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ion beam synthesisとは 意味・読み方・使い方
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In a conventional vapor phase synthesis of cubic boron nitride, the essential condition is using ion impact at not lower than 45 eV by using a negative bias on a substrate or an accelerated ion beam.例文帳に追加
従来は立方晶窒化ホウ素の気相合成では、基板負バイアスや加速したイオンビームを用いて４５ｅＶ以上のイオン衝撃を用いることが必須条件であった。 - 特許庁
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