energy variation methodとは 意味・読み方・使い方

To provide a substrate processing apparatus and a substrate processing method, wherein the variation of incident energy of ions entering the substrate is suppressed while effectively suppressing a voltage change of a substrate on an electrode.例文帳に追加

電極上の基板の電圧変化を効果的に抑制し，基板へ入射するイオンの入射エネルギの変動を抑えた基板処理装置および基板処理方法を得る。 - 特許庁

To provide a positive resist composition having good solubility in a resist solvent and capable of suppressing variation in pattern size when exposure energy varies, and to provide a method of forming a resist pattern.例文帳に追加

レジスト溶剤への溶解性が良好で、かつ露光量が変化した際のパターンサイズの変動を小さく抑えることができるポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法の提供。 - 特許庁

To provide a controller and a method that ensure the same time and same amount of power supply for several dozen minutes of electric energy at an arbitrary location even in a compact electric power system with a great power variation.例文帳に追加

電力変動が大きい小規模電力系統においても任意の箇所の電力量の数十分程度の同時同量を確保する装置および方法を提供する。 - 特許庁

To provide a light emitting device array and exposure head that can reduce a light volume variation with a simple structure, a method for manufacturing them and a luminous energy adjustment method, and electrophotographic equipment with the exposure head mounted thereon.例文帳に追加

簡単な構成で光量ばらつきを小さくすることができる発光素子アレイ及び露光ヘッド、これらの製造方法及び光量調整方法、並びに、当該露光ヘッドを搭載した電子写真装置を提供する。 - 特許庁

The method is preferably carried out in a three-chamber apparatus and enables shorter production cycles, more economical use of energy, and favorable variation of the surface properties of honeycomb bodies, as compared with previous methods.例文帳に追加

この方法は好ましくは３チャンバの装置内で実行され、以前の方法に比べ製造サイクルの短縮、より経済的なエネルギの利用、およびハニカム体の表面特性の多様化が可能になる。 - 特許庁

To accurately cancel even torque variation of an image carrier due to a shock which can not be accurately canceled in the conventional control method, while suppressing an increase of energy consumption.例文帳に追加

従来の制御方法では高い精度でキャンセルすることができなかった衝撃による像担持体のトルク変動でも、消費エネルギーの増大を抑えつつ、高い精度でキャンセルすることを課題とする。 - 特許庁

To provide illumination equipment and a control method for illumination which can obtain stable illumination properties, without changes in brightness, regardless of the variation in the vertical direction when transporting an object to be tested and can attain energy saving.例文帳に追加

被検物搬送時の上下方向の変動に対して明るさに変化のない安定した照明特性を得られ、しかも、省エネルギー化を実現した照明装置及び照明制御方法を提供する。 - 特許庁

To provide a power generating method using waste disposal to vary a thermoelectric ratio of power generating quantity and steam quantity in accordance with load variation as well as to increase the power generating quantity by attempting further effective use of energy.例文帳に追加

エネルギのより一層の有効活用を図って発電量を増加させるとともに、負荷変動に応じて発電量と蒸気量との熱電比率を可変にする廃棄物処理を利用した発電方法を提供する。 - 特許庁