳に追加

簡易にしてしかも質の高い高真空を得ることができる油拡散ポンプを提供する。 - 特許庁

MANUFACTURING METHOD OF VACUUM DRYING DEVICE AND CALCINATION DEVICE, AND DIFFUSION LAYER FOR FUEL CELL USING THESE例文帳に追加

真空乾燥および焼成装置とそれを用いた燃料電池用拡散層の製造方法 - 特許庁

When the set rotation speed of the centrifuge is higher than the threshold rotation speed, both of the oil-sealed rotary vacuum pump 6 and oil diffusion vacuum pump 7 are operated.例文帳に追加

遠心分離の設定回転数が閾値回転数よりも高い場合には、油回転真空ポンプ６と油拡散真空ポンプ７の双方を稼働させる。 - 特許庁

To realize a coating line having variability in the positioning of vacuum pumps in a vacuum apparatus so as to deal with a turbopump, an oil diffusion pump or the like in which operational methods are different.例文帳に追加

真空装置においてターボポンプ、油拡散ポンプなど作動方法の異なるポンプに対応できるように真空ポンプの位置決め可変性のあるコーティングラインを実現する。 - 特許庁

Vacuum generators 4 are provided on an exhaust tube 2 extending from a furnace core tube 1 in this diffusion furnace, and an exhaust gas, containing phosphorus compound, which is exhausted through the exhaust tube 2, is exhausted in a pressure-reduced state utilizing the vacuum formed by the vacuum generators 4.例文帳に追加

炉芯管１から延びている排気管２にバキュームジェネレータ４を設置し、排気管２を通って排出されるリン化合物を含む排気ガスが、バキュームジェネレータ４で発生する真空を利用して減圧状態で排気される。 - 特許庁

Heating chambers 6, 7, 8 and 9 which are not partitioned with vacuum door and are used for any of a heat rising treatment, the carburization treatment, a diffusion treatment and a temperature dropping treatment are provided in a vacuum cell 2 of a continuous vacuum carburizing apparatus 1.例文帳に追加

連続真空浸炭装置１の真空セル２内に、互いに真空シール扉で仕切られていない、昇温処理、浸炭処理、拡散処理、降温処理のいずれにも使用することができる加熱室６，７，８，９を設ける。 - 特許庁

The process steps from forming the diffusion-barrier base film to forming the first copper film are performed continuously in vacuum without exposing the semiconductor substrate to the atmospheric air, and during the process steps, the diffusion barrier base film is heated after the vacuum condition is reached to a vacuum level of 1 × 10^-4 Pa or lower.例文帳に追加

拡散バリア用下地膜の形成から前記第１の銅膜形成までの工程が、前記半導体基板を大気に晒すことなく真空一貫の状態で行われると供に、当該工程の間に、到達真空度で１×１０^-4Ｐａ以下の真空状態にしてから前記拡散バリア用下地膜が加熱される。 - 特許庁

A centrifugal separator is constituted so that the temperature of an oil diffusion vacuum pump 5 can be measured by a temperature sensor 10 and the power supply to the heater 7 can be controlled by feedback.例文帳に追加

油拡散真空ポンプ５の温度を温度センサ１０で測定し、ヒータ７への通電をフィードバック制御するよう構成する。 - 特許庁