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extreme ultraviolet emissionとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 極端紫外放射
「extreme ultraviolet emission」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 12件
To provide a radiation source capable of short wavelength emission like extreme ultraviolet emission for use by lithography.例文帳に追加
リソグラフィで使用するために、極端紫外放射などの短い波長の放射を発生させる放射ソースを提供する。 - 特許庁
The active material is an atomic element having an emission line within a desired extreme ultraviolet (EUV) range.例文帳に追加
この活性材料は、望ましい極紫外線（ＥＵＶ）範囲内に輝線を有する原子である。 - 特許庁
To prevent effluence of pollutants from a light emission port of an extreme ultraviolet light source apparatus to the side of an exposure machine.例文帳に追加
極端紫外光光源装置の光出射口から露光機側に汚染物質が流出するのを防ぐこと。 - 特許庁
When extreme ultraviolet light is not emitted, the rotor 8 is allowed to pass between the condenser mirror 6 and the light emission port 7.例文帳に追加
極端紫外光が発光していないとき、回転翼８を集光鏡６と光出射口７の間を通過させる。 - 特許庁
To provide a target material for an extreme ultraviolet light generator which has superior dispersion stability, and can obtain stable EUV light emission, suppress EUV light emission to possibly cause unnecessary heating of a molybdenum/silicon multilayered film reflecting mirror of the extreme ultraviolet light generator, and suppress production of debris, and to provide a manufacturing method thereof.例文帳に追加
分散安定性に優れ、安定したＥＵＶ発光が得られ、極端紫外光発生装置のモリブデン／シリコン多層膜反射鏡の不要な加熱に繋がるＥＵＶ発光を抑制でき、かつ、デブリの発生を抑制できる極端紫外光発生装置用ターゲット材料およびその製造方法を提供する。 - 特許庁
To increase a strength of EUV light from an extreme-ultraviolet light source apparatus, and to improve a transmissivity of EUV light having a small emission angle and a large strength.例文帳に追加
極端紫外光光源装置からのＥＵＶ光の強度を大きくし、また放射角度が小さく強度の大きいＥＵＶ光の透過率を改善すること。 - 特許庁
EUV (extreme ultraviolet) light radiated from a high-temperature plasma P is collected to a focusing point F by an EUV condenser mirror 6, emitted from an EUV light emission port 7 and made incident on an exposure machine 30.例文帳に追加
高温プラズマＰから放射されたＥＵＶ光は、ＥＵＶ集光鏡６により集光点ｆに集められ、ＥＵＶ光出射口７から出射し、露光機３０に入射する。 - 特許庁
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「extreme ultraviolet emission」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 12件
To provide an extreme ultraviolet light source device capable of stably supplying tin to a discharge region with high repetition frequency and of achieving stable light emission of EUV without increasing the rotating speed of a rotating electrode.例文帳に追加
回転する電極の回転速度を速くすることなく、高い繰り返し周波数で、安定してスズを放電領域に供給し、ＥＵＶの安定した発光が可能な極端紫外光光源装置を提供する。 - 特許庁
When the extreme ultraviolet light is not emitted, the light emission port 7 is substantially shielded by the rotor 8, pollutants moving toward the light emission port 7 collide with the rotor 8 and the advancing direction of the pollutants is bent, so that the effluence of the pollutants is suppressed.例文帳に追加
極端紫外光が発光していないとき光出射口７が回転翼によって実質的に遮蔽され、また、光出射口に向かって進んできた汚染物質が回転翼と衝突し、その進行方向が曲げられることによって汚染物質の流出が抑制される。 - 特許庁
To provide an LPP type extreme ultraviolet light source in which an Sn target can be supplied to a plasma forming part in a high speed and generation of debris can be suppressed and light emission spectrum in the vicinity of 13.5 nm can be made sharp.例文帳に追加
高速でＳｎターゲットをプラズマ生成部に供給でき、かつ、デブリの発生を極力抑制することができ、さらには、１３．５ｎｍ近傍の発光スペクトルが鋭くできるＬＰＰ方式極端紫外光光源を提供すること。 - 特許庁
A rotor (propeller) 8 to be rotated so as to intersect with the optical axis of the EUV light by a motor 9 is arranged between the condenser mirror 6 and the light emission port 7, and a rotary shaft 9a of the motor 9 is arranged on the outside of an optical path of extreme ultraviolet light.例文帳に追加
集光鏡６と光出射口７の間に、モータ９によりＥＵＶ光の光軸と交差するように回転する回転翼（プロペラ）８が配置され、その回転軸９ａは極端紫外光の光路外に配置される。 - 特許庁
To provide an EUV ray spectrum measuring instrument capable of measuring precisely a spectrum of an EUV ray emitted from the divergent center of an extreme ultraviolet (EUV) ray source in every emission direction, and to provide a power calculation method for calculating precisely EUV ray power.例文帳に追加
本発明は、ＥＵＶ光源の発散中心点から放射されるＥＵＶ光のスペクトルを、放射方向毎に精密に測定可能なＥＵＶ光スペクトル測定装置及び精密なＥＵＶ光のパワー算出方法を提供することを課題とする。 - 特許庁
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