erosion mechanismとは 意味・読み方・使い方

To prevent the etching rate or the deposition rate from decreasing in etching or plasma CVD by suppressing electric field erosion at the channel portion of a heat exchanging mechanism.例文帳に追加

熱交換機構の流路部分の電界腐食を抑え、エッチングやプラズマＣＶＤにおいてエッチングレートやデポレートが低下するのを防ぐ。 - 特許庁

To provide a magnet structure which can realize the wide erosion of a target by changing the distribution of magnetic force lines on the surface of the target by a simple driving mechanism.例文帳に追加

簡易な駆動機構によりターゲット表面上の磁力線分布を変え、ターゲットのワイドエロージョン化を図るようにした磁石構造体等を提供する。 - 特許庁

To provide a magnet structure or the like which achieve widening of erosion of a target by changing the distribution of the line of magnetic force on a surface of the target by a simple driving mechanism.例文帳に追加

簡易な駆動機構によりターゲット表面上の磁力線分布を変え、ターゲットのワイドエロージョン化を図るようにした磁石構造体等を提供する。 - 特許庁

To provide a magnetron sputtering cathode, which includes a magnetism generating mechanism, in which an intermediate magnetic pole is arranged between a center magnetic pole and an outer peripheral magnetic pole, and reduces local erosion of a sputtering target and largely improves usage efficiency.例文帳に追加

中心磁極と外周磁極の間に中間磁極を配置した磁気発生機構を備え、スパッタリングターゲットの局所的な侵食を低減させ、使用効率を大幅に向上させたマグネトロンスパッタリングカソードを提供する。 - 特許庁

To provide a sputter electrode structure having a magnet mechanism in which a sputter target has a truncated-conical side view shape, and is arranged to obtain the line of magnetic force, the film thickness distribution is improved by changing the magnetic field generated by a magnet mechanism of a simple structure, and erosion of the sputter target is uniformized.例文帳に追加

この発明は、スパッタターゲット材が円錐台側面形状をなし、前記円錐台側面形状に沿った磁力線を得るように配されたマグネット機構を有するスパッタ電極構造において、簡易な構造でマグネット機構によって生じる磁界を変化させて、膜厚分布を向上させると共にスパッタターゲットのエロージョンを均一化させることにある。 - 特許庁

To provide a tightening mechanism for a magnesium alloy member by a bolt which can insulate between a magnesium alloy material and a bolt constituted by steel, etc., without causing the deterioration in axial force of the bolt, and prevent a generation of an electric erosion even if an electrolyte such as water comes into contact.例文帳に追加

マグネシウム合金部材と鋼などで構成されたボルトとの間をボルト軸力の低下を来すことなく絶縁し、水などの電解質が接触しても電食の発生を防止することができるマグネシウム合金部材のボルト締結構造を締結する。 - 特許庁