for tisとは 意味・読み方・使い方

The focal position where the focal position deciding value becomes the minimum value is decided as the optimum focal position, and the average value of TIS within the substrate surface at the optimum focal position is corrected for individual overlap misalignment.例文帳に追加

この焦点位置決定値が最小となる焦点位置を最適な焦点位置と決定し、その最適焦点位置における基板面内のTISの平均値を個々の重ね合わせずれ量に対して補正を行う。 - 特許庁

To provide a mark position detecting apparatus for surely reducing an error TIS caused by the apparatus by improving the adjustment sensitivity of an illumination optical system.例文帳に追加

照明光学系の調整感度を向上させることにより装置起因の誤差ＴＩＳを確実に低減できるマーク位置検出装置を提供する。 - 特許庁

A period setting means 26 sets an automatic stop permission period Tis so that the automatic stop permission period Tis for permitting the automatic stop of the engine 10 becomes shorter as the direct current internal resistance value Rin detected by the internal resistance value detection means 30 becomes larger.例文帳に追加

期間設定手段２６は、内部抵抗値検出手段３０によって検出された直流内部抵抗値Ｒｉｎが大きいほどエンジン１０の自動停止を許可する自動停止許可期間Ｔｉｓが短くなるように自動停止許可期間Ｔｉｓを設定する。 - 特許庁

To provide a calculating method for overlap misalignment for deciding the optimum focal position comprehensively by also taking into consideration an index related to precision in measuring overlapping other than an average value of TIS.例文帳に追加

ＴＩＳの平均値以外の重ね合わせ測定精度に関わる指標も考慮し、総合的に最適な焦点位置を決定できる重ね合わせずれ量算出方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method and apparatus for compensating or reducing errors caused when searching TIS and/or the center of a pupil plane without any large increase in throughput time.例文帳に追加

スループット時間を大幅に増加させることなく、ＴＩＳおよび／または瞳面の中心を求める際のエラーを補償し、或いは、軽減する方法および装置を提供する。 - 特許庁

An image signal processing circuit 40 performs processing for calculating the measurement value of the superposition error and detecting a focus position giving a minimum MIS and processing for finding the TIS and the expected value from the measurement value.例文帳に追加

画像信号処理回路４０は、重ね合わせ誤差の測定値を算出し、ＭＩＳが最小となるフォーカス位置を検出する処理と、測定値からＴＩＳ及び期待値を算出する処理とを行う。 - 特許庁

Accordingly, in the case of for example, the TIS measurement of the alignment microscope, it is not necessary to conduct a complicated work of removing the substrate rotating the substrate and then to re-mount the substrate on the holder.例文帳に追加

従って、例えば、アライメント顕微鏡のＴＩＳ計測に際して、基板を取り外し、基板を回転させた後基板ホルダ上へ再度載置するという面倒な作業を行う必要がなくなる。 - 特許庁

To achieve a technique for improving the positioning accuracy by sensing the transmission characteristics of an imaging optical system and restoring an alignment sensing signal deteriorated by an error (TIS) derived from a device.例文帳に追加

結像光学系の伝達特性を高精度に検出し、装置起因の誤差（ＴＩＳ）により劣化したアライメント検出信号を復元することで、位置決め精度を向上する技術の実現。 - 特許庁