carbon ion implantationとは 意味・読み方・使い方

The three-dimensional plasma-based ion implantation/deposition method comprises a step for forming an ion implantation layer on the surface of the packing body 1 by ion implantation of a hydrocarbon gas and a fluorine gas in plasma and a step for forming the diamond-like carbon thin film on the ion implantation layer by ion deposition of the hydrocarbon gas and the fluorine gas in plasma.例文帳に追加

三次元プラズマイオン注入成膜法は、炭化水素ガスおよびフッ素ガスのプラズマ中でのイオン注入によりパッキン本体１の表面にイオン注入層を形成する工程と、炭化水素ガスおよびフッ素ガスのプラズマ中でのイオン成膜によりイオン注入層上にダイヤモンド・ライク・カーボン薄膜を形成する工程とを含む。 - 特許庁

To provide an ion implantation method in which a carbon ion implantation current higher than 10 mA is achieved stably with high efficiency, and to provide a method of manufacturing silicon carbide utilizing the same method.例文帳に追加

安定的に高効率で、１０ｍＡ以上の炭素イオン注入電流を実現することができるイオン注入方法、及びそれを利用した炭化シリコンの製造方法を提供する。 - 特許庁

To make ion implantation possible even when a raw material of ions intended to be implanted into a substrate is a solid such as chromium, iron or carbon, and to achieve a sufficient effect by ion implantation.例文帳に追加

基体に注入したいイオンの原料がクロム、鉄、炭素のような固体状のものであってもイオン注入を可能にし、且つ十分なイオン注入効果が得られるようにすることにある。 - 特許庁

An oxide film 17 is formed on the surface of an electrode 15 and ion implantation is carried out in the surface of the oxide film 17 to form a carbon-enriched ion implanted film 18.例文帳に追加

電極１５の表面には酸化膜１７を成膜し、酸化膜１７の表面にイオン注入を行ってカーボンリッチ状態のイオン注入膜１８とした。 - 特許庁

To provide a sliding member having a hard carbon film which is formed so as to acquire a reliably enhanced adhesiveness to particularly a steel substrate, when the hard carbon film is formed by ion implantation, and to provide a manufacturing method therefor.例文帳に追加

イオン注入法を用いた硬質炭素膜の形成において、特に鋼の基材に対しても硬質炭素膜の付着性を確実に高められるようにする。 - 特許庁

At least one of fluorine (F) and carbon (C) is subjected to ion implantation onto an Si substrate 1 to form a diffusion preventive layer 21.例文帳に追加

Ｓｉ基板１に、フッ素（Ｆ）および炭素（Ｃ）のうち、少なくともいずれか一方をイオン注入して拡散抑止層２１を形成する。 - 特許庁

The sealant is obtained by coating the surface of a packing body 1 formed from a rubber with a diamond-like carbon thin film by using a three-dimensional plasma-based ion implantation/deposition method.例文帳に追加

三次元プラズマイオン注入成膜法を用いて、ゴムにより形成されるパッキン本体１の表面をダイヤモンド・ライク・カーボン薄膜で被覆する。 - 特許庁

Carbon, nitrogen, argon, etc., are ion-implanted into a concavely curved surface, thereby improving the surface hardness and flattening the surface of the plastic disk substrate 1 by the buildup of the substrate surface caused as a result of the ion implantation.例文帳に追加

その凹状に湾曲した表面に、カーボン、窒素、アルゴン等をイオン注入して、表面硬度を改善するとともに、そのイオン注入の結果生じる基板表面の盛り上がりで、プラスチックディスク基板１の表面を平坦化する。 - 特許庁