ion beam tubeとは 意味・読み方・使い方

In the ion beam guide tube in the ion implanter, the guide tube 16 is arranged in the vicinity of the semiconductor wafer being implanted in the ion implanter.例文帳に追加

イオン注入装置に係り、より詳細には、イオン注入装置のイオンビーム用のガイド管であって、注入装置内で注入されている半導体ウェハの付近に配置されるガイド管１６に係る。 - 特許庁

To provide a means to steadily extract an ion beam including an indium ion from an ion source, while reducing contamination of a furnace, a vapor-inducing tube and a plasma generator vessel.例文帳に追加

加熱炉、蒸気導入管およびプラズマ生成容器の汚れを抑えつつ、イオン源からインジウムイオンを含むイオンビームを安定して引き出す手段を提供する。 - 特許庁

The ion implanter for implanting ions into an object of ion implantation, by impressing a voltage on an acceleration electrode 5 contained in an accelerating tube 3 to accelerate an ion beam 51 taken out from an ion source by generating an acceleration electric field, is provided with an X-ray shielding material 6 in vacuum in the accelerating tube 3 so as to cover an orbit of the ion beam 51.例文帳に追加

イオン源から取出されたイオンビーム５１を、加速管３内に収められた加速電極５に電圧を印可して加速電場を生成することにより加速し、イオン注入対象物へイオン注入するイオン注入装置に、加速管３内の真空中にイオンビーム５１の軌道を覆うようにＸ線遮蔽材６を設置する。 - 特許庁

To allow a sample stage to operate with good operability without any erroneous operations in a composite charged-particle processing and observation apparatus having a focused ion beam lens tube and an electron beam lens tube that are arranged orthogonal to each other.例文帳に追加

それぞれ直交に配置された集束イオンビーム鏡筒と電子ビーム鏡筒を有する複合荷電粒子加工観察装置において、試料ステージを、誤操作なく操作性の良い動作をさせる。 - 特許庁

This apparatus is provided with an ion gun 6 for ejecting an ion beam and a treatment room 4, through a mass separation machine 2 for selecting ions, a post-acceleration tube 3, a Q lens system 15 and a deflector 16.例文帳に追加

イオンビーム６を放出するイオン源と、イオン選別用質量分離２、後段加速管３、Ｑレンズ系１５、偏向器１６などを経て処理室４が設置されている。 - 特許庁

The ion injection method enables an ion beam 52 to go through a plasma shower at the transportation area in front of a wafer 55 when the ion beam 52 extracted from an ion source is transported and injected to the wafer 55, and a plasma shower consisting of an arc chamber 10 and a shower tube 11 is placed near a resolving aperture body 54 at the downstream.例文帳に追加

イオン源から引き出されたイオンビーム５２を輸送してウエハ５５に注入するに際し、該イオンビームをウエハの手前の輸送区間においてプラズマシャワーを経由させるようにしたイオン注入方法であり、アークチャンバー１０とシャワーチューブ１１とによるプラズマシャワーをリゾルビングアパチャー体５４の下流側の直近位置に配置した。 - 特許庁

Ions generated from an irradiation part 4 of the particle beam on the sample 3 are collected by an ion transport tube 7 and sent to a mass spectrometry part.例文帳に追加

そして、試料３上の粒子線の照射部位４から発生したイオンをイオン輸送管７で収集して質量分析部に送る。 - 特許庁

By making in a large caliber an insulating tube constituting a vacuum boundary of the draw-out part and the initial-step accelerating part in a negative ion source against an outside of the negative ion source, and preparing a large gas exhaust channel between the beam passage area and the insulating tube, gas pressure in the beam passage area is lowered and the negative ion of high current density is generated in high efficiency.例文帳に追加

負イオン源における引き出し部及び初段加速部と負イオン源外部との真空境界を構成する絶縁管を大口径とし、ビーム通過領域と絶縁管の間に大きなガス排気経路を用意することによって、ビーム通過領域のガス圧を低減し、高い電流密度の負イオンを高効率で生成する負イオン源。 - 特許庁