defusionとは 意味・読み方・使い方

Thus, in the defusion step of impurities in polysilicon or thermal loading step, excessive defusion of the impurities in the second doped polysilicon film and the depletion of impurities in the polysilicon film due to impurity absorption by the metal silicide film can be prevented.例文帳に追加

これにより、ポリシリコン中の不純物の拡散工程やその後の熱負荷工程において、第２のドープドポリシリコン膜中の不純物の過度な拡散が抑制され、金属シリサイド膜が不純物を吸収することによるポリシリコン膜中の不純物の空乏化が防止される。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a semiconductor device provided with an MIM type capacitor by which the degradation of MOSFET characteristic can be suppressed and the defusion of oxidizing impurities in a base insulation film to a lower electrode can also be suppressed.例文帳に追加

ＭＩＭ型のキャパシタを備える半導体装置の製造方法であって、ＭＯＳＦＥＴの特性低下を抑制しつつ、下地絶縁膜中の酸化性不純物の下部電極への拡散を抑制する。 - 特許庁