ex situとは 意味・読み方・使い方

Using the ex-situ measuring information combining with the in-situ monitoring, for example, an end point of the etch process, an etch depth profile of a feature formed on a substrate, and fault detection in a manufacturing process of the integrated circuit may be monitored.例文帳に追加

インサイチューモニタリングと組合せてエクスサイチュー測定情報を使って、例えば、エッチング処理の終点、基板上に形成された外観のエッチング深度プロフィール、集積回路製造プロセスの欠陥検出などをモニタリングしても良い。 - 特許庁

Using measuring information (for example, critical dimensions (CD), layer thickness) provided ex-situ on the etch process combining with in-situ monitoring (for example, spectroscopic, interference measurement, scattering measurement, and reflectivity measurement) which is performed during the etch process, the etch process may be monitored.例文帳に追加

エッチング処理の間に実施されたインサイチューモニタリング（例えば、分光、干渉計測、散乱計測、反射率計測など）と組合せて、エッチング処理に対してエクスサイチューで提供された測定情報（例えば、限界寸法（ＣＤ）、層の厚さなど）を用いて、エッチング処理がモニタリングされても良い。 - 特許庁

Volatile organic compounds are removed from the contaminated soil by introducing one or both of a water-soluble peroxygen compound, such as a persulfate, and a permanganate into the soil, either in situ or ex situ, in amounts and under conditions wherein the soil oxidant demand is satisfied and volatile organic compounds in the soil are oxidized.例文帳に追加

過硫酸塩などの水溶性過酸化化合物と、過マンガン酸塩の片方又は双方を、土のオキシダント要求量を満たし土中の揮発性有機化合物が酸化される分量及び条件下で土に導入することにより、インシトゥ又はエクスシトゥにおいて、揮発性有機化合物が、汚染された土から除去される。 - 特許庁

The improvement of the hydrogenation method consists of using a hydrogenating catalyst modified ex situ with a pre-adsorbed alkali metal carbonate or alkali hydrogen carbonate such as K_2CO_3 or KHCO_3.例文帳に追加

この水素化法の改善は、予め吸着されたアルカリ金属炭酸塩もしくはアルカリ金属炭酸水素塩、例えばＫ_2ＣＯ_3またはＫＨＣＯ_3を用いて域外で変性された水素化触媒を使用する点にある。 - 特許庁

In this invention, an ex-situ rapid thermal annealing is applied at a temperature of 900°C to 1000°C under a nitrogen atmosphere to increase a depletion region width up to the thickness of the i-th region, thereby forming an InGaAsN layer of a wide depletion region.例文帳に追加

窒素雰囲気下で９００℃から１０００℃の間の温度でｅｘ−ｓｉｔｕの急速熱アニールを行うことで、空乏領域幅をそのｉ領域の厚さまで増やし広い空乏領域のＩｎＧａＡｓＮ層を形成する。 - 特許庁

In the method, an imaging electron beam itself is used to prepare a hole-free thin film for use as an effective phase plate, in some cases eliminating the need for ex-situ fabrication of a hole and reducing requirements for the precision of the ZPP hardware.例文帳に追加

本方法は、結像電子ビーム自体を使用して、事実上の位相板として使用するための無孔薄膜を調整し、場合によっては、孔をその場以外で製作する必要をなくし、ＺＰＰハードウェアの精度に対する要件を低減させる。 - 特許庁

The invention is based on the discovery that MHC Class I restricted peptides derived from the survivin protein, are capable of binding to MHC Class I HLA molecules and thereby eliciting both ex vivo and in situ CTL immune responses in patients suffering from a wide range of cancer diseases.例文帳に追加

本発明は、サバイビンタンパク質由来のＭＨＣクラスＩ拘束ペプチドが、ＭＨＣクラスＩ ＨＬＡ分子に結合し得、それによって広範なガン疾患に罹患している患者においてエキソビボおよびインサイチュの両方のＣＴＬ免疫応答を誘発するという発見に基づく。 - 特許庁