etching rateとは 意味・読み方・使い方

ETCHING RATE MEASURING APPARATUS AND METHOD例文帳に追加

エッチングレート測定装置および測定方法 - 特許庁

To provide an etching rate measuring technology capable of accurately measuring an etching rate during plasma etching operation.例文帳に追加

プラズマエッチング処理中に、高精度にエッチングレートを測定することのできるエッチングレート測定技術を提供する。 - 特許庁

MASK ETCHING PLASMA REACTOR WITH CATHODE OF UNIFORM ETCHING RATE DISTRIBUTION例文帳に追加

均一なエッチング速度分布の陰極を備えたマスクエッチングプラズマリアクタ - 特許庁

To provide an etching device which has high etching rate and perpendicular processability.例文帳に追加

エッチングレート及び垂直加工性が高いエッチング装置を提供する。 - 特許庁

ETCHING RATE MEASURING DEVICE AND METHOD OF MEASUREMENT THEREFOR例文帳に追加

エッチング速度測定装置および測定方法 - 特許庁

The etching rate or the dissolution rate of the second thin film 40 is lower than the etching rate or the dissolution rate of the third thin films 52, 50.例文帳に追加

そして、第二薄膜４０のエッチング速度又は溶解速度は、第三薄膜５２，５０のエッチング速度又は溶解速度よりも低い。 - 特許庁

To a plasma etching trial method which can obtain etching parameters with a less-fluctuated etching rate.例文帳に追加

エッチング速度の変動が少ないエッチングパラメータが得られるプラズマエッチングの試行方法を提供する。 - 特許庁

To provide an etching method capable of performing etching at a high etching rate while avoiding notching.例文帳に追加

ノッチングを回避するとともに、高エッチングレートでのエッチングが可能なエッチング方法を提供する。 - 特許庁