fine defectとは 意味・読み方・使い方

To enlarge the control region of defect-free layer depth and fine defect density of the inside in a CZ silicon wafer.例文帳に追加

ＣＺシリコンウエーハにおいて、無欠陥層深さと内部微小欠陥密度の制御範囲を拡大する。 - 特許庁

To provide a defect inspection device and a defect inspection method, being capable of accurately inspecting a fine defect in a short time.例文帳に追加

微細な欠陥の検査を精度よく且つ短時間に行うことができる欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供する。 - 特許庁

To make detectable a defect uniformly thicker or thinner than a reference value, a fine change, or a fine defect with high precision.例文帳に追加

基準値に対して一様に太く、または一様に細い欠陥、微小な変化や微小な欠陥でも高精度に検出できるようにする。 - 特許庁

PHOTOMASK PATTERN DEFECT INSPECTING METHOD AND DETECTING METHOD FOR FINE FIGURE PATTERN例文帳に追加

フォトマスクパタン欠陥検査方法および微細図形パタンの検出方法 - 特許庁

METHOD FOR CORRECTING FINE PATTERN DEFECT OF FLAT SURFACE SUBSTRATE AND CORRECTING DEVICE例文帳に追加

平面基板の微細パターン欠陥修正方法および修正装置 - 特許庁

From the stage position of a defect detected by a review device, a defect candidate close to that stage position is listed along with the defect information (defect type, defect image, defect size) provided by an inspection device, so that a defect for use in the fine alignment correction can be selected.例文帳に追加

レビュー装置が検出した欠陥のステージ位置から、そのステージ位置に近い欠陥候補を検査装置が提供する欠陥情報（欠陥種別，欠陥画像，欠陥サイズ）とともに一覧表示し、ファインアライメント補正に使用する欠陥を選択できるようにする。 - 特許庁

To achieve detection of a fine defect, highly accurate measurement of the size of the detected defect, and so on.例文帳に追加

微小な欠陥を検出すること、検出した欠陥の寸法を高精度に計測することなどが求められる。 - 特許庁

Next, processing 45 is performed for excluding fine defects to narrow down defect data as a target of defect analysis.例文帳に追加

次に、微小欠陥を除外する処理４５を行い、欠陥解析の対象とする欠陥データを絞り込む。 - 特許庁